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淨化間用天花板構造的製作方法

2023-07-01 01:56:46

專利名稱:淨化間用天花板構造的製作方法
技術領域:
本發明涉及淨化間用天花板構造,特別涉及將風扇過濾器單元支承在淨化間天花板上的淨室用天花板構造。
近年來,設置在半導體製造工廠等中的淨化間內,例如,如日本特開平4-103937號公報所示,把由風扇和過濾器一體構成的風扇過濾器單元(FFU)多個相鄰地配置在天花板面上,分別進行運轉臺數控制或風量控制,可根據需要任意設定淨化間中的清潔區域。


圖13中,表示將這種風扇過濾器單元支承在淨化間天花板上的淨化間天花板構造。該天花板構造中,以預定間隔平行地配置著若干個長條狀主框架部件1,在這些主框架部件1之間配置著若干個副框架部件2,構成為具有若干過濾器安裝開口部3的格子狀過濾器安裝部件4。
如圖14所示,在形成各過濾器安裝開口部3的主框架部件1和副框架部件2的上面,通過密封墊等密封部件8載置著將風扇5和過濾器6單元化的風扇過濾器單元(FFU)7。
在主框架部件1和副框架部件2上,向上方突出地形成吊掛部9,該吊掛部9通過吊掛螺栓10吊掛在圖未示的屋梁上。
主框架部件1和配置在該主框架部件1兩側的副框架部件2,在吊掛部9的上面,藉助於金屬構成的十字形上側接頭11通過螺栓12連接,主框架部件1和副框架部件2保持著直角度,以及配置著密封部件8的主框架部件1和副框架部件2的上面、即密封面13所在的面保持同一平面度。
但是,該現有的淨化間用天花板構造中,只在吊掛部9的上面,藉助於十字形的上側接頭11保持主框架部件1與副框架部件2的直角度以及保持配置著密封部件8的主框架部件1和副框架部件2的密封面13所位於面的同一平面度,所以,為了得到必要的直角度和同一平面度,需要很大的工作量,另外,因地震等的衝擊力,直角度和同一平面度會被破壞,破壞氣密性。
即,在這樣的淨化間用天花板構造中,形成過濾器安裝開口部3的主框架部件1和副框架部件2的上面即密封面13上,由於通過密封墊等密封部件8載置著風扇過濾器單元7,所以,如果主框架部件1和副框架部件2的密封面13不位於同一平面上時,則得不到充分的氣密性,因此,必須以較高精度將主框架部件1和副框架部件2的密封面13保持在同一平面上。
另外,在現有的淨化間用天花板構造中,藉助於十字形的上側接頭11保持主框架部件1與副框架部件2的直角度,所以,為了得到直角度,需要很大的工作量,因地震等衝擊力,直角度會被破壞,也就不能保持氣密性。
即,在這種淨化間用天花板構造中,用螺栓12將上側接頭11固定到主框架部件1和副框架部件2上時,隨著螺栓12的緊固上側接頭11轉動,不容易得到主框架部件1和副框架部件2的在吊掛部9上面的直角度,另外,由於地震等的衝擊力,主框架部件1和副框架部件2的直角度容易破壞。
本發明是鑑於上述問題而作出的,其第1目的在於提供一種能容易地以直角度將主框架部件1和副框架部件2連接起來的淨化間用天花板構造。
第2目的在於提供一種以高精度將主框架部件1和副框架部件2連接起來的淨化間用天花板構造。
為了實現上述目的,本發明採取以下技術方案所記載的淨化間用天花板構造,以預定間隔平行地配置著若干個長條狀主框架部件,在該主框架部件之間配置著若干副框架部件,構成為具有若干過濾器安裝開口部的格子狀過濾器安裝部件,在形成上述過濾器安裝開口部的主框架部件和副框架部件的上面,通過密封部件載置著風扇過濾器單元;其特徵在於,上述主框架部件和配置在該主框架部件兩側的副框架部件,從上側收容在框架部件收容部內,該框架部件收容部形成在由具有彈性的樹脂做成的十字槽狀下側接頭的突出部上,形成在下側接頭的框架收容部上端的接合突起,與形成在主框架部件和副框架部件側面的接合槽接合,通過接合突起使主框架部件和副框架部件的底面與下側接頭的底面密接。
