排風管清潔系統的製作方法

2023-06-11 03:58:11 4

專利名稱：排風管清潔系統的製作方法
技術領域：
本發明是關於一種排氣風管清潔系統；具體而言，本發明是有關於一種供 半導體工藝中處理粉塵所使用的排氣風管清潔系統。
背景技術：
半導體相關產業經過多年發展，製造技術精益求精。半導體製造工藝中需 要使用例如氣相沉積(CVD， chemical vapor deposition)以及蝕刻(etch)等化 學相關的技術，其所衍生的廢氣以及粉塵等的廢棄物，通常具有腐蝕性以及毒 性，容易使製造設備損壞。因此，必須架設特殊設備對廢棄物進行處理。 一般 而言，氣相沉積以及蝕刻技術所產生的粉塵經由排氣風管排放至集塵機，以進 行過濾以及收集。然而，排氣風管在長時間的運轉下，常因排氣溫度下降或風 速變低，而使得粉塵沉積在排氣風管的管壁與底部。因此，排氣風管必須以人 工定期清理，否則，排氣風管的使用效率下降將降造成廢棄物處理不完善，進 而損害半導體製造設備。目前，進行排氣風管的清潔程序時，排氣風管系統必須中斷運作，甚至制 造機臺也必須暫停運轉，以供人員將排氣風管拆卸下來以進行清潔。如此的清 潔程序費時費力，造成半導體機臺利用率下降，導致整體的產能下降。因此， 如何設計一種排氣風管清潔系統，以改善清潔排氣風管系統的效率，成為半導 體製造工藝中待解決的重要課題之一 。發明內容本發明的目的在於提供一種排氣風管清潔系統，該清潔系統具有較高效率 的清潔功能。本發明的另一目的在於提供一種排氣風管清潔系統，該清潔系統可提升制
程機臺利用率。本發明的上述目的可通過下列技術方案來實現， 一種排風管清潔系統，該 清潔系統包含 一排氣風管，該排氣風管具有一第一開孔以及至少一第二開孔， 該第一開孔設置在該排氣風管的底部；以及一集塵裝置，該集塵裝置包含一容 納殼體以及一連通管，該連通管設置在該排氣風管與該容納殼體之間。在本發明的優選實施方式中，該集塵裝置進一步包含一緩衝裝置，該緩衝 裝置具有一第一閥門設置於該容納殼體以及該連通管之間。在本發明的優選實施方式中，該清潔系統更包含一收集裝置，設置於該容 納殼體下方，其中該緩衝裝置進一步具有一第二閥門設置於該容納殼體與該收 集裝置之間。在本發明的優選實施方式中，該第一閥門與該第二閥門分別包含一閘刀開關。在本發明的優選實施方式中，該收集裝置包含一集塵袋，該集塵袋可拆卸 地設置在該收集裝置內部。在本發明的優選實施方式中，該集塵裝置的該連通管、該緩衝裝置以及該 收集裝置至少其一 的內部表面具有一抗腐蝕性材質。在本發明的優選實施方式中，該集塵裝置的該連通管、該緩衝裝置以及該 收集裝置至少其一的內部表面具有一拋光材質。在本發明的優選實施方式中，該第一開孔與該第二開孔的孔徑界於10釐米與30釐米之間。在本發明的優選實施方式中，該第一開孔以及該第二開孔設置在該排氣風 管的軸向的橫截面上的不同位置。在本發明的優選實施方式中，該排氣風管進一步具有多個第二開孔，設置 在該排氣風管之兩側邊，該第一開孔以及該第二開孔於該排氣風管的軸向的橫 截面之上等間距設置，且該第一開孔於該排氣風管的軸向的橫截面位置位於該 二第二開孔於該排氣風管的軸向的橫截面位置之間。 在本發明的優選實施方式中，該第一開孔以及該第二開孔於該排氣風管的軸向的橫截面位置的間距界於45釐米與75釐米之間。本發明提出的排氣風管清潔系統包含排氣風管、集塵裝置以及收集裝置。 排氣風管位於最上方，收集裝置設置於最下方，而集塵裝置則連接於排氣風管 與收集裝置之間。