可調集成高壓柵極脈衝調製器的製造方法

2023-06-10 08:56:41

可調集成高壓柵極脈衝調製器的製造方法
【專利摘要】本發明涉及一種可調集成高壓柵極脈衝調製器，對燈絲、正偏、負偏電源等3路高電位電源電路和柵極脈衝調製電路進行改進設計，實現了3路高電位電源和柵極脈衝調製電路的高密度集成；改進高電位電源的反饋電路，採用磁反饋高壓隔離採樣技術，實現了在低壓側分別獨立調整各路高電位電源輸出電壓值；增加高電位集成故障檢測電路，將高電位電源多路故障集成為一路信號；改進脈衝驅動電路，增加雙級消噪電路；改進柵極浮動板調製電路，增加抗打火保護電路保護調製器和行波管；改進調製器所用高壓變壓器結構，減小體積實現高壓隔離。
【專利說明】可調集成高壓柵極脈衝調製器
【技術領域】
[0001]本發明屬於雷達【技術領域】，涉及一種可調集成高壓柵極脈衝調製器，用於提供燈絲電壓，並將常規的簡單矩形脈衝列調製到比較複雜的編碼脈衝或脈衝串調製，對柵控行波管的柵極進行調製，使行波管產生大功率毫米波信號。
【背景技術】
[0002]毫米波技術在雷達領域有著廣泛的應用前景，隨著高壓脈衝調製技術、電力電子技術和高電壓技術的發展，高壓柵極脈衝調製器作為基礎技術拓寬了毫米波雷達領域應用。雷達發射機廣泛採用脈衝調製方式，包括常規的簡單矩形脈衝列調製到比較複雜的編碼脈衝或脈衝串調製。高壓柵極脈衝調製器的任務，就是要給發射機常用的柵控行波管的柵極提供合適的視頻調製脈衝。高壓柵極脈衝調製器作為雷達發射機的核心部件之一，直接影響柵控行波管的工作性能。在雷達發射機中，燈絲電源為行波管的陰極加熱用，該電源的電壓一般在IOV以內，其輸出功率在幾瓦到幾百瓦之間；正偏電源和負偏電源為行波管柵極提供調製電壓，正偏電源供調製器形成正脈衝，使得行波管產生電子束，其脈衝電壓相對於陰極為零到數百伏範圍內，其脈衝電流在數十毫安以內；負偏電源使得行波管電子束截止，其輸出電壓在幾百伏到幾千伏的範圍內，但電流小至可以忽略。燈絲、正偏、負偏等高電位電源都懸浮在陰極高電位上，其絕緣和保護問題很重要。
[0003]目前國內使用的高壓柵極脈衝調製器，多採用浮動板柵極調製方式，耐行波管打火能力較差；而燈絲、正偏、負偏等高電位電源，懸浮在發射機行波管陰極幾千伏到幾十千伏的高壓上，高壓隔離採樣和調壓困難，通常多為體積重量龐大的簡單線性電源，或是不可調整電壓的無反饋開環控制的開關電源，或是少數使用光耦、光纜、電壓/頻率變換等複雜高壓隔離採樣電路的開關電源；如果3組電源共用一個開關變換器，則只有一組電源能穩壓和小範圍調壓，另外兩組輸出穩定性差、容易互相干擾或超出要求的輸出範圍；傳統上高壓隔離變壓器的研製首先是製作絕緣骨架、使用漆包線繞制變壓器，然後使用電工紙繞制絕緣層，再經過浸漆工藝，體積重量大。不能直接移植到毫米波小型化高機動雷達發射機上，還具有以下不足之處:
[0004]1、低壓側不可調節參數:因為高壓隔離採樣和調壓困難，在小型化雷達發射機中從低壓側不可分別獨立調節燈絲、正偏、負偏等電源電壓輸出。例如，傳統上雷達發射機採用線性高電位電源、柵極調製電路的脈衝形成電路往往置於高壓側，需要調整參數時必須打開相關的高壓油箱，調好後需要使用複雜的涉油灌封設備和工藝重新進行灌封工序，通用性和可維護性差，很難適應小型化高機動雷達發射機的要求。
[0005]2、集成度低:在雷達發射機中，柵極脈衝調製電路與燈絲、正偏、負偏電源等高電位電源一般為多個單元或組合，沒有高壓隔離採樣電路或者高壓隔離採樣電路複雜，採用分離式布置，使用較多高壓連接器，導致發射機體積大、對其他電路電磁幹擾大。
[0006]3、可靠性較差:柵極脈衝調製電路與燈絲、正偏、負偏電源等高電位電源，都有高壓側電路部分懸浮在陰極高壓上，而且高壓側電路中有源器件多，保護不完善，抗行波管打火能力較差；為了調整參數或維修方便，所以傳統上多採取氣體或液體介質的高壓絕緣方式，很難採用固體介質實現小型化的高壓絕緣。例如:發射機中傳統上只有一路負偏電壓檢測，在高壓端通過電阻分壓、光纜傳輸，但是光纜頭容易損壞；而燈絲、正偏電源故障也有可能損壞行波管，這在以前的發射機中都很難檢測，也降低了發射機的可靠性。

【發明內容】

[0007]要解決的技術問題
[0008]為了避免現有技術的不足之處，本發明提出一種可調集成高壓柵極脈衝調製器，針對現有的高壓柵極脈衝調製器集成度低、不能在低壓側調節參數、結構離散笨重的問題，以適應雷達發射機發展的需求，滿足高機動雷達發射機對小型化、高集成度、低壓側可調的工作要求，並提高調製器的可靠性。
[0009]技術方案
[0010]一種可調集成高壓柵極脈衝調製器，包括燈絲電源電路、正偏電源電路、負偏電源電路、脈衝驅動電路和柵極脈衝調製電路；其特徵在於:將燈絲電源電路、正偏電源電路和負偏電源電路輸入端的48V供電端並聯共用，輸出端的高電位公共端並聯共用，形成燈絲電源電路、正偏電源電路和負偏電源電路的集成；所述燈絲電源電路、正偏電源電路和負偏電源電路中的反饋採用反饋變壓器，其中:燈絲電源電路中的反饋由燈絲高壓隔離變壓器T1與燈絲高壓隔離變壓器輸出端並聯的燈絲反饋變壓器T2組成；正偏電源電路中的反饋由正偏高壓隔離變壓器T3與正偏高壓隔離變壓器輸出端並聯的正偏反饋變壓器T4組成；負偏電源電路中的反饋由負偏高壓隔離變壓器T5與負偏高壓隔離變壓器輸出端並聯的負偏反饋變壓器T6組成。
