貼膜裝置製造方法
2023-05-31 20:15:36 1
貼膜裝置製造方法
【專利摘要】本實用新型涉及一種貼膜裝置，其包含有：一供膜單元；一收膜單元，其系設於該供膜單元的一端；一分膜單元，其系設於該供膜單元的一側；一貼膜單元，其系設於該供膜單元的另一端；以及一輸送單元，其系設於該貼膜單元的一端。該貼膜裝置能減少人工、降低人為失誤、節省薄膜材料、降低成本、提升薄膜與平板之間的密合度與提高貼膜速度。
【專利說明】貼膜裝置
【技術領域】
[0001]本實用新型涉及一種貼膜裝置，該貼膜裝置系將一薄膜貼附於一平板。
【背景技術】
[0002]集成電路現今晶粒的加工方式，其系包含有一濺鍍製程，該濺鍍製程是將一具有兩面分別具有黏性的薄膜貼附於一平板，再將數個晶粒放置於薄膜，以使晶粒黏附於薄膜處。
[0003]但是上述之薄膜貼附於平板的方式仍採用人工方式，其是以人工將一面積大於平板的薄膜貼於平板，後以人工用一滾輪將空氣滾壓出薄膜與平板之間，再以人工裁切，以使薄膜符合平板的尺寸。
[0004]然上述之方式仍有缺點存在，如人工貼模，其需耗費大量的人力；人為失誤，而導致薄膜黏貼位置不準確；大面積的薄膜造成材料的浪費，以及成本的增加；薄膜與平板之間的密合度不足；人工貼模的速度過慢；以及薄膜與平板之間易具有氣泡。
【發明內容】
[0005]本實用新型目的在於提供一種貼膜裝置，其系能減少人工、降低人為失誤、節省薄膜材料、降低成本、提升薄膜與平板之間的密合度與提高貼膜速度。
[0006]為達到上述目的，本實用新型採用的技術方案是:一種貼膜裝置，其特徵在於:其包含有:
[0007]一供膜單元；
[0008]一收膜單元，其系設於該供膜單元的一端；
[0009]—分膜單兀，其系設於該供膜單兀的一側；
[0010]一貼膜單元，其系設於該供膜單元的一端；
[0011 ] 以及一輸送單兀,其系設於該貼膜單兀的一端。
[0012]上述方案中，所述供膜單元具有一供膜輪圈與一供膜轉輪，該供膜轉輪系設於該供膜輪圈的一側。所述供料輪圈系耦接一扭矩馬達。
[0013]上述方案中，所述收膜單元具有一第一收膜輪圈、一第一收膜轉輪與一第二收膜輪圈，該第一收膜轉輪與該第二收膜輪圈系分別位於該第一收膜輪圈的兩側。所述第一收膜輪圈與所述第二收膜輪圈系耦接一扭矩馬達。
[0014]上述方案中，所述分膜單元具有一分膜滾輪、一分膜導板與一分膜感測器，所述分膜導板系耦接所述分膜滾輪，所述分膜感測器系設於所述分膜滾輪的一側。
[0015]上述方案中，還包括一第一壓膜單元與一第二壓膜單元，所述第一壓膜單元系設於所述分膜單元的一側，所述第二壓膜單元系設於所述貼膜單元的一側，所述第一壓膜單元與所述第二壓膜單元分別具有一壓膜滾輪、一壓輪與一驅動模組，所述壓輪系設於所述壓膜滾輪的一端，所述驅動模組系耦接該壓輪。所述壓膜滾輪系耦接一伺服馬達，所述驅動模組係為一氣壓缸或一油壓缸。[0016]上述方案中，還包括一轉折單元,該轉折單元系設於所述分膜單元的一端。
[0017]上述方案中，所述貼膜單兀具有一橫向移動模組、一第一驅動模組、一第一壓輪、一第二驅動模組、一第二壓輪、一分流導板與一貼膜感測器，所述第一驅動模組系耦接該橫向移動模組，所述第一壓輪系耦接該第一驅動模組，該第二驅動模組系耦接該橫向移動模組，並且相鄰於該第一驅動模組，該第二壓輪系耦接該第二驅動模組，該分流導板系耦接該第二壓輪，該貼膜感測器系設於該分膜單元的一側。所述分流導板面對所述第二壓輪的一面具有一分流斜面；所述第二驅動模組為一氣壓缸或一油壓缸；所述第一驅動模組為一氣壓缸或一油壓缸；所述橫向移動模組系稱接一驅動模組，該驅動模組為一馬達、一皮帶與一滾輪之總成。
[0018]上述方案中，還包括一上推單元，該上推單元系設於所述輸送單元中，所述上推單元具有一上推平臺與一驅動模組，該驅動模組系耦接該上推平臺。所述驅動模組為一氣壓缸、一油壓缸或一螺杆總成。