排氣風管上具有第一開孔與第二開孔，具體而言，第一開孔 形成於排氣風管的底部而面對於集塵裝置，第二開孔形成於排氣風管的側邊。 集塵裝置包含連通管、容納殼體以及緩衝裝置。連通管連通容納殼體與排氣風 管，而緩衝裝置包括第一閥門與第二閥門，第一閥門設置於容納殼體以及連通 管之間，第二閥門設置於容納殼體與收集裝置之間，作為開關。本發明提供的排氣風管清潔系統，可在不中斷排氣風管運作以及不停止制 程機臺運轉的情況下，進行排氣風管的清潔程序。本發明的排氣風管清潔系統 可應用於半導體相關的產業的製造工藝之中，如晶片製造工藝或液晶面板製造 工藝。


圖1為本發明的排氣風管清潔系統的立體示意圖；圖2為本發明的排氣風管仰視示意圖；圖3為本發明的排氣風管清潔系統的剖面示意圖；圖4a為本發明的緩衝裝置一實施例的示意圖；以及圖4b為本發明的緩衝裝置一實施例的示意圖。附圖標記說明10排氣風管清潔系統20排氣風管201第一開孔202第二開孔30集塵裝置 301連通管 303容納殼體 305緩衝裝置 3051第一閥門 3052開口 3053閘刀 3055第二閥門 40收集裝置 401集塵袋具體實施方式
如圖1所示，為本發明一實施例的排氣風管清潔系統10的立體示意圖。排 氣風管清潔系統10包括排氣風管20、集塵裝置30以及收集裝置40。其中，排 氣風管20位於最上方，收集裝置40設置於最下方，而集塵裝置30則連接於排 氣風管20與收集裝置40之間。本實施例中，排氣風管20為圓柱狀的中空導管 且與地面平行地設置。然而在不同實施例中，排氣風管亦可具有方形、橢圓形， 或其它形狀的截面，且可不與地面平行。排氣風管20具有第一開孔201以及至 少一個第二開孔202。圖2為排氣風管20的仰視圖(由排氣風管底部往上看)。 排氣風管20具有第一開孔201以及至少一個第二開孔202。第一開孔201與第 二開孔202的孔徑較佳是介於10釐米(公分)與30釐米之間。由圖2可見，排 氣風管20的第一開孔201與第二開孔202在排氣風管20的軸向橫截面上是位 於不同位置，且第一開孔201與第二開孔202的開口朝向不同方向；具體而言， 第一開孔201設置於排氣風管20的底部而面對於集塵裝置30，第二開孔202 較佳交錯地設置於排氣風管20的側邊。進一步而言，如圖2所示，第一開孔201於排氣風管20的軸向橫截面下方 的位置，介於兩個第二開孔202於排氣風管20的軸向橫截面上的位置之間，且 第一開孔201與其相鄰的每個第二開孔202的軸向橫截面上之間等距離設置， 如圖2所示的距離d。在本實施例中，第一開孔201與第二開孔202在排氣風 管20的軸向橫截面上的距離d較佳介於45釐米與75釐米之間。當排氣風管 20具有一個以上的第一開孔201以及兩個以上的第二開孔202時，於排氣風管 20的同一側邊的多個第二開孔202是等間距的設置。由於不同化學工藝所產生的粉塵或廢棄物的化學屬性不同，所選用的排氣 風管的材質也不盡相同； 一般而言，化學相關工藝的排氣風管材料選用具抗腐 蝕性以及具耐燃性的材質；例如，抗酸鹼腐蝕的聚丙烯(PP)塑料材質，或者， 使用金屬材質並在排氣風管內部表面塗布抗腐蝕性材料。請見圖3，為本發明的排氣風管清潔系統10的剖面示意圖。本實施例中， 排氣風管清潔系統10的集塵裝置30包含連通管301以及容納殼體303。連通 管301可為一長形的軟管，連接於排氣風管20的第一開口 201以及容納殼體 303之間，如此可連通排氣風管20所形成的空間以及容納殼體303所形成的空 間。