微波遙控鍍膜擋板裝置製造方法
2023-06-29 05:46:01
微波遙控鍍膜擋板裝置製造方法
【專利摘要】一種微波遙控鍍膜擋板裝置，構成包括基片平面夾具、微波遙控器、發射天線、微波接受器、耐高溫電池、控制電路、電機、連接線、連接杆和擋板。所述的微波遙控器通過所述的發射天線發射的微波遙控信號被所述的微波接收器接收，經所述的控制電路處理後，控制所述的電機的運轉，驅動連接杆帶動所述的擋板轉動，使擋板根據需要處在基片平面夾具的下方的合理位置，本發明對擋板的位置具有遙感、經濟、方便和高效的控制作用。
【專利說明】微波遙控鍍膜擋板裝置
【技術領域】
[0001]本發明涉及鍍膜，特別是一種微波遙控鍍膜擋板裝置。
【背景技術】[0002]現今薄膜製備技術廣泛應用於製備太陽能薄膜、納米微結構、光學薄膜、光電薄膜等方面。在薄膜製備過程中，鍍膜設備中真空室的清潔、抽氣和放氣過程消耗大部分時間，真正用於鍍膜的時間很短。對於生產而言，特別是在蒸鍍不同膜系的薄膜產品時，需要分多次進行，不斷重複真空室的清潔、抽氣和放氣過程，延長了產品加工時間，降低了鍍膜設備的利用效率。對於實驗而言，即使設定相同的生產工藝參數，不同批次製備的同種薄膜，也會在性能上出現差異。因此，從提高生產效率和實驗對比度角度，都要求改進設備，設計專門的控制裝置。
【發明內容】
[0003]本發明的目的是為了提供一種微波遙控可控鍍膜擋板裝置，該裝置可以在一次鍍膜過程，蒸鍍兩批或多批不同材料的薄膜，提高鍍膜工藝的生產效率，並且能使實驗的對比效果增強。
[0004]本發明的技術解決方案如下:
[0005]一種微波遙控鍍膜擋板裝置，特點在於其構成包括:基片平面夾具、微波遙控器、發射天線、微波接受器、耐高溫電池、控制電路、電機、連接線、連接杆、擋板，所述的基片平面夾具上均勻地開有多個供置放玻璃基片的通孔，所述的微波接收器、耐高溫電池、控制電路、電機固定在基片平面夾具的上平面，通過所述的連接線將所述的微波接收器、耐高溫電池、控制電路和電機相連，所述的連接杆豎直地穿過所述的基片平面夾具，該連接杆的上端與所述的電機相連，該連接杆的下端與所述的擋板的一端相固定構成一體並置於鍍膜機的真空室內，所述的基片平面夾具和所述的擋板平行，所述的擋板的外圍面積與所述的基片平面夾具的外圍面積相同，所述的發射天線的一端在真空室內，另一端在真空室外，所述的微波遙控器在真空室外，所述的微波遙控器通過所述的發射天線發射的微波遙控信號被所述的微波接收器接收，經所述的控制電路處理後，控制所述的電機的運轉，驅動連接杆帶動所述的擋板轉動，使擋板根據需要處在基片平面夾具的正下方或者其他位置，所述的高溫電池為所述的控制電路、微波接收器、電機提供電源，所述的高溫電池處固定在所述的基片平面夾具上方。
[0006]所述的通孔的上端的直徑較大，下端的直徑較小，上端和下端的連接處形成一個平臺，所述的玻璃基片的四周邊緣平行地落在平臺上，而不掉下。
[0007]所述的微波接收器、耐高溫電池、控制電路和電機分散地或集成地置於所述的基片平面夾具上。
[0008]所述的高溫電池處在基片平面夾具上，能夠避免電子束電子或蒸鍍的材料離子對高溫電池造成損害。[0009]本發明的有益效果:
[0010]1、本發明優點是通過處在基片平面夾具正下方的擋板遮擋，使基片平面夾具中的玻璃基片不能被鍍膜。當擋板繞連接杆轉動180度後，露出基片平面夾具中的玻璃基片，基片則能夠被鍍膜。因此，可以有效控制基片平面夾具中的玻璃基片的鍍膜。
[0011]2、通過一次鍍膜設備中真空室的清潔、抽氣和放氣過程，利用擋板對基片平面夾具的遮擋與否，以及電子槍對坩堝盤中不同材料的蒸發作用，可在不同的基片平面夾具中的玻璃基片下表面蒸鍍不同材料的薄膜。因此，省去原來蒸鍍不同材料薄膜過程中多次真空室的清潔、抽氣和放氣過程，可以有效節省鍍膜時間，達到經濟、高效的目的。
[0012]3、相比鍍膜裝置真空室外面的電源，放在真空室內的高溫電源，能夠有效避免真空室中基片平面夾具公轉過程中，連接電源的連接線引起的繞線問題。
[0013]4、通過添加一個發射天線，能夠解決鍍膜設備真空腔的金屬外殼對微波的屏蔽問題，以將微波遙控器產生的微波信號傳到真空腔中的微波接受器上。
[0014]5、利用微波遙控器能夠在鍍膜設備真空室外面較遠的位置發射微波信號，來調節真空室中擋板的位置，起到遙感作用。
[0015]6、總之， 本發明微波遙控鍍膜擋板裝置是一種可控、經濟、高效和遙感的鍍膜擋板裝置。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0016]圖1是本發明微波遙控鍍膜擋板裝置的示意圖
[0017]圖2是本發明微波遙控鍍膜擋板裝置在鍍膜設備上的位置示意圖
【具體實施方式】
