檢測加熱圈上交流電和射頻共存的裝置的製作方法

2023-06-03 16:15:41

專利名稱：：檢測加熱圈上交流電和射頻共存的裝置的製作方法
技術領域：
：本實用新型涉及一種半導體製造設備，特別是涉及一種半導體製造用設備上的檢測裝置。
背景技術：
：目前，在半導體製造過程中，往往需要在矽片上生成Si02薄膜。而這些用來在矽片上生成Si02薄膜的機臺上需要設置加熱器部件，在這些加熱部件上交流電和射頻都接在同一個迴路加熱線圈(sidecoil,特指機臺上的一個迴路組合件)上面。該迴路加熱線圈用來對機臺特定部分進行加熱，並且用來將射頻導入到該特定部位。考慮到需要加熱的位置和射頻要導入的位置在機臺的同一位置，且安裝空間有限，故將交流加熱線圈與射頻導入線圈一同做在該迴路加熱線圈上面。如圖1所示，交流電所接加熱圈與射頻所接射頻圈緊密固定在一起，組成所說的加熱線圈。正常情況下，交流電一直接在加熱線圈上對被加熱的陶瓷器件進行加熱；當射頻開啟時，交流電從加熱線圈上斷開，射頻導入到加熱線圈上；當射頻停掉的時候，交流電又重新接到加熱線圈上。這樣交流電和射頻在加熱線圈上交替出現，但不會同時出現。但是當出現控制交流電通斷的器件壞掉等情況時，就會出現交流電和射頻同時出現在加熱線圈上的情況，時間久了加熱線圈就會因過熱被燒壞。目前，通過裝在射頻櫃裡的可編程邏輯控制器(PLC)來發出直流控制信號，這個信號來控制繼電器的通斷，從而來實現交流電和射頻交替加載到加熱線圈上的功能。目前設備存在的缺陷是這套東西只控制動作，沒有反饋監控。當PLC或繼電器出現問題時，無法及時發現當射頻加到加熱線圈上時交流電仍沒有從加熱線圈上斷開。
實用新型內容本實用新型要解決的技術問題是提供一種可以監控是否存在交流電和射頻同時出現在加熱線圈上的裝置，能夠保護加熱線圈不因過熱被燒壞。為解決上述技術問題，本實用新型提供了一種檢測加熱圈上交流電和射頻共存的裝置，交流檢測裝置，其輸入端連接至交流電接入加熱線圈的連接點，所述輸入端通過變壓器連接到固態繼電器的輸入端，使得當接點的電壓高於一特定值時，固態繼電器導通，輸出一電壓至信號處理單元；射頻檢測裝置，其輸入端連接至加熱線圈前端繼電器的控制電路的連接點，當射頻開啟或關閉時輸出一電壓至信號處理單元；信號處理單元，連接交流檢測裝置和射頻檢測裝置的輸出端，對所述交流檢測裝置的輸出電壓和射頻檢測裝置的輸出電壓進行邏輯運算，檢測到是否存在交流電和射頻共存的的情況。本實用新型的有益效果在於可以有效監控是否存在交流電和射頻同時出現在加熱線圈上，從而保護加熱線圈不因長時間過熱被燒壞。以下結合附圖和實施例對本實用新型做進一步的詳細說明。圖1為目前交流電和射頻都接在同一個迴路加熱線圈的示意圖；圖2為本實用新型實施例的示意圖。具體實施方式如圖2所示的本實用新型所述的實施例，當交流電和射頻同時出現在加熱線圈上時，機臺可以發出報警。所以與報警裝置相連接一個檢測器，分別從加熱器和射頻接出一路信號作為監測器的兩個輸入信號，檢測器的輸出信號送給機臺，作為機臺的報警信號。tableseeoriginaldocumentpage5隻有當交流電接到加熱線圈上，且射頻開啟的時候，監測器沒有輸出，機臺會發出報警，其他情況下輸出都是+24V直流，機臺沒有報警。監測器的輸入端——交流檢測裝置，從交流電接入加熱線圈的兩個連接點接出兩條線，作為監測器交流電的輸入線。把這兩端接入監測器的交流輸入端後，通過變壓器變壓，再連接到一個固態繼電器的輸入端，固態繼電器導通時的輸出端為24V直流，通過調節變壓器使得當接點TB2-1與TB2-2(如圖2中所示)之間的電壓高於150V的時候，固態繼電器導通，稱繼電器輸出電壓為V1。