各向異性磁鐵粉末的製造方法

2023-06-23 18:56:51 1

專利名稱：各向異性磁鐵粉末的製造方法
技術領域：
本發明提出了一種關於獲得磁特性非常出色的各向異性磁鐵粉末的各向異性磁鐵粉末的製造方法。
背景技術：
磁鐵被廣泛用於各種電動機等我們周圍的許許多多的機器製品之中。最近，由於對產品輕薄短小化和高效率化等的要求越來越高，要求其使用的永久磁鐵具有更強的磁特性。根據上述要求，長期以來，對於由稀土族元素(R)和硼(B)、以及鐵(Fe)組成的RFeB系磁鐵(稀土族磁鐵)的開發進行了廣泛的研究。
作為稀土族磁鐵的製造方法，有下述專利文獻1、2中所記載了的作為一種速凍凝固法的熔融離心鑄造法。此外，還有下述專利文獻3、4中所記載了的，以氫化工序和脫氫工序的兩工序為基本構成、產生氫化·不均化反應的HDDR法(hydrogenation-disproportion-decomposition-recombination)。但是，上述的這些以前製造方法，都只能得到磁特性較低的磁鐵粉末。並且，上述的這些以前的各向異性磁鐵粉末的製造方法，都是難以實現穩定高質量地批量生產各向異性磁鐵粉末的製造方法。
與上述的以前各製造方法不一樣，本發明者已經開發出了能夠獲得具有非常出色的磁特性的各向異性磁鐵粉末的製造方法。該製造方法，得到的磁鐵粉末的特性是異質的，並且與上述HDDR法的工序內容等有很大的不同，在此為了區別於上述HDDR法而稱為d-HDDR法。上述d-HDDR法的特點是，複數設置了具有不同溫度和氫壓力的工序，可以緩慢地控制RFeB系合金和氫的反應速度，從而可以製造得到均質、而且磁特性非常出色的各向異性磁鐵粉末。
具體的說，上述d-HDDR法主要是由在室溫狀態下使RFeB系合金充分吸收氫的低溫氫化工序、在低氫壓力下使之產生氫化·不均化反應的高溫氫化工序、以及在儘可能高的氫壓力下使之緩慢地分解氫的第1排氣工序和由此後的從材料中除去氫的第2排氣工序的4工序所組成。各工序的詳細內容，記載公示於下述專利文獻5、6和非專利文獻1等文獻資料中。
專利文獻1美國專利4851058號公報
專利文獻2美國專利5411608號公報專利文獻3特平方2-4901號公報專利文獻4特平方11-31610號公報專利文獻5專利3250551號公報專利文獻6特開2002-93610號公報非專利文獻1日本應用磁學會雜誌，24(2000)，p.407發明內容雖然根據上述d-HDDR法，可以得到具有出色磁特性的各向異性磁鐵粉末，但是，對於汽車的驅動電動機等使用的磁鐵來說，還要求更高的磁特性能。同時，隨著生產量增加，RFeB系合金與氫的反應時候產生的發熱量或者吸熱量也增加，處理環境的溫度很容易在局部發生變化。為此，以前的製造方法，不能有效地抑上述的溫度變化，從而不能夠保證穩定高質量地製造生產高磁特性的各向異性磁鐵粉末。
鑑於上述對情況，本發明的目的是，克服以前的製造方法的不完善之處，提供一種可以製造獲得具有出色磁特性的各向異性磁鐵粉末的製造方法。同時，該製造方法能夠保證穩定高質量地製造生產具有高磁特性的各向異性磁鐵粉末。
本發明者，為了解決上述的課題進行了銳意的研究，在經過無數次試行失敗的基礎上，反覆重疊了各種系統的實驗的結果，重新評估了以前的高溫氫化處理工序和控制排氣工序的工序間隔，在高溫氫化處理工序後，追加實施增加了溫度或者氫分壓使組織穩定化的組織穩定化工序(在此所述的增加了溫度或者氫分壓是指組織穩定化工序中的處理溫度和氫分壓中的至少一方要高於高溫氫化處理工序)，其後再進行以前的控制排氣工序，從而發明成功了可以製造得到了磁特性非常出色各向異性磁鐵粉末的新的製造方法。利用本發明的製造方法所得到的各向異性磁鐵粉末其磁特性凌駕於以前的各製造方法，並且本發明者還確認了上述本發明的製造方法非常適合於批量生產高質量的各向異性磁鐵粉末。
上述本發明的各向異性磁鐵粉末的製造方法包括了下述的製造工序將含有釔(Y)的稀土族元素(以下，簡稱為「R」)和硼(B)、以及鐵(Fe)為主要成分的RFeB系合金，保持在氫分壓為10～100kPa的第1處理壓力(以下，簡稱為「P1」)和溫度為953～1133K第1處理溫度(以下，簡稱為「T1」)的環境狀態中實施處理的高溫氫化工序；將經過高溫氫化工序處理後的RFeB系合金，置於氫分壓為10kPa的第2處理壓力(以下，簡稱為「P2」)和溫度為1033～1213K的第2處理溫度(以下，簡稱為「T2」)的環境狀態中，並且在滿足T2＞T1或者P2＞P1的條件下進行處理的組織穩定化工序；將經過組織穩定化工序處理後的RFeB系合金，保持在氫分壓為0.1～10kPa的第3處理壓力(以下，簡稱為「P3」)和溫度為1033～1213K的第3處理溫度(以下，簡稱為「T3」)的環境狀態中進行處理的控制排氣工序；從經過控制排氣工序處理後的RFeB系合金餘中除去殘留了的氫(H)的強制排氣工序。
本發明的製造方法與以前的d-HDDR法的最大差別在於，本發明的各向異性磁鐵粉末的製造方法在高溫氫化工序和控制排氣工序的兩工序間新設置了組織穩定化工序。並且，上述組織穩定化工序的最大特點是，對高溫氫化處理工序來說，增加了處理溫度或者氫分壓(即上述組織穩定化工序中的處理溫度和氫分壓中的至少一方要高於高溫氫化處理工序)。
這樣，在經過高溫氫化工序處理後的RFeB系合金，由於施加了增加處理溫度或氫分壓(即處理溫度和氫分壓中至少一方高於上述高溫氫化處理工序)之後，再進行控制排氣工序處理，可以得到凌駕於以前各種製造方法的出色磁特性的磁鐵粉末。並且，很明顯，根據上述本發明的製造方法，可以批量穩定地生產高磁特性的各向異性磁鐵粉末。
用本發明的製造方法可以製造得到具有上述出色效果的各向異性磁鐵粉末，其原理可以從下面幾個方面來考慮。
以前的d-HDDR法，基本地講，有下述的4個步驟①在低溫氫化工序中，為了使下面緊接著的工序(高溫氫化工序)的氫化·不均化反應緩慢地進行，在氫化·不均化反應以下的溫度領域施加氫壓使氫充分地產生固溶。
②其次，在高溫氫化工序中，為了產生氫化·不均化反應，在設定的溫度和設定壓力下一邊吸收氫一邊進行氫化·不均化反應。