所述的淨化間用天花板構造,是在所述的淨化間用天花板構造中,其特徵在於,上述下側接頭的框架部件收容部的內面粘接在主框架部件和副框架部件的側面。
所述的淨化間用天花板構造,是在所述的淨化間用天花板構造中,其特徵在於,上述下側接頭由聚碳酸酯做成。
所述的淨化間用天花板構造,是在所述的淨化間用天花板構造中,其特徵在於,在上述主框架部件和副框架部件的上面,向上方突出地形成吊掛部,主框架部件和配置在該主框架部件兩側的副框架部件,在該吊掛部的上面藉助於金屬做成的十字狀上側接頭連接。
所述的淨化間用天花板構造,是在所述的淨化間用天花板構造中,其特徵在於,在上述十字狀上側接頭的各突出部上形成嵌合凸部,該嵌合凸部與形成在吊掛部上面的溝槽部嵌合。
所述的淨化間用天花板構造,以預定間隔平行地配置著若干個長條狀主框架部件,在該主框架部件之間配置著若干副框架部件,構成為具有若干過濾器安裝開口部的格子狀過濾器安裝部件,在形成上述過濾器安裝開口部的主框架部件和副框架部件的上面,通過密封部件載置著風扇過濾器單元,在主框架部件和副框架部件的上面,向上方突出地形成吊掛部,主框架部件和配置在該主框架部件兩側的副框架部件,在該吊掛部的上面藉助於金屬做成的十字狀上側接頭連接。其特徵在於,在上述十字狀上側接頭的各突出部上形成嵌合凸部,該嵌合凸部與形成在吊掛部上面的溝槽部嵌合。
所述的淨化間用天花板構造,是在所述的淨化間用天花板構造中,其特徵在於,在上述上側接頭的中央,形成向上方突出的突出部。
所述的淨化間用天花板構造中,主框架部件和配置在該主框架部件兩側的副框架部件,從上側收容在框架部件收容部內,該框架部件收容部形成在由具有彈性的樹脂做成的十字槽狀下側接頭的中突出部上,形成在下側接頭的框架收容部上端的接合突起,與形成在主框架部件和副框架部件側面的接合槽接合,通過接合突起使主框架部件和副框架部件的底面與下側接頭的底面密接。
所述的淨化間用天花板構造中,上述下側接頭的框架部件收容部的內面粘接在主框架部件和副框架部件的側面。
所述的淨化間用天花板構造中,上述下側接頭由高強度聚碳酸酯做成。
所述的淨化間用天花板構造中,主框架部件和配置在該框架部件兩側的副框架部件,在吊掛部的上面,藉助於金屬做成的十字狀上側接頭連接,主框架部件和副框架部件在其上下由上側接頭和下側接頭連接。
所述的淨化間用天花板構造中,在十字狀上側接頭的各突出部上形成嵌合凸部,該嵌合凸部與形成在吊掛部上面的溝槽部嵌合。
所述的淨化間用天花板構造中,在十字狀上側接頭的各突出部上形成嵌合凸部,該嵌合凸部與形成在吊掛部上面的溝槽部嵌合,主框架部件與副框架部件以直角連接。
所述的淨化間用天花板構造中,在上側接頭的中央,形成向上方突出的突出部,該突出部提高上側接頭的剛性。
以下參照附圖,詳細說明
具體實施例方式圖1是詳細表示圖3要部的斷面圖。
圖2是詳細表示圖3要部的立體圖。
圖3是表示本發明一實施例淨化間用天花板構造的俯視圖。
圖4是詳細表示圖3要部的斷面圖。
圖5是表示圖1中上側接頭的俯視圖。
圖6是表示圖5中上側接頭的側面圖。
圖7是表示圖1中下側接頭的立體圖。
圖8是表示圖7中下側接頭的俯視圖。
圖9是表示圖7中下側接頭的側面圖。
圖10是表示形成在圖7中下側接頭挾持部上的接合突起的說明圖。
圖11是表示將圖7中的下側接頭安裝在主框架部件上狀態的立體圖。
圖12是表示將圖9中的下側接頭安裝在主框架部件上狀態的說明圖。
圖13是表示現有淨化間用天花板構造的俯視圖。
圖14是表示現有淨化間用天花板構造要部的斷面圖。
下面,參照附圖詳細說明本發明的實施例。
圖1和圖2表示圖3的要部,圖3表示本發明淨化間用天花板構造的個一實施例。
圖3中,標號2 1表示以預定間隔平行配置著的若干個長條狀主框架部件。