[0019]本實用新型具有以下優點:
[0020]1、本實用新型能提升薄膜與平板之間的密合度，而使氣泡無法產生於薄膜與平板之間；
[0021]2、本實用新型系採用自動化貼膜，藉以節省大量的人工，以及避免人工所可能產生的失誤，而且自動化貼膜系能夠提升貼膜速度；
[0022]3、本實用新型系使薄膜的尺寸能夠符合平板的尺寸，故能節省薄膜材料，以降低成本；
[0023]4、本實用新型系使平板與貼膜位置系分別受到輸送單元與貼膜單元所限制，所以薄膜黏貼位置更為精準。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0024]圖1為本實用新型貼膜裝置的立體示意圖；
[0025]圖2為本實用新型的貼膜裝置的背面示意圖；
[0026]圖3為本實用新型一貼膜單元、一輸送單元與一上推單元的立體示意圖；
[0027]圖4為本實用新型的分流導板的立體示意圖；
[0028]圖5為本實用新型貼膜裝置設有一薄膜的立體動作示意圖。
[0029]以上附圖中:1、供膜單元；10、供膜輪圈；100、薄膜；11、供膜轉輪；2、收膜單元；20、收膜輪圈；21、第一收膜轉輪；22、第二收膜輪圈；3、分膜單元；30、分膜滾輪；31、分膜導板；32、分膜感測器；4、第一壓膜單元；40、壓膜滾輪；41、壓輪；42、驅動模組；5、轉折單元；
6、貼膜單兀；60、橫向移動模組；61、第一驅動模組；62、第一壓輪；63、第二驅動模組；64、第二壓輪；65、分流導板；650、分流斜面；66、驅動模組；67、貼膜感測器；7、第二壓膜單元；70、壓膜滾輪；71、壓輪；72、驅動模組；8、輸送單元；80、平板；9、上推單元；90、上推平臺；91、驅動模組。
【具體實施方式】
[0030]下面結合附圖及實施例對本實用新型作進一步描述:
[0031]實施例:參見圖1-5所示:[0032]請配合參考圖1、圖2與圖3所示，本實用新型系一種貼膜裝置，其具有一供膜單元1、一收膜單元2、一分膜單元3、一第一壓膜單元4、一轉折單元5、一貼膜單元6、一第二壓膜單元7、一輸送單元8與一上推單元9。
[0033]供膜單元I具有一供膜輪圈10與一供膜轉輪11，供膜轉輪11系設於該供膜輪圈10的一側，如圖5所示，供料輪圈10系可供一多層之薄膜100設置，供料輪圈10系耦接一扭矩馬達。
[0034]收膜單元2設於供膜單元I的一端，舉例而言，收膜單元2系能夠位於供模單元I的頂端，收膜單元2具有一第一收膜輪圈20、一第一收膜轉輪21與一第二收膜輪圈22，第一收膜轉輪21與第二收膜輪圈22系分別位於第一收膜輪圈20的兩側，第一收膜輪圈20與第二收膜輪圈22系耦接一扭矩馬達。
[0035]分膜單兀3系設於相鄰於供膜單兀I,分膜單兀3具有一分膜滾輪30、一分膜導板31與一分膜感測器32,舉例而言,分膜滾輪30系設於供膜轉輪11的一側，分膜導板31系耦接分膜滾輪30，分膜感測器32系設於分膜滾輪30的一側。
[0036]第一壓膜單元4系設於分膜單元3的一側，第一壓膜單元4具有一壓膜滾輪40、一壓輪41與一驅動模組42，舉例而言，壓膜滾輪40能夠設於分膜感測器32的一側，壓膜滾輪40系耦接一伺服馬達，壓輪41系設於壓膜滾輪40的一端，驅動模組42系耦接壓輪41，驅動模組42能夠為一氣壓缸或一油壓缸，驅動模組42系能夠使壓輪41呈一縱向移動。
[0037]轉折單元5為一滾輪，轉折單元5系設於分膜單元3的一端。
[0038]請再配合參考圖2與圖3所示，貼膜單元6系設於轉折單元5的一側，貼膜單元6具有一橫向移動模組60、一第一驅動模組61、一第一壓輪62、一第二驅動模組63、一第二壓輪64、一分流導板65與一貼膜感測器67。
