晶片分類裝置和晶片分類方法、控制程序、可讀存儲介質的製作方法
2023-05-30 11:52:01
晶片分類裝置和晶片分類方法、控制程序、可讀存儲介質的製作方法
【專利摘要】【課題】不進行庫存的再編成，防止再編成引起的晶片移載時產生的晶片損傷。【解決手段】具有：分類數量管理最佳化運算單元(921)，其進行根據該特性數據來分配分類支出數量作為每個等級的分類數量的運算，使得不產生支出的晶片數量比最小基準數少的片；和分類單元(923)，其根據運算出的該分類支出數量來控制分類處理。
【專利說明】晶片分類裝置和晶片分類方法、控制程序、可讀存儲介質
【技術領域】
[0001]本發明涉及從裝載有將晶片切斷並粘貼於粘接片上而得到的多個半導體晶片的供給臺上，將半導體晶片依次轉移至例如不同等級的排列臺上的晶片分類裝置，以及使用該晶片分類裝置的晶片分類方法、記述有用於使計算機執行該晶片分類方法的各工序的處理順序的控制程序和存儲有該控制程序的能夠利用計算機進行讀取的可讀存儲介質。
【背景技術】
[0002]現有的晶片分類裝置在能夠在由正交的X軸與Y軸構成的XY平面上移動的供給臺上裝載切斷晶片。根據來自固定在基座上的CCD攝像機的切斷晶片俯視圖像，對與晶片地址對應的帶測試結果的等級的存儲信息進行判別，利用機器人臂等按各個等級選擇其晶片，從供給臺上移載至其它的排列臺上的等級片上。
[0003]在等級片上晶片數達到最大規定數量的情況下，或在已經確保最小規定數量以上的晶片晶片的支出數量的情況下，能夠支出，但是在等級片上晶片數不到最小規定數量的情況下不能支出而成為庫存。
[0004]圖8是用於說明現有的晶片分類裝置的動作例的流程圖。
[0005]如圖8所示，帶有例如光特性檢查或電特性檢查中的等級的信息以與晶片上的晶片地址對應的方式存儲在已完成等級分類的資料庫中。
[0006]首先，在步驟S101，按光特性檢查或電特性檢查中的每個等級進行分類處理。SP，根據來自已完成等級分類資料庫的每個等級的晶片地址，從供給臺上的供給片上的切斷晶片選擇同一等級的晶片，移載至其它排列臺上的等級片上。
[0007]接著，在步驟S102進行數量檢查處理。即，對在等級片上晶片數是否達到最大規定數量，或者是否為等級最終片且已經確保最小規定數量以上的晶片晶片的支出數量進行判定。
[0008]接著，在步驟S103進行支出處理。即，在等級片上晶片數達到最大規定數量的情況下或者為等級最終片且已經確保最小規定數量以上的晶片晶片的支出數量的情況下，進行支出。
[0009]之後，在步驟S104，判定是否已經完成了所有處理，如果在步驟S104已經完成了所有處理(是(YES))，則結束處理。此外，如果在步驟S104未完成所有處理(否(NO))，則返回下一步驟SlOl的分類處理，進行下一次分類處理。
[0010]此外，在步驟S105進行庫存處理。S卩，在步驟S102的數量檢查的結果是在等級最終片上晶片數不到最小規定數量的情況下，將該等級片上的晶片作為庫存。
[0011]進一步，在步驟S106進行將同一等級的多個等級片轉移至一個等級片的再收集和再編成處理。
[0012]接著，在步驟S107進行數量檢查處理。即，對在等級片上晶片數是否達到最大規定數量或者是否為等級最終片且已經確保最小規定數量以上的晶片的支出數量進行判定。
[0013]接著，在步驟S108進行支出處理。即，在等級片上晶片數達到最大規定數量的情況下或已經確保最小規定數量以上的晶片晶片的支出數量的情況下，進行等級片上的晶片的支出處理。
[0014]此外，在步驟S107等級片上的晶片數未到最小規定數量的情況下，返回步驟S105，對該晶片進行庫存處理。在重複進行步驟S105?步驟S107，等級片上的晶片數為最小規定數量以上的情況下，在步驟S108進行等級片上的晶片的支出處理。
[0015]進一步，在步驟S109，判定是否已經完成了所有處理，如果在步驟S109已經完成了所有處理(是)，則結束處理。此外，如果在步驟S109未完成所有處理(否)，則返回下一步驟S101，轉移至下一次分類處理。
[0016]圖9是用於說明現有的晶片分類裝置的其它動作例的流程圖。
[0017]如圖9所示，帶有例如光特性檢查或電特性檢查中的等級的信息以與晶片上的晶片地址對應的方式存儲在已完成等級分類資料庫中。
[0018]首先，在步驟S201，進行裝置設定處理。即，預先按每個等級準備一個或多個等級片。如果不進行等級片的預備，則需要將晶片分類裝置暫時停止，補充不足的等級的等級片之後將晶片分類裝置重啟。
[0019]接著，在步驟S202，按光特性檢查或電特性檢查中的每個等級，進行從供給臺將晶片分類至不同等級的排列臺的分類處理。即，根據來自已完成等級分類資料庫的每個等級的晶片地址，從裝載分割半導體晶片的供給臺上的供給片上的切斷晶片選擇同一等級的晶片，移載至其它排列臺上的等級片上。
[0020]接著，在步驟S203進行數量檢查處理。即，對在等級片上晶片數是否達到最大規定數量，或者是否為等級最終片且已經確保最小規定數量以上的晶片晶片的支出數量進行判定。
