準分子燈裝置的製作方法

2023-05-28 06:11:31 4

專利名稱：準分子燈裝置的製作方法
技術領域：
本發明涉及準分子燈裝置，尤其是涉及被使用於紫外線照射處理的準 分子燈裝置。
背景技術：
現在，例如在通過紫外線照射清洗液晶顯示面板的玻璃基板的工序等
中，使用具備放射波長200nm以下的真空紫外線的準分子燈的準分子燈裝 置。被使用於此種準分子燈裝置的準分子燈，如在專利文獻1的記載，為 了高效率地放射紫外線，以二氧化矽粒子作為主體的紫外線反射膜，形成 在相對於被照射物水平配置的放電室對於被照射物放射紫外線的一面，即 形成於除了光射射出方向側的一面的放電室內面。
然而，對於在放電室內上面具備紫外線反射膜的準分子燈，所生成的 紫外線被紫外線反射膜隔絕而未到達上方的放電室壁，但在下方的放電室 壁被照射增加了來自上方的紫外線反射膜的反射光的強力的紫外線。通常， 準分子燈被支撐在其長邊方向的兩端，而在其中央部未被支撐。
因此，隨著經過點燈時間，在下方的放電室壁，即構成放電室的光射 出方向側的壁的玻璃，經時性地儲存起因於真空紫外線照射而產生的紫外 線失真。其結果，確認了由於該紫外線失真的影響，光射出方向側的玻璃 主要向長邊方向收縮，而放電室整體，朝向形成有紫外線反射膜的方向凸 狀地彎曲。在圖5的模式圖所示，虛線是凸狀地彎曲之前的準分子燈102， 而實線是向箭號方向凸狀地彎曲的準分子燈102。
若準分子燈102向上方彎曲，則在準分子燈102的兩端側與中央部， 被照射物即液晶玻璃基板等的工件面與準分子燈102間的距離不相同。若 工件面與準分子燈102間的距離不相同，則光照射強度根據工件面上的部 位有所不同，而無法進行均勻的紫外線處理，當然在處理後的工件上產生不合格情況。如此，在準分子燈102的中央部需要設置機械式地限制移動 的移動限制構件，以免準分子燈向上方彎曲。
圖6是表示從準分子燈裝置100的筐體101向準分子燈102的方向突 設四方形材料狀的移動限制構件103的狀態的圖，圖6(a)是表示準分子燈 裝置100全體的概略構成圖，圖6(b)是表示圖6(a)的C-C剖面圖。
如這些圖所示，該移動限制構件103 —端被固定在筐體101，而另一端 抵接於準分子燈102的放電室105上的電極部104,抑制準分子燈102向上 方的彎曲。但是，支撐準分子燈102的筐體101是金屬制，因而在燈點燈 時，通過來自準分子燈102的放射熱等會升溫，而在燈熄燈後溫度降低， 因此產生膨脹收縮。移動限制構件103接觸於準分子燈102的金屬制網狀 電極104，以絕緣性構件典型地以陶瓷材所構成，因而通過筐體101的膨脹 收縮，使得抵接於網狀電極104的部位在壓住網狀電極104的同時，左右 地摩擦。其結果，產生金屬粉，而該金屬粉落至被處理物105即工件面， 或是在由導電性糊所形成的印刷後經燒成的印刷電極的情況下，則印刷電 極被摩擦而剝落有可能產生落至工件面等的問題。
專利文獻l:日本特開2008-66095號公報

發明內容
本發明的目的是鑑於上述問題點，提供一種準分子燈裝置，具有金 屬制的筐體；及準分子燈，所述準分子燈與筐體分離而被保持於筐體的下 方側，在放電室的外面配設有電極部，在放電室的內面一部分具備紫外線 反射膜；具備抑制準分子燈的彎曲的移動限制構件，對於被照射物維持均 勻的紫外線照射，同時防止來自形成於放電室外面的電極部的粒子落下的 準分子燈裝置。
本發明是為了解決上述課題，採用如下的方案。