③此後，在控制排氣工序中，為了產生再結合反應，用與高溫氫化工序同樣的溫度，在比較高的設定壓力的環境下在緩慢地脫氫的同時緩慢地進行上述氫化·不均化反應。
④最後，在強制排氣工序中，為了除去殘留的氫而完成處理，儘可能緩慢地進行三相分解，即儘可能緩慢地使之再結合。
本發明者，為了開發出其磁特性超過至今為此所有磁鐵粉末的出色磁特性的磁鐵粉末的製造方法，對上述各種處理和組織的關係進行了銳意的研究，重新考證了以前的d-HDDR法。
以前的高溫氫化工序，由於儘可能的減緩氫化·不均化反應的進行速度，使氫化·不均化反應得不到充分地完成，殘存微量的2-14-1相(R2Fe14B相)和氫化分解沉澱物，從而導致應該充分發揮磁特性的特性得不到充分地發揮。得不到充分完成了的氫化·不均化反應，這樣的結果，再結合反應後，很難得到均一的結晶粒。其結果，磁鐵粉末成為混粒組織，其iHc低下，導致磁彎曲的方形性的降低，從而降低了(BH)max。
一般來講，化學反應在其反應初期的反應速度快，之後其速度將逐漸下降。所以，若不將反應保持較長的時間，其反應將得不到徹底地完成。即是，當反應越接近結束，其反應速度非常慢。單純增加高溫氫化工序的保持時間，雖然使氫化·不均化反應得到完全的完成，但是熱處理時間太長，將產生組織退化(例如，組織的粗大化等)，其結果同樣導致了磁特性的下降。
針對上述的情況，本發明者，提出了既能使氫化·不均化反應能得到徹底完全的進行，同時又不至於導致組織的粗大化的構想。如上所述，在反應速度的比較快的初期階段，儘可能使氫化·不均化反應緩慢進行，如果照此繼續下去，由於反應速度鈍化，要完成反應將需要很長的時間。為此，本發明者，提出了在反應的結束階段，想辦法提高氫化·不均化反應的反應速度構想。通過此後的事實證明了本發明構想對解決上述問題是非常有效的。
氫化·不均化反應是通過控制溫度和氫分壓雙方的獨特反應。本發明者，充分利用上述特點，研究了通過控制溫度和氫分壓，來達到提高述反應速度的方法。即是，增加處理溫度，可以增加氫化·不均化反應的驅動力，從而可以使反應很快地完成。另一方面，增加氫分壓，也可以得到與增加處理溫度一樣的效果，同樣使反應很快地完成。
根據以上所述的本發明的構想，如果在氫化·不均化反應的末期，增加氫壓力和處理溫度中的任何一方，加速氫化·不均化反應的完成是完全可行的。
本發明，在高溫氫化工序和控制排氣工序的之間，通過新追加設置組織穩定化工序，就能實現上述構想，從而解決了上述的問題。這樣一來，可以在寬廣的領域獨自決定以前的高溫氫化工序和控制排氣工序的處理溫度範圍。以前用d-HDDR法進行處理的時候，高溫氫化工序和控制排氣工序的處理溫度範圍僅為比較窄的1033～1133K。而本發明中設定的高溫氫化工序的處理溫度範圍為953～1133K，控制排氣工序的處理溫度範圍為1033～1213K，比以前的處理溫度範圍擴大了約2倍。
上述處理的結果，增加處理量，伴隨高溫氫化工序急劇的發熱和伴隨控制排氣工序急劇的吸熱，都可以可以在適當的溫度範圍內進行調節。具體地講，對於高溫氫化工序來說，選擇適當溫度範圍內中的較低的溫度；而對於控制排氣工序來說，選擇適當溫度範圍內中的較高的溫度來進行處理。這樣，擴大了各各工序的溫度處理範圍，使各工序的溫度管理也變得非常容易。
綜上所述，即使增加了處理量，對於高溫氫化工序來說，也可以在適宜的溫度領域進行氫化·不均化反應，同時，對於控制排氣工序來說，也可以在適宜的溫度領域穩定地進行再結合反應，其結果，可以在批量生產的時候，穩定地生產得到Br和iHc的雙方都很出色的高磁特性的各向異性磁鐵粉末。
圖面的簡單說明

圖1是模擬地表示了各工序的處理內容的第1工序圖。
圖2是模擬地表示了各工序的處理內容的第2工序圖。
圖3是模擬地表示了各工序的處理內容的第3工序圖。
圖4是模擬地表示了各工序的處理內容的第4工序圖。
圖5是模擬地表示了各工序的處理內容的第5工序圖。
圖6是模擬地表示了各工序的處理內容的第6工序圖。
圖7是模擬地表示了各工序的處理內容的第7工序圖。
圖8是模擬地表示了各工序的處理內容的第8工序圖。
圖9是模擬地表示了各工序的處理內容的第9工序圖。
本發明的最佳實施形態(實施形態)以下，通過實施形態對本發明進行具體地說明。
(1)RFeB系合金RFeB系合金以Y的稀土族元素(R)和B和Fe為主要成分的合金。具有代表性的RFeB系合金是以R2Fe14B為主相的冶鑄塊和粉碎了該冶鑄塊得到的粗粉末或者細微粉末。
R是含有Y的稀土族元素。不過，R可以不僅限於1種元素，可以是複數種類稀土族元素的組合，也可以是將其的一部分元素置換為其他元素而構成的物質。
上述的R，可以由(Sc)、釔(Y)、鑭簇元素組成。不過，作為磁特性出色的元素，上述的R，最好含有Y、鑭(La)、鈰(Ce)、鐠(Pr)、釹(Nd)、釤(Sm)、釓(Gd)、鋱(Tb)、鏑(Dy)、鈥(Ho)、鉺(Er)、銩(Tm)以及鑥(Lu)中至少1種以上的元素。特別是從成本及磁特性的觀點來看，上述的R最好是由Pr，Nd及Dy中的一種元素以上所組成。
此外，RFeB系合金中作為主要成分為鐵，當全體作為100原子％(at％)的時候，最為理想的是含11～16at％的R和5.5～15at％的B。如果R的含有量低於11at％，αFe相將析出，而導致磁特性下降；如果R的含有量超過16at％，R2Fe14B相將減少，同樣也導致磁特性下降。另一方面，如果B的含有量低於5.5at％，R2Fe17相析將析出，而導致磁特性下降；如果B的含有量超過15at％，R2Fe14B相將減少，同樣也導致磁特性下降。此外，多一些B(10.8at％以上)，將可以抑制作為初晶的α-Fe的析出，也就是說達到抑制導致磁特性下降的α-Fe析出目的。其結果，可以省略以前的作為提高磁特性而不可缺少的均質化熱處理工序。這樣，可以使磁鐵粉末等的製造更加低成本化。