[0011 ] 在燈絲電源電路、正偏電源電路和負偏電源電路的反饋整流濾波電路的輸出端，燈絲半橋逆變電路中供電輸入電流線路上串聯的霍爾電流互感器TAl的輸出端連接高電位集成故障檢測電路；所述高電位集成故障檢測電路包括燈絲過流、燈絲欠流、燈絲過壓、燈絲欠壓、正偏過壓、正偏欠壓、負偏過壓和負偏欠壓8個故障檢測電路，根據燈絲半橋逆變電路中供電輸入電流線路上串聯的霍爾電流互感器TAl的輸出端得到燈絲電流採樣信號，將採樣信號與基準電壓比較得到燈絲過流或燈絲欠流的警示信號輸出；根據燈絲反饋整流濾波電路輸出端的採樣信號與設定的燈絲過壓門限電壓或燈絲欠壓門限電壓進行比較，得到燈絲過壓或燈絲欠壓的警示信號輸出；根據正偏反饋整流濾波電路輸出端的採樣信號與設定的正偏過壓門限電壓或正偏欠壓門限電壓進行比較，得到正偏過壓或正偏欠壓的警示信號輸出；根據負偏反饋整流濾波電路輸出端的採樣信號與設定的負偏過壓門限電壓或負偏欠壓門限電壓進行比較，得到負偏過壓或負偏欠壓的警示信號輸出。
[0012]在48V供電與燈絲電源電路、正偏電源電路和負偏電源電路的輸入端設有濾波電路。
[0013]所述柵極脈衝調製電路的脈衝驅動電路是由TC4424EPA集成驅動晶片UlO為核心構成脈衝驅動電路，將從外部輸入的開啟脈衝、截尾脈衝增大驅動電流、優化波形，以驅動高壓隔離脈衝變壓器的初級；在UlO的開啟脈衝輸入端2腳與3腳的地之間接TVS管V26、電阻R22和濾波電容C34，以消除輸入線上的毛刺；在UlO的截尾脈衝輸入端4腳與3腳地之間接TVS管V27、電阻R23和濾波電容C35，以消除輸入線上的毛刺；在仍0的電源端6腳與3腳地之間接濾波電容C37、C38、電阻R25和TVS管V33，以進行濾波消除毛刺。
[0014]所述柵極脈衝調製電路的兩級消噪電路:在UlO的開啟脈衝輸出端7腳接限流電阻R24 ;快速二極體V28負端接電源端、正端接R24，快速二極體V30負端接電源端、正端接地，實現一級降噪；隔直電容C36 —端接R24和V28正端，另一端接V29正端和高壓隔離脈衝變壓器；快速二極體V29負端接電源端、正端接R24，快速二極體V31負端接電源端、正端接地，實現二級降噪；TVS管V32負端接C36，正端接地，消除輸出線上毛刺；TVS管V34負端接UlO的截尾脈衝輸出端5腳，正端接地，消除輸出線上毛刺；0.1 μ F陶瓷電容C39消除柵極調製脈衝間隔內的幹擾雜波。
[0015]所述柵極脈衝調製電路的高壓隔離脈衝變壓器包括一個初級兩個次級，匝比為10:10:10。
[0016]所述高壓隔離脈衝變壓器，以及T1~T6的六個反饋變壓器均採用超微晶環形磁芯。[0017]其製作方法為:在高電位電源的高壓側，各個高頻隔離變壓器全部採用滿足最小傳輸功率要求、最小窗口尺寸45mmX26mmX10mm (外徑X內徑X厚)的大口徑超微晶環形磁芯，用高壓線繞制初、次級線圈，接到低壓電路的線圈在內層繞制，接到高壓電路的線圈在外層繞制，層間絕緣使用聚四氟乙烯薄膜；線圈最大限度繞滿內徑，並增加的反饋變壓器，避免為增加輔助繞組而需要增大高頻隔離變壓器的磁芯尺寸，易於電路布局、減小變壓器體積和實施高壓隔離。
[0018]所述燈絲高壓隔離變壓器T1的變壓比為46: 33，燈絲反饋變壓器T2的變壓比為
I: 1
[0019]所述正偏高壓隔離變壓器T3的變壓比為10: 62，正偏反饋變壓器T4的變壓比為55: 9。
[0020]所述負偏高壓隔離變壓器T5的變壓比為10: 57，負偏燈絲反饋變壓器T6的變壓比為55: 9。
[0021]有益效果
[0022]本發明提出的一種可調集成高壓柵極脈衝調製器，集成了燈絲、正偏、負偏等3組高電位電源，改進高電位電源的反饋電路，使其參數在低壓側能夠分別獨立調節，增加高電位集成故障檢測電路，並對調製器的主要部件柵極脈衝調製電路進行改進設計，完善了保護電路，以滿足小型化高機動雷達發射機工作條件的要求。
[0023]首先，本發明對高電位電源進行改進:在高壓柵極脈衝調製器內部集成燈絲、正偏、正偏電源等3路獨立的高頻半橋開關穩壓電源，採用磁反饋高壓隔離採樣技術，實現可靠的高壓隔離採樣，可以分別獨立調整電壓輸出值，以達到行波管的最佳工作點；改進高頻隔離變壓器結構，減小體積實現高壓隔離，並增加反饋變壓器以產生磁反饋信號；輸入低壓側的磁反饋信號通過放大和比較電路來進行多個故障檢測，併集成為一路高電位故障信號進行保護，同時上報給發射機控制單元處理，同時輸出4路高電位狀態檢測信號，便於現場測試或作進一步信號處理；這3路高電位電源共用一個高電位公共端，減少所需高電位公共端及高壓連接器數量；高壓側的四倍壓整流濾波電路增加高壓共模濾波電感減小正、負偏電壓輸出紋波，並增加限流和過壓保護元件提高抗行波管打火能力。
[0024]其次，本發明對柵極脈衝調製電路進行改進:對低壓側的脈衝驅動電路，增加抗打火保護電路保護；改進浮動板柵極調製電路，優化柵極調製脈衝波形，增加多級高壓抗打火保護電路，以保護柵極脈衝形成電路的高壓側的有源器件和行波管不損壞。