第1方案是一種準分子燈裝置，具有金屬制的筐體；以及準分子燈， 所述準分子燈與該筐體分離地被保持於該筐體的下方側，在向短邊方向與 長邊方向延伸的放電室的外面配設有電極部，在上述放電室的上述筐體側 內面具備紫外線反射膜；該準分子燈裝置將從該準分子燈所放射的紫外線照射在被處理物上，其特徵為上述放電室的一方端部被固定保持於上述 筐體，另一方的端部在長邊方向移動自如地被保持於上述筐體，在上述筐 體與位於該筐體下方的上述準分子燈之間具備限制上述準分子燈相對於上 述筐體向上方移動的移動限制構件，該移動限制構件具備可旋轉地設於上 述準分子燈的長邊方向的旋轉滾子。
第2方案是在第1方案中，其特徵為，上述移動限制體具有剖面為 向上述準分子燈側開放的大致3形狀的基體；設於該基體的大致3形狀的 開口部，防止上述旋轉滾子脫落的脫落防止構件；以及在間隙配合於該脫 落防止構件的狀態下被保持，僅可抵接於上述基體的大致3形狀的開口部 底面與上述準分子燈地設置的上述旋轉滾子。
第3方案是在第1方案或第2方案中，其特徵為上述旋轉滾子的周
面被覆有釉藥經燒成而構成。
第4方案是在第1方案至第3方案的任一方案中，其特徵為，上述放 電室形成為由上壁與下壁及四個側壁所分隔的剖面為扁平的矩形管狀，在 該放電室封入有準分子發光氣體，上述紫外線反射膜以二氧化矽作為主成 分，在上述放電室的上壁外面及下壁外面形成有相對的上述電極部。
根據方案1所述的發明，可抑制準分子燈的彎曲，對於被照射物可維 持均勻的紫外線照射，而且可防止來自準分子燈的電極部的粒子落下。
根據方案2所述的發明，旋轉滾子可抵接地設在基體與準分子燈之間， 因而在旋轉滾子抵接於電極部時，則對於產生於筐體與準分子燈之間的相 對性的準分子燈的長邊方向的位移，由於旋轉滾子進行旋轉，準分子燈的 彎曲被抑制，對於被照射物維持均勻的紫外線照射，同時可確實地防止來 自準分子燈的電極部的粒子落下。
根據方案3所述的發明，由於在旋轉滾子的周面被覆有釉藥而進行燒 成，因而在旋轉滾子旋轉之際，可減少開口部底面與旋轉滾子的摩擦，而 可進一步防止來自準分子燈的電極部的粒子落下。
根據方案4所述的發明，所述的準分子燈剖面為扁平矩形管狀，在放 電室的內面形成以二氧化矽作為主成分的紫外線反射膜，而在放電室的上 壁外面及下壁外面形成有相對的電極部，在所述的準分子燈中，能抑制準分子燈的彎曲，對於被照射物維持均勻的紫外線照射，而可防止來自準分 子燈的電極部的粒子落下。


圖1是表示本發明的準分子燈裝置1的概略構成的主視圖。
圖2是表示圖1的A-A剖面圖。
圖3是表示被使用於本發明的準分子燈裝置1的準分子燈3的構成的圖。
圖4是表示裝配設置於筐體2與準分子燈3間的移動限制體5時，取 出旋轉滾子51與脫落防止構件52時、及裝配完成移動限制體5時各自的 構成的立體圖。
圖5是表示凸狀地彎曲之前以虛線所表示的準分子燈102、及用向箭號 方向凸狀地彎曲的實線所表示的準分子燈的圖。
圖6是表示從準分子燈裝置100的筐體101向準分子燈102的方向突 設方形材料狀的移動限制構件103的狀態的圖。
符號說明
1:準分子燈裝置；2:筐體；3:準分子燈；31:放電室；311:上壁； 312:下壁；313:側壁；32:電極部；33:紫外線反射膜；4:燈座； 41:燈支撐彈簧；5:移動限制體；51:旋轉滾子；52:脫落防止構件； 53:基體；54:開口部；55:固定螺絲；56:幵口部底部。
具體實施例方式
使用圖1至圖4進行說明本發明的一實施方式。
圖1是表示本實施方式的發明涉及的準分子燈裝置1的概略構成的主 視圖，圖2是表示圖1的A-A剖面圖。