並且，對RFeB系合金來說，最好是含有鎵(Ga)和鈮(Nb)中至少含一種元素，當然兩種元素都含有更為可喜。其中，Ga是提高各向異性磁鐵粉末的頑磁力iHC的有效元素。把RFeB系合金全體作為100at％的時候，Ga的含有量最好為0.01～2at％，其最佳含有量為0.1～0.6at％。如果Ga的含有量不足0.01at％，將得不到充分的上述Ga的效果；另一方面，Ga的含有量超越2at％，反過來將導致iHc的減少。
Nb是提高剩餘磁通密度Br的有效元素。把RFeB系合金全體作為100at％的時候，Nb的含有量最好為0.01～1at％，其最佳含有量為0.1～0.4at％。如果Nb的含有量不足0.01at％，將得不到充分的上述Nb的效果；另一方面，Nb的含有量超越1at％，將導致高溫氫化工序中的氫化·不均化反應鈍化。再者，複合加添Ga和Nb，可以達到提高各向異性磁鐵粉末的iHc和各向異性率的效果，從而可以更進一步增加各向異性磁鐵粉末的最大能源積(BH)max。
再者，RFeB系合金中最好含有適量的Co。Co可以提高各向異性磁鐵粉末的居裡點，是提高耐熱性的有效元素。把RFeB系合金全體作為100at％的時候，Co的含有量最好為0.1～20at％以內，其最佳含有量為1～6at％。如果Co的含有量太少，將得不到充分的效果；另一方面，Co是昂貴的元素，Co的含有量太大將增加生產成本。
其他方面來講，RFeB系合金中最好含有Ti、V、Zr、Ni、Cu、Al、Si、Cr、Mn、Zn、Mo、Hf、W、Ta、Sn中至少1種以上的元素。這些的元素對提高頑磁力和磁化曲線的方形性將非常有效。把RFeB系合金全體作為100at％的時候，上述各元素的含有量的總和最好在3at％以內。含有量太少沒有效果；另一方面，含有量太多，將出現析出等現象，從而導致頑磁力下降。
此外，RFeB系合金中除上述R之外，最好含有0.001～1.0at％的La。由於La存在，可以抑制各向異性磁鐵粉末和由各向異性磁鐵粉末組成的硬質磁鐵(例如，粘結磁體)的經時退化，提高耐久性。這是因為La稀土族元素是(R.E.)中氧化電位最大的元素。因此，由於La上述吸收氧的作用，對於上述的R(Nd、Dy等)來說，La將被優先氧化，其結果，抑制了含有了La的磁鐵粉末和硬質磁鐵的氧化。作為La的代用元素，雖然可以考慮使用Dy、Tb、Nd、Pr等，但是從氧化抑制效果及成本的觀點來看，La是最好的。這樣，有意圖使之含有La，RFeB系合金中的R成為了La以外的稀土族元素。
上述La的耐蝕性效果，通過超過La的不可避不純物水平的微量程度來實現。La的的不可避不純物水平未滿0.001at％的時候，La含有量的下限值為0.001at％，或者0.01at％、0.05at％、0.1at％就可以了。另一方面，如果La含有量超過1.0at％，將導致iHc的下降。因此，La含有量最好是0.01～0.7at％。當然，RFeB系合金含中也含有不可避的不純物，該組成通過Fe來平衡。
作為RFeB系合金，可以通過各種的溶解法(高頻溶解法、電弧溶解法等)溶解用鑄造法得到的冶鑄塊和冷軋鋼模法製造的原料。RFeB系合金是粉碎了冶鑄塊和冷軋件等的粉末，最好用d-HDDR進行處理均一。上述粉碎，可以用一般的氫粉碎和機械粉碎等方法。
(2)d-HDDR處理本發明的製造方法中，高溫氫化工序、組織穩定化工序、控制排氣工序、以及強制排氣工序的4工序是必需的工序。不過，這些的工序沒有必要連續進行。並且，如果在高溫氫化工序前的低溫氫化工序和控制排氣工序後具有冷卻工序的話，對於提高批量生產的生產性是最好的。同時，從提高各向異性磁鐵粉末的磁特性和提高用各向異性磁鐵粉末做成的硬質磁鐵(粘結磁體等)的耐熱性、耐蝕性等從而擴大硬質磁鐵的用途的觀點來看，最好實施熱擴散處理工序等。以下，對各各工序進行說明。
①低溫氫化工序低溫氫化工序是在高溫氫化工序前，將RFeB系合金保持在溫度873K以下(最好是723K以下)的氫環境中進行處理的工序。通過該工序，在不產生氫化·不均化反應的低溫領域，使RFeB系合金吸收充分的氫，這樣，在高溫氫化工序中，可以容易控制氫化·不均化反應的反應速度。但是，對於使RFeB系合金預先吸收的氫來說，在少量處理的時候，高溫氫化工序也可以兼顧實施。因此，本發明的製造方法，沒有把低溫氫化工序作為必需工序。當然，如果考慮處理大量的RFeB系合金，提高批量生產高磁特性的各向異性磁鐵粉末的穩定性來說，最好設置低溫氫化工序。
上述低溫氫化工序，雖然在其溫度環境下不產生氫化·不均化反應，但是，此時可以考慮下述的化學反應為主的反應將產生。
化學反應1

即是，氫僅侵入到RFeB系合金的格子間或結晶粒界面，本工序中基本上不產生相變態。
雖然根據原料合金的組成有一定的差異，但在一般情況下，在873～1033K的溫度範圍內，將開始產生氫化·不均化反應。本工序中，如果溫度設定超過873K，將使原料合金一部分產生組織變態從而造成組織的不均勻。這是造成各向異性磁鐵粉末的磁特性顯著下降的主要原因。因此，本工序將溫度設定在873K以下、最好是在723K以下。更進一步講，本工序的最佳處理溫度範圍是室溫～573K。低溫氫化工序中的氫壓力(分壓)雖說沒有特別的要求，但最好30～100kPa的範圍內。30kPa以上的氫壓力的環境下，將有助於縮短RFeB系合金吸入氫所需要的時間，在100kPa以內氫壓力的環境下，可以得到比較經濟的吸氫效果。此外，處理環境不局限於氫氣的環境，也可以是氫氣和惰性氣體混合的環境。在此，重要的是氫分壓，以下的各工序也同樣。
②高溫氫化工序高溫氫化工序是將RFeB系合金保持在氫分力為10～100kPa、溫度為953～1133K的第1處理溫度(T1)的環境條件下進行處理的工序。在本工序中，吸入了氫的RFeB系合金組織將被進行三相分解(Fe相，RH2相，Fe2B相)。在此時，可以考慮是主要產生了下述的氫化·不均化反應。
化學反應2

即是，首先，吸入了氫的RFeB系合金，被分解為Fe和R的氫化物(RH2)成為薄片層狀的組織。此時的Fe可以認為是處於過飽和地固溶了B的狀態。並且，對上述的薄片層狀組織使其僅偏向於一個方向，沿著該薄片層狀組織的偏向，Fe中過飽和的B將以正方晶的Fe2B的形式析出。
