光罩修補液的製作方法

2023-06-21 17:16:56 1

專利名稱：光罩修補液的製作方法
技術領域：
本發明涉及光罩修補技術，尤其涉及一種用於填補光罩表面的針孔空洞 的修補液。
背景技術：
隨著半導體技術的飛速發展，光罩已成為IC、 TFT、 HDI製造中的重要
器具，在光罩的需求量越來越大的同時，對光罩的精度和各項性能指標的要 求也越來越高。特別是在半導體制方面，隨著對半導體精度的要求從微米量 級提升到納米量級，光罩的精度要求也越來越重要，光罩精度提升的主要表 徵是線條變小，如何使線寬儘可能縮小，是目前光罩製造行業面臨的一個嚴 峻挑戰。
光罩的製作過程如下
在蘇打玻璃或石英玻璃基材表面上塗覆一層鉻(Cr)層形成遮光層； 在鉻層上面加塗覆一層氧化鉻層；
在氧化鉻層上面塗覆一層感光膠，並使用軟體控制曝光裝置對感光膠進 行電子束曝光或鐳射曝光；
使用化學藥液將部分鉻層刻蝕掉，從而形成圖案，其表面保留的鉻層即 為圖案遮光區。
上述製作過程中，在玻璃表面塗覆鉻層時，環境中微小的灰塵和顆粒掉 落在塗覆表面；或者使用化學藥液蝕刻的過程中，都可能導致鉻層表面遮光 層出現針孔空洞。這種針孔空洞的產生，會造成線條的缺失，導致光罩報廢。
為了減少光罩的報廢，便需要對出現針孔空洞的光罩進行修補。現有技 術中，對有針孔空洞的光罩採用的修補方法如下將主要以樹脂為原料的修 補材質溶於光罩的針孔空洞處後，使用不同加熱裝置對其進行加溫加熱處理， 使樹脂固化在針孔空洞的表面，達到修復的功能。
由於用戶在使用光罩的過程中，需要以光罩做為母版，進行多次爆光， 產生與光罩一樣的圖案產品。而在爆光過程中，光罩與成像產品上的感光膠
有接觸，若此時光罩表面存在汙染物，將直接影響爆光質量，因此，在曝光 前需要對光罩進行清洗，而目前對光罩的清洗過程採用酸鹼方式進行，由於 酸鹼有很強的腐蝕性，而現有技術中作為修補材質的樹脂很容易被分解，因 此，經過清洗後，光罩表面的修補材質會分解脫落，修補好的缺陷將再次爆 露出來，將直接導致光罩報廢；並且，被分解後的修補材質殘留在光罩表面， 將給後期爆光造成嚴重的品質影響；如果每次清洗過後都進行再次修補，則 會延長光罩製作時間，降低效率。