[0018]下面結合附圖和實施例對本發明做進一步的說明，但不應以此限制本發明的保護範圍。
[0019]先請參閱圖1至圖2所示，由圖可見，本發明微波遙控鍍膜擋板裝置，包括:基片平面夾具1、微波遙控器2、發射天線3、微波接受器4、耐高溫電池5、控制電路6、電機7、連接線8、連接杆9、擋板10。所述的基片平面夾具I上均勻開有四個通孔1-1，通孔1-1大小和數目根據實際需要設定，所述的通孔1-1上端較大，使玻璃基片能夠通過，所述通孔下端較小，上通孔、下通孔連接處形成一個平臺，使玻璃基片四周邊緣平行落在平臺上，而不掉下。所述的微波接收器4、耐高溫電池5、控制電路6和電機7位於基片平面夾具I的上平面上。所述的微波接收器4、耐高溫電池5、控制電路6和電機7相互之間可以組合到一起，或者分開，但是要保證它們的位置固定，不隨著基片平面夾具I移動而掉落。通過所述的連接線8，將所述的微波接收器4、耐高溫電池5、控制電路6和電機7連接。所述的基片平面夾具I邊緣開有一個貫穿基片平面夾具I上下平面的孔道，此孔道直徑大於所述的連接杆9的直徑，使所述的連接杆9豎直穿過基片平面夾具I。所述的連接杆9的上端與固定在所述的基片平面夾具I上表面的電機7相連，連接杆9的下端固定在擋板10的一端。所述的擋板10外圍面積與基片平面夾具I外圍面積相同。通過所述電機7驅動連接杆9和擋板10轉動，使擋板10根據需要處在基片平面夾具I正下面或者其他位置。所述的發射天線3的一端在真空室11內，另一端在真空室11外。所述的微波遙控器2在真空室11外。通過所述的發射天線3將微波遙控器2發出的信號傳到微波接收器4上。所述的控制電路6處理接受信號，控制電機7的運轉。所述的高溫電池5為所述的控制電路6、微波接收器4、電機7提供電源。所述的高溫電池5處在基片平面夾具I上，避免電子槍12濺射的電子束電子或坩堝13中蒸鍍的材料離子對高溫電池5造成損害。
[0020]鍍膜過程中不同坩堝13中存放不同的材料，轉動坩堝盤14，可以實現電子槍12對不同坩堝13中的材料進行熔融蒸發。基片平面夾具I嵌入託盤15中，為了保證鍍膜的均勻性，基片平面夾具I隨託盤15繞軸16轉動。通過電子槍12濺射不同坩堝13中的不同材料，以及擋板10對基片平面夾具I中玻璃基片的遮擋與否，對不同基片平面夾具I中玻璃基片下表面蒸鍍不同材料的薄膜。託盤15上的平面夾具I數量可以根據實際需要進行添加。
[0021]以上所述僅是本發明的優選實施方式。應當指出，對於本領域的普通技術人員來說，在不脫離本發明 原理的前提下，還可以做出若干變型和改進，這些也應視為本發明的保護範圍。
【權利要求】
1.一種微波遙控鍍膜擋板裝置，特徵在於其構成包括:基片平面夾具(I)、微波遙控器(2)、發射天線(3)、微波接受器(4)、耐高溫電池(5)、控制電路(6)、電機(7)、連接線(8)、連接杆(9)、擋板(10)，所述的基片平面夾具(I)上均勻地開有多個供置放玻璃基片的通孔(1- 1)，所述的微波接收器(4)、耐高溫電池(5)、控制電路(6)、電機(7)固定在基片平面夾具(I)的上平面，通過所述的連接線(8)將所述的微波接收器(4)、耐高溫電池(5)、控制電路(6)和電機(7)相連，所述的連接杆(9)豎直地穿過所述的基片平面夾具，該連接杆的上端與所述的電機相連，該連接杆的下端與所述的擋板的一端相固定構成一體並置於鍍膜機的真空室內，所述的基片平面夾具和所述的擋板平行，所述的擋板的外圍面積與所述的基片平面夾具的外圍面積相同，所述的發射天線的一端在真空室內，另一端在真空室外，所述的微波遙控器在真空室外，所述的微波遙控器通過所述的發射天線發射的微波遙控信號被所述的微波接收器接收，經所述的控制電路處理後，控制所述的電機的運轉，驅動連接杆帶動所述的擋板轉動，使擋板根據需要處在基片平面夾具的正下方或者其他位置，所述的高溫電池為所述的控制電路、微波接收器、電機提供電源，所述的高溫電池處固定在所述的基片平面夾具上方。
2.根據權利要求1所述的微波遙控鍍膜擋板裝置，其特徵在於所述的通孔(1-1)的上端的直徑較大，下端的直徑較小，上端和下端的連接處形成一個平臺，所述的玻璃基片的四周邊緣平行地落在平臺上，而不掉下。
3.根據權利要求1或2所述的微波遙控鍍膜擋板裝置，其特徵在於所述的微波接收器(4)、耐高溫電池(5)、控制電路(6)和電機(7)分散地或集成地置於所述的基片平面夾具上。`
【文檔編號】C23C14/54GK103726018SQ201310545333
【公開日】2014年4月16日 申請日期:2013年11月6日 優先權日:2013年11月6日
【發明者】于振坤, 單海洋, 孔釩宇, 孫建, 孫衛, 齊紅基, 徐學科, 賀洪波, 易葵 申請人:中國科學院上海光學精密機械研究所