[0021]總之，進行晶片分類至此時為止或至供給臺上沒有同一等級的分類晶片為止。
[0022]之後，在步驟S204進行支出處理。即，在等級片上晶片數達到最大規定數量的情況下，或為等級最終片且已經確保最小規定數量以上的晶片晶片的支出數量的情況下，進行支出。
[0023]之後，在步驟S205，判定是否已經完成了所有處理，如果在步驟S205已經完成了所有處理(是)，則結束處理。此外，如果在步驟S205未完成所有處理(否)，則轉移至下一步驟S206的處理。
[0024]進一步，在步驟S206進行預備等級片的檢查處理。即，按不同等級檢查預備的等級片的有無，如果有預備的等級片則在繼續進行下一步驟S207的分類處理之後轉移至步驟S203的數量檢查處理。
[0025]另一方面，在步驟S208進行庫存處理。S卩，在步驟S203的數量檢查的結果是在等級最終片上晶片數不到最小規定數量的情況下，將該晶片作為庫存。
[0026]進一步，在步驟S209進行將同一等級的多個等級片轉移至一個等級片的再收集和再編成處理。
[0027]接著，在步驟S210進行數量檢查處理。即，對在等級片上晶片數是否達到最大規定數量，或者是否為等級最終片且已經確保最小規定數量以上的晶片的支出數量進行判定。
[0028]之後，在步驟S211進行支出處理。即，在等級片上晶片數達到最大規定數量的情況下或已經確保最小規定數量以上的晶片晶片的支出數量的情況下，進行等級片上的晶片的支出處理。
[0029]此外，在步驟S210的數量檢查的結果為等級最終片上的晶片數未到最小規定數量的情況下，返回步驟S208，對該晶片進行庫存處理。在重複進行步驟S208?步驟S210，等級最終片上的晶片數為最小規定數量以上的情況下，在步驟S211進行等級片上的晶片的支出處理。
[0030]進一步，在步驟S212，判定是否已經完成了所有處理，如果在步驟S212已經完成了所有處理(是)，則結束處理。此外，如果在步驟S212未完成所有處理(否)，則轉移至下一步驟S202的分類處理。
[0031]另一方面，在專利文獻I中，現有的晶片分類裝置在能夠在正交的兩個軸即X軸和Y軸形成的XY平面上移動的臺上裝載被切斷的晶片，利用固定在基座的CCD攝像機判別半導體晶片的良、不良，利用機器人等把持該晶片，首先，將該晶片暫且移載至固定於基座的位置矯正臺。在正交的兩個方向具有基準的按壓部，利用固定於基座的定位臺，在該兩個方向機械地按壓晶片而進行定位，之後，改用其它機器人等移載機構把持半導體晶片，將半導體晶片移載至規定的場所。
[0032]現有技術文獻
[0033]專利文獻
[0034]專利文獻1:日本特開平09-036203號公報
【發明內容】
[0035]發明所要解決的技術問題
[0036]在上述現有的晶片分類裝置中，作為支出裝載於成為庫存的等級最終片上的晶片的出貨方法，在對同一等級片進行再編成、確保晶片晶片的最小規定數量的基礎上進行支出，但是利用該出貨方法，對於少數等級庫存不消去，總為具有庫存的狀態，需要多次進行再編成。
[0037]S卩，未滿足最小規定數量的等級最終片上的晶片成為庫存。將該庫存和不同批的同一等級的等級最終片上的庫存一起進行再編成，由此，在等級片上晶片數達到最大規定數量的情況下、或已經確保最小規定數量以上的晶片的支出數量的情況下，能夠支出，但是由於每次再編成時晶片為了移載而被取放，所以晶片受到損傷。
[0038]另一方面，專利文獻I中公開的上述現有的晶片分類裝置為關於分類機構的裝置，關於晶片支出與庫存的關係沒有任何記載。
[0039]本發明是用於解決上述現有的問題的發明，因此其目的在於提供沒有庫存的再編成從而能夠防止再編成引起的晶片移載時產生的晶片損傷的晶片分類裝置，以及使用該晶片分類裝置的晶片分類方法、記述有用於使計算機執行該晶片分類方法的各工序的處理順序的控制程序和存儲有該控制程序的能夠利用計算機進行讀取的可讀存儲介質。
[0040]用於解決技術問題的手段
[0041]本發明的晶片分類裝置按每個規定的等級從各自具有晶片固有的特性數據的總體按每個規定的等級進行分類，該晶片分類裝置包括:分類數量管理運算單元，其進行根據該特性數據分配分類支出數量作為每個等級的分類數量的運算，使得不產生支出的晶片數量比最小基準數少的片；和分類單元，其根據運算出的該分類支出數量來控制分類處理，由此達到上述目的。
[0042]此外，優選本發明的晶片分類裝置的分類數量管理運算單元在上述分類控制單元執行上述分類處理之前，按每個上述規定的等級對上述總體的一部分或全部實施關於上述分類數量的運算。
[0043]進一步，優選本發明的上述晶片分類裝置的分類數量管理運算單元以如下方式運算上述分類數量:從進行上述分類處理的第一個等級片起按最大基準數進行分類，將放置在自最後起至少兩個等級片上的晶片數通過剩餘的所有晶片數除以剩餘的等級片個數來進行平均，將未除盡的餘數的晶片數添加到至少任一個等級片中。
[0044]進一步，優選本發明的晶片分類裝置的分類數量管理運算單元以如下方式運算上述分類數量:將放置在進行上述分類處理的所有的等級片上的不同等級(每個等級)的所有晶片數量，通過不同等級(該每個等級)的所有晶片數除以不同等級(該每個等級)的所有等級片個數來進行平均，將未除盡的餘數的晶片數添加到至少任一個等級片中。