[0039]橫向移動模組60系能夠移動地設於分膜單元3與轉折單元5之間，橫向移動模組60系稱接一驅動模組66,該驅動模組66為一馬達、一皮帶與一滾輪之總成,橫向移動模組60系耦接皮帶，馬達系驅動皮帶，以使橫向移動模組60呈一橫向移動。
[0040]第一驅動模組61系稱接橫向移動模組60,第一驅動模組61系能夠為一氣壓缸或一油壓缸。
[0041]第一壓輪62系稱接第一驅動模組61。
[0042]第二驅動模組63系耦接橫向移動模組60，並且相鄰於第一驅動模組61，第二驅動模組63系能夠為一氣壓缸或一油壓缸。
[0043]第二壓輪64系耦接第二驅動模組63。
[0044]分流導板65系耦接第二壓輪64，如圖4所示，分流導版65面對第二壓輪64的一面具有一分流斜面650。
[0045]貼膜感測器67系設於分膜單元3的一側。
[0046]第二壓膜單元7系設於貼膜單元6的一側，第二壓膜單元7具有一壓膜滾輪70、一壓輪71與一驅動模組72，舉例而言，壓膜滾輪70能夠設於橫向移動模組60的一側，壓膜滾輪70系耦接一伺服馬達，壓輪71系設於壓膜滾輪70的一端，驅動模組72系耦接壓輪71，驅動模組72能夠為一氣壓缸或一油壓缸，驅動模組72系能夠使壓輪71呈一縱向移動。
[0047]輸送單元8系設於貼膜單元6的一端，輸送單元8為數個滾輪、數個皮帶與數個側輪之總成。[0048]如圖3所示，上推單元9系設於輸送單元8中，上推單元9具有一上推平臺90與一驅動模組91，驅動模組91系耦接上推平臺90，驅動模組91系使上推平臺90呈一縱向移動，驅動模組91能夠為一氣壓缸、一油壓缸或一螺杆總成。
[0049]如圖5所示，一多層之薄膜100系設於供膜輪圈10，薄膜100的一端系通過供膜轉輪11、分膜滾輪30、分膜導板31與轉折單元5，再薄膜繞設於分流導板65與第二壓輪64，該端再通過第二壓膜單元7的壓膜滾輪70與壓輪71之間，而後通過第一收膜轉輪21，並被第一收膜輪圈20所收納。
[0050]承上所述，當薄膜100通過分膜單元3時候，薄膜100的一層系朝向分膜感測器32方向移動，該層系通過第一壓膜單元4的壓膜滾輪40與壓輪41之間，並被第二收膜輪圈22所收納，分膜感測器3系感測所通過的薄膜100是否僅具有一層，若該薄膜100為多層，其系表示該薄膜100未能持續移動至轉折單元5,若為單層之薄膜100系表示,其餘各層的薄膜100系朝向轉折單元5方向移動，壓膜滾輪40與壓輪41之間的距離與壓輪41的轉動速度系控制薄膜100移動的速度，分膜感測器3亦具有監控薄膜100移動速度的功效，若薄膜100移動速度過快或過慢，分膜感測器3系會發出訊號告知驅動模組42與伺服馬達，以控制壓膜滾輪40與壓輪41之間的距離與壓輪41的轉動速度，分膜感測器3系能夠進一步監控薄膜100是否有異常的情況。
[0051]如上所述，仍具有多層的薄膜100通過貼膜單元6後，薄膜100的一層系被第一收膜輪圈20所收納。
[0052]輸送單元8系將一平板80送至轉折單元5與貼膜單元6之間，上推平臺90受到驅動模組91的推動，上推平臺90會上升至與平板80同一高度。
[0053]驅動模組66系使橫向移動模組60朝向轉折單元方向5移動，薄膜100受到分流斜面650的引導，薄膜100的各層會開始分離，第二驅動模組63系控制第二壓輪64與分流導板65之間的距離，以進一步控制薄膜100之分離狀態。
[0054]第一驅動模組61系驅動第一壓輪62，以將薄膜100貼附於上推平臺90與平板80。
[0055]於上述之動作進行時，貼膜感測器67系感測薄膜100的位置與狀態，並發出訊號，以告知貼膜單元6，藉此貼膜單元6可得知薄膜100是否有異常狀態，或者無法進行貼膜，或者貼膜單元6需進一步調整其位置。
[0056]待上述之貼膜動作完成，以及薄膜100所分離的各層已分別被第一收膜輪圈20與第二收膜輪圈22所收納，上推單元9與貼膜單元6系分別回到起始位置，並再次進行上述之貼膜動作。
