使用光的缺陷檢查方法及其裝置的製作方法
2023-06-05 03:38:31
專利名稱：使用光的缺陷檢查方法及其裝置的製作方法
技術領域：
本發明是關於檢測被檢查物體表面和內部的光學不均勻部分或熱傳導不均勻部分的、使用光的缺陷檢查方法及其裝置的發明。
首先舉陶瓷基板為被檢查物體的例子，對其缺陷加以說明。陶瓷有絕緣體陶瓷、壓電體陶瓷等多種類型，它廣泛使用於以電子產品為代表的各種機械產品中。
在具有光擴散性的陶瓷基板中，由於延伸到內部的裂紋和封閉在內部的氣泡所作用，在這些部分光的反射率和透射率發生局部性變化，具有光學上的不均勻性。而且在光擴散性低的陶瓷基板中，由於延伸到內部的裂紋和封閉在內部的氣泡的作用，在這些部分的熱傳導也發生局部性變化，具有不均勻的溫度分布，另外，對陶瓷基板，存在於表面和內部的、微小的缺陷和裂紋開口寬度雖然是亞微米級的微裂紋，但是都會成為破壞發生的起點，使龜裂發展產生脆性破壞行為會造成大問題。通常當缺陷是表面和表面附近的裂紋缺陷時特別成問題，實際使用時的界限為長度30～100微米左右。眾所周知的上述缺陷的檢查方法有例如使用光學顯微鏡的目視檢查方法、浸泡探傷法、超聲波探傷法、使用超聲波顯微鏡的檢查方法、放射線探傷法和紅外線溫度記錄儀法。
但是上述眾所周知的使用光學顯微鏡等的目視檢查方法，除了處理能夠檢查出來的裂紋等缺陷的尺寸小以外，還存在由於其對比度低而產生的缺陷檢查精度不高的問題。
而且由於基板本身的價格非常便宜，因此要求作為在線檢查裝置的缺陷檢查裝置不僅成本要低，還要求速度要快，但是使用上述周知的檢查精度良好的浸泡探傷法、超聲波探傷法、使用超聲波顯微鏡的檢查方法或放射線探傷法的裝置均不能滿足任何一個要求。
又，使用上述周知的紅外線溫度記錄儀法時，如果被檢查物體具有導電性，則在通電時測量其發熱分布，或加熱被檢查物體的內側面，用二維的紅外線傳感器對在表面側所出現的溫度分布進行圖像化的測量。但是在被檢查物體熱傳導性高的情況下，缺陷部分的不均勻的溫度分布很快就會消失，因此很難捕捉到溫度分布不均勻部分，故該法在缺陷檢查靈敏度上有問題。
因此本發明的目的在於解決這些問題，提供能夠高速度、高精度檢查具有光擴散性的陶瓷基板和與光擴散性有否無關的金屬和陶瓷基板等被檢查物體的裂紋缺陷等的使用光的缺陷檢查方法及其裝置。
為了達到這一目的，本發明在的特徵是被檢查物體表面位置上以強度不同的光線照射，該照射的光線從被檢查物體表面向內部滲透後檢測從被檢查物體表面射出的光線，通過檢測射出光線的強度變化來檢測被檢查物體的光學不均勻部位。
這樣的方法是能夠高精度、高速度檢查被檢查物體的裂紋等缺陷的、使用光線的缺陷檢查方法。
圖1是本發明實施例1的、使用光的缺陷檢查方法具體化的裝置方框圖。
圖2是表示本發明實施例1的、在照明區域和攝像區域之間具有裂紋缺陷情況下的光擴散的模式圖。
圖3是表示本發明實施例1的、在照明區域和攝像區域之間以外存在裂紋缺陷情況下的光擴散的模式圖。
圖4是表示本發明實施例1的、在被檢查物體上的副掃描方向的裂紋缺陷的模式圖。
圖5是本發明實施例1的、副掃描方向的裂紋缺陷的檢測信號的模式圖。
圖6是本發明實施例1的、由虛線狀照明產生的擴散輻射光的模式圖。
圖7是表示本發明實施例1的、在被檢查物體上的主掃描方向的裂紋缺陷的模式圖。
圖8是本發明實施例1的、主掃描方向的裂紋缺陷的檢測信號模式圖。
圖9是本發明實施例2的、使用光的缺陷檢查方法具體化的裝置方框圖。
圖10是本發明實施例3的、使用光的缺陷檢查方法具體化的裝置方框圖。
圖11是本發明實施例4的、使用光的缺陷檢查方法具體化的裝置方框圖。
圖12是本發明實施例5的、使用光的缺陷檢查方法具體化的裝置方框圖。
圖13是本發明實施例5的、副掃描方向的裂紋缺陷的檢測信號模式圖。
圖14是本發明實施例5的、主掃描方向的裂紋缺陷的檢測信號模式圖。