[0045]進一步，優選本發明的晶片分類裝置還具有裝置設定單元，該裝置設定單元用於在上述分類處理之前，根據上述總體的不同等級的所有晶片數量，預先計算進行該分類處理的每個等級所需要的等級片的數量，準備該所需要的等級片的數量。
[0046]進一步，優選本發明的晶片分類裝置的分類處理利用搬送臂從裝載有晶片切斷後的多個半導體晶片的供給臺上，按不同的規定等級依次將該半導體晶片轉移至排列臺上的等級片。
[0047]本發明的晶片分類方法是從各自具有晶片固有的特性數據的總體按每個規定的等級進行分類的方法，該晶片分類方法包括:分類數量管理運算工序，分類數量管理運算單元進行根據該特性數據分配分類支出數量作為每個等級的分類數量的運算，使得不產生支出的晶片數量比最小基準數少的片；和分類工序，分類單元根據運算出的該分類支出數量來控制分類處理，由此達到上述目的。
[0048]此外，優選如下方式:本發明的晶片分類方法中的分類數量管理運算工序中，在上述分類控制單元執行上述分類處理之前，上述分類數量管理運算單元按每個上述規定的等級對上述總體的一部分或全部實施關於上述分類數量的運算。
[0049]進一步，優選如下方式:本發明的上述晶片分類方法中的分類數量管理運算工序中，以如下方式運算上述分類數量:從進行上述分類處理的第一個等級片起按最大基準數進行分類，將放置在自最後起至少兩個等級片上的晶片數通過剩餘的所有晶片數除以剩餘的等級片個數來進行平均，將未除盡的餘數的晶片數添加到至少任一個等級片中。
[0050]進一步，優選如下方式:本發明的晶片分類中的分類數量管理運算工序中，以如下方式運算上述分類數量:將放置在進行上述分類處理的所有的等級片上的不同等級的所有晶片數量，通過不同等級的所有晶片數除以不同等級的所有等級片個數來進行平均，將未除盡的餘數的晶片數添加到至少任一個等級片中。
[0051]進一步，優選本發明的晶片分類方法還具有裝置設定工序，該裝置設定工序用於在上述分類處理之前，裝置設定單元根據上述總體的不同等級的所有晶片數量，預先計算進行該分類處理的每個等級所需要的等級片的數量，準備該所需要的等級片的數量。
[0052]本發明的上述控制程序是記述用於使計算機執行本發明的上述晶片分類方法的各工序的處理順序的程序，由此達到上述目的。
[0053]本發明的可讀存儲介質是存儲有本發明的上述控制程序、能夠利用計算機進行讀取的存儲介質，由此達到上述目的。
[0054]根據上述結構，以下對本發明的作用進行說明。
[0055]在本發明中，在從各自具有晶片固有的特性數據的總體按每個規定的等級進行分類的晶片分類裝置中具有:分類數量管理運算單元，其進行根據該特性數據分配分類支出數量作為每個等級的分類數量的運算，使得不產生支出的晶片數量比最小基準數少的片；和分類單元，其根據運算出的該分類支出數量來控制分類處理。
[0056]由此，因為基於根據特性數據分配分類支出數量作為每個等級的分類數量的運算結果來控制分類處理，使得不會產生支出的晶片數量比最小基準數少的片，所以不用進行庫存的再編成，能夠防止再編成引起的晶片移載時產生的晶片損傷。
[0057]發明的效果
[0058]由此，通過本發明，根據晶片固有的特性數據分配分類支出數量作為每個等級的分類數量，因此沒有庫存，不用如現有技術那樣進行庫存的再編成，能夠防止再編成引起的晶片移載時產生的晶片損傷。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0059]圖1是概略地表示本發明的實施方式I的晶片分類裝置的主要部分結構例的平面示意圖。
[0060]圖2是圖1的晶片分類裝置中的晶片分類控制硬體結構圖。
[0061]圖3是表示關於等級A?I的每個晶片的晶片數量、每批的晶片數量和每多批的晶片數量的圖表。
[0062]圖4是表示關於等級A?I的每批晶片數量的表。
[0063]圖5是用於說明圖1的晶片分類裝置的控制部的動作的流程圖。
[0064]圖6是本發明的實施方式2的晶片分類裝置的晶片分類控制硬體結構圖。
[0065]圖7是用於說明圖6的晶片分類裝置的控制部的動作的流程圖。
[0066]圖8是用於說明現有的晶片分類裝置的動作例的流程圖。
[0067]圖9是用於說明現有的晶片分類裝置的其它動作例的流程圖。
[0068]附圖標記的說明
[0069]1、IA 晶片分類裝置
[0070]2 供給臺
[0071]21切斷晶片
[0072]3 排列臺
[0073]31等級片
[0074]4 搬送臂
[0075]41 夾持部件(collet)
[0076]5 供給側圖像處理部
[0077]6 排列側圖像處理部
[0078]7 卸載部
[0079]8 卸載取出臂
[0080]9、9A 控制裝置
[0081]90輸入部
[0082]91顯示部
[0083]92、92A 控制部(CPU)
[0084]921 分類數量管理最佳化運算單元
[0085]922 裝置設定單元
[0086]923 分類單元
