一種擴散爐的爐門結構的製作方法

2023-05-26 00:03:41 1

專利名稱：一種擴散爐的爐門結構的製作方法
技術領域：
本實用新型涉及半導體製備工藝技術領域，尤其涉及一種擴散爐的爐門結構。
背景技術：
擴散爐作為半導體製備過程中的重要設備之一，廣泛應用於集成電路、電力電子、 太陽能電池的生產等行業。擴散爐是民用重要設備，也是軍事材料生產的必不可少重要設
備之一。擴散爐的爐門需要較好的密封，目前使用的擴散爐爐門結構多與推舟進行一體化 設置，將推舟推入石英管之後，爐門封閉爐口 ；推舟從石英管中推出後，擴散爐的爐口處於 敞開狀態。擴散爐的爐口處於敞開狀態，將導致爐內熱量向外擴散、增大擴散爐的熱量損失， 同時增加了擴散爐的加熱功率和用電量，而且擴散的熱量會對室內環境產生熱輻射。

實用新型內容有鑑於此，本實用新型的目的在於提供一種擴散爐的爐門結構，該爐門結構與推 舟為分體設置，可以減小擴散爐的熱量損失，降低擴散爐的加熱功率和用電量，同時減小室 內環境的熱輻射。為實現上述目的，本實用新型提供如下技術方案—種擴散爐的爐門結構，包括固定裝置、耳軸座、支板、動力裝置、懸臂和石英 門；所述耳軸座和所述支板分別固定連接於所述固定裝置；所述懸臂與所述支板鉸接；所述動力裝置的主體與所述耳軸座鉸接；所述動力裝置的動作機構可做伸縮運動，並與所述懸臂鉸接；所述石英門鉸接於所述懸臂的內側面，所述內側面為所述懸臂與所述擴散爐的爐 口平行時，所述懸臂上與所述爐口相對的側面。優選的，在上述爐門結構中，所述動力裝置為氣缸，所述氣缸的缸筒與所述耳軸座 鉸接，所述氣缸的活塞杆與所述懸臂鉸接。優選的，在上述爐門結構中，進一步包括I型肘接頭，所述I型肘接頭的一端與所 述活塞杆螺紋連接，另一端與所述懸臂鉸接。優選的，在上述爐門結構中，所述動力裝置為液壓缸，所述液壓缸的缸筒與所述耳 軸座鉸接，所述液壓缸的活塞杆通過I型肘接頭與所述懸臂鉸接。優選的，在上述爐門結構中，進一步包括I型肘接頭，所述I型肘接頭的一端與所 述活塞杆螺紋連接，另一端與所述懸臂鉸接。由此可見，本實用新型公開的擴散爐的爐門結構，與推舟採用分體式設計，當推舟 從石英管中推出後，石英門可以在動力裝置的作用下關閉，對石英管進行密封，減少擴散爐的爐內熱量向外部空間擴散，降低擴散爐的熱量損失，進而減小擴散爐的加熱功率和用電 量，並降低室內環境的熱輻射。

為了更清楚地說明本實用新型實施例，下面將對實施例中所需要使用的附圖做簡 單的介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本實用新型的一些實施例，對於本領域普 通技術人員來講，在不付出創造性勞動的前提下，還可以根據這些附圖獲得其他的附圖。圖1為本實用新型公開的一種擴散爐的爐門結構在開啟狀態的俯視圖；圖2為圖1所示爐門結構在關閉狀態的俯視圖；圖3為圖1所示爐門結構安裝於擴散爐在開啟狀態的俯視圖；圖4為圖1所示爐門結構安裝於擴散爐在關閉狀態的俯視圖；圖5為圖1所示爐門結構的部分主視結構圖；圖6為本實用新型公開的另一種擴散爐的爐門結構的在開啟狀態的俯視圖。
具體實施方式