在該主框架部件21之間,配置著若干個副框架部件23,構成為具有若干個過濾器安裝開口部25的格子狀過濾器安裝部件27。
在形成過濾器安裝開口部25的主框架部件21和副框架部件23的上面即密封面29上,如圖4所示地,通過密封墊等的密封部件37載置著將風扇31和過濾器33單元化了的風扇過濾器單元(FFU)35。
在主框架部件21和副框架部件23上,向上方突出地形成吊掛部39,該吊掛部39通過吊掛螺栓41吊掛在圖未示的屋梁上。
本實施例中,主框架部件21和副框架部件23是用鋁擠壓成形的,其斷面形狀相同。
如圖1和圖2所示,主框架部件21和副框架部件23具有矩形斷面的本體部41和從該本體部41向上方突出的吊掛部39。
在本體部41側面的上部,沿著長度方向形成接合溝槽43。該接合溝槽43的下側面向著底面側往下方傾斜。
在本體部41的底面中央,沿著長度方向形成凹槽45。在吊掛部39的上面,沿著長度方向形成溝槽部49,該溝槽部49在入口開口的兩側形成突出部47。
本實施例中,主框架部件21和配置在該主框架部件21兩側的副框架部件23,藉助上側接頭51和下側接頭53連接。
上側接頭51如圖5和圖6所示,呈十字形狀,由碳素鋼等金屬做成。
在十字形上側接頭51的各突出部55的前端,例如通過衝壓加工形成嵌合凸部57。
該嵌合凸部57與形成在主框架部件21和副框架部件23的吊掛部39上面的溝槽部49嵌合。
在上側接頭51的中央,形成向上方突出的長溝槽狀突出部59,用於加強上側接頭51。
在上側接頭51的各突出部55上,形成螺栓孔61。
如圖1所示,將螺栓63穿過上側接頭51的螺栓孔61,將螺栓63螺接在6角螺母65上,這樣,上側接頭51便固定在主框架部件21和副框架部件23上。上述6角螺母65配置在形成於主框架部件21和副框架部件23的吊掛部39上面的溝槽部49內。
如圖7、圖8和圖9所示,下側接頭53形成為十字槽狀。
該下側接頭53用有彈性的樹脂、例如強化聚碳酸酯做成。
在下側接頭53的各突出部67上,形成有收容主框部件21或副框架部件23的框架部件收容部69。
該框架部件收容部69由十字形底面71的各突出部67a和從該各突出部兩側向上方平行地突出的一對挾持部73構成。
在各挾持部73的上端,形成接合突起75,該接合突起75與形成在主框架部件21和副框架部件23側面的接合溝槽43接合。
該接合突起75如圖10所示,具有從挾持部73上端向內側直角地突出的突部77和形成在該突部77下面的半圓部79。
在下側接頭53的中央線上,形成向內側突出的突狀部81,該突狀部81與形成在主框架部件21和副框架部件23本體部底面的凹槽45嵌合。
上述淨化間用天花板構造中,如圖12所示,主框架部件21和配置在該主框架部件21兩側的副框架部件23(圖12中只表示了主框架部件21),收容在框架部件收容部69內,該框架部件收容部形成在由有彈性樹脂做成的十字槽狀下側接頭53的各突出部上。如圖1所示,形成在下側接頭53的框架收容部69上端的接合突起75,與形成在主框架部件21和副框架部件23側面的接合槽43接合,接合突起75使主框架部件21和副框架部件23的底面與下側接頭53的底面71密接。
在該狀態,如圖1所示地,將螺栓63穿過上側接頭51的螺栓孔61,將螺栓63螺接在6角螺母65上,這樣,上側接頭51便固定在主框架部件21和副框架部件23上。上述6角螺母65配置在形成於主框架部件21和副框架部件23的吊掛部39上面的溝槽部49內。
在上述構造的淨化間用天花板構造中,主框架部件21和配置在該主框架部件21兩側的副框架部件23,收容在框架部件收容部69內,該框架部件收容部69形成在由有彈性樹脂做成的十字槽狀下側接頭53的各突出部67上。形成在下側接頭53的框架收容部69上端的接合突起75,與形成在主框架部件21和副框架部件23側面的接合槽43接合,接合突起75使主框架部件21和副框架部件23的底面與下側接頭53的底面71密接,因此,能用高精度容易地將主框架部件21與副框架部件23連接起來。