[0087]93 RAM
[0088]94 ROM
[0089]95 資料庫
【具體實施方式】
[0090]以下，參照附圖對本發明的晶片分類裝置和晶片分類方法的實施方式1、2進行詳細說明。另外，圖中的構成部件和各自的厚度和長度等從圖面製作上的觀點出發，並不限定於圖示的結構。
[0091](實施方式I)
[0092]圖1是概略地表示本發明的實施方式I中的晶片分類裝置的主要部分結構例的平面示意圖。圖2是圖1的晶片分類裝置的晶片分類控制硬體結構圖。
[0093]在圖1，本實施方式I的晶片分類裝置I具有:供給臺2，其裝載有被粘貼在粘接片上的切斷晶片21的多個作為半導體晶片的LED晶片(以下，僅稱為晶片)；排列臺3，其用於根據例如發光亮度高的等級A、發光亮度其次高的等級B等使用用途，依次將晶片排列在不同等級的等級片31上；搬送臂4，其利用設置在前端部的夾持部件41吸引並保持晶片，從供給臺2轉動至排列臺3上的不同等級的等級片31上而進行搬送；拍攝供給臺2上的切斷晶片21的供給側圖像處理部5 ;拍攝在排列臺3上的等級片31排列的同一等級的晶片的排列側圖像處理部6 ;裝載有預備的等級片31的卸載部7 ;卸載取出臂8，其將卸載部7上的預備的等級片31轉移至排列臺3上；和控制裝置9，其控制這些部件，以從各自具有固有的特性數據(測試結果)的總體按每個規定的等級進行分類，將晶片從供給臺2轉移至排列臺3的方式進行控制。
[0094]切斷晶片21是完成膨脹/測試後的切斷晶片。在金屬制的環上貼有粘接片，成為在該粘接片的表面上的切斷晶片21上粘貼有多個晶片的狀態。在切斷晶片21，在LED晶片的情況下，一個晶片上的晶片的放置數為30000?120000左右。
[0095]供給臺2構成為能夠在X軸方向和Y軸方向上移動，並且構成為能夠以其臺中心為旋轉中心旋轉。供給臺2的X軸方向的移動通過未圖示的供給臺X軸用電動機的旋轉驅動，與裝載有供給臺2的X軸用底座的移動一起進行。此外，供給臺2的Y軸方向的移動通過未圖示的供給臺Y軸用電動機的旋轉驅動，與裝載有供給臺2和X軸用底座的Y軸用底座的移動一起進行。進一步，供給臺2的旋轉動作通過未圖示的供給臺Θ旋轉用電動機的旋轉驅動，與裝載有供給臺2、X軸用底座和Y軸用底座的Θ旋轉用底座的旋轉一起進行。總之，供給臺2根據來自供給側圖像處理部5的供給側圖像信息被定位，依次移動以使得同一等級的下一晶片位於搬送臂4的夾持部件41到來的位置。
[0096]排列臺3構成為能夠在X軸方向和Y軸方向上移動，並且構成為能夠以其臺中心為旋轉中心旋轉。排列臺3的X軸方向的移動通過未圖示的排列臺X軸用電動機的旋轉驅動，與裝載有排列臺3的X軸用底座的X軸方向的移動一起進行。此外，排列臺3的Y軸方向的移動通過未圖示的排列臺Y軸用電動機的旋轉驅動，與裝載有排列臺3及其X軸用底座的Y軸用底座的Y軸方向的移動一起進行。進一步，排列臺3的旋轉動作通過未圖示的排列臺Θ旋轉用電動機的旋轉驅動，與裝載有排列臺3、其X軸用底座及其Y軸用底座的Θ旋轉用底座的旋轉一起進行。總之，排列臺3根據來自排列側圖像處理部6的排列側圖像信息被定位，依次移動以使得同一等級的下一晶片排列於搬送臂4的夾持部件41將晶片運來的位置。
[0097]在搬送臂4，在前端設置有將晶片吸附並保持的夾持部件41，搬送臂4以能夠旋轉的方式構成，以使夾持部件41在供給臺2與排列臺3間轉動並且使夾持部件41能夠在上下方向上移動的方式構成。搬送臂4的上下方向的移動通過臂Z軸用電動機的旋轉驅動，利用齒條和小齒輪進行。此外，搬送臂4的旋轉動作通過臂Θ旋轉用電動機的旋轉驅動，利用齒輪進行。
[0098]如圖2所示，控制裝置9由計算機系統構成，具有:能夠進行各種輸入指令的鍵盤和/或滑鼠、畫面輸入裝置等的輸入部90 ;能夠根據各種輸入指令在顯示畫面上顯示初始畫面、選擇引導畫面和處理結果畫面等各種圖像的顯示部91 ;作為與整體的控制一起進行分類數量管理最佳化運算處理和分類處理的控制部92的CPU(中央運算處理裝置);作為暫時存儲單元的RAM93，該暫時存儲單元在CPU啟動時作為工作存儲器動作；作為可讀存儲介質(存儲單元)的R0M94，該可讀存儲介質存儲有用於使CPU啟動的控制程序和使用該控制程序的各種數據等，能夠利用計算機進行讀取；和用於以與晶片上的晶片地址對應的方式存儲帶有例如光特性檢查或電特性檢查中的等級的信息，並且能夠參照該信息的已完成等級分類的資料庫95，該控制裝置9以如下方式進行控制:以從各自具有固有的特性數據(測試結果，與晶片地址對應的等級信息)的總體按每個規定的等級進行分類的方式將晶片從供給臺2轉移至排列臺3。另外，該資料庫95與RAM93和R0M94分別地設置，但是資料庫95也可以在RAM93內，還可以在R0M94內。
[0099]控制部92具有:作為分類數量管理運算單元的分類數量管理最佳化運算單元921，其基於來自輸入部90的輸入指令、從R0M94內讀出至RAM93內的控制程序和使用該控制程序的各種數據，進行根據晶片的特性數據分配分類支出數量作為每個等級的分類數量的運算，使得不產生支出的晶片數量比作為最小基準數的最小規定數量(此處，為1000個)少的片；和作為分類控制單元的分類單元923，其根據運算出的該分類支出數量對晶片分類處理進行控制。