監測器的另一個輸入端——射頻檢測裝置，是用來表徵射頻的開/關狀態，這個信號從繼電器2(即加熱圈前端繼電器)上獲得。當射頻開啟的時候，這兩端上電壓為零；當射頻關閉的時候，這兩端上有24V直流。將這兩端接入監測器的直流輸入端。在檢測器內再對直流輸入進來的信號取反，取反得到的信號稱之為V2。本實施例所述的監測器內信號處理包括在得到V1和V2後，對V1、V2作"與"運算，得出的結果為V3。輸入輸出對應邏輯關係如下射頻開啟射頻關閉VI1010V21100V31000通過邏輯數字集成電路實現將直流輸入信號取反得到V2，並將V2和Vl作"與"運算，得出V3輸出，以及對V3取反得出V4。監測器的輸出端，V3信號是一個24V或者0V的直流信號。再對這個信號取反，將取反得到的信號稱為V4，將V4連接到機臺系統控制器，從而將監測器的信號送給主機臺。將機臺附屬機臺關聯保護功能開啟。這樣當V4為24V直流時，機臺處於正常狀態；當V4為0V時，機臺會有報警，這時就會知道交流電和射頻同時加到加熱線圈上了，要把機臺停下來做故障檢查。本實用新型並不限於上文討論的實施方式。以上對具體實施方式的描述旨在於為了描述和說明本實用新型涉及的技術方案。基於本實用新型啟示的顯而易見的變換或替代也應當被認為落入本實用新型的保護範圍。權利要求1.一種檢測加熱圈上交流電和射頻共存的裝置，其特徵在於，包括交流檢測裝置，其輸入端連接至交流電接入加熱線圈的連接點，所述輸入端通過變壓器連接到固態繼電器的輸入端，使得當接點的電壓高於一特定值時，固態繼電器導通，輸出一電壓至信號處理單元；射頻檢測裝置，其輸入端連接至加熱線圈前端繼電器的控制電路的連接點，當射頻開啟或關閉時輸出一電壓至信號處理單元；信號處理單元，連接交流檢測裝置和射頻檢測裝置的輸出端，對所述交流檢測裝置的輸出電壓和射頻檢測裝置的輸出電壓進行邏輯運算，檢測到是否存在交流電和射頻共存的的情況。2.如權利要求1所述的檢測加熱圈上交流電和射頻共存的裝置，其特徵在於，所述射頻檢測裝置當射頻開啟的時候，其兩端上電壓為零；當射頻關閉的時候，其兩端上有直流電壓；所述射頻檢測裝置將上述電壓取反。3.如權利要求1所述的檢測加熱圈上交流電和射頻共存的裝置，其特徵在於，所述的信號處理單元將所述交流檢測裝置的輸出電壓和射頻檢測裝置的輸出電壓進行"與"運算，得到電壓V3。4.如權利要求3所述的檢測加熱圈上交流電和射頻共存的裝置，其特徵在於，所述的信號處理單元將所述電壓V3取反得到電壓V4。5.如權利要求4所述的檢測加熱圈上交流電和射頻共存的裝置，其特徵在於，所述的信號處理單元連接到機臺保護裝置，當電壓V4顯示有交流電和射頻共存時，關閉加熱線圈。專利摘要本實用新型公開了一種檢測加熱圈上交流電和射頻共存的裝置，包括交流檢測裝置，其輸入端連接至交流電接入加熱線圈的連接點，所述輸入端通過變壓器連接到固態繼電器的輸入端；射頻檢測裝置，其輸入端連接至加熱線圈前端繼電器的控制電路的連接點，當射頻開啟或關閉時輸出一電壓至信號處理單元；信號處理單元，連接交流檢測裝置和射頻檢測裝置的輸出端，對所述交流檢測裝置的輸出電壓和射頻檢測裝置的輸出電壓進行邏輯運算，檢測到是否存在交流電和射頻共存的情況。本實用新型可以有效監控是否存在交流電和射頻同時出現在加熱線圈上，從而保護加熱線圈不因長時間過熱被燒壞。文檔編號H01L21/00GK201408745SQ200920073968公開日2010年2月17日申請日期2009年5月26日優先權日2009年5月26日發明者徐伯山,林振芳,斌陸申請人:上海華虹Nec電子有限公司