在此，如果上述反應速度太大，將不能形成偏向於一個方向的薄片層狀組織，析出的Fe2B的方位將是隨機的。這樣，將造成各向異性率下降從而導致Br的降低。因此，為了得到高磁特性的各向異性磁鐵粉末，應該儘可能降低上述反應速度。為了緩慢地進行上述反應，本工序中的氫分壓的上限抑制在100kPa以內。但是，氫分壓過小，將導致上述的反應進行困難，結果將造成大量的未變態組織的殘存，從而導致頑磁力的下降。所以，氫分壓下限定為10kPa。
此外，本工序中的處理溫度在953K以下的時候，上述反應將不能進行；另一方面，如果處理溫度超過1133K，將很難從過飽和Fe中析出Fe2B，同時，反應速度太快，很難形成上述薄片層狀組織，其結果導致磁鐵粉末的Br降低。因此，本工序設定的第1設定溫度(T1)為953～1133K，確保了上述反應的緩慢繼續地進行。關於最佳反應速度的詳細內容，請參閱前述了的專利文獻5和非專利文獻1中的記載內容。
③組織穩定化工序組織穩定化工序是在高溫氫化工序末期為加速反應速度使上述反應得到充分完全的結束，確保上述的三相分解得以實現的工序。為此，在組織穩定化工序中，適宜地選擇了處理溫度(T2)和氫分壓(P2)，形成了在高溫氫化工序末期加速反應速度的處理環境。具體地說，與高溫氫化工序中的處理溫度(T1)和氫分壓(P1)相比較，只要滿足T2＞T1或者P2＞P1的其中之一就行。組織穩定化工序的目的不是使其P2和T2高於高溫氫化工序的P1和T1，真正的目的是提高高溫氫化工序末期的反應速度。因此，只要能提高反應速度，可以設定T2＞T1和P2＜P1；也可以設定T2＜T1和P2＞P1。例如，P1為30kPa的時候，可以把P2設定為20kPa，由於P2＜P1的影響可以通過上升T2使只大於T1來抵消，在充分大的T2的情況下，也可以充分達到組織穩定化工序的目的。另一方面，例如，T1是1073K的時候，可以把T2設定為1048K，由於T2＜T1的影響可以通過上升P2使只大於P1來抵消，在充分大的P2的情況下，也可以充分達到組織穩定化工序的目的。
當然，為了順利地實現從高溫氫化工序到組織穩定化工序的過渡，從而得到質量穩定的高磁特性的磁鐵粉末，組織穩定化工序的處理環境最好是T2＞T1和P2≥P1，或者P2＞P1和T2≥T1。即是，以高溫氫化工序為基準，組織穩定化工序的處理溫度和氫分壓的至少一方，高於高溫氫化工序。在這種條件下，可以加大在高溫氫化工序中逐漸降低了的氫化·不均化反應的速度，促進氫化·不均化反應的完成。並且，組織穩定化工序中的處理也可以加速進行高溫氫化工序後殘存的2-14-1相和氫化分解析出物的氫化分解。
在此，雖說經過時間的推移，在升溫過程和升壓過程中氫化分解也有可能得以完成。但是，不管怎麼說，組織穩定化工序最好是要保持到氫化分解得到基本上完成。
如上所述，組織穩定化工序，要將前面處理工序的高溫氫化工序中殘存下來的2-14-1相和氫化分解析出物的氫化分解繼續進行。從此觀點來考慮，將氫分壓P2設定在10kPa以上，處理溫度T2設定在1033～1213K的範圍。
如果氫分壓不足10kPa，再結合將開始，其結果，將導致磁特性下降。另一方面，對於氫分壓沒有特別限制其上限。應該說，更高一些的P2，更容易得到組織穩定化工序的效果。但是，考慮到處理爐的成本和耐久性等，從實際生產的情況出發，P2上限最好設定為200kPa。
對處理溫度來說，設定為1033～1213K。在1033K以下，殘存了的2-14-1相和氫化分解析出物的氫化分解將不能繼續進行，從而導致磁特性的下降。另一方面，將處理溫度的上限定為1213K，是為了防止由於組織退化的發生而導致的磁特性的降低的現象產生。
④控制排氣工序控制排氣工序，是將經過組織穩定化工序後的RFeB系合金保持在氫分壓為0.1～10kPa的第3處理壓力(P3)，溫度為1033～1213K範圍內的第3處理溫度(T3)的環境中進行處理的工序。
本工序，從前工序的高溫氫化工序中被生成了的三相分解中的RH2中除去氫，以Fe2B為晶核，再結合成為結晶方位統一了的R2Fe14B1。在此時，可以考慮是主要產生了下述的再結合反應。
化學反應3

與上面所述的反應一樣，上述的再結合反應，最好也是儘可能地緩慢地進行。如果反應速度太快，作為晶核的Fe2B在結晶方位上產生搖晃，造成再結合了的R2Fe14B1相的各向異性率變低，從而導致磁特性下降。
為此，本工序中的第3處理壓力(P3)設定為0.1～10kPa。如果實施了氫分壓不足0.1kPa的急劇排氣，由於靠近排氣口的合金材料和遠離排氣口的合金材料的排氣速度不一樣，容易產生再化合反應速度不均勻的現象。同時，再結合反應是吸熱反應，上述的急劇排氣，會導致合金材料的各地方的溫度不均勻。上述的這些現象，均導致各向異性磁鐵粉末的磁特性降低。另一方面，如果氫分壓超過10kPa，再結合反應將得不到進行，逆組織變態的生成不充分，得不到高iHc的各向異性磁鐵粉末。
本工序中的處理溫度不足1033K的時候，上述反應將不進行；另一方面，如果處理溫度超過1213K，也將得不到所期望的再結合反應，此時結晶粒將粗大化，得不到高iHc的各向異性磁鐵粉末。為此，本工序為了使上述反應緩慢地進行，所設定的第3處理溫度(T3)為1033～1213K的溫度範圍內。關於最佳反應速度的詳細內容，請參閱前述了的專利文獻5和非專利文獻1中的相關記載內容。
⑤強制排氣工序強制排氣工序是除去經控制排氣工序處理後的RFeB系合金(RFeBHx)中殘留的的氫(殘留氫)的工序。在此時，可以考慮主要是產生了下述的反應。
化學反應4

雖說在本工序中沒有特別指定其處理溫度和真空度等，不過，與上述T3大致相同或者稍低於T3。此外，就真空度來說，最好能做到1Pa以下的真空。真空度不好，將有可能殘留氫，從而導致磁特性下降。此外，處理溫度太低，排氣將需要很長的時間；而另一方面，處理溫度太高，將導致結晶粒的粗大化。