[0057]綜合上述，本創作系採用自動化貼膜，藉以節省大量的人工，以及避免人工所可能產生的失誤，而且自動化貼膜系能夠提升貼膜速度。
[0058]另外，平板80與貼膜位置系分別被輸送單元8與貼膜單元6所限制，所以薄膜100黏貼位置更為精準。
[0059]再者，薄膜100的尺寸能夠符合平板80的尺寸，故能節省薄膜100材料，以降低成本。
[0060]貼膜單元6的第一壓輪62系受到第一驅動模組61的控制，故能提升薄膜100與平板80之間的密合度，而使氣泡無法產生於薄膜100與平板80之間。
[0061]上述實施例只為說明本實用新型的技術構思及特點，其目的在於讓熟悉此項技術的人士能夠了解本實用新型的內容並據以實施，並不能以此限制本實用新型的保護範圍。凡根據本實用新型精神實質所作的等效變化或修飾，都應涵蓋在本實用新型的保護範圍之內。
【權利要求】
1.一種貼膜裝置，其特徵在於:其包含有: 一供膜單元； 一收膜單元，其系設於該供膜單元的一端； 一分膜單元，其系設於該供膜單元的一側； 一貼膜單元，其系設於該供膜單元的一端； 以及一輸送單兀，其系設於該貼膜單兀的一端。
2.根據權利要求1所述貼膜裝置，其特徵在於:所述供膜單元具有一供膜輪圈與一供膜轉輪，該供膜轉輪系設於該供膜輪圈的一側。
3.根據權利要求2所述貼膜裝置，其特徵在於:所述供料輪圈系耦接一扭矩馬達。
4.根據權利要求1所述貼膜裝置，其特徵在於:所述收膜單元具有一第一收膜輪圈、一第一收膜轉輪與一第二收膜輪圈，該第一收膜轉輪與該第二收膜輪圈系分別位於該第一收膜輪圈的兩側。
5.根據權利要求4所述貼膜裝置，其特徵在於:所述第一收膜輪圈與所述第二收膜輪圈系稱接一扭矩馬達。
6.根據權利要求1所述貼膜裝置，其特徵在於:所述分膜單元具有一分膜滾輪、一分膜導板與一分膜感測器，所述分膜導板系耦接所述分膜滾輪，所述分膜感測器系設於所述分膜滾輪的一側。
7.根據權利要求1所述貼膜裝置，其特徵在於:還包括一第一壓膜單元與一第二壓膜單元，所述第一壓膜單元系設於所述分膜單元的一側，所述第二壓膜單元系設於所述貼膜單元的一側，所述第一壓膜單元與所述第二壓膜單元分別具有一壓膜滾輪、一壓輪與一驅動模組，所述壓輪系設於所述壓膜滾輪的一端，所述驅動模組系耦接該壓輪。
8.根據權利要求7所述貼膜裝置，其特徵在於:所述壓膜滾輪系耦接一伺服馬達，所述驅動模組係為一氣壓缸或一油壓缸。
9.根據權利要求1所述貼膜裝置，其特徵在於:還包括一轉折單元，該轉折單元系設於所述分膜單元的一端。
10.根據權利要求1所述貼膜裝置，其特徵在於:所述貼膜單元具有一橫向移動模組、一第一驅動模組、一第一壓輪、一第二驅動模組、一第二壓輪、一分流導板與一貼膜感測器，所述第一驅動模組系耦接該橫向移動模組，所述第一壓輪系耦接該第一驅動模組，該第二驅動模組系耦接該橫向移動模組，並且相鄰於該第一驅動模組，該第二壓輪系耦接該第二驅動模組，該分流導板系耦接該第二壓輪，該貼膜感測器系設於該分膜單元的一側。
11.根據權利要求10所述貼膜裝置，其特徵在於:所述分流導板面對所述第二壓輪的一面具有一分流斜面；所述第二驅動模組為一氣壓缸或一油壓缸；所述第一驅動模組為一氣壓缸或一油壓缸；所述橫向移動模組系稱接一驅動模組，該驅動模組為一馬達、一皮帶與一滾輪之總成。
12.根據權利要求1所述貼膜裝置，其特徵在於:還包括一上推單元，該上推單元系設於所述輸送單元中，所述上推單元具有一上推平臺與一驅動模組，該驅動模組系耦接該上推平臺。
13.根據權利要求12所述貼膜裝置，其特徵在於:所述驅動模組為一氣壓缸、一油壓缸或一螺杆總成。
【文檔編號】B32B37/10GK203637296SQ201320814281
【公開日】2014年6月11日 申請日期:2013年12月12日 優先權日:2013年1月18日
【發明者】賴宏能, 陳韋穎, 黃俊豪, 顏榮俊 申請人:蘇州均華精密機械有限公司