圖15是本發明實施例6的、使用光的缺陷檢查方法具體化的裝置方框圖。
圖16是本發明實施例6的、表示被檢查物體沒有裂紋缺陷情況下的熱擴散模式圖。
圖17是表示本發明實施例6的、在照明區域和攝像區域之間存在裂紋缺陷情況下的熱擴散模式圖。
圖18是表示本發明實施例6的、在照明區域和攝像區域之間以外存在裂紋缺陷情況下的熱擴散模式圖。
圖19是本發明實施例6的、副掃描方向的裂紋缺陷檢測信號的模式圖。
圖20是本發明實施例6的、主掃描方向的裂紋缺陷檢測信號的模式圖。
下面根據附圖對本發明的實施例加以說明。
實施例1圖1是本發明實施例1的使用光的缺陷檢查裝置的結構圖。
在實施例1的使用光的缺陷檢查裝置上配備照明手段、攝像手段、驅動手段以及圖象處理手段。
上述照明手段由將半導體雷射光源一維配置的列狀光源1和投影透鏡2構成，藉助於該照明手段在被檢查物體6的表面上進行照明，這是在表面位置上進行強度不同的虛線狀照明。
上述攝像手段由物鏡3、和將CCD元件配置成線狀的線狀傳感器4構成，用該攝像手段檢查與用上述照明手段在被檢查物體6的照明區域12位置相平行的線狀的攝像區域11所射出的光。
上述驅動手段由安放被檢查物體6並能向規定方向移動的試樣臺5構成，在該驅動手段的驅動下被檢查物體6與所述照明手段及攝像手段可作相對移動。
上述圖象處理手段由用線狀傳感器4的信號和試樣臺5的移動信號形成圖像的前處理部7和圖像處理部8構成，藉助於該圖像處理手段，從上述攝像手段檢測出的攝像信號中可檢測出被檢查物體6的光學不均勻部。
藉助於上述結構，來自線狀光源1的像由投影透鏡2投影到被檢查物體6上，在表面位置上進行強度不同的虛線狀照明。該照明光13透到被檢查物體6的內部，則再度從被檢查物體6的表面輻射出的光線15中包含了被檢查物體6內部的信息。這裡把這種輻射光稱為擴散輻射光。從該照明區域12擴散到被檢查物體6內部，從被攝像的攝像區域11輻射出的擴散輻射光15通過攝像手段的物鏡3在線狀傳感器4上成像。
接著，用試樣臺5使被檢查物體6依序移動，一邊對通過前處理部7輸入到圖像處理部8的圖像信號進行圖象處理，以此檢查出被檢查物體6中的裂紋缺陷。這裡稱被檢查物體6的移動方向為主掃描方向，稱用線狀傳感器掃描的方向為副掃描方向。下面舉出方位上相互垂直的副掃描方向上的缺陷9和主掃描方向上的缺陷10的例子作為具有各種方位的裂紋缺陷的代表，以此為例詳細說明各情況下的檢測動作。
在本實施例中，為了檢測包含被檢查物體6的內部信息的從被檢查物體6表面射出的擴散輻射光15，最簡單的手段是，把被檢查物體6上的作為照明手段照射的虛線狀照明區域12和作為攝像手段拍攝的線狀的攝像區域11平行配置，在兩個區域上設置分離間隔，使擴散輻射光15的攝像區域11與照明區域12不重疊。以這樣的配置，在線狀傳感器4上就可以防止來自照明區域12的高強度的反射光混入，而只檢測強度低的擴散輻射光15。
在被檢查物體6內部一旦存在反射率和透射率局部不同的光學不均勻部，存在該不均勻部的附近的表面輻射出的光的強度與其他表面部分來的輻射光相比會有變化。這一變化的理由將在下面說明。
圖2和圖3是具有光擴散性的被檢查物體6上的裂紋缺陷的剖面模式圖。
照明光13的一部分折射進入被檢查物體6的內部，光強度在指數衰減同時一邊向被檢查物體6內部擴散。然後，該擴散的光線(擴散光)14的一部分到達攝像區域11，從被檢查物體6的表面輻射出。裂紋缺陷9的剖面形狀如圖2所示，在龜裂面上，一邊是折射率為n的波檢查物體6，而在該龜裂面的間隙處存在折射率為1的空氣層16。因此，在該龜裂的界面處由於存在折射率差，光學上的反射率和透射率發生局部變化，所以在被檢查物體6的內部擴散光14存在不均勻性。