下面將結合本實用新型實施例中的附圖，對本實用新型實施例中的技術方案進行 清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例僅僅是本實用新型一部分實施例，而不是全部實 施例。基於本實用新型中的實施例，本領域普通技術人員在沒有做出創造性勞動前提下，所 獲得的所有其他實施例，都屬於本實用新型保護範圍。本實用新型公開了一種擴散爐的爐門結構，該爐門結構與推舟為分體設置，可以 減小擴散爐的熱量損失，降低擴散爐的加熱功率和用電量，同時減小室內環境的熱輻射。參見圖1、圖2、圖3和圖4，圖1為本實用新型公開的一種擴散爐的爐門結構在開 門狀態的俯視圖，圖2為圖1所示爐門結構在關閉狀態的俯視圖，圖3為圖1所示爐門結構 安裝於擴散爐在開啟狀態的俯視圖，圖4為圖1所示爐門結構安裝於擴散爐在關閉狀態的 俯視圖。該爐門結構包括固定裝置1、耳軸座2、支板3、動力裝置4、懸臂5和石英門6。其中，固定裝置1可以固定於其他設備上，也可以為獨立設置的裝置，用於為爐門 結構提供支撐。耳軸座2和支板3分別固定連接在固定裝置1上。懸臂5與支板3鉸接， 動力裝置4的主體41與耳軸座2鉸接，動力裝置4的動作機構42可做伸縮運動、並與懸臂 5鉸接，石英門6與懸臂5鉸接、設置於懸臂5的內側面上。需要說明的是，懸臂5的內側面 是指當懸臂5與擴散爐的爐口(即石英管7的開口)平行時，懸臂5上與擴散爐爐口相對 的側面。在實施中，支板3可以由上支板31和下支板32組成(如圖5所示)，上支板31和 下支板32位於同一豎直方向，並且兩者的結構相同。轉軸10與懸臂5固定，並且轉軸10 穿過上支板31和下支板32上的安裝孔(圖中未示出)，通過緊固件(圖中未標示)連接。 同時設置上支板31和下支板32可以更穩定地支撐懸臂5。下面對圖1所示爐門結構的工作過程進行說明。當動力裝置4的動作機構42處於收縮狀態時，懸臂5處於圖1和圖3所示的狀態， 即爐門結構處於開啟狀態，此時可將裝載有矽片8的推舟9從石英管7中推出。隨著動力裝置4的動作機構42從主體41中伸出，懸臂5將以與支板3的鉸接處為軸心進行旋轉，當 懸臂5旋轉至與擴散爐的爐口平行時，設置在懸臂5內側面上的石英門6將擴散爐的爐口 覆蓋，即爐門結構處於關閉狀態。需要指出的是，在動力裝置4的動作機構42伸出的過程中，懸臂5帶動石英門6 旋轉，其運行軌跡為圓弧狀。在石英門6逐漸接近石英管7開口時，石英門6上靠近支板3 的一端會首先與石英管7接觸，如果石英門6與懸臂5之間為固定連接，那麼當石英門6上 靠近支板3的一端與石英管7發生接觸後，會阻礙石英門6及懸臂5的繼續旋轉，即便懸臂 5可以繼續旋轉也會造成石英門6的磨損。因此，在本實用新型公開的爐門結構中，設置石 英門6鉸接於懸臂5，在石英門6和懸臂5之間預留一定空間，當石英門6上靠近支板3的 一端首先與石英管7發生接觸後，石英門6可以在該預留空間內進行角度微調，保證石英門 6可以順利關閉，並達到良好的密封效果。本實用新型公開的擴散爐的爐門結構，與推舟9採用分體式設計，當推舟9從石英 管7中推出後，石英門6可以在動力裝置4的作用下關閉，對石英管7進行密封，減少擴散 爐的爐內熱量向外部空間擴散，降低擴散爐的熱量損失，進而減小擴散爐的加熱功率和用 電量，並降低室內環境的熱輻射。在實施中，動力裝置4可以採用氣缸或者液壓缸。動力裝置4採用氣缸時，氣缸的缸筒(即動力裝置4的主體41)與耳軸座2鉸接， 氣缸的活塞杆(即動力裝置4的動作機構42)與懸臂5鉸接。活塞杆與懸臂5的鉸接可以通過多種方式實現，例如在活塞杆和懸臂5上分別打 孔，並通過銷軸將活塞杆與懸臂5連接為一體；或者在活塞杆上設置I型肘接頭11 (如圖6 所示)，該I型肘接頭11為標準件，其一端設置有內螺紋(圖中未示出)，可與活塞杆上的 外螺紋配合，實現I型肘接頭11與活塞杆的螺紋連接，I型肘接頭11的另一端與懸臂5鉸 接。