發明內容
本發明所要解決的技術問題是提供一種光罩修補液，該修補液能夠耐 丙酮、酸、鹼等化學物質的腐蝕，保證修補的可靠性，消除品質隱患，節約時間。
為解決上述技術問題，本發明採用如下技術方案
一種光罩修補液，該修補液由金溶液和甲苯混合配比而成，且金溶液 甲苯的配比比例配比的質量比例在1: 0.23-0.5 (質量)之間。
本發明的有益效果是
本發明的實施例通過採用以金溶液和甲苯混合配比的材料為修補材質， 這種修補材質在50(TC左右的溫度燃燒時會固化，在光罩表面缺陷處殘留能與 光罩表面的鉻層進行良好接合的金屬皮，從而使修補點的可靠性得到了提升， 保證了使用效率，提升了修補質量，不受丙酮、酸、鹼等化學物質的影響， 消除了品質隱患，延長了光罩的使用壽命。
具體實施例方式
本發明的實施例提供的修補液主要由金溶液和甲苯混合配比而成，且金 溶液甲苯的配比比例在1: 0.23-0.5 (質量)之間，所述金溶液的成分包括有金、樹脂、苯類溶劑，其中，溶液中金的質量含量為11%-15% (質量)、樹 脂含量為50%-60% (質量)，笨類溶劑含量為25%-39% (質量)。
本發明與現有技術的修補材質相比，具有明顯的優點和有益效果，現有 技術的修補材質碰到丙酮、酸、鹼後就會脫落，因而帶來了很大的品質風險， 甚至可能造成批量報廢；實施本發明，修補液在50(TC左右的溫度下燃燒固化 後，在缺陷表面殘留金屬皮，而該金屬皮能夠與光罩表面的絡層很好地接合，不受丙酮、酸、鹼等化學物質的影響，使修補的可靠性得到了提升，保證了 使用效率，延長了光罩的使用壽命。
實施例一
修補液配比的比例為l: 0.23，其效果如下
a) 在300g壓力下，用棉籤沾丙酮擦拭受修補表面，擦拭次數大於2000次，
沒有脫落現象；
b) 在溫度為6(TC條件下，在針孔缺陷修補處，滿足濃度為98%的濃硫酸 液浸泡24小時，沒有脫落現象；
c) 在溫度為6(TC條件下，在針孔缺陷修補處，滿足濃度為3。/。-10。/。的NaOH 溶液浸泡24小時，沒有脫落現象；
d) 在溫度為6(TC條件下，用1800W,40KHZ的超聲清洗3小時，沒有脫落 現象。
實施例二
修補液配比的比例為l: 0.5，其效果如下；
a) 在300g壓力下，用棉籤沾丙酮擦拭受修補表面，擦拭次數大於2000次， 沒有脫落現象；
b) 在溫度為60'C條件下，在針孔缺陷修補處，滿足濃度為98%的濃硫酸 液浸泡20小時，沒有脫落現象；
c) 在溫度為6(TC條件下，在針孔缺陷修補處，滿足濃度為3M-10。/。的NaOH 溶液浸泡20小時，沒有脫落現象；
d) 在溫度為6(TC條件下，用1800W,40KHZ的超聲清洗3小時，沒有脫落 現象。
實施例三
修補液配比的比例為l: 0.35，其效果如下；
a) 在300g壓力下，用棉籤沾丙酮擦拭受修補表面，擦拭次數大於2500次，
沒有脫落現象；
b) 在溫度為6(TC條件下，在針孔缺陷修補處，滿足濃度為98%的濃硫酸 液浸泡30小時，沒有脫落現象；
c) 在溫度為6(TC條件下，在針孔缺陷修補處，滿足濃度為3y。-10。/。的NaOH 溶液浸泡30小時，沒有脫落現象；d)在溫度為60。C條件下，用1800W，40KHZ的超聲清洗4小時，沒有脫落 現象。
以上所述是本發明的優選實施方式，應當指出，對於本技術領域的普通 技術人員來說，在不脫離本發明原理的前提下，還可以做出若干改進和潤飾， 這些改進和潤飾也視為本發明的保護範圍。
權利要求
1、一種光罩修補液，其特徵在於該修補液由金溶液和甲苯混合配比而成，且金溶液甲苯的配比比例在1∶0.23-0.5(質量)之間。
2、 如權利要求l所述的光罩修補液，其特徵在於，所述金溶液的成分包 括有金、樹脂、苯類溶劑，其中，所述金溶液中金含量為11%-15% (質量)。
3、 如權利要求2所述的光罩修補液，其特徵在於，所述金溶液中樹脂含 量為50%-60% (質量)；苯類溶劑含量為25%-39% (質量)。
4、 如權利要求1-3中任一項所述的光罩修補液，其特徵在於，所述配比 比例為1: 0.23 (質量)。
5、 如權利要求1-3中任一項所述的光罩修補液，其特徵在於，所述配比 比例為1: 0.5 (質量)。
6、 如權利要求1-3中任一項所述的光罩修補液，其特徵在於，所述配比 比例為1: 0.35 (質量)。
全文摘要
本發明公開一種光罩修補液，該修補液由金溶液和甲苯混合配比而成，且金溶液∶甲苯的配比比例配比比例在1∶0.23-0.5(質量)之間。本發明使修補點的可靠性得到了提升，保證了使用效率，提升了修補質量，不受丙酮、酸、鹼等化學物質的影響，消除了品質隱患，延長了光罩的使用壽命。
文檔編號G03F1/72GK101344717SQ200810141920
公開日2009年1月14日 申請日期2008年8月15日 優先權日2008年8月15日
發明者杜武兵, 偉 林, 王志兵 申請人:深圳市路維電子有限公司