輔助接片手裝置的製作方法
2023-05-30 14:46:16 2
專利名稱：輔助接片手裝置的製作方法
技術領域：
輔助接片手裝置技術領域[0001]本實用新型涉及機械製造領域，特別涉及一種輔助接片手裝置。
背景技術：
[0002]隨著光刻機技術的逐漸成熟，對光刻機內部結構簡單化和低經濟成本的要求越來越高。如何使光刻機內部結構的簡單化以及降低生產成本，已經成為擺在各個光刻機製造商面前必須面對的問題。輔助接片手作為光刻機工件臺中一個重要的裝置，它主要是輔助主接片手完成將玻璃基板交接到傳輸機構的任務。[0003]現有的部分光刻機的輔助接片手採用氣缸作為動力元件，控制準確度不高，影響傳輸精度；還有的一些光刻機的輔助接片手分別由獨立的電機驅動，運動同步性較差，而且經濟成本高。輔助接片手作為一種可以自由上升或者下降的裝置，廣泛應用於光刻機中的基板傳輸。常見的提升機構中，平行四邊形機構能按比例放大工作行程，廣泛使用在各類液壓升降設備中，但其工作方式都是頂升，如液壓升降工作檯，這種平面多杆機構雖然能增加提升行程，但構件受力計算比較複雜，而且佔用空間較大；還有一些提升機構採用鏈條，例如多鏈條同步提升機構，由於鏈條需要潤滑，容易對環境造成汙染，不適合應用於光刻機領域。[0004]隨著大型平板LED技術的發展，對輔助接片手的數量要求也會更多。因此，如何提供一種結構簡單、運動同步性好且經濟成本低的輔助接片手裝置成為本領域技術人員亟待解決的一個技術問題。實用新型內容[0005]本實用新型提供一種輔助接片手裝置，以解決現有技術中輔助接片手經濟成本高，運動同步性差，結構複雜的問題。[0006]為解決上述技術問題，本實用新型提供一種輔助接片手裝置，包括主接片手、輔助接片手、頂板、帶輪、同步帶、直流伺服電機、軸承、軸承座、凸輪軸以及底板，其中，所述輔助接片手和主接片手安裝在所述頂板上，所述帶輪、直流伺服電機以及軸承座安裝在所述底板上，所述同步帶與所述帶輪相匹配，同步帶上安裝有兩個光電開關限位擋板，所述輔助接片手的底部與所述凸輪軸相接觸，所述凸輪軸的兩端分別通過所述軸承連接在所述底板上，且所述凸輪軸的一端與所述帶輪相連，所述軸承通過所述軸承座固定在所述底板上。[0007]作為優選，所述凸輪軸為兩組，分別設置在所述同步帶兩端的底板上。[0008]作為優選，所述凸輪軸包括橫軸和多個凸輪，所述凸輪套設在所述橫軸上並與所述橫軸固定連接，所述凸輪的上表面與所述輔助接片手相接觸。[0009]作為優選，所述帶輪包括第一帶輪和第二帶輪，其中，第一帶輪設置在所述同步帶的中間位置，且所述第一帶輪與所述直流伺服電機相連，所述第二帶輪有兩個，分別設置於所述同步帶的兩端，且所述第二帶輪與所述凸輪軸相連。[0010]作為優選，還包括光電開關，所述光電開關設置在所述底板上。[0011]作為優選，還包括電氣限位擋板，所述電氣限位擋板設置在所述同步帶上。作為優選，所述頂板上設置有導軌，所述輔助接片手在所述導軌中上下移動。與現有技術相比，本實用新型具有以下優點:1、用一臺直流伺服電機驅動整個輔助接片手裝置，減少了原動件的數目，降低了控制的難度，節省了經濟成本；2、採用同步帶傳動和凸輪軸傳動方式，結構簡單，製造方便；3、通過凸輪軸實現輔助接片手的上升或者下降，控制簡單可靠，運動同步性好；4、可以根據實際需要增加輔助接片手的數量，實現大尺寸基板的交接傳輸。
圖1為本實用新型一具體實施方式
中輔助接片手裝置的主視圖；圖2為本實用新型一具體實施方式
中輔助接片手裝置的左視圖；圖3為本實用新型一具體實施方式
中輔助接片手裝置的立體示意圖；圖4為本實用新型一具體實施方式
中輔助接片手裝置的俯視圖；圖5為本實用新型一具體實施方式
中輔助接片手的安裝示意圖；圖6為本實用新型一具體實施方式
中凸輪的結構示意圖。圖中:1-輔助接片手、2-主接片手、3-頂板、4-帶輪、401-第一帶輪、402-第二帶輪、5-同步帶、6-直流伺服電機、7-軸承、8-軸承座、9-凸輪軸、901-凸輪、902-橫軸、10-底板、11-光電開關、12-電氣限位擋板。