[0100]R0M94由硬碟、光碟、磁碟和IC存儲器等可讀存儲介質(存儲單元)構成。該控制程序和使用它的各種數據既可以從攜帶自如的光碟、磁碟和IC存儲器等下載於R0M94，也可以從計算機的硬碟下載於R0M94，還可以經無線或有線、國際網際網路等下載於R0M94。
[0101]此處，進一步對利用分類數量管理最佳化運算單元921在轉移至分類處理之前進行預先運算的分類數量管理最佳化運算處理進行詳細說明。
[0102]總之，分類數量管理最佳化運算單元921在分類控制單元923執行分類處理之前，對晶片固有的特性數據(測試結果，對於晶片地址的等級信息)的總體的一部分或全部按每個規定的等級實施關於分類數量的運算。
[0103]所謂的分類是指，將來自分割晶片21的同一等級的晶片按每個等級拾取和放置於排列臺3上的等級片31上，進行依次排列。
[0104]所謂的等級片31是指，按每個等級分類後的排列臺3上的片。存在等級的分類數量的片。根據裝置，還能夠裝載預備的等級片。
[0105]所謂的已完成等級分類的資料庫95是指，包含測試數據結果的圖像數據(mapdata)，作為與晶片地址對應的等級信息，存儲有根據規定的分類被劃分等級後得到的數據。與晶片地址對應地被劃分等級而存儲在已完成等級分類的資料庫95。
[0106]所謂的批是指，集中到一起的處理中的多個的晶片個數單位。此處，一批為12個(或25個)晶片。
[0107]關於晶片固有的特性數據的總體的一部分或全部，按各個晶片等級分類。如果以批單位考慮，則一個晶片的特性數據為總體的一部分，一批次(12個晶片)的特性數據的集合數據為總體的全部。
[0108]所謂的最小規定數量是最小基準數量，由後半組裝的必要最小單位決定。此處，晶片數量例如為1000個。當晶片數量為規定數量以下時成為庫存。
[0109]所謂的最大規定數量是最大基準數量，是由支出空間(使等級片31上的晶片排列的區域)決定的數量。此處，晶片數量例如為10000個。由相對於裝載面積的晶片面積和排列的間隔決定數量的上限。
[0110]當達到最大規定數量時自動地進行支出，但是在批的最後，在現有技術中存在最小規定數量以下的等級片31不能支出而成為庫存的情況。
[0111]在等級片31上同一等級的晶片數達到最大規定數量(此處為10000個)的情況下，或在能夠確保最小規定數量(此處為1000個)以上的晶片晶片的支出數量的情況下，能夠進行支出，但是在等級片上晶片數不到最小規定數量的情況下，不能進行支出，成為庫存。對此，使用本實施方式I的晶片分類裝置1，管理晶片的分類數量，使得晶片不成為庫存。使用圖3?圖5進一步對此進行詳細說明。
[0112]圖3是表示與等級A?I對應的每個晶片的晶片數量、每批的晶片數量和每多批的晶片數量的圖表。圖4是表示與等級A?I對應的每批的晶片數量的表。
[0113]如圖3和圖4所示，關於等級A，雖然按晶片單位不到晶片支出數量，但是按批單位(12個晶片)，晶片數量為6000個，在每一個等級片31晶片為1000個，能夠以6個等級片31進行支出。
[0114]此外，關於等級B，按批單位(12個晶片)在最初的等級片31支出10000個晶片，在第二個等級片31成為999個晶片，這符合晶片數量不滿足最小規定數量的1000個的情況，不能支出而成為庫存。為了防止這種情況，之後對本實施方式I的晶片分類裝置I的運算處理進行說明。
[0115]進一步，關於等級I，按批單位(12個晶片)晶片數量為300個，不滿足晶片支出數量的1000個，按多批單位，晶片數量為1300個，成為晶片支出數量1000個以上，能夠進行支出。
[0116]關於等級B，說明本實施方式I的晶片分類裝置I的運算處理。即，根據晶片的特性數據計算分類支出數量作為分類數量，執行分類支出，使得不產生支出的數量比最小基準數少的等級片31。雖然在之前已經說明，但是在執行分類處理之前，對已完成等級分類的資料庫95中的晶片的特性數據的總體的一部分或全部實施關於分類數量的運算。
[0117]具體而言，分類數量管理最佳化運算單元921從進行分類處理的第一個等級片31進行分類(此處為10000個)至最大基準數(最大規定數量)為止，將放置在從最後起至少兩個等級片31上的晶片數量以剩餘的所有晶片數除以剩餘的等級片個數的方式進行平均，將未除盡的餘數的晶片數加到剩餘的等級片個數中的至少一個的等級片31中。分類單元923基於對剩餘的所有晶片數量進行平均後加上餘數而得到的分類支出數量，控制分類處理。
[0118]或者，分類數量管理最佳化運算單元921將放置在進行晶片分類處理的所有的等級片31上的所有晶片數量以不同等級的所有晶片數除以不同等級的所有等級片個數的方式進行平均，將未除盡的餘下的晶片數加到至少任一個等級片中。分類單元923基於對所有晶片數量進行平均後加上餘數而得到的分類支出數量，控制分類處理。