上述的制排氣工序，沒有必要與上述控制排氣工序連續地進行。上述控制排氣工序後和本工序進行之前，可以插入冷卻合金材料的冷卻工序。通過設置的冷卻工序，可以把在控制排氣工序後得到的RFeB系合金遷移到另外的處理爐等設備中，這樣對批量生產時進行強制排氣工序等處理時非常有效。此外，根據所定的粒度粉碎RFeB系合金等的時候，設置冷卻工序也很方便。並且，如果進行後述的熱擴散處理，如果設置了冷卻工序，可以使RFeB系合金(R2Fe14B1Hx)和擴散材料的混合變得非常容易。再者，在此時的熱擴散處理工序，可以考慮兼用本發明闡述的強制排氣工序。即，可以認為熱擴散處理工序是強制排氣工序的一種形態。
冷卻工序並不是把RFeB系合金的冷卻狀態作為目的，而是僅是為了使用處理方便而已。所以，沒有必要討論冷卻溫度、冷卻方法、冷卻環境等。同時，氫化物有耐氧化性，可以在室溫的狀態下使RFeB系合金處於大氣環境中。當然，對於冷卻工序後的RFeB系合金(R2Fe14B1Hx)來說，最好再次升溫實施真空牽引等強制排氣工序。
再者，如果控制排氣工序後的RFeB系合金(R2Fe14B1Hx)中混合擴散材料之後，再實施熱擴散處理工序的時候，將強制排氣工序一併包括在後續工序中，可以提高處理效率。
(3)熱擴散處理哪怕僅是進行上述的d-HDDR的處理，也可以得到具有充分高的磁特性的各向異性磁鐵粉末。但是，如果再實施下述的熱擴散處理，還可以進一步提高各向異性磁鐵粉末的頑磁力和耐蝕性。
具體地說，上述的熱擴散處理包括，向經過控制排氣工序處理後的RFeB系合金(R2Fe14B1Hx)、或者經過強制排氣工序處理後的RFeB系合金(各向異性磁鐵粉末)中混合由Dy等所構成的擴散材料而製成混合粉末的混合工序和，加熱該混合粉末，使Dy等的擴散到混合粉末RFeB系合金表面及內部中去的熱擴散處理工序。
①擴散材料擴散材料由鏑(Dy)、鋱(Tb)、釹(Nd)、鐠(Pr)、以及鑭(La)簇元素(以下，簡稱為「R1」)中至少一種以上的元素所組成。即，擴散材料含有Dy、Tb、Nd、Pr、以及La簇元素(R1)的單體、合金、化合物、甚至包括氫化物(R1材料)的1種以上。上述的氫化物，可以是R1單體、也可以是合金、甚至可以是化合物構成的氫化物。更進一步說，可以使用上述各元素的混合物。雖然，可以不管混合工序前的擴散材料的形態，但是，從混合工序來說最終將成為粉末狀，所以擴散材料最好為粉末狀。因此，按照需要使用粉末狀的擴散材料(擴散粉末)最好，也可以使之均勻擴散到R1RFeB系合金中。
R1材料包含了3d過渡元素和4d過渡元素中的1種以上的過渡元素(以下，稱為「TM」)。在熱擴散處理工序中，與R1一起，TM均勻地擴散到RFeB系合金表面及內部。為此，可以更進一步提高頑磁力和降低永久減少磁比率。所謂3d過渡元素是指原子號碼21(Sc)～原子號碼29(Cu)的元素，所謂4d過渡元素是指原子號碼39(Y)～原子號碼47(Ag)的元素。特別是，8族的Fe，Co，Ni元素對於提高磁特性非常有效。此外，擴散材料和R1材料的粉末、TM的單體、合金、化合物的粉末為最好預先分別準備好，之後再將它們混合。再者，本說明書中所述的化合物中，包含了金屬間的化合物。同時，氫化物中，也包含了以固溶狀態存在的氫。
上述的擴散材料包含了鏑粉末、鏑鈷粉末、鏑鐵粉末、鏑氫化物粉末、鏑鈷氫化物粉末，鏑鐵氫化物粉末等等。特別是，當R1為Dy的時候，可以提高各向異性磁鐵粉末的頑磁力。當TM是Co的時候，可以提高各向異性磁鐵粉末的居裡點。並且，如果TM中包含了Fe，將可以實現低成本化。
特別是，擴散材料的平均粒直徑為0.1～500μm的擴散粉末的時候，非常利於R1擴散。平均粒直徑為0.1μm以下的擴散粉末製造上很困難；另一方面，如果平均粒直徑大於500μm，擴散粉末與RFeB系合金的均一混合將變成很困難。一般情況下，擴散粉末平均粒直徑最好是1～50μm。
上述的擴散粉末，將R1材料通過氫粉碎或者乾式、溼式的機械粉碎(微動粉碎、圓盤粉碎、球粉碎、振動粉碎、以及噴射式粉碎等)等方法來得到。對R1材料來說，氫粉碎的效率高。從這個觀點來看，作為擴散粉末使用氫化物粉末最好。更進一步講，氫粉碎後，再進行乾式或溼式的機械粉碎等，其效果更佳。
②熱擴散處理前的RFeB系合金對將要混合擴散材料的RFeB系合金來說，使用經過控制排氣工序處理後或者經過強制排氣工序處理後得到的RFeB系合金的效率較高，從提高向異性磁鐵粉末的磁特性的觀點來看也是比較理想的。使用經過控制排氣工序處理後的RFeB系合金(R2Fe14B1Hx)的時候，可以在熱擴散處理工序前進行脫氫處理工序，也可以兼顧強制排氣工序而實施熱擴散處理工序。即，上述混合工序是將上述的控制排氣工序後得到的RFeB系合金的氫化物粉末和包含了由R1的氫化物粉末構成的擴散粉末進行混合得到混合粉末的工序，而上述熱擴散處理工序，也可以說是兼顧了從該混合粉末中除去殘留氫的上述強制排氣工序的工序。
對於RFeB系合金的形態，雖說沒有特別的要求，但是，考慮到擴散材料的混合性、擴散性等因素，其平均粒度最好在200μm以下。
③混合工序混合工序是將上述RFeB系合金和擴散材料進行混合得到混合粉末的工序。混合工序中，可以使用流動式混合機、搖臂混合機、球磨機等。對於熱擴散處理工序中使用的處理爐來說，最好是附帶有混合機能的迴轉處理爐，或者迴轉蒸餾處理爐。為了使RFeB系合金和擴散材料的均勻混合，最好對各原材料進行適當的粉碎和分級。由於進行了分級，比較容易形成粘結磁鐵等。同時，混合工序最好在防止氧化的環境(例如，惰性氣體或真空)狀態中進行，這樣可以抑制各向異性磁鐵粉末的氧化。
對於混合的擴散材料量的多少來說，把混合粉末全體作為100質量％的時候，以0.1～3.0質量％的比例配製擴散材料較為合適。適當地調整擴散材料的混合比例，可以得到既能發揮出優良的頑磁力、剩餘磁通密度、以及方形性等特性的高磁特性，又具有出色的永久減少磁比率的高性能的各向異性磁鐵粉末。
④脫氫工序脫氫工序是除去殘留在混合粉末中的氫的工序。在此，RFeB系合金和擴散材料中只要有一個是氫化物的時候，由於含有氫，在熱擴散處理工序前需要實施脫氫工序，或者是需要兼顧了熱擴散處理工序的脫氫工序。