第二種方式與第一種方式相比，不需要在活塞杆上打孔，通過設置標準件I型肘接頭11 就可以便捷的實現活塞杆與懸臂5的鉸接，其操作簡便，更能適應企業生產需要。氣缸的活塞杆處於原始收縮狀態時，爐門結構處於開啟狀態，當氣缸尾部加入壓 縮空氣時，氣缸的活塞杆推出，活塞杆推動懸臂5旋轉，當懸臂5旋轉至與爐口平行位置時， 設置於懸臂5內側面的石英門6與石英管7的端面貼合，實現關門操作。在爐門關閉狀態 下對氣缸端部加入壓縮空氣，氣缸的活塞杆回啦，拉動懸臂5反向旋轉，實現開門操作。動力裝置4採用液壓缸時，液壓缸的缸筒(即動力裝置4的主體41)與耳軸座2 鉸接，液壓缸的活塞杆(即動力裝置4的動作機構42)與懸臂5鉸接。並且，液壓缸的活塞 杆與懸臂5的鉸接也可以採用上述方式實現，在此不再贅述。本說明書中各個實施例採用遞進的方式描述，每個實施例重點說明的都是與其他 實施例的不同之處，各個實施例之間相同相似部分互相參見即可。對所公開的實施例的上述說明，使本領域專業技術人員能夠實現或使用本實用新 型。對這些實施例的多種修改對本領域的專業技術人員來說將是顯而易見的，本文中所定 義的一般原理可以在不脫離本實用新型的精神或範圍的情況下，在其它實施例中實現。因 此，本實用新型將不會被限制於本文所示的這些實施例，而是要符合與本文所公開的原理 和新穎特點相一致的最寬的範圍。
權利要求1.一種擴散爐的爐門結構，其特徵在於，包括固定裝置、耳軸座、支板、動力裝置、懸 臂和石英門；所述耳軸座和所述支板分別固定連接於所述固定裝置；所述懸臂與所述支板鉸接；所述動力裝置的主體與所述耳軸座鉸接；所述動力裝置的動作機構可做伸縮運動，並與所述懸臂鉸接；所述石英門鉸接於所述懸臂的內側面，所述內側面為所述懸臂與所述擴散爐的爐口平 行時，所述懸臂上與所述爐口相對的側面。
2.根據權利要求1所述的爐門結構，其特徵在於，所述動力裝置為氣缸，所述氣缸的缸 筒與所述耳軸座鉸接，所述氣缸的活塞杆與所述懸臂鉸接。
3.根據權利要求2所述的爐門結構，其特徵在於，進一步包括I型肘接頭，所述I型肘 接頭的一端與所述活塞杆螺紋連接，另一端與所述懸臂鉸接。
4.根據權利要求1所述的爐門結構，其特徵在於，所述動力裝置為液壓缸，所述液壓缸 的缸筒與所述耳軸座鉸接，所述液壓缸的活塞杆通過I型肘接頭與所述懸臂鉸接。
5.根據權利要求4所述的爐門結構，其特徵在於，進一步包括I型肘接頭，所述I型肘 接頭的一端與所述活塞杆螺紋連接，另一端與所述懸臂鉸接。
專利摘要本實用新型實施例公開了一種擴散爐的爐門結構，包括固定裝置、耳軸座、支板、動力裝置、懸臂和石英門；耳軸座和支板分別固定連接於固定裝置；懸臂與支板鉸接；動力裝置的主體與耳軸座鉸接；動力裝置的動作機構可做伸縮運動，並與懸臂鉸接；石英門鉸接於懸臂的內側面，該內側面為懸臂與擴散爐的爐口平行時，懸臂上與爐口相對的側面。本實用新型公開的擴散爐的爐門結構，與推舟採用分體式設計，當推舟從石英管中推出後，石英門可以在動力裝置的作用下關閉，對石英管進行密封，減少擴散爐的爐內熱量向外部空間擴散，降低擴散爐的熱量損失，進而減小擴散爐的加熱功率和用電量，並降低室內環境的熱輻射。
文檔編號F27D1/18GK201909539SQ20102068167
公開日2011年7月27日 申請日期2010年12月24日 優先權日2010年12月24日
發明者李澎, 楊漢文 申請人:株洲眾欣科技發展有限責任公司