[0119]例如，從前頭第一個等級片31進行分類至最大規定數量(此處為10000個)為止，將放置在最後兩個等級片31的晶片數量進行平均。在這種情況下，在按批單位(12個晶片)、等級B的晶片數量為10999個的情況下，在前頭第一個等級片31裝載的晶片數量為5500個，在第二個等級片31裝載的晶片數量為5499個。這兩個等級片31均能夠進行支出處理。它們與將整批平均的處理相同。
[0120]此外，例如在按批單位(12個晶片)、規定等級的晶片數量為20999個的情況下，在前頭第一個等級片31裝載的晶片數量為10000個，在第二個等級片31裝載5500個，在第三個等級片31裝載的晶片數量為5499個。在從最後起第二個和第三個的各等級片31上的晶片個數不能除盡的情況下，以前後任一等級片31上的晶片個數多出餘數的一個或少一個的方式裝載晶片。總之，在從最後起兩個等級片31中，將包含一個最大規定數量(此處為10000個)的晶片數量分配到兩個的各等級片31中。
[0121]進一步，例如從前頭第一個等級片31進行分類至最大規定數量(此處為10000個)為止，將放置在最後三個等級片31上的晶片數量進行平均。在這種情況下，在按批單位(12個晶片)、等級B的晶片數量為10999個的情況下，在前頭第一個等級片31裝載的晶片數量為3667個，在第二個等級片31裝載的晶片數量為3666個，在第三個等級片31裝載的晶片數量為3666個。這三個等級片31均能夠進行支出處理。它們與將整批平均的處理相同。
[0122]此外，例如在按批單位(12個晶片)、規定等級的晶片數量為20999個的情況下，在前頭第一個等級片31裝載的晶片數量為10000個，在第二個等級片31裝載3667個，在第三個等級片31裝載的晶片數量為3666個，在第四個等級片31裝載的晶片數量為3666個。在第二個?第四個的各等級片31上的晶片個數不能除盡的情況下，以前中後任一等級片31上的晶片個數多出餘數的一個或少一個的方式裝載晶片。總之，在從最後起三個等級片31，將包含一個最大規定數量(此處為10000個)的晶片數量分配到三個的各等級片31中。
[0123]根據上述結構，以下對其動作進行說明。
[0124]圖5是用於說明圖1的晶片分類裝置的控制部的動作的流程圖。
[0125]如圖5所示，帶有例如光特性檢查或電特性檢查中的等級的信息以與晶片上的晶片地址對應的方式存儲在已完成等級分類的資料庫95中。
[0126]首先，在步驟SI，分類數量管理最佳化運算單元921進行分類數量管理最佳化運算處理。即，利用分類器，根據晶片圖像上的測試結果來計算出最佳的分類支出晶片數量，使得不產生支出的數量為少量的片，實現不出現浪費的分類支出。總之，根據同一等級的晶片總數來預先計算並求取每等級片個數的支出數量，使得不產生最小規定數量(此處為例如1000個)以下的等級片31。
[0127]具體而言，在按批單位(12個晶片)、等級B的晶片數量為10999個的情況下，在兩個等級片31上分配晶片數量，使得例如在第一個等級片31裝載的晶片數量為5999個，在第二個等級片31上裝載的晶片數量為5000個。由此，形成兩個為支出數量(1000個以上)的等級片31，由此使得不產生最小規定數量以下的等級片31，能夠使得不產生庫存。
[0128]接著，在步驟S2，分類單元923按光特性檢查或電特性檢查的每個等級進行分類處理。即，根據來自已完成等級分類的資料庫95的每個等級的晶片地址，從供給臺2上的供給片上的切斷晶片選擇同一等級的晶片，依次排列而移載至其它排列臺3上的等級片31上。
[0129]接著，在步驟S3進行支出處理。即，在等級片31上晶片數達到最大規定數量，或者在等級最終片和等級最終片的前一個等級片31上已經確保最小規定數量(此處為1000個)以上的晶片的支出數量，因此不成為庫存，全部進行支出。
[0130]之後，在步驟S4對是否已經完成所有處理進行判定，在步驟S4，如果完成所有處理(是(YES))，則結束處理。此外，在步驟S4，如果未完成所有處理(否(NO))，則返回下一步驟SI，轉移至下一次的分類數量管理最佳化運算處理。
[0131]總之，晶片分類方法具有:分類數量管理運算工序，分類數量管理運算單元921進行根據特性數據分配分類支出數量作為每個等級的分類數量的運算，使得不產生支出的晶片數量比最小基準數少的片；和分類工序，分類單元923根據運算出的該分類支出數量對分類處理進行控制。
[0132]以上，根據本實施方式1，具有:分類數量管理運算單元921，其進行根據特性數據分配分類支出數量作為每個等級的分類數量的運算，使得不產生支出的晶片數量比最小基準數少的片；和分類單元923，其根據運算出的該分類支出數量對分類處理進行控制。
[0133]由此，在開始進行分類處理之前，根據同一等級的晶片總數按不同等級計算支出數量(分類數除以等級片)，使得不產生不滿足最小規定數量的等級片31。
[0134]因此，由於基於根據特性數據分配分類支出數量作為每個等級的分類數量的運算結果來控制分類處理，使得不會產生支出的晶片數量比最小基準數少的片，所以不進行庫存的再編成，能夠防止再編成引起的晶片移載時產生的晶片損傷。