[0025]本發明將燈絲、正偏、負偏等3路高電位電源集成在高壓柵極脈衝調製器內部，採用體積小、重量輕、效率高、熱耗小的高頻開關電源技術，設計了燈絲、正偏、負偏3組獨立的半橋開關電源電路，分別採用磁反饋高壓隔離採樣技術對電壓輸出準確、可靠地進行高壓隔離採樣，以實現穩壓和調壓，能夠在低壓側能夠精確、安全地調整正偏、負偏電源的電壓輸出值，使行波管達到最佳工作狀態，並且電壓輸出值幅度可以大範圍調整，對不同的行波管適應性強，通用性和可維護性好；同時，增加的高電位集成故障檢測電路，將低壓側的磁反饋信號輸入其中，通過放大和比較電路來進行多個故障檢測，併集成為一路高電位故障信號上報給發射機控制單元處理，並同時輸出4路高電位狀態檢測信號，便於現場測試或作進一步信號處理。在高電位電源的高壓側，各個高頻隔離變壓器全部採用滿足最小傳輸功率要求、最小窗口尺寸45mmX 26mmX IOmm (外徑X內徑X厚)的大口徑超微晶環形磁芯，用高壓線繞制初、次級線圈，接到低壓電路的線圈在內層繞制，接到高壓電路的線圈在外層繞制，層間絕緣使用聚四氟乙烯薄膜；線圈最大限度繞滿內徑，並增加的反饋變壓器，避免為增加輔助繞組而需要增大高頻隔離變壓器的磁芯尺寸，易於電路布局、減小變壓器體積和實施高壓隔離。在各個整流濾波電路中，輸出低壓大電流的燈絲電源使用二極體連接的橋式整流，輸出高壓小電流的正偏和負偏電源使用四倍壓整流實現升壓和整流功能，減少了正、負偏電源的高壓隔離變壓器次級匝數；正、負偏電源電壓輸出高，無法使用普通的共模濾波電感，因此在其四倍壓整流濾波電路中分別增加用高壓線繞制的高壓共模濾波電感，減小電壓輸出紋波，並增加限流功率電阻和壓敏電阻、放電管等提高抗行波管打火能力。這3路電源共用一個高電位公共端，即懸浮在陰極高壓上，減少所需高電位公共端及高壓連接器數量；高壓側電路簡單、所用的器件有源器件少、耐壓較低、參數固定不必調整、保護完善，為簡化高壓絕緣提供條件，並提高了該調製器的通用性和可靠性。
[0026]本發明將柵極脈衝調製電路分為低壓側的脈衝驅動電路，和高壓側的柵極脈衝電路等。在低壓側，給脈衝驅動電路的輸出增加兩級消噪電路，在高壓打火時保護集成電路不損壞。在高壓側，採用浮動板柵極調製電路，增加輸出隔直電容，增加多級高壓抗打火保護電路，以保護調製器高壓側的柵極調製脈衝電路的有源器件以及行波管不損壞；傳遞調製脈衝的隔離變壓器也用45mmX 26mmX IOmm (外徑X內徑X厚)的超微晶環形磁芯,用高壓線繞制初、次級線圈，接到低壓電路的線圈在內層繞制，接到高壓電路的線圈在外層繞制，減小體積實現高壓隔離；高壓電路取消了光纜及其高壓懸浮電路、模擬集成電路、以及線性穩壓器等有源器件，僅保留必須的MOS管作為開啟管、截尾管，並對MOS管增加氣體放電管和TVS等多級高壓抗打火保護電路措施，使調製器單元增強抗行波管打火能力，提高發射機可靠性。
[0027]本發明的調製器與現有的高壓柵極調製器相比較，所具有的特點是:
[0028]( I)集成度高:除了行波管和高壓電源之外，集成了燈絲電源、正偏電源、負偏電源等3路高電位電源、脈衝驅動電路、柵極脈衝調製電路、以及高電位集成檢測保護電路等發射機的所有高壓電路，並可以將高低壓電路集中在一個單體內，節省空間，降低電磁幹擾、減少高壓連接器數量。
[0029](2)燈絲、正偏、負偏等高電位電源的電壓輸出可以在低壓側調節:採用磁反饋隔離採樣技術，燈絲電源、正偏電源、負偏電源的輸出電壓均可實現穩壓，並在低壓側可以分別獨立、大幅值調節輸出電壓值，互不幹擾。
[0030](3)懸浮於陰極高壓上的柵極調製脈衝，能夠在低壓側調整輸出幅度:正偏電源、負偏電源的輸出電壓分別作為柵極調製脈衝的頂部和底部，而且都實現了穩壓，並在低壓側可以分別獨立調節輸出電壓值，互不幹擾。
[0031](4)耐壓高小型化效果好:在同樣耐30kV高電壓條件下的現有高壓柵極脈衝調製器中，易於實現固體介質高壓絕緣方式，減小體積重量；所有高頻高壓隔離變壓器和反饋變壓器，使用45mmX26mmX IOmm (外徑X內徑X厚)的超微晶環形磁芯，小於傳統工頻隔離變壓器體積重量的1/3 ;利於實現發射機小型化。
[0032](5)可靠性高:實現了高電位集成故障檢測信號的上報、高電位狀態檢測信號的導出；對脈衝驅動電路輸出保護；高頻高壓隔離變壓器和反饋變壓器，用高壓線繞制初、次級線圈，接到低壓電路的線圈在內層繞制，接到高壓電路的線圈在外層繞制，並層間加聚四氟乙烯薄膜，比聚亞醯胺的韌性和延展性好，比電工紙的絕緣性好。減小體積實現高壓隔離；增加高電位電源的高壓電路濾波、限流和過壓保護，增加在柵極脈衝調製電路內多級高壓抗打火保護電路，抗行波管打火能力強。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0033]圖1本發明線路組成框圖
[0034]圖2本發明高電位電源半橋逆變電路原理圖
[0035]圖3本發明高電位電源磁反饋及整流電路原理圖
[0036]圖4本發明高電位集成故障檢測電路原理圖
[0037]圖5本發明脈衝驅動電路和雙級消噪電路原理圖
[0038]圖6本發明柵極調製脈衝電路原理圖
【具體實施方式】
[0039]現結合實施例、附圖對本發明作進一步描述:
[0040]本發明實施例採用的技術方案是:對調製器的主要部件脈衝調製電路和進行了改進設計併集成了燈絲、正偏、負偏等高電位電源，併集成了多路高電位故障信號，以滿足高機動雷達發射機工作條件的要求。
[0041]如圖1所示，發明的調製器，由高電位電源電路、柵極脈衝調製電路等2部分組成。高電位電源電路採用高頻開關式直流穩壓工作方式，為行波管提供工作需要的燈絲電源，為柵極脈衝調製器電路提供正、負偏電源，並上報高電位集成故障信號、導出高電位狀態檢測信號；柵極脈衝調製電路採用浮動板柵極調製技術，產生所需的柵極調製脈衝，驅動行波