具體實施方式
為使本實用新型的上述目的、特徵和優點能夠更加明顯易懂，
以下結合附圖對本實用新型的具體實施方式
做詳細的說明。需說明的是，本實用新型附圖均採用簡化的形式且均使用非精準的比例，僅用以方便、明晰地輔助說明本實用新型實施例的目的。請參照圖1飛，本實用新型提供一種輔助接片手裝置，包括輔助接片手1、主接片手2、頂板3、帶輪4、同步帶5、直流伺服電機6、軸承7、軸承座8、凸輪軸9以及底板10。其中，所述輔助接片手I和主接片手2安裝在所述頂板3上，所述帶輪4、直流伺服電機6以及軸承座8安裝在所述底板10上，所述同步帶5與所述帶輪4相匹配，同步帶5上安裝有兩個光電開關限位擋板(未圖示)，所述輔助接片手I的底部與所述凸輪軸9相接觸，所述凸輪軸9的兩端分別與所述軸承7連接，且所述凸輪軸9的一端與所述帶輪4相連，所述軸承7通過所述軸承座8固定在底板10上。具體地，所述直流伺服電機6通過帶輪4和同步帶5帶動凸輪軸9轉動，凸輪軸9的旋轉帶動輔助接片手I上升或下降。本實用新型的輔助接片手裝置由一臺直流伺服電機6驅動，通過直流伺服電機6的正轉、反轉，實現了輔助接片手I的上升或下降，既減少了原動件的數目，又降低了裝置的控制難度，節省了經濟成本。並且，本實用新型通過凸輪軸9帶動所有輔助接片手I同時上升或者下降，具有良好的同步性。還可以根據需要增加或減少輔助接片手I的數量，實現大尺寸基板的交接傳輸。此外，所述的輔助接片手裝置採用同步帶傳動和凸輪軸傳動方式，結構簡單、製造方便、大大節省經濟成本。請參照圖2和圖5，所述凸輪軸9為兩組，分別設置在所述同步帶5兩端的底板10上。較佳的，所述凸輪軸9包括橫軸902和多個凸輪901，所述凸輪901套設在所述橫軸902上並與所述橫軸901固定連接，所述輔助接片手I與所述凸輪901的上表面相接觸。具體地，所述直流伺服電機6通過帶輪4和同步帶5同時帶動兩組凸輪軸9轉動，每個凸輪軸9上分別帶動多個凸輪901旋轉，從而推動輔助接片手I的升降，該裝置可以靈活的實現輔助接片手I的升降，使得所述輔助接片手裝置的運動同步性提高。[0028]請參照圖1，並結合圖2飛，作為優選，所述帶輪4包括第一帶輪401和第二帶輪402，其中，第一帶輪401設置在所述同步帶5的中間位置，且所述第一帶輪401與所述直流伺服電機6相連，所述第二帶輪402有兩個，分別設置於所述同步帶5的兩端，且所述第二帶輪402與所述凸輪軸9相連。具體地，所述直流伺服電機6驅動第一帶輪401轉動，使所述第一帶輪401帶動所述同步帶5及第二帶輪402轉動，從而帶動凸輪軸9旋轉,實現所述輔助接片手I的上升或下降。[0029]請參照圖2，並結合圖1和圖3飛，所述輔助接片手裝置還包括光電開關11和電氣限位擋板12，所述光電開關11安裝在所述底板10上，所述電氣限位擋板12安裝在所述同步帶5上。所述電氣限位擋板12與光電開關11 一起用來控制輔助接片手I的行程，即，可以根據實際輔助接片手I的行程需要，合理調整光電開關11和電氣限位擋板12的位置，也就是說，可以通過限制同步帶5的旋轉角度選擇凸輪901在某一段行程內旋轉，繼而限定輔助接片手I上升和下降的高度。[0030]請參照圖5，並結合圖f 4，作為優選，所述頂板3上設置有導軌301，所述輔助接片手I在所述導軌301中上下移動，即，所述導軌301用於導向所述輔助接片手I。[0031]請繼續參照圖f 6，所述輔助接片手裝置的工作過程為:直流伺服電機6帶動所述第一帶輪401轉動，所述第一帶輪401帶動同步帶5以及第二帶輪402轉動，所述第二帶輪402帶動兩個凸輪軸9轉動，凸輪901旋轉帶動輔助接片手I上升。當固定在同步帶5上的電氣限位擋板12碰到光電開關11時，直流伺服電機6停止轉動，輔助接片手I也停止上升。當輔助接片手I與傳輸機構交接完畢後，直流伺服電機6反向旋轉，帶動凸輪軸9反向旋轉，輔助接片手I跟隨凸輪901下降到初始位置，完成輔助接片手I與傳輸機構的一次交接過程。[0032]綜上所述，本實用新型的輔助接片手裝置，包括輔助接片手1、頂板3、帶輪4、同步帶5、直流伺服電機6、軸承7、軸承座8、凸輪軸9以及底板10。