如果對強制排氣工序處理前的RFeB系合金混合擴散材料進行了熱擴散處理的時候，本工序兼用了d-HDDR處理中的強制排氣工序內容。如果對強制排氣工序處理後的RFeB系合金中混合由氫化物組成的擴散材料進行熱擴散處理的時候，在實施熱擴散處理工序前，必須實施進行脫氫的脫氫工序。這種情況下的脫氫工序，最好在1Pa以下、1023～1123K的真空環境中進行。在此所要求的1Pa以下的壓力，是因為超過1Pa，氫將被殘留下來，從而導致各向異性磁鐵粉末的頑磁力降低。對於1023～1123K的溫度設定來說，如果溫度不足1023K，殘留氫的除去速度很慢；如果溫度超過1123K，將導致結晶粒的粗大化。
⑤熱擴散處理工序熱擴散處理工序是將混合工序後得到的混合粉末進行加熱，使作為擴散材料的R1擴散到RFeB系合金表面及內部中的工序。
R1具有吸收氧的功能，可以抑制各向異性磁鐵粉末和用該各向異性磁鐵粉末做成的硬質磁鐵的氧化。為此，即使在高溫環境下使用該磁鐵，可以有效地抑制和防止由於氧化帶來的性能退化。因此，由於提高了磁鐵粉末的耐熱性，擴大了其使用範圍。
上述的熱擴散處理工序，是在防止氧化的環境(例如，真空環境)條件下進行的。其處理溫度為673～1173K，特別是，最為理想的是其處理溫度在控制排氣工序的溫度T3以下。當處理溫度不足673K的時候，R1和TM的擴散速度太慢，效率太差；另一方面，處理溫度超過1173K和T3，將導致結晶粒的粗大化。更進一步講，採用急冷，可以有效地防止結晶粒的粗大化。
(4)其他採用本發明的製造方法得到的各向異性磁鐵粉末，可以製成所需形狀的燒結磁鐵和粘結磁鐵。特別是，其各向異性磁鐵粉末形狀自由度大，不需要高溫加熱也可以製成所需粘結磁鐵。上述粘結磁鐵，可以通過在各向異性磁鐵粉末中添加熱硬化性樹脂、熱塑性樹脂、或者結合劑，經過混煉之後，在磁場中擠壓成形、擠壓模塑、射出成形等方法來製造生產。
實施例以下，列出具體的實施例來詳細說明本發明。
(試樣的製造)(1)第1實施例為了確認本發明中關於d-HDDR處理的效果，製造了如表1和表2中所表示的試件No.1～26、以及試件No.C1～C24。此時使用的原材料是4種不同組織構成的RFeB系合金。表3中，表示了它們的組織構成。表3中的單位是at％，並且把合金全體作為100at％。此後，採用表3中的符號A～D，用合金A，合金B等的稱呼來區別表示各自的RFeB系合金。
下面，介紹合金A～D的製造方法。
首先，上述合金A～D的原料，均按所需的構成計量從普通市場購得的原料，用高頻溶解處理爐將它們溶解，鑄造成為100kg重的冶鑄塊。在Ar氣體的環境中，將這些合金冶鑄塊加熱至1413K，並保持溫度40小時使其組織均質化(即實施均質化熱處理)。採用微動粉碎法、將經過均質化熱處理後的合金冶鑄塊粉碎為平均粒直徑10mm以下顆粒，分別得到不同組織的合金A～D。在此需要說明的是，合金D在溶解·鑄造後沒有通過均質化熱處理而直接是實施粉碎作業。
其次，象表1和表2中所表示的那樣，各種試樣是改變其合金的種類和工序內容來分別製造得到的。各種試樣的處理量均為12.5g。將各種試樣使用的合金放入處理爐中，在室溫×100kPa×1小時的環境條件下，共通實施進行了低溫氫化工序。然後，實施180分鐘的高溫氫化工序。該高溫氫化工序中的處理溫度(T1)和氫分壓(P1)分別隨各自的試樣一起被表示在表1、2中。
此外，表1中所示的試樣No.26，未實施上述低溫氫化工序，在所定氫壓力中，從室溫升溫到所定的溫度，然後直接實施高溫氫化工序。同時，試樣No.26的合金冶鑄塊，使用了5～10mm左右的塊狀原料。
並且，在氫分壓為1kPa的條件下，實施了90分鐘的控制排氣工序。控制排氣工序中的處理溫度(T3)分別隨各自的試樣一起表示在表1、2中。不過，試樣No.C1～C16，其高溫氫化工序和控制排氣工序的處理溫度相等，即T3＝T1。最後，以與控制排氣工序相同的處理溫度在處理爐中以及氫分壓為1Pa以下的條件下實施30分鐘的強制排氣工序。
對試樣No.1～26來說，在上述的高溫氫化工序和控制排氣工序的間實施了所設置的組織穩定化工序。該組織穩定化工序中，至少增大了處理溫度和氫分壓中的一方。圖1、圖2和圖3中分別表示了上述各工序的工序模擬圖。再者，組織穩定化工序中的升溫過程(T1→T2)均為5分鐘，不過，此後的保持時間隨各試樣而異，其詳細內容分別表示在表1中。
對試樣No.1～26中的試樣No.19～23來說，是把RFeB系合金的氫化物遷移到冷卻處理爐中實施冷卻到室溫的冷卻工序後得到的試樣。並且，在實施冷卻工序後，再次進行加熱在真空中牽引實施上述強制排氣工序。圖4表示了上述工序的工序模擬圖。
對試樣No.C1～C16來說，未進行上述組織穩定化工序，從高溫氫化工序直接使之轉移了到控制排氣工序。圖5表示了上述工序的工序模擬圖。
對試樣No.C17～C22，實施了所設置的上述組織穩定化工序，但是，高溫氫化工序中的T1和組織穩定化工序中的T2以及P2和、控制排氣工序中的T3的設定在本發明所推薦的最佳範圍之外。
對試樣No.C23來說，沒有實施上述組織穩定化工序，在控制排氣工序開始5分鐘後，用5分鐘的時間將處理爐內的溫度從T1升溫到T3。另外，對試樣No.C24來說，同樣沒有實施上述組織穩定化工序，在控制排氣工序開始15分鐘後，用5分鐘的時間將處理爐內的溫度從T1升溫到T3。圖6表示了上述各工序的工序模擬圖。
(2)第2實施例為了確認在上述的d-HDDR處理中追加熱擴散處理的效果，製作了試樣No.27～47。在這裡，作為擴散材料的原料，使用了6種不同組成的稀土族合金。表5中表示出了它們的各自組織構成。表5中的單位是at％，是以合金的全體作為100at％來計算表示的。以後，用表5中表示的符號a～f，來區別表示各稀土族合金。
在製作試樣No.27～47時，首先，對表3中所示的各合金B～D，使用實施了前述的低溫氫化工序、高溫氫化工序、組織穩定化工序、以及控制排氣工序，並且用冷卻工序冷卻到室溫而得到的RFeB系合金的氫化物粉末(其平均粒直徑為100μm)。