如該圖所示，準分子燈3在金屬制的筐體2的下方側與筐體2分離而 通過燈座4， 一方端部被固定保持，另一方端部為了在長邊方向移動自如而 以燈支撐彈簧41等所保持。另外，在筐體2與準分子燈3間，在準分子燈 3的大致中央部設有由絕緣性構件所形成、具備向準分子燈3的長邊方向旋轉的旋轉滾子51的移動限制體5，以使準分子燈3不向上方彎曲。
圖3是表示使用於本發明的準分子燈裝置1的準分子燈3的構成的圖， 圖3 (a)是表示準分子燈3的全體構成的立體圖，圖3 (b)是表示準分子燈3 的B-B剖面圖。
如這些圖所示，準分子燈3具有以上壁311與下壁312及四個側壁313 所分隔、剖面為扁平的矩形管狀而具有長邊方向與短邊方向的放電室 (Discharge Chamber) 31。在放電室31內封入有準分子發光氣體，而在 除了放電室31的光放射面以外的至少筐體2側內面形成有以二氧化矽作為 主成分的紫外線反射膜33。在放電室31的上壁311外面及下壁312外面， 有相對的網格狀電極部32形成作為燒成導電性糊所成的電極。
另外，電極部32並不限定於網格狀電極， 一樣地能形成電極即可。另 外，準分子燈的形狀是除了如圖3所示的剖面矩形形狀的四方形的準分子 燈以外，雙重管形式的準分子燈也可以。
圖4(a)是表示設於筐體2與準分子燈3間的移動限制體5的裝配時的 構成的立體圖，圖4(b)是表示取出構成移動限制體5的旋轉滾子51與為了 防止旋轉滾子51從基體53脫落所設置的脫落防止構件52的立體圖，圖4 (c) 是表示移動限制體5裝配完成時的構成的立體圖。
如這些圖所示，移動限制體5具有其剖面形成為向準分子燈3側的 大致n形狀的基體53;以及以被固定螺絲55固定的脫落防止構件52貫通 於基體53的開口部54而作成間隙配合的狀態，具備具有預定寬度的周面， 向燈長度方向旋轉的旋轉滾子51，配置成為從筐體2下面向準分子燈3的 方向突出。更具體地說，脫落防止構件52配置於中空圓環狀的旋轉滾子51 的中空部分，旋轉滾子51設置成僅可抵接於基體53的大致3形狀的開口 部底面56與準分子燈3。旋轉滾子51為在構成移動限制體5的構件中，唯 一抵接於配設在準分子燈3的放電室31上的電極部32的部件，在旋轉滾 子51抵接於電極部32時，對於在放電室31與筐體2之間產生的相對性的 燈長度方向的位移，旋轉滾子51進行旋轉。
另外，在移動限制體5的至少旋轉滾子51的周面，塗布釉藥而被燒成。 通過塗布燒成釉藥，旋轉滾子51的表面被玻璃質成分所覆蓋而變得平滑。所以，與在旋轉滾子51的周面未塗布有釉藥燒成的情形相比較，旋轉滾子 51接觸於移動限制體5的其他構成構件，或是在抵接於準分子燈3的電極 部32時，構成旋轉滾子51的陶瓷的粉體作為粒子產生的可能性更少。另 外，釉藥的成分，舉個例子，以二氧化矽、氧化鋁作為主要成份，含有鈉、 鉀、鈣、鎂等的鹼金屬、鹼土類金屬的氧化物，含有微量的過渡金屬。另 外，作為旋轉滾子的材質，並不被限定於塊滑石，如氧化鋁或氮化矽或氮 化硼等機械性強度強的陶瓷就可以。
設置1個移動限制體5時，則優選在燈長度方向位於準分子燈3的大 致中央附近，但設置多個移動限制體5時，則設置適當間隔配置於各移動 限制體5間。
以下，在本發明的具備具有旋轉滾子的移動限制體的準分子燈裝置與 在現有技術的具備不具有旋轉滾子的移動限制體的準分子燈裝置中，針對 於來自準分子燈裝置表面的電極部的粒子有無或有沒有發生剝離的比較實 驗加以說明。