管工作。
[0042]雷達供電後發射機自動進入加電狀態，該調製器收到工作信號後燈絲、正偏、負偏等3路電源開始工作，輸入48V直流電壓到高頻脈衝的變換，整個電路通過控制電路和驅動電路實現變換功能，將高頻脈衝輸入到高壓側的高頻隔離變壓器，經過整流橋式或四倍壓電路整流，輸出燈絲電壓提供給行波管，輸出正負偏電壓提供給脈衝調製電路，產生柵極調製脈衝，對行波管進行調製，對微波小信號進行放大並輸出大功率的脈衝功率信號到雷達天線。
[0043]本發明的調製器在研製過程當中，主要對高電位電源電路、柵極脈衝調製電路等兩個方面進行了改進設計。
[0044]一、高電位電源電路設計
[0045]本發明的調製器的高電位電源電路集成了燈絲電源、正偏電源、負偏電源等3路直流高電位電源，其輸出懸浮在陰極高壓上:燈絲電壓-14V~-9V可調、電流≥3A，正偏電源+260~+540V可調、電流20mA，負偏電源-350~-520V可調、電流10mA，燈絲和正偏電源輸出電壓穩定度5X10 —3。為了滿足行波管工作的技術要求，燈絲電源加熱陰極以產生電子束，正、負偏電源提供柵極調製脈衝的正、負偏置電壓。 [0046]使用高頻開關電源技術設計高電位電源，工作效率遠高於使用3端穩壓器等線性電源技術，發熱量低，為使用固體介質的高壓絕緣方式提供了前提。該高電位電源採用3路獨立半橋逆變電路，以及磁反饋高壓隔離採樣技術。採用半橋逆變電路，具有兩大抗不平衡特性，即功率開關管能自動均流、高頻功率變壓器不易飽和。通過變壓器漏感與開關器件的分布電容實現軟開關導通與關斷，減小開關管的開關損耗，同時由於變換器輸出波形較好，使高壓高頻變壓器的損耗減小，效果明顯。採用磁反饋高壓隔離採樣技術，既為PWM控制電路提供可靠的閉環負反饋電壓，使得3路高電位電源分別實現穩壓和在低壓側分別獨立可調，又能夠實現高電位集成故障檢測電路。
[0047]如圖1所示，高電位電源電路由燈絲電源電路、正偏電源電路、負偏電源電路和高電位集成故障檢測電路等4部分組成。
[0048]1、燈絲電源電路
[0049]其功能為完成供電輸入到燈絲輸出電壓的變換，分為7部分:在低壓側的電位器、PWM控制電路、半橋逆變電路、反饋整流濾波電路，在高壓側的高壓隔離變壓器、反饋變壓器、橋式整流濾波電路。
[0050](1)電位器:
[0051]其功能為調整輸出電壓。採用多圈精密、調整端可鎖緊的3端子電位器，該電位器的兩個固定端分別連接高壓隔離採樣信號到PWM控制電路中的SG1525的12腳(GND)，而一個活動端則連接PWM控制電路中的SG1525的I腳(內部誤差比較器同相輸入端)。旋轉電位器的活動端，可以微調SG1525的I腳電壓，改變SG1525的PWM脈衝的佔空比，從而達到調整輸出電壓幅值的目的。
[0052](2) PWM 控制電路:
[0053]由電壓控制型PWM集成控制器SG1525作為核心控制晶片，輸出PWM脈衝，經過驅動器IR2110，驅動半橋逆變電路的MOS管的柵極，使半橋逆變電路工作。將通過反饋整流濾波電路得到高壓隔離採樣的直流電壓，輸入SG1525的內部誤差比較器，調節輸出的PWM脈衝的佔空比，實現穩壓控制，並可以使用低壓側電位器精確調整電壓輸出值。
[0054](3)半橋逆變電路:
[0055]如圖2所示。系統的48V供電經過濾波電路輸入燈絲電源，即48V供電接保險絲FULFUl接1.5KE62A的TVS管Vl的負端，Vl的正端接48V的回線，Vl的負端與濾波器Zl的輸入正端相接，Vl的正端與濾波器Zl的輸入負端相接，Zl的輸出端並聯了大容量電解電容Cl和C2儲能、0.1 μ陶瓷電容C3濾高頻雜波、以及68V壓敏電阻Rl防過壓和IOOk Ω/2Ι放電電阻R2 ；C2的正端串聯霍爾電流互感器TAl，再連接半橋逆變電路，由MOS管V3、V4、電容C6?C9以及電阻R5?R6組成。該半橋逆變電路輸出PWM高頻脈衝，輸入在高壓側的高壓隔離變壓器的初級。通過高壓隔離變壓器漏感與MOS管的分布電容形成諧振，實現MOS管的軟開關導通與關斷，減小開關管的開關損耗，同時由於變換器輸出波形較好毛刺少，減小了高壓隔離變壓器的功耗。
[0056](4)高壓隔離變壓器:
[0057]如圖3所示Tl。其功能是將半橋逆變電路輸出PWM高頻脈衝，經過以匝比46:33降壓和高壓隔離輸入橋式整流濾波電路。該變壓器採用45mmX 26mmX IOmm (外徑X內徑X厚)超微晶環形磁芯，用外徑僅1.6mm工作電壓18kV耐壓22kV的高壓線繞制初、次級線圈，接到低壓電路的線圈在內層繞制，接到高壓電路的線圈在外層繞制，並纏繞聚四氟乙烯薄膜作為層間絕緣，實現初次級> 35kV的高壓隔離，工藝簡單可靠性高，大幅減小變壓器的體積。
[0058](5)反饋變壓器:
[0059]如圖3所示T2。其功能是將高頻隔離變壓器的輸出PWM高頻脈衝，即橋式整流濾波電路的輸入信號，輸入反饋變壓器初級，再1:1輸出到次級，作為高壓隔離取樣信號輸入在低壓側的反饋整流濾波電路。採用磁反饋高壓隔離採樣技術，即通過對整流電路輸入的磁反饋採樣以及反饋變壓器的高壓絕緣，間接地同步得到電源輸出直流電壓幅度的線性變化，解決了懸浮在高壓上的高電位電源輸出直流電壓的高壓隔離採樣困難的問題；由於單獨設置了反饋變壓器，則高壓隔離變壓器可以儘可能選小體積磁芯，不必為了高壓絕緣而選擇內徑更大的磁芯，而且反饋變壓器可以靈活地調整匝數，以得到合適的電壓輸出。該變壓器採用與高壓隔離變壓器相同的製作方法，僅匝數目不同。