其中，所述輔助接片手I和主接片手2安裝在所述頂板3上，所述帶輪4、直流伺服電機6以及軸承座8安裝在所述底板10上，所述同步帶5與所述帶輪4相匹配，同步帶5上安裝有兩個光電開關限位擋板，所述輔助接片手I的底部與所述凸輪軸9相接觸，所述凸輪軸9的兩端分別與所述軸承7連接，且所述凸輪軸9的一端與所述帶輪4相連，所述軸承7通過所述軸承座8固定在所述底板10上。本實用新型的輔助接片手裝置，以直流伺服電機6作為動力元件，通過同步帶5和帶輪4帶動兩個凸輪軸9轉動，凸輪901的轉動帶動與之相接觸的輔助接片手I上升或者下降。[0033]與現有技術相比，所述輔助接片手裝置具有以下優點:[0034]1、用一臺直流伺服電機6驅動整個輔助接片手裝置，減少了原動件的數目，降低了控制的難度，節省了經濟成本；[0035]2、採用同步帶傳動和凸輪軸傳動方式，結構簡單，製造方便；[0036]3、通過凸輪軸實現輔助接片手I的上升或者下降，控制簡單可靠，運動同步性好；4、可以根據實際需要增加輔助接片手I的數量，實現大尺寸基板的交接傳輸；5、可以通過安裝在底板10上的光電開關11以及安裝在同步帶5上的電氣限位擋板12的位置調整輔助接片手I的行程。顯然，本領域的技術人員可以對實用新型進行各種改動和變型而不脫離本實用新型的精神和範圍。這樣，倘若本實用新型的這些修改和變型屬於本實用新型權利要求及其等同技術的範圍之內，則本實用新型也意圖包括這些改動和變型在內。
權利要求1.一種輔助接片手裝置，其特徵在於，包括主接片手、輔助接片手、頂板、帶輪、同步帶、直流伺服電機、軸承、軸承座、凸輪軸以及底板，其中，所述輔助接片手和主接片手安裝在所述頂板上，所述帶輪、直流伺服電機以及軸承座安裝在所述底板上，所述同步帶與所述帶輪相匹配，同步帶上安裝有兩個光電開關限位擋板，所述輔助接片手的底部與所述凸輪軸相接觸，所述凸輪軸的兩端分別通過所述軸承連接在所述底板上，且所述凸輪軸的一端與所述帶輪相連，所述軸承通過所述軸承座固定在所述底板上。
2.如權利要求1所述的輔助接片手裝置，其特徵在於，所述凸輪軸為兩組，分別設置在所述同步帶兩端的底板上。
3.如權利要求2所述的輔助接片手裝置，其特徵在於，所述凸輪軸包括橫軸和多個凸輪，所述凸輪套設在所述橫軸上並與所述橫軸固定連接，所述凸輪的上表面與所述輔助接片手相接觸。
4.如權利要求1所述的輔助接片手裝置，其特徵在於，所述帶輪包括第一帶輪和第二帶輪，其中，第一帶輪設置在所述同步帶的中間位置，且所述第一帶輪與所述直流伺服電機相連，所述第二帶輪有兩個，分別設置於所述同步帶的兩端，且所述第二帶輪與所述凸輪軸相連。
5.如權利要求1所述的輔助接片手裝置，其特徵在於，還包括光電開關，所述光電開關設置在所述底板上。
6.如權利要求1所述的輔助接片手裝置，其特徵在於，還包括電氣限位擋板，所述電氣限位擋板設置在所述同步帶上。
7.如權利要求1所述的輔助接片手裝置，其特徵在於，所述頂板上設置有導軌，所述輔助接片手在所述導軌中上下移動。
專利摘要本實用新型公開了一種輔助接片手裝置，包括主接片手、輔助接片手、頂板、帶輪、同步帶、直流伺服電機、軸承、軸承座、凸輪軸以及底板，輔助接片手和主接片手安裝在頂板上，帶輪、直流伺服電機及軸承座安裝在底板上，同步帶與帶輪相匹配，同步帶上安裝有兩個光電開關限位擋板，輔助接片手的底部與凸輪軸接觸，凸輪軸的兩端分別通過軸承連接在底板上，凸輪軸的一端與帶輪相連，軸承通過軸承座固定在底板上。本實用新型通過凸輪軸帶動所有輔助接片手同時上升或下降，具有良好的同步性。根據需要增加或減少輔助接片手的數量，可實現大尺寸基板的交接傳輸。此外，輔助接片手裝置採用同步帶傳動和凸輪軸傳動方式，結構簡單、製造方便、節省經濟成本。
文檔編號B65G49/06GK203064721SQ20122074289
公開日2013年7月17日 申請日期2012年12月28日 優先權日2012年12月28日
發明者李東升, 賈海立, 崔海倉 申請人:上海微電子裝備有限公司