其次，作為擴散材料，使用了稀土族合金a～f中任意一種組成的氫化物粉末。雖說稀土族合金a～f的氫化物粉末的平均粒直徑各自不同，但它們均在5～30μm以內。
在其次，實施將上述兩種粉末進行混合的混合工序和熱擴散處理工序，通過熱擴散處理得到試樣No.27～47所示的各向異性磁鐵粉末。圖7表示了上述工序的工序模擬圖。
對於試樣No.44來說，替代作為擴散材料的上述氫化物使用了稀土族合金b的粉末(其平均粒直徑為5μm)而製成的試樣。
試樣No.40是替代控制排氣工序的RFeB系合金的氫化物粉末而使用了強制排氣工序後的各向異性磁鐵粉末。即是，控制排氣工序後不實施冷卻工序，而繼續進行了強制排氣工序的各向異性磁鐵粉末。圖8表示了上述工序的工序模擬圖。
試樣No.47是實施了控制排氣工序後，並經過一定時間的冷卻，之後再在真空中加熱實施強制排氣工序而得到的各向異性磁鐵粉末。圖9表示了上述工序的工序模擬圖。
進行試樣No.27～47製作的時候，在下述的條件下實施了d-HDDR處理和熱擴散處理。其各試樣的不同條件表示在表4中。即是，RFeB系合金的處理量為12.5g，低溫氫化工序為室溫×100kPa×1小時，高溫氫工序為1053K×180分鐘，組織穩定化工序為升溫5分鐘→保持10分鐘，控制排氣工序為1113K×1kPa×90分鐘，強制排氣工序為1113K×10Pa以下×30分鐘，脫氫·熱擴散處理工序為1073K×1Pa以下×1小時。
(3)第3實施例為了確認在批量生產時的上述的d-HDDR處理和熱擴散處理的效果，製作了如表6和表7中所示的試樣No.48～54和試樣No.C25、C26。試樣No.48～51以及試樣No.C25僅進行了d-HDDR處理，而試樣No.52～54和試樣No.C26在實施了d-HDDR處理的基礎上，追加實施了熱擴散處理。所使用的RFeB系合金全都是合金B，其處理量為10kg。此外，作為擴散材料全都使用了稀土族合金b的氫化物粉末。在實施控制排氣工序後的RFeB系合金的氫化物中以1～3質量％(混合粉末全體為100質量％)的比例混合上述擴散材料。各工序的其他詳細內容均表示在表6和表7中。
(試樣的測定)在室溫條件下，對上述製作得到的各磁鐵粉末進行了磁特性((BH)max、iHc以及Br)的測定。測定中使用了VSM。對作為測定用試樣來說，首先，將磁鐵粉末在75～106μm的粒徑範圍內進行分級。分級後的磁鐵粉末，用石蠟進行固化和成形使其去磁係數為0.2。並且，在1.5T的磁場中進行配向後，用4.5T進行磁化。
最後，使用VSM測定其(BH)max、iHc以及Br。
(評價)(1)關於d-HDDR處理將試樣No.1～26和試樣No.C1～C24進行對比可以明顯看出，用本發明的製造方法得到的式樣No.1～26，由於在高溫氫化工序和控制排氣工序之間實施了組織穩定化工序處理，其磁特性都得到了全面的提高。例如，對相同組織構成的合金B組成的各種各向異性磁鐵粉末來說，分析觀察其最大的能源積((BH)max)可知，對於以前製造方法得到的試樣No.C7的最大的能源積((BH)max)360(kJ/m3)來說，用本發明的製造方法得到的試樣No.4的最大的能源積((BH)max)提高到了372(kJ/m3)。另一方面，由合金C組成的各向異性磁鐵粉末中，分析觀察其最大的能源積((BH)max)可知，以前製造方法得到的試樣No.C12其最大的能源積((BH)max)為360(kJ/m3)，而用本發明的製造方法得到的試樣No.19，其最大的能源積((BH)max)提高到了382(kJ/m3)。通過上述的比較可知，本發明的製造方法得到的各向異性磁鐵粉末，其磁特性比以前的製造方法得到的各向異性磁鐵粉末均出色。
以上，雖然僅就合金B進行了說明，但是對其他合金組成的各向異性磁鐵粉末來說，將其相同組織組成的東西進行比較，也具有上述同樣的傾向。再者，對試料No.19～23來說，在控制排氣工序和強制排氣工序之間設置了冷卻工序。根據其比較結果可知，即使採用上述那樣的工序順序，也能得到出色的磁特性，確認了本發明的製造方法非常適用於批量生產的優良特性。
其次，就試樣No.C17～C22來說，雖然，在高溫氫化工序和控制排氣工序之間設置了組織穩定化工序，但是，偏離了本發明所提出的最佳溫度範圍和最佳氫分壓範圍，得不到出色的磁特性。
此外，對於處理溫度來說，將試樣No.C23和試樣No.C24與No.4等進行比較可以清楚地知道，在控制排氣工序中的升溫如果處理不當，同樣也得不到具有所期望磁特性的各向異性磁鐵粉末。
從對試樣No.11～15和試樣No.19～22的分析考察可以明確地看到，增加組織穩定化工序中的保持時間，可以提高頑磁力(iHc)。因此，增加上述保持時間，可以提高各向異性磁鐵粉末的耐熱性。從試樣No.11～15和試樣No.19～22的比較可以知道，上述的傾向與在跟控制排氣工序和強制排氣工序之間是否進行冷卻工序處理無關。
將試樣No.17～18與由以前的d-HDDR工序所得到的C5相比較，可以清楚地知道，提高組織穩定化工序中的氫分壓(P2)，可以提高各向異性磁鐵粉末的磁特性。但是，根據本發明者的研究結果可以知道，增加P2達到一定的程度之後，磁特性的提高效果不是很明顯，即磁特性的提高效果呈現了飽和的傾向。因此，在批量生產時，從處理爐的成本和耐久性等來考慮，組織穩定化工序的P2的上限最好定為200kPa。
試樣No.24，是採用了T2＞T1和P2＜P1的條件也能得到較為理想的效果的實施例。在本實施例中，當P1為30kPa的時候，把P2設定為20kPa，由P2＜P1所帶來的影響，可以通過將溫度T2從T1的1053K上升到1133K來彌補，得到了設置組織穩定化工序所期望的效果，即達到了設置組織穩定化工序的預期目的。
另一方面，試樣No.25，是採用了T2＜T1和P2＞P1的條件也能得到較為理想的效果的實施例。在本實施例中，當T1為1113K的時候，把T2設定為1103K，由T2＜T1所帶來的影響，可以通過將P2從P1的30kPa上升到200kPa來彌補，同樣H也得到了設置組織穩定化工序所期望的效果，即達到了設置組織穩定化工序的預期目的。