[0060]( 6 )反饋整流濾波電路:
[0061]如圖1所示。其功能是將反饋變壓器次級輸出的交流的高壓隔離取樣信號整流，得到合適的直流電壓，作為直流的高壓隔離採樣信號，輸入PWM控制電路、高電位集成故障檢測電路。採用超快恢復二極體LL4148連接成橋式整流電路，將其直流輸出端並聯10 μ F電解電容和0.1yF陶瓷電容濾波，然後分兩路輸出，一路直接連接輸出電壓調整電位器的一個固定端，另一路輸入高電位集成故障檢測電路內相應的射隨器進行隔離，避免幹擾前一路信號而影響PWM控制電路工作。
[0062]( 7 )橋式整流濾波電路:
[0063]如圖3所示，其功能將由高壓隔離變壓器輸出的PWM高頻脈衝，整流濾波得到直流電壓輸出。PWM高頻脈衝使用二極體V9?V12構成的橋式整流，通過電容C18?C21儲能濾波，電阻R11、R12作為假負載，LI是共模濾波電感，27V壓敏電阻R13和18V的TVS管V13對輸出過壓保護。
[0064]2、正偏電源電路
[0065]其功能為完成供電輸入到正偏電壓輸出的變換，分為7部分:在低壓側的電位器、PWM控制電路、半橋逆變電路、反饋整流濾波電路，在高壓側的高壓隔離變壓器、反饋變壓器、四倍壓整流濾波電路。
[0066]正偏電源電路與燈絲電源電路基本相同，所不同的是:
[0067](3)半橋逆變電路:[0068]如圖2所示。系統的供電48V濾波後，C2的正端未串聯霍爾電流互感器，而串聯了保險絲FU3，再連接正偏電源的半橋逆變電路，由MOS管V5、V6、電容ClO?Cl3以及電阻R7?R8組成。
[0069](4)高壓隔離變壓器:
[0070]如圖3所示T3。其功能是將半橋逆變電路輸出的PWM高頻脈衝，經過高壓隔離，以匝比10:62升壓到約140V輸入四倍壓整流濾波電路。
[0071](5)反饋變壓器:
[0072]如圖3所示T4。其功能是將高頻隔離變壓器輸出的PWM高頻脈衝，即四倍壓整流濾波電路的輸入信號，輸入反饋變壓器初級，再以匝比55:9降壓到約18V輸出到次級，作為高壓隔離取樣信號輸入在低壓側的反饋整流濾波電路。
[0073]( 7 )四倍壓整流濾波電路
[0074]如圖3所示，其功能將由高壓隔離變壓器的輸出PWM高頻脈衝，整流濾波得到輸出電壓。PWM高頻脈衝經過高壓隔離變壓器一次升壓，再用高壓快速二極體V14?V17和高壓陶瓷電容C22?C25構成的四倍壓整流電路，實現二次升壓和整流，採用二次升壓技術可減少高壓隔離變壓器次級匝數，減小高頻隔離變壓器體積。大容量電解電容C26?C27儲能濾波，電阻RH、R15是假負載。
[0075]其中，L2是高壓共模濾波電感，抑制共模噪聲減小輸出紋波；一般共模電感採用漆包線繞制，但其工作電壓接近600V，傳統的漆包線耐壓強度不夠；高壓共模電感使用外徑小於0.7mm高壓線繞制線圈，可以使用小直徑電感磁環繞制，減小高壓共模電感的尺寸。
[0076]此外，680V壓敏電阻R16和1.5KE330A的TVS管V18、V19防止輸出過壓，與20 Ω /20W限流電阻Rl7 —起提高電源的抗行波管打火能力。
[0077]3、負偏電源電路
[0078]其功能為完成供電輸入到負偏電壓輸出的變換，分為7部分:在低壓側的電位器、PWM控制電路、半橋逆變電路、反饋整流濾波電路，在高壓側的高壓隔離變壓器、反饋變壓器、四倍壓整流濾波電路。
[0079]負偏電源電路與正偏電源電路基本相同，所不同的是:
[0080](3)半橋逆變電路:
[0081]如圖2所示。系統的供電48V濾波後，C2的正端未串聯霍爾電流互感器和保險絲，連接負偏電源的半橋逆變電路，由MOS管V7、V8、電容C14?C17以及電阻R9?RlO組成。
[0082](4)高壓隔離變壓器:如圖3所示T5。以匝比10:57升壓到約130V。
[0083](5)反饋變壓器:如圖3所示T6。以匝比55:9降壓到約17V。
[0084](7 )四倍壓整流濾波電路:
[0085]用高壓快速二極體V20?V23和高壓陶瓷電容C28?C31構成的四倍壓整流電路，實現二次升壓和整流。大容量電解電容C32?C33儲能濾波，電阻R18、R19作為假負載。
[0086]其中，L3是高壓共模濾波電感。
[0087]此外，680V壓敏電阻R20和1.5KE330A的TVS管V24、V25防止輸出過壓，與20 Ω /20W限流電阻R21 —起提高電源的抗行波管打火能力。
[0088]4、高電位集成故障檢測電路:[0089]如圖4所示。其功能為完成燈絲過流、燈絲欠流、燈絲過壓、燈絲欠壓、正偏過壓、正偏欠壓、負偏過壓、負偏欠壓等8個故障檢測，集成為一路高電位集成故障檢測信號輸出，用來上報發射機，其中延時檢測燈絲電源故障；並同時輸出4路高電位狀態檢測信號，作為高電位狀態檢測信號輸出，便於現場測試或作進一步信號處理；分為5部分:燈絲電源故障延時檢測電路、正偏故障檢測電路、負偏故障檢測電路、集成故障檢測電路、高電位狀態檢測電路。
[0090]( I)燈絲電源故障延時檢測電路:
[0091]如圖4所示。行波管燈絲電阻冷態小熱態大，相應地設置了燈絲電源慢啟動，開機後燈絲電壓輸出幅值緩慢上升，因此燈絲電流、燈絲電壓的相關檢測必須延時30秒後檢測。
[0092]圖2中霍爾電流互感器TAl對燈絲半橋逆變電路的供電輸入電流進行檢測，並從端子①輸出燈絲電流採樣信號約+2.5V左右(該電壓隨被檢電流線性變化，最大變化幅度約0.6V左右)，輸入圖4中射隨器I進行隔離，並增大電流驅動能力；再與+2.5V基準電壓一起輸入差動放大器，當燈絲電流正常時得到約+0.2V差值電壓信號，其幅值反應燈絲電流的大小；將該差值電壓信號通過同相放大器放大30倍，得到約+6V電壓信號，將該信號輸入比較器I與設定過流門限電壓比較，若該信號小則比較器I輸出低電平表示正常，若該信號大則比較器I輸出高電平報出燈絲過流；將該信號輸入比較器2與設定欠流門限電壓比較，若該信號大則比較器2輸出低電平表不正常,若該信號小則比較器2輸出高電平報出燈絲欠流。比較器1、2分別通過二極體V61、V62輸出接撥碼開關SI的1、2腳。
[0093]將圖1中燈絲高壓隔離採樣信號輸入圖4射隨器2進行隔離，並增大電流驅動能力；再將該信號輸入比較器3與設定過壓門限電壓比較，若該信號小則比較器3輸出低電平表不正常，若該信號大則比較器3輸出高電平報出燈絲過壓；同時，將該信號輸入比較器4與設定欠壓門限電壓比較，若該信號大則比較器4輸出低電平表示正常，若該信號小則比較器4輸出高電平報出燈絲欠壓。比較器3、4分別通過二極體V63、V64輸出接撥碼開關SI的3、4腳。
[0094]如圖4所示。用延時電路控制比較器1、2、3、4的供電，在開機後延時30秒到後才對比較器1、2、3、4供電，實現燈絲延時檢測功能；延時電路可以採用RC延時電路和繼電器來控制供電等方式來實現。
[0095]( 2 )正偏故障檢測電路:
[0096]將圖1中正偏高壓隔離採樣信號輸入圖4射隨器3進行隔離，並增大電流驅動能力；再將該信號輸入比較器5與設定過壓門限電壓比較,若該信號小則比較器5輸出低電平表不正常，若該信號大則比較器5輸出高電平報出正偏過壓；同時，將該信號輸入比較器6與設定欠壓門限電壓比較，若該信號大則比較器6輸出低電平表不正常,若該信號小則比較器6輸出高電平報出正偏欠壓。比較器5、6分別通過二極體V65、V66輸出接撥碼開關SI的5、6腳。
[0097](3)負偏故障檢測電路:
[0098]將圖1中負偏高壓隔離採樣信號輸入圖4射隨器4進行隔離，並增大電流驅動能力；再將該信號輸入比較器7與設定過壓門限電壓比較，若該信號小則比較器7輸出低電平表不正常，若該信號大則比較器7輸出高電平報出負偏過壓；同時，將該信號輸入比較器8與設定欠壓門限電壓比較，若該信號大則比較器8輸出低電平表示正常，若該信號小則比較器8輸出高電平報出負偏欠壓。比較器7、8分別通過二極體V67、V68輸出接撥碼開關SI的7、8腳。
[0099](5)集成故障檢測電路:
[0100]如圖4所示。將燈絲過流、燈絲欠流、燈絲過壓、燈絲欠壓、正偏過壓、正偏欠壓、負偏過壓、負偏欠壓等8個故障檢測信號分別輸入V61?V68，通過SI連接到一起，起到或門的作用；S1內部有8路開關，通常保持接通，任意一路發生故障，則SI就輸出高電平，如果需要屏蔽任意一路故障，則可以斷開相應的開關，實現相關故障的屏蔽作用；S1的單一輸出連接比較器9、10，與設定故障門限電壓相比較，若SI的輸出小，則比較器9輸出低電平使得用於指示故障的發光二極體滅，比較器10輸出的高電位集成故障檢測信號為高電平表示正常；gSl的輸出大，則比較器9輸出高電平使得用於指示故障的發光二極體亮，比較器10輸出的高電位集成故障檢測信號為低電平表示故障；此外，用低電平表示故障集成故障檢測電路也可以報出高壓柵極脈衝調製器無供電故障，因此該電路總共可以集成報出9路故障。
[0101]( 6 )高電位狀態檢測電路:
[0102]如圖4所示。射隨器2的輸出連接電阻分壓器I進行分壓，得到約+5V燈絲電壓狀態信號，其幅度變化反映燈絲電壓輸出幅度的線性變化；射隨器3的輸出連接電阻分壓器2進行分壓，得到約+5V正偏電壓狀態信號，其幅度變化反映正偏電壓輸出幅度的線性變化；射隨器4的輸出連接電阻分壓器3進行分壓，得到約+5V負偏電壓狀態信號，其幅度變化反映負偏電壓輸出幅度的線性變化；這3路電壓狀態信號與比較器10輸出的高電位集成故障檢測信號總共4路信號，共同作為高電位狀態檢測信號，易於作進一步信號處理，或者實現在發射機工作時現場進行測試。
[0103]二、柵極脈衝調製電路設計
[0104]本發明調製器的柵極脈衝調製由外部開啟脈衝和截尾脈衝，經過驅動和兩級消噪，由高壓脈衝隔離變壓器高壓隔離，傳輸到柵極浮動板調製電路產生柵極調製脈衝輸出驅動行波管柵極，增加多級高壓抗打火保護電路。
[0105]如圖1所示，柵極脈衝調製電路由在低壓側的脈衝驅動電路、兩級消噪電路，以及在高壓側的高壓隔離脈衝變壓器、開啟管及其驅動電路、截尾管及其驅動電路、柵極脈衝調製及其保護電路等6部分組成。
[0106]1、脈衝驅動電路:
[0107]如圖5所示。由TC4424EPA集成驅動晶片UlO為核心構成脈衝驅動電路，將從外部輸入的開啟脈衝、截尾脈衝增大驅動電流、優化波形，以驅動高壓隔離脈衝變壓器的初級。在UlO的開啟脈衝輸入端2腳與3腳(地)之間接TVS管V26、電阻R22、濾波電容C34消除輸入線上的毛刺；在UlO的截尾脈衝輸入端4腳與3腳(地)之間接TVS管V27、電阻R23、濾波電容C35消除輸入線上的毛刺；在UlO的電源端6腳與3腳(地)之間接濾波電容C37、C38、電阻R25、TVS管V33，進行濾波消除毛刺。