[0135]進一步，由於能夠防止持續存儲庫存(庫存繼續成為庫存)，因此能夠改善生產率，並且能夠削減庫存管理費(工時數)。
[0136](實施方式2)
[0137]圖6是本發明的實施方式2的晶片分類裝置的晶片分類控制硬體結構圖。另外，對發揮與圖1和圖2的構成部件相同的作用效果的構成部件，標註相同的附圖標記地進行說明。
[0138]在圖6，本實施方式2的晶片分類裝置IA中的控制裝置9A由計算機系統構成，具有:能夠進行各種輸入指令的鍵盤和/或滑鼠、畫面輸入裝置等輸入部90 ;能夠根據各種輸入指令在顯示畫面上顯示初始畫面、選擇引導畫面和處理結果畫面等各種圖像的顯示部91 ;作為進行整體的控制的控制部92A的CPU(中央運算處理裝置)；作為暫時存儲單元的RAM93，其在CPU啟動時作為工作存儲器動作；作為可讀存儲介質(存儲單元)的R0M94，其存儲有用於使CPU啟動的控制程序和使用該控制程序的各種數據等，能夠利用計算機進行讀取；和用於以與晶片上的晶片地址對應的方式存儲帶有例如光特性檢查或電特性檢查中的等級的信息，並且能夠參照該信息的已完成分類的資料庫95，並且以如下方式進行控制:從各自具有固有的特性數據(測試結果，與晶片地址對應的等級信息)的總體(測試結果信息)按每個規定的等級進行分類，將晶片從供給臺2轉移至排列臺3。另外，該資料庫95與RAM93和R0M94分別地設置，但是資料庫95也可以在RAM93內，還可以在R0M94內。
[0139]控制裝置92A具有:作為分類數量管理運算單元的分類數量管理最佳化運算單元921，其基於來自輸入部90的輸入指令、從R0M94內讀出至RAM93內的控制程序和使用該控制程序的各種數據，進行根據晶片的特性數據分配分類支出數量作為每個等級的分類數量的運算，使得不產生支出的晶片數量比作為最小基準數的最小規定數量(此處為1000個)少的片；裝置設定單元922，其用於預先計算每個等級所需要的一個或多個等級片31的數量而進行準備；和作為分類控制單元的分類單元923，其根據運算出的該分類支出數量對晶片分類處理進行控制。
[0140]根據上述結構，以下對其動作進行說明。
[0141]圖7是用於說明圖6的晶片分類裝置IA的控制部92A的動作的流程圖。
[0142]如圖7所示，帶有例如光特性檢查或電特性檢查中的等級的信息以與晶片上的晶片地址對應的方式存儲在已完成等級分類的資料庫95中。
[0143]首先，在步驟SI I，分類數量管理最佳化運算單元921進行分類數量管理最佳化運算處理。即，利用分類器，根據晶片圖像上的測試結果來計算出最佳的分類支出晶片數量，使得不產生支出的數量為少量的片，實現不出現浪費的分類支出。總之，根據同一等級的晶片總數預先計算而求取各等級片31的支出數量，以使得不產生最小規定數量(此處為例如1000個)以下的等級片31。
[0144]具體而言，在按批單位(12個晶片)、等級B的晶片數量為10999個的情況下，在兩個等級片31上分配晶片數量，使得例如在第一個等級片31裝載的晶片數量為5999個，在第二個等級片31上裝載的晶片數量為5000個。由此，形成兩個為支出數量(1000個以上)的等級片31，由此使得不產生最小規定數量以下的等級片31，能夠使得不產生庫存。
[0145]接著，在步驟S12，裝置設定單元922進行裝置設定處理。即，預先計算並準備每個等級所需要的一個或多個等級片31的數量。
[0146]接著，在步驟S13，分類單元923按光特性檢查或電特性檢查的每個等級進行分類處理。即，根據來自已完成等級分類的資料庫95的每個等級的晶片地址，從供給臺2上的供給片上的切斷晶片選擇同一等級的晶片，依次排列而移載至其它排列臺3上的等級片31上。
[0147]接著，在步驟S14進行支出處理。即，在等級片31上晶片數達到最大規定數量，或者在等級最終片和等級最終片的前一個等級片31上已經確保最小規定數量(此處為1000個)以上的晶片的支出數量，因此不成為庫存，全部進行支出。
[0148]之後，在步驟S15對是否已經完成所有處理進行判定，在步驟S15，如果完成所有處理(是)，則結束處理。此外，在步驟S15，如果未完成所有處理(否)，則返回下一步驟S11，轉移至下一次的分類數量管理最佳化運算處理。
[0149]總之，晶片分類方法具有:分類數量管理運算工序，分類數量管理運算單元921進行根據特性數據分配分類支出數量作為每個等級的分類數量的運算，使得不產生支出的晶片數量比最小基準數少的片；裝置設定工序，用於使裝置設定單元922根據總體的不同等級的所有晶片數量，預先計算按進行分類處理的每個等級所需要的等級片的數量，從而準備所需要的等級片的數量；和分類工序，分類單元923基於運算出的該分類支出數量控制分類處理。
[0150]如上所述，根據本實施方式2，由於基於根據特性數據分配分類支出數量作為每個等級的分類數量的運算結果來控制分類處理，使得不會產生支出的晶片數量比最小基準數少的片，所以不進行庫存的再編成，能夠防止再編成引起的晶片移載時產生的晶片損傷。
[0151]特別是，如果不進行等級片31的預備，則在現有技術中需要暫時停止晶片分類裝置，補充不足的等級的等級片之後將晶片分類裝置重啟，在本實施方式2中則不存在該需要。即，能夠防止晶片分類裝置的暫時停止和重啟。