容納殼體303較佳地為下方有漏鬥形狀的容器，便於粉塵向下集中。集塵 裝置30更包括緩衝裝置305。此實施例中，緩衝裝置305包含第一閥門3051， 設置於容納殼體303以及連通管301之間，做為開關。值得注意的是，圖3是 以第一開孔201為中心的剖面示意圖，由於本發明的排氣風管清潔系統10的第 一開孔201以及第二開孔202交錯設置，所以第一開孔201以及第二開孔202 位於不同的剖面，因此，圖3的第一開孔201以實線表示，而第二開孔202以 虛線表示。排氣風管清潔系統10的收集裝置40置於集塵裝置30的容納殼體303的下 方。收集裝置40包含集塵袋401，該集塵袋401可拆卸地設置於收集裝置40 之中，以於必要時進行更換。此外，集塵裝置30的緩衝裝置305進一步包含第 二閥門3055，設置於容納殼體303與收集裝置40之間，做為開關。類似於排氣風管20的材質，本發明的排氣風管清潔系統10中構成集塵裝 置30以及收集裝置40的材質，較佳地為抗腐蝕性材質，例如，抗酸鹼腐蝕的 聚丙烯(PP)塑料材質，或者，塗布抗腐蝕性材料的非抗腐蝕性的金屬材質。此外，集塵裝置30中的連通管301與容納殼體303,以及收集裝置40的內部 表面較佳地為拋光材質表面，如此使粉塵不輕易堆積於該等裝置之內。圖4a與圖4b所示為緩衝裝置305的第一閥門3051與連通管301及容納殼 體303的進一步示意圖。於一實施例中，第一閥門3051較佳地為閘刀開關，其 一端為開口 3052，另一端為閘刀3053。第一閥門3051可選擇性地關閉或開啟， 供容納殼體303與連通管301選擇性地連通。如圖4a所示，緩衝裝置305的第 一閥門3051呈關閉狀態，閘刀3053位於連通管301與容納殼體303之間，而 幵口 3052則被推出於連通管301與容納殼體303之外；如圖4b所示的緩衝裝 置305的第一閥門3051呈開啟狀態，如此容納殼體303與連通管301之間透過 開口 3052連通，而閘刀3053被推出於連通管301與容納殼體303之外。第一 閥門3051的片狀閥門結構於開啟時，開口 3052無開關結構遮蔽，如此，粉塵 不會卡在第一闊門3051的開口 3052上。同樣地，第二閥門3055較佳地為閘刀 開關。第二閥門3055亦可選擇性地關閉或開啟，供容納殼體303與收集裝置 40選擇性地連通。以下說明如何利用本發明的排氣風管清潔系統IO進行粉塵的清潔。首先， 清潔人員徒手或利用工具自第二開孔202伸入排氣風管20之內，將排氣風管 20內壁上沉積的粉塵刮除，併集中在排氣風管20的底部。而後，粉塵自排氣 風管20底部的第一開孔201進入連通管303內；此時打開第一閥門3051，則 粉塵順勢落入集塵裝置30的容納殼體303所形成的空間內。當累積於容納殼體 303中的粉塵達到一定的份量，則可將第一閥門關閉隔離排氣風管負壓狀態再 將第二閥門3055打開，使粉塵落入收集裝置40的集塵袋401中。當集塵袋401 中裝滿了粉塵，則可將第二闊門3055關閉，並將裝滿粉塵的集塵袋401自收集 裝置40中取出，以打包丟棄或進一步處理。如前所述，第一開孔201以及第二開孔202的孔徑是於一合理的孔徑範圍 內， 一方面使人員輕易地伸入排氣風管20中清理粉塵，另一方面不至於使粉塵