[0108]2、兩級消噪電路:
[0109]如圖5所示。對脈衝驅動電路的輸出增加兩級消噪電路，其功能是對UlO的輸出增加濾波消噪和保護，增強UlO的抗行波管打火能力，在發射機的行波管、高壓電源等發生打火時，地線和電磁環境受到影響時，確保UlO完好。在UlO的開啟脈衝輸出端7腳接限流電阻R24 ;快速二極體V28負端接電源端、正端接R24，快速二極體V30負端接電源端、正端接地，實現一級降噪；隔直電容C36 —端接R24和V28正端，另一端接V29正端和高壓隔離脈衝變壓器；快速二極體V29負端接電源端、正端接R24，快速二極體V31負端接電源端、正端接地，實現二級降噪；TVS管V32負端接C36，正端接地，消除輸出線上毛刺；TVS管V34負端接UlO的截尾脈衝輸出端5腳，正端接地，消除輸出線上毛刺；0.1 μ F陶瓷電容C39消除柵極調製脈衝間隔內的幹擾雜波。
[0110]3、高壓隔離脈衝變壓器:
[0111]如圖6所示Τ7。其功能是將UlO的輸出的合成一路的開啟/截尾脈衝，輸入高壓側驅動開啟管和截尾管。該變壓器有一個初級兩個次級，匝比為10:10:10，採用45mmX26mmX IOmm (外徑X內徑X厚)超微晶環形磁芯,磁通量較大,直接可以無失真地傳輸60 μ s寬脈寬。該變壓器採用45mmX26mmX IOmm (外徑X內徑X厚)超微晶環形磁芯，用外徑僅1.6mm工作電壓ISkV耐壓22kV的高壓線繞制初、次級線圈，接到低壓電路的線圈在內層繞制，接到高壓電路的線圈在外層繞制，並纏繞聚四氟乙烯薄膜作為層間絕緣，實現初次級> 35kV的高壓隔離，工藝簡單可靠性高，大幅減小變壓器的體積減小體積。
[0112]4、開啟管及其驅動電路:
[0113]如圖6所示。其功能是產生柵極調製脈衝的前沿和頂部。將從高壓隔離脈衝變壓器次級傳來的合成一路的開啟/截尾脈衝，用快速二極體V34得到開啟脈衝驅動開啟管V38，V38可選用工作電壓1500V以上的MOS管，脈衝前沿≤0.8μ s頂部平坦。正偏電壓通過防反壓的二極體V53 輸入接V34的源極D，V34的漏極S接100 Ω/8W無感功率電阻R29限流，V34的柵極G和漏極S之間接4.7 Ω的匹配電阻R27和防過壓TVS管V36，選用TVS管型號P6KE22CA ；V40~V42是3隻TVS管1.5KE440CA串聯，再與1400V氣體放電管V46並聯，然後接到V34的源極D和漏極S之間，以組合保護方式防止行波管打火過壓損壞MOS管。TVS管耐受電流小、動作電壓準確與標稱電壓偏差較小，而氣體放電管耐受電流大、動作電壓相比標稱值偏差較大，多數在±10%左右變化；因此在MOS管的源極D和漏極S之間並聯TVS管V40~V42和氣體放電管V46的組合保護方式，可以結合小打火電壓、小打火能量的精確保護與大打火電壓、大打火能量的安全保護這兩種保護功能，在發生行波管打火時可靠地保護MOS管的源極D和漏極S之間不被擊穿；因為MOS管的柵極G和漏極S之間接
4.7 Ω的匹配電阻R27，所以柵極G和漏極S之間幾乎同電位，在發生行波管打火時該組合保護方式也可以可靠地保護MOS管的源極D和漏極S之間不被擊穿。
[0114]5、截尾管及其驅動電路:
[0115]如圖6所示。其功能是產生柵極調製脈衝的後沿。將從高壓隔離脈衝變壓器次級傳來的合成一路的開啟/截尾脈衝，用快速二極體V35得到截尾脈衝驅動截尾管V39，V39可選用工作電壓1500V以上的MOS管，脈衝後沿≤I μ S。負偏電壓接V39的漏極S，V39的源極D接100 Ω /8W無感功率電阻R30限流，V39的柵極G和漏極S之間接匹配電阻R28和防過壓TVS管V37，選用TVS管型號P6KE22CA ；V43~V45是3隻TVS管1.5KE440CA串聯，再與1400V氣體放電管V47並聯，然後接到V39的源極D和漏極S之間，這種TVS管V43~V45和氣體放電管V47的組合保護方式，可以結合小打火電壓、小打火能量的精確保護與大打火電壓、大打火能量的安全保護這兩種保護功能，在發生行波管打火時可靠地保護V39的源極D和漏極S之間不被擊穿；因為V39的柵極G和漏極S之間接4.7Ω的匹配電阻R28，所以柵極G和漏極S之間幾乎同電位，在發生行波管打火時該組合保護方式也可以可靠地保護V39的源極D和漏極S之間不被擊穿。
[0116]6、柵極脈衝調製及其保護電路:
[0117]如圖6所示。其功能是將形成的調製脈衝經過保護電路驅動行波管柵極。採用浮動板柵極調製電路產生柵極調製脈衝，波形好、前後沿陡、效率高，發熱小。增加多級高壓抗打火保護電路，由V38和V39得到柵極調製脈衝，經過1200V/0.47 μ F高頻薄膜電容C39隔直，當V38發生直通故障時，防止正偏電壓直接加到行波管柵極上造成行波管柵極損壞；再經過100Q/8W無感功率電阻R41限流，然後輸出到行波管柵極。電阻R31?R34、R36?R39和電容C39構成一個迴路，這些電阻可以對C39在進行放電。電阻R36?R39串聯後，其兩端與高壓快恢復二極體V49?V51串聯後的兩端相接，然後再與氣體放電管V52和限流電阻R40串聯後的兩端相接，一端與C39、R41連接，另一端連接負偏電壓輸入，在V39不工作或發生斷路故障時，將柵極調製脈衝的底部可靠地箝位在負偏電壓上，確保行波管工作安全。1400V氣體放電管V52和限流電阻R40串聯後，一端接V49和R41，另一端接負截尾管偏電壓輸入，當行波管發生打火時，可以洩放打火能量，保護開啟管和截尾管。1400V氣體放電管V48和限流電阻R35串聯後，一端接R33和C39，另一端接負截尾管偏電壓輸入，當行波管發生打火時，可以洩放打火能量，保護柵極脈衝調製電路。