[0152]如上所述，使用本發明的優選實施方式1、2例示了本發明，但是本發明不應該限定於該實施方式1、2地進行解釋。本發明應該被理解為僅根據權利要求的範圍解釋其範圍。理解為本行業的從業者能夠從本發明的具體的優選實施方式1、2、根據本發明的記載和技術常識實施等價的範圍。在本說明書中引用的專利、專利申請和文獻應該理解為其內容自身與在本說明書中具體的記載同樣地作為對本說明書的參考引用其內容。
[0153]產業上的可利用性
[0154]本發明在從裝載有將晶片切斷並粘貼於粘接片上而得到的多個半導體晶片的供給臺上，將半導體晶片依次轉移至例如不同等級的排列臺上的晶片分類裝置，以及使用該晶片分類裝置的晶片分類方法、記述有用於使計算機執行該晶片分類方法的各工序的處理順序的控制程序和存儲有該控制程序的能夠利用計算機進行讀取的可讀存儲介質的領域中，根據晶片固有特性數據分配分類支出數量作為每個等級的分類數量，因此不成為庫存，不會如現有技術那樣進行庫存的再編成，能夠防止再編成引起的晶片移載時產生的晶片損傷。
【權利要求】
1.一種晶片分類裝置，其從各自具有晶片固有的特性數據的總體按每個規定的等級進行分類，該晶片分類裝置的特徵在於，包括: 分類數量管理運算單元，其進行根據該特性數據分配分類支出數量作為每個等級的分類數量的運算，使得不產生支出的晶片數量比最小基準數少的片；和 分類單元，其根據運算出的該分類支出數量來控制分類處理。
2.如權利要求1所述的晶片分類裝置，其特徵在於: 所述分類數量管理運算單元在所述分類控制單元執行所述分類處理之前，按每個所述規定的等級對所述總體的一部分或全部實施關於所述分類數量的運算。
3.如權利要求2所述的晶片分類裝置，其特徵在於: 所述分類數量管理運算單元以如下方式運算所述分類數量:從進行所述分類處理的第一個等級片起按最大基準數進行分類，將放置在自最後起至少兩個等級片上的晶片數通過剩餘的所有晶片數除以剩餘的等級片個數來進行平均，將未除盡的餘數的晶片數添加到至少任一個等級片中。
4.如權利要求2所述的晶片分類裝置，其特徵在於: 所述分類數量管理運算單元以如下方式運算所述分類數量:將放置在進行所述分類處理的所有的等級片上的不同等級的所有晶片數量，通過不同等級的所有晶片數除以不同等級的所有等級片個數來進行平均，將未除盡的餘數的晶片數添加到至少任一個等級片中。
5.如權利要求1所述的晶片分類裝置，其特徵在於: 還具有裝置設定單元，其用於在所述分類處理之前，根據所述總體的不同等級的所有晶片數量，預先計算進行該分類處理的每個等級所需要的等級片的數量，準備該所需要的等級片的數量。
6.如權利要求1所述的晶片分類裝置，其特徵在於: 所述分類處理利用搬送臂從裝載有晶片切斷後的多個半導體晶片的供給臺上，按不同的規定等級依次將該半導體晶片轉移至排列臺上的等級片。
7.—種晶片分類方法，其從各自具有晶片固有的特性數據的總體按每個規定的等級進行分類，該晶片分類方法的特徵在於，包括: 分類數量管理運算工序，分類數量管理運算單元進行根據該特性數據分配分類支出數量作為每個等級的分類數量的運算，使得不產生支出的晶片數量比最小基準數少的片；和 分類工序，分類單元根據運算出的該分類支出數量來控制分類處理。
8.如權利要求7所述的晶片分類方法，其特徵在於: 所述分類數量管理運算工序，在所述分類控制單元執行所述分類處理之前，所述分類數量管理運算單元按每個所述規定的等級對所述總體的一部分或全部實施關於所述分類數量的運算。
9.如權利要求8所述的晶片分類方法，其特徵在於: 所述分類數量管理運算工序以如下方式運算所述分類數量:從進行所述分類處理的第一個等級片起按最大基準數進行分類，將放置在自最後起至少兩個等級片上的晶片數通過剩餘的所有晶片數除以剩餘的等級片個數來進行平均，將未除盡的餘數的晶片數添加到至少任一個等級片中。
10.如權利要求8所述的晶片分類方法，其特徵在於: 所述分類數量管理運算工序以如下方式運算所述分類數量:將放置在進行所述分類處理的所有的等級片上的不同等級的所有晶片數量，通過不同等級的所有晶片數除以不同等級的所有等級片個數來進行平均，將未除盡的餘數的晶片數添加到至少任一個等級片中。
11.如權利要求7所述的晶片分類方法，其特徵在於: 還具有裝置設定工序，用於在所述分類處理之前，裝置設定單元根據所述總體的不同等級的所有晶片數量，預先計算進行該分類處理的每個等級所需要的等級片的數量，準備該所需要的等級片的數量。
12.—種控制程序，其特徵在於: 記述有用於使計算機執行權利要求7?11中任一項所述的晶片分類方法的各工序的處理順序的程序。
13.—種可讀存儲介質，其特徵在於: 存儲有權利要求12所述的控制程序，能夠利用計算機進行讀取。
【文檔編號】H01L21/66GK104254911SQ201380021965
【公開日】2014年12月31日 申請日期:2013年3月18日 優先權日:2012年4月27日
【發明者】佐藤剛, 內田練, 五十殿宏二 申請人:夏普株式會社