使用於比較實驗的準分子燈，(l)放電室為石英玻璃，發光氣體是氙 氣體，形狀是長邊方向全長160cm，短邊方向4cm，高度1. 5cm，而電極是 金的燒成電極，電極厚度是10um。紫外線反射膜是成分為二氧化矽90% + 氧化鋁10%的混合膜，膜厚是30um，形成於放電室內面長邊方向上面與 側面(參照專利文獻l)。 (2)點燈時的輸入是輸入功率400W。 (3)移動限制 體的旋轉滾子的材質是塊滑石制，而在周面塗布燒成有釉藥。
用使本發明的移動限制體抵接於準分子燈的構成，在經過累計點燈時 間3000小時的時刻，確認有沒有電極的摩擦所致的剝離或是發生粒子。其 結果，並完全未確認發生電極的剝離或粒子。另外，沒有準分子燈的彎曲， 而來自被處理物面的高度也被維持在當初的高度。S卩，可知對於被處理物 面可維持均勻的紫外線照射。
一方面，作為比較例，準分子燈是使用與本發明者相同的東西，用僅 推壓以不具有旋轉滾子的移動限制構件的構成，在經過累計點燈時間3000 小時的時刻，確認有沒有電極的摩擦所致的剝離或是發生粒子。其結果， 雖然可防止準分子燈的彎曲，但可看到認為是電極的剝離所致的粒子發生。
權利要求
1.一種準分子燈裝置，具有金屬制的筐體；以及準分子燈，所述準分子燈與該筐體分離地被保持於該筐體的下方側，在向短邊方向與長邊方向延伸的放電室的外面配設有電極部，在上述放電室的上述筐體側內面具備紫外線反射膜；該準分子燈裝置將從該準分子燈所放射的紫外線照射在被處理物上，其特徵為上述放電室的一方端部被固定保持於上述筐體，另一方的端部在長邊方向移動自如地被保持於上述筐體，在上述筐體與位於該筐體下方的上述準分子燈之間具備限制上述準分子燈相對於上述筐體向上方移動的移動限制體，該移動限制體具備可旋轉地設於上述準分子燈的長邊方向的旋轉滾子。
2. 如權利要求1所述的準分子燈裝置，其特徵為上述移動限制體具有剖面為向上述準分子燈側開放的大致3形狀的 基體；設於該基體的大致3形狀的開口部，防止上述旋轉滾子脫落的脫落 防止構件；以及在間隙配合於該脫落防止構件的狀態下被保持，僅可抵接 於上述基體的大致3形狀的開口部底面與上述準分子燈地設置的上述旋轉滾子。
3. 如權利要求1或2所述的準分子燈裝置，其特徵為上述旋轉滾子的周面被覆有釉藥經燒成而構成。
4. 如權利要求1至3中任一項所述的準分子燈裝置，其特徵為上述放電室形成為由上壁與下壁及四個側壁所分隔的剖面為扁平的矩 形管狀，在該放電室封入有準分子發光氣體，上述紫外線反射膜以二氧化 矽作為主成分，在上述放電室的上壁外面及下壁外面形成有相對的上述電 極部。
全文摘要
本發明提供一種準分子燈裝置，具備抑制準分子燈的彎曲的移動限制構件，對於被照射物維持均勻的紫外線照射，同時防止來自放電室的電極部的粒子落下。該準分子燈裝置，具有金屬制的筐體(2)；及準分子燈(3)，所述準分子燈(3)與筐體(2)分離地被保持於筐體(2)的下方側，在放電室(31)的外面配設有電極部(32)，在放電室(31)的筐體側內面具備紫外線反射膜；將從準分子燈(3)所放射的紫外線照射在被處理物(7)上，其特徵為放電室(31)的一方端部被固定保持於筐體(2)，另一方的端部在長邊方向移動自如地被保持於筐體(2)，在筐體(2)與位於筐體(2)下方的準分子燈(3)之間，具備限制準分子燈(3)對於筐體(2)向上方移動的移動限制體(5)，移動限制體(5)具備可旋轉地設於準分子燈(3)的長邊方向的旋轉滾子(51)。
文檔編號H01J65/00GK101685759SQ20091017862
公開日2010年3月31日 申請日期2009年9月24日 優先權日2008年9月27日
發明者後藤祥規, 石原肇 申請人:優志旺電機株式會社