上述的結果說明了，試樣No.24、25均能呈現出良好的磁鐵性。
對試樣No.26和試樣No.C5來說，兩者的合金組成及高溫氫化工序的條件均一樣，僅是有無低溫氫化工序和組織穩定化工序的差異。從兩者的比較可以看到，即使不施加低溫氫化工序，只要實施了組織穩定化工序，也能提高磁特性(BH)max和iHc。
(2)關於熱擴散處理從試樣No.27～47和試樣No.1～26的比較可以知道，增加全體性的熱擴散處理可以增加iHc。這對於提高磁鐵的耐熱性來說是非常重要的。同時，根據試樣No.33等與試樣No.41～43的比較結果可以知道，擴散材料的含量最好是0.5～1質量％。過多的增加擴散材料，將導致磁特性下降。此外，試樣No.33與No.44的對比可以清楚地知道，擴散材料即使不是氫化物也能得到充分的效果。
從試樣No.27～29的特性參數可以知道，進行熱擴散處理之後，增加組織穩定化工序中的保持時間，可以進一步提高iHc。因此，在這種情況下，儘量增長組織穩定化工序的保持時間來提高各向異性磁鐵粉末的耐熱性。當然，從試樣No.29～32特性參數還可以明白地知道，增加擴散材料可以提高iHc，即可以提高各向異性磁鐵粉末的耐熱性。
(3)關於批量生產性試樣No.48～51是以試樣No.4為基礎，檢驗本發明的製造方法的批量生產性的實施例，而另一方面，試樣No.C25是以試樣No.C7為基礎，檢驗以前的製造方法的批量生產性的實施例。上述各試樣，由於處理量的增加，它們的磁特性多少都有一些降低的傾向，不過，試樣No.48～51與試樣No.C25相比，其的磁特性的降低傾向要小得多。具體地說，試樣No.C25對試樣No.C7來說，(BH)max降低了42(kJ/m3)，而試樣No.48對試樣No.4來說，(BH)max僅降低了20(kJ/m3)。因此可以說，本發明的製造方法不是僅限於實驗室的水平，對工業生產也非常有效，能大批量穩定生產得到高磁特性的各向異性磁鐵粉末。
通過上述對試樣No.48～51的觀察結果可以明白看到，即使增加處理量，由於增加了組織穩定化工序中的保持時間，從而提高了iHc提高，也就是說提高了各向異性磁鐵粉末的耐熱性。
同樣，實施了熱擴散處理的試樣No.52～54和試樣No.26，一方面，由於實施了組織穩定化工序，在批量生產中能製造可以得到高磁特性的各向異性磁鐵粉末；另一方面，由於增加了擴散材料，提高了iHc，也就是說提高了向異性磁鐵粉末的耐熱性。
表1


表2


表3


表4


表5


表6


表7


權利要求
1.各向異性磁鐵粉末的製造方法，由下述的製造工序所組成將含有釔Y的稀土族元素R和硼B、以及鐵Fe為主要成分的RFeB系合金，保持在氫分壓為10～100kPa的第1處理壓力P1和溫度為953～1133K第1處理溫度T1的環境狀態中實施處理的高溫氫化工序；將經過高溫氫化工序處理後的RFeB系合金，置於氫分壓為10kPa的第2處理壓力P2和溫度為1033～1213K的第2處理溫度T2的環境狀態中，並且在滿足T2＞T1或者P2＞P1的條件下進行處理的組織穩定化工序；將經過組織穩定化工序處理後的RFeB系合金，保持在氫分壓為0.1～10kPa的第3處理壓力P3和溫度為1033～1213K的第3處理溫度T3的環境狀態中進行處理的控制排氣工序；從經過控制排氣工序處理後的RFeB系合金中除去殘留的氫H的強制排氣工序。
2.權利要求1所述的各向異性磁鐵粉末的製造方法，其中，所述組織穩定化工序是滿足了P2≥P1、T2＞T1，或者P2＞P1、T2≥T1條件的工序。
3.權利要求1所述的各向異性磁鐵粉末的製造方法，其中，所述組織穩定化工序是將上述P2的上限設定為200kPa的工序。
4.權利要求1所述的各向異性磁鐵粉末的製造方法，其中，所述控制排氣工序後和上述強制排氣工序前，設置了對上述RFeB系合金進行冷卻的冷卻工序。
5.權利要求1所述的各向異性磁鐵粉末的製造方法，其中，所述高溫氫化工序前設置了將上述RFeB系合金保持在溫度為873K以下的氫環境中的低溫氫化工序。
6.權利要求1所述的各向異性磁鐵粉末的製造方法，其中，還設置了混合工序和熱擴散處理工序，所述混合工序是在經過上述控制排氣工序處理後或者經過上述強制排氣工序處理後得到的RFeB系合金中混合由鏑Dy、鋱Tb、釹Nd、鐠Pr、以及鑭La簇元素R1中至少一種以上的元素所組成的擴散材料而得到RFeB系合金與擴散材料的混合粉末的工序；所述熱擴散處理工序是加熱上述混合粉末使上述R1擴散到上述RFeB系合金的表面及內部的工序。
7.權利要求6所述的各向異性磁鐵粉末的製造方法，其中，在所述熱擴散處理工序前設置了從上述混合粉末中除去氫的脫氫工序。
全文摘要
本發明提供了一種各向異性磁鐵粉末的製造方法，該製造方法由下述工序所組成將含有Y的稀土族元素(R)和B、以及Fe為主要成分的RFeB系合金保持在氫分壓為10～100kPa的第1處理壓力(P1)和溫度為953～1133K範圍內的第1處理溫度(T1)的處理環境中進行處理的高溫氫化工序；將實施高溫氫化工序處理後的RFeB系合金置於氫分壓為10kPa以上的第2處理壓力(P2)和溫度為1033～1213K範圍內的第2處理溫度(T2)的處理環境中，並且在滿足T2＞T1或者P2＞P1條件下進行處理的組織穩定化工序；經過組織穩定化工序處理後的RFeB系合金保持在氫分壓為0.1～10kPa中的第3處理壓力(P3)和溫度為1033～1213K範圍內的第3處理溫度(T3)的處理環境中進行處理的控制排氣工序；從經過控制排氣工序處理後的RFeB系合金中除去殘留的氫(H)的強制排氣工序。使用本發明的製造方法，可以提高各向異性磁鐵粉末的磁特性。
文檔編號H01F1/032GK1701396SQ20048000107
公開日2005年11月23日 申請日期2004年1月15日 優先權日2003年1月16日
發明者本蔵義信, 濱田典彥, 三嶋千裡 申請人:愛知制鋼株式會社