【權利要求】
1.一種可調集成高壓柵極脈衝調製器，包括燈絲電源電路、正偏電源電路、負偏電源電路、脈衝驅動電路和柵極脈衝調製電路；其特徵在於:將燈絲電源電路、正偏電源電路和負偏電源電路輸入端的48V供電端並聯共用，輸出端的高電位公共端並聯共用，形成燈絲電源電路、正偏電源電路和負偏電源電路的集成；所述燈絲電源電路、正偏電源電路和負偏電源電路中的反饋採用反饋變壓器，其中:燈絲電源電路中的反饋由燈絲高壓隔離變壓器T1與燈絲高壓隔離變壓器輸出端並聯的燈絲反饋變壓器T2組成；正偏電源電路中的反饋由正偏高壓隔離變壓器T3與正偏高壓隔離變壓器輸出端並聯的正偏反饋變壓器T4組成；負偏電源電路中的反饋由負偏高壓隔離變壓器T5與負偏高壓隔離變壓器輸出端並聯的負偏反饋變壓器T6組成。
2.根據權利要求1所述可調集成高壓柵極脈衝調製器，其特徵在於:在燈絲電源電路、正偏電源電路和負偏電源電路的反饋整流濾波電路的輸出端，燈絲半橋逆變電路中供電輸入電流線路上串聯的霍爾電流互感器TAl的輸出端連接高電位集成故障檢測電路；所述高電位集成故障檢測電路包括燈絲過流、燈絲欠流、燈絲過壓、燈絲欠壓、正偏過壓、正偏欠壓、負偏過壓和負偏欠壓8個故障檢測電路，根據燈絲半橋逆變電路中供電輸入電流線路上串聯的霍爾電流互感器TAl的輸出端得到燈絲電流採樣信號，將採樣信號與基準電壓比較得到燈絲過流或燈絲欠流的警示信號輸出；根據燈絲反饋整流濾波電路輸出端的採樣信號與設定的燈絲過壓門限電壓或燈絲欠壓門限電壓進行比較，得到燈絲過壓或燈絲欠壓的警示信號輸出；根據正偏反饋整流濾波電路輸出端的採樣信號與設定的正偏過壓門限電壓或正偏欠壓門限電壓進行比較，得到正偏過壓或正偏欠壓的警示信號輸出；根據負偏反饋整流濾波電路輸出端的採樣信號與設定的負偏過壓門限電壓或負偏欠壓門限電壓進行比較，得到負偏過壓或負偏欠壓的警示信號輸出。
3.根據權利要求1所述可調集成高壓柵極脈衝調製器，其特徵在於:在48V供電與燈絲電源電路、正偏電源電路和負偏電源電路的輸入端設有濾波電路。
4.根據權利要求1所述可調集成高壓柵極脈衝調製器，其特徵在於:所述柵極脈衝調製電路的脈衝驅動電路是由TC4424EPA集成驅動晶片UlO為核心構成脈衝驅動電路，將從外部輸入的開啟脈衝、截尾脈衝增大驅動電流、優化波形，以驅動高壓隔離脈衝變壓器的初級；在UlO的開啟脈衝輸入端2腳與3腳的地之間接TVS管V26、電阻R22和濾波電容C34，以消除輸入線上的毛刺；在UlO的截尾脈衝輸入端4腳與3腳地之間接TVS管V27、電阻R23和濾波電容C35，以消除輸入線上的毛刺；在UlO的電源端6腳與3腳地之間接濾波電容C37、C38、電阻R25和TVS管V33，以進行濾波消除毛刺。
5.根據權利要求1所述可調集成高壓柵極脈衝調製器，其特徵在於:所述柵極脈衝調製電路的兩級消噪電路:在UlO的開啟脈衝輸出端7腳接限流電阻R24 ;快速二極體V28負端接電源端、正端接R24，快速二極體V30負端接電源端、正端接地，實現一級降噪；隔直電容C36 —端接R24和V28正端，另一端接V29正端和高壓隔離脈衝變壓器；快速二極體V29負端接電源端、正端接R24，快速二極體V31負端接電源端、正端接地，實現二級降噪；TVS管V32負端接C36，正端接地，消除輸出線上毛刺；TVS管V34負端接UlO的截尾脈衝輸出端5腳，正端接地，消除輸出線上毛刺；0.1yF陶瓷電容C39消除柵極調製脈衝間隔內的幹擾雜波。
6.根據權利要求1所述可調集成高壓柵極脈衝調製器，其特徵在於:所述柵極脈衝調製電路的高壓隔離脈衝變壓器包括一個初級兩個次級，匝比為10:10:10。
7.根據權利要求1或6所述可調集成高壓柵極脈衝調製器，其特徵在於:所述高壓隔離脈衝變壓器，以及T1~T6的六個反饋變壓器均採用超微晶環形磁芯。
8.根據權利要求1所述可調集成高壓柵極脈衝調製器，其特徵在於:所述燈絲高壓隔離變壓器T1的變壓比為46: 33，燈絲反饋變壓器T2的變壓比為1:1。
9.根據權利要求1所述可調集成高壓柵極脈衝調製器，其特徵在於:所述正偏高壓隔離變壓器T3的變壓比為10: 62，正偏反饋變壓器T4的變壓比為55: 9。
10.根據權利要求1所述可調集成高壓柵極脈衝調製器，其特徵在於:所述負偏高壓隔離變壓器T5的變壓比為10: 57，負偏 反饋變壓器T6的變壓比為55: 9。
【文檔編號】H02M1/088GK103929847SQ201410055302
【公開日】2014年7月16日 申請日期:2014年2月19日 優先權日:2013年10月17日
【發明者】陳耿, 羅強, 魏欣, 李銳, 江志, 李建華, 張耀, 顧光, 何鵬軍, 陳義懷, 李超, 張焱, 白雲飛, 劉潔, 許馮華, 張寧, 邊昆, 馬行 申請人:西安電子工程研究所