即,預先製造下側接頭53,使得形成在十字槽狀下側接頭53的各突出部67上的框架部件收容部69的直角度、以及各框架部件收容部69的底面71的同一平面度保持在預定的容許誤差內,這樣,可容易地得到主框架部件21和副框架部件23的直角度,以及配置著密封部件的主框架部件21和副框架部件23的密封面29的同一平面度。
因此,在建築淨化間時,可以減少為得到主框架部件21和副框架部件23的直角度而化費的工作量,並且,可以減少因地震等的衝擊力對直角度和同一平面度的破壞,可減少氣密性的破壞。
上述淨化間用天花板構造中,由於下側接頭53的框架部件收容部69的內面粘接在主框架部件21和副框架部件23的側面,所以,可更牢固地將主框架部件21和副框架部件23連接起來,可提高氣密性。
另外,如圖12所示,由於接合突起75的隔撐作用,框架部件收容部69的一對挾持部73以向外張開的狀態與主框架部件21和副框架部件23接合,這樣不用粘接劑粘接,可避免將主框架部件21和副框架部件23弄髒。
上述淨化間用天花板構造中,由於下側接頭53用聚碳酸酯做成,可以提高下側接頭53的剛性,並且,可以使形成在下側接頭53的框架部件收容部69上端的接合突起75充分地彈性變形。
上述淨化間用天花板構造中,由於主框架部件21和配置在該主框架部件21兩側的副框架部件23在吊掛部39的上面,藉助於金屬做成的十字狀上側接頭51連接,所以,主框架部件21和副框架部件23在其上下由上側接頭51和下側接頭53連接,可提高主框架部件21和副框架部件23的連接強度,尤其能提高經受地震等的結構強度。
上述淨化間用天花板構造中,由於在十字形上側接頭51的各突出部55上形成嵌合凸部57,該嵌合凸部57與形成在吊掛部39上面的溝槽部49嵌合,所以,能容易地確保主框架部件21和副框架部件23的直角度。
即,如果不形成嵌合凸部57,則用螺栓63將上側接頭51固定到主框架部件21和副框架部件23上時,隨著螺栓63的緊固,上側接頭51轉動,這樣,不容易得到主框架部件21和副框架部件23的吊掛部39上面的直角度。而本實施例中,由於在十字形上側接頭51的各突出部55上形成嵌合凸部57,該嵌合凸部57與形成在吊掛部39上面的溝槽部49嵌合,所以,能容易地確保主框架部件21和副框架部件23的直角度。
所記載的淨化間用天花板構造中,主框架部件和配置在該主框架部件兩側的副框架部件,從上側收容在框架部件收容部內,該框架部件收容部形成在由具有彈性的樹脂做成的十字槽狀下側接頭的各突出部上,形成在下側接頭的框架收容部上端的接合突起,與形成在主框架部件和副框架部件側面的接合槽接合,通過接合突起使主框架部件和副框架部件的底面與下側接頭的底面密接,所以,能用高精度將主框架部件與副框架部件連接起來。
即,預先製造下側接頭,使得形成在十字槽狀下側接頭的各突出部上的框架部件收容部的直角度、以及各框架部件收容部的底面的同一平面度保持在預定的容許誤差內,這樣,可容易地得到主框架部件和副框架部件的直角度,以及配置著密封部件的主框架部件和副框架部件的密封面的同一平面度。
所述的淨化間用天花板構造中,由於下側接頭的框架部件收容部的內面粘接在主框架部件和副框架部件的側面,所以,能將主框架部件和副框架部件更牢固地連接,更提高氣密性。
所述的淨化間用天花板構造中,由於下側接頭由聚碳酸酯做成,所以,可以提高下側接頭的剛性,並且,可以使形成在下側接頭的框架部件收容部上端的接合突起充分地彈性變形。