自開孔掉出。另外，第一幵孔201與其相鄰的多個第二開孔202以等距設置， 使人員可徒手或以工具構及排氣風管20內部的每一處或至少大部份的面積，而 有更佳的清潔效果。另外，連通管301尚未連接於集塵裝置30的容納殼體303 之前，緩衝裝置305的第一閥門3051關閉，可防止粉塵掉落於連通管301之外; 同樣地，容納殼體303尚未連接於收集裝置40之前，緩衝裝置305的第二閥門 3055關閉，可防止粉塵掉落於容納殼體303之外。由上述內容可知，本發明的排氣風管清潔系統10進行以上的排氣風管清理 程序時，並不需要將排氣風管20拆卸下來，也不需中斷排氣風管20的運作。本發明已由上述相關實施例加以描述，然而上述實施例僅為實施本發明的 範例。必需指出的是，已揭露的實施例並未限制本發明的範圍。相反地，包含 於權利要求書的精神及範圍的修改及均等設置均包含於本發明的範圍內。
權利要求
1.一種排風管清潔系統，其特徵是，該清潔系統包含一排氣風管，該排氣風管具有一第一開孔以及至少一第二開孔，該第一開孔設置在該排氣風管的底部；以及一集塵裝置，包含一容納殼體以及一連通管，該連通管設置在該排氣風管與該容納殼體之間。
2. 如權利要求1所述的排風管清潔系統，其特徵是，該集塵裝置進一步包 含一緩衝裝置，該緩衝裝置具有一第一閥門設置於該容納殼體以及該連通管之 間。
3. 如權利要求2所述的排風管清潔系統，其特徵是，該清潔系統更包含一 收集裝置，設置於該容納殼體下方，其中該緩衝裝置進一步具有一第二閥門設 置於該容納殼體與該收集裝置之間。
4. 如權利要求3所述的排風管清潔系統，其特徵是，該第一閥門與該第二 閥門分別包含一閘刀開關。
5. 如權利要求3所述的排風管清潔系統，其特徵是，該收集裝置包含一集 塵袋，該集塵袋可拆卸地設置在該收集裝置內部。
6. 如權利要求3所述的排風管清潔系統，其特徵是，該集塵裝置的該連通 管、該緩衝裝置以及該收集裝置至少其一的內部表面具有一抗腐蝕性材質。
7. 如權利要求3所述的排風管清潔系統，其特徵是，該集塵裝置的該連通 管、該緩衝裝置以及該收集裝置至少其一的內部表面具有一拋光材質。
8. 如權利要求1所述的排風管清潔系統，其特徵是，該第一開孔與該第二 開孔的孔徑界於10釐米與30釐米之間。
9. 如權利要求1所述的排風管清潔系統，其特徵是，該第一開孔以及該第 二開孔設置在該排氣風管的軸向的橫截面上的不同位置。
10. 如權利要求9所述的排風管清潔系統，其特徵是，該排氣風管進一步具 有多個第二開孔，設置在該排氣風管之兩側邊，該第一開孔以及該第二開孔於該排氣風管的軸向的橫截面之上等間距設置，且該第一開孔於該排氣風管的軸 向的橫截面位置位於該二第二開孔於該排氣風管的軸向的橫截面位置之間。
11.如權利要求9所述的排風管清潔系統，其特徵是，該第一開孔以及該第二開孔於該排氣風管的軸向的橫截面位置的間距界於45釐米與75釐米之間。
全文摘要
本發明公開了一種排氣風管清潔系統，該清潔系統包含排氣風管、集塵裝置以及收集裝置。集塵裝置包含連通管、容納殼體以及緩衝裝置。排氣風管位於最上方，收集裝置設置於最下方，而集塵裝置設置於排氣風管與收集裝置之間。其中，集塵裝置的連通管連接於排氣風管與容納殼體之間，而緩衝裝置包含第一閥門與第二閥門，第一閥門設置於容納殼體以及連通管之間，第二閥門設置於容納殼體與收集裝置之間。
文檔編號B08B9/02GK101157082SQ200710165098
公開日2008年4月9日 申請日期2007年11月15日 優先權日2007年11月15日
發明者黃宗銘 申請人:友達光電股份有限公司