所述的淨化間用天花板構造中,由於主框架部件和配置在該主框架部件兩側的副框架部件,在吊掛部的上面藉助於金屬做成的十字狀上側接頭連接,所以,主框架部件和副框架部件在上下由上側接頭和下側接頭連接,可提高主框架部件與副框架部件的連接強度。
所述的淨化間用天花板構造中,由於在上述十字狀上側接頭的各突出部上形成嵌合凸部,該嵌合凸部與形成在吊掛部上面的溝槽部嵌合,所以,可容易地得到主框架部件和副框架部件的直角度。
所述的淨化間用天花板構造中,由於在上述十字狀上側接頭的各突出部上形成嵌合凸部,該嵌合凸部與形成在吊掛部上面的溝槽部嵌合,所以,預先製造上側接頭,使得形成在十字槽狀上側接頭的各突出部上的嵌合凸部的直角度保持在預定的容許誤差內,這樣,可容易地以高精度直角度將主框架部件和副框架部件連接起來。
所述的淨化間用天花板構造中,由於在上述上側接頭的中央,形成向上方突出的突出部,所以,該突出部形成為加強用的肋,可提高上側接頭的剛性。
權利要求
1.淨化間用天花板構造,其以預定間隔平行地配置著若干個長條狀主框架部件,在該主框架部件之間配置著若干副框架部件,構成為具有若干過濾器安裝開口部的格子狀過濾器安裝部件,在形成上述過濾器安裝開口部的主框架部件和副框架部件的上面,通過密封部件載置著風扇過濾器單元;其特徵在於,上述主框架部件和配置在該主框架部件兩側的副框架部件,從上側收容在框架部件收容部內,該框架部件收容部形成在由具有彈性的樹脂做成的十字槽狀下側接頭的突出部上,形成在下側接頭的框架收容部上端的接合突起,與形成在主框架部件和副框架部件側面的接合槽接合,由接合突起使主框架部件和副框架部件的底面與下側接頭的底面密接。
2.如權利要求1所述的淨化間用天花板構造,其特徵在於,上述下側接頭的框架部件收容部的內面粘接在主框架部件和副框架部件的側面。
3.如權利要求1或2所述的淨化間用天花板構造,其特徵在於,上述下側接頭由聚碳酸酯做成。
4.如權利要求1至3中任一項所述的淨化間用天花板構造,其特徵在於,在上述主框架部件和副框架部件的上面,向上方突出地形成吊掛部,主框架部件和配置在該主框架部件兩側的副框架部件,在該吊掛部的上面藉助於金屬做成的十字狀上側接頭連接。
5.如權利要求4所述的淨化間用天花板構造,其特徵在於,在上述十字狀上側接頭的各突出部上形成嵌合凸部,該嵌合凸部與形成在吊掛部上面的溝槽部嵌合。
6.淨化間用天花板構造,以預定間隔平行地配置著若干個長條狀主框架部件,在該主框架部件之間配置著若干副框架部件,構成為具有若干過濾器安裝開口部的格子狀過濾器安裝部件,在形成上述過濾器安裝開口部的主框架部件和副框架部件的上面,通過密封部件載置著風扇過濾器單元,在主框架部件和副框架部件的上面,向上方突出地形成吊掛部,主框架部件和配置在該主框架部件兩側的副框架部件,在該吊掛部的上面藉助於金屬做成的十字狀上側接頭連接;其特徵在於,在上述十字狀上側接頭的各突出部上形成嵌合凸部,該嵌合凸部與形成在吊掛部上面的溝槽部嵌合。
7.如權利要求6所述的淨化間用天花板構造,其特徵在於,在上述上側接頭的中央,形成向上方突出的突出部。
全文摘要
本發明公開一種淨化間用天花板構造,先製造下側接頭,使形成在十字槽狀下側接頭的各突出部上的框架部件收容部的直角度、及各框架部件收容部的底面的同一平面度保持在預定的容許誤差內,易得到主框架部件和副框架部件的直角度,及配置著密封部件的主框架部件和副框架部件的密封面的同一平面度,在十字狀上側接頭的各突出部上形成嵌合凸部,該嵌合凸部與形成在吊掛部上面的溝槽部嵌合,易於以直角度將主框架部件和副框架部件連接起來。
文檔編號E04B9/22GK1216331SQ9810042
公開日1999年5月12日 申請日期1998年2月17日 優先權日1997年11月4日
發明者山形允和 申請人:三機工業株式會社

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