如圖2所示，在照明區域12和攝像區域11之間存在缺陷9的情況下，從照明區域12擴散到被檢查物體6內部到達攝像區域11的擴散光14的一部分是透過裂紋缺陷9後到達攝像區域11。由於透過裂紋缺陷9的擴散光的強度更加衰減，因此，攝像區域11射出的擴散輻射光15的強度比不存在缺陷的情況要低。
另一方面，如圖3所示在裂紋缺陷8存在於攝像區域11外側，而照明區域12和攝像區域11之間不存在裂紋缺陷的情況下，首先，與不存在裂紋缺陷的情況相同，內部的擴散光14的一部分從攝像區域表面作為擴散輻射光15射出。在此再加上來自照明區域12的擴散光14的一部分受到裂紋缺陷9的反射到達攝像區域11。其結果是，從攝像區域11射出的擴散輻射光15的強度比不存在裂紋缺陷的情況下增加了。
這樣，在作為裂紋缺陷的內部結構龜裂面上，由於產生折射率差，對於光擴散起到了使一部分透過而一部分反射的作用。
根據這點，首先如圖4所示，在下面說明沿著副掃描方向的裂紋9的檢查方法。在圖1的被檢查物體6的右側存在一個沿著這一副掃描方向的裂紋缺陷9。以使試樣臺5依序向左側移動、拍攝該被檢查物體6的情況為例用圖5進行說明。
採用上述方法，圖5所示的被檢查物體6由線狀傳感器4從左側向右方向進行攝像。用該線狀傳感器4從左側向右方向對被檢查物體6進行攝像時，在被檢查物體6的一部分即沿著副掃描方向的裂紋缺陷9通過攝像區域11前後時、在線狀傳感器4上的任一像素的攝像信號的變化示於圖5b。這裡把圖中的被檢查物體6的攝像區域分為A、B、C三個區域。攝像區域A是不受裂紋缺陷9影響的區域，從而線狀傳感器4的信號是不受裂紋缺陷9影響的基準電平。接著，在攝像區域B，被拍攝的擴散輻射光15如上述圖3所示，也包含在裂紋面的反射光，因此，與擴散輻射光15的輻射強度增加相對應，線狀傳感器4的信號也增強。而在攝像區域C，被拍攝的擴散輻射光15如上述圖2所示由於被龜裂面遮蔽而強度下降，與此相應線狀傳感器4的信號也減小。
又，在圖5中像攝像區域B、C那樣，如果在攝像區域近旁存在裂紋缺陷9，即使在攝像區域11內不存在裂紋缺陷9，也有信號變化。
這樣的信號特性是由被檢查物體6內部的裂紋缺陷9的龜裂面尺寸和方向造成的，因此，即使裂紋缺陷9的開口寬度為亞微米級大小，但是由於確實存在，可以用幾微米～幾十微米的、攝像手段的像素解析度檢測出來。這裡像素解析度是線狀傳感器4的一個像素的尺寸除以攝像系統的攝像倍率的商。從而，即使是像素解析度比應該檢測出的裂紋缺陷9的尺寸大的低攝像倍率的攝像手段，也能夠檢測出比像素解析度小的裂紋缺陷9，因此，可以用低攝像倍率對檢查區域匯總檢查。又，在該圖5以裂紋缺陷9在表面開口的情況進行了說明，而對於在表面沒有開口的內部裂紋也有同樣的信號變化。
這裡由於裂紋缺陷9在通過攝像區域11時產生最急劇的信號變化，因此，可以由圖象處理部8對圖5b的信號進行例如微分等處理，設定閾值17進行雙值化，以此可以如圖5c所示進行缺陷檢測。
下面對在表面位置使強度發生變化的、進行虛線狀照明的情況下的線狀傳感器4的攝像信號進行說明。
在圖6中，為了說明簡單，只用點狀照明光18和點狀照明光19兩點作為被檢查物體6上的虛線狀照明光的一部分進行照明。各照明光18、19的一部分折射進入被檢查物體6內部，在光強度指數衰減的同時一邊在被檢查物體6內部擴散。於是，該擴散光的一部分到達攝像區域11，從被檢查物體6的表面作為擴散輻射光15射出。這時如果以線狀傳感器4的拍攝的任意點20與各點狀照明光18、19的距離為d1、d2，由於通常這兩個距離是不同的，所以各點狀照明光18、19在線狀傳感器4引起的攝像信號分別予以考慮，則如圖6b所示，點狀照明光18對應的是攝像信號21，點狀照明光19對應的是攝像信號22，兩者的關係在副掃描方向上成平行移動的關係。實際上線狀傳感器4檢測到的是這兩個信號的和，因此成為如圖6c所示具有緩慢起伏的曲線。從而，在虛線狀照明的情況下的線狀傳感器的攝像信號為具有平緩起伏的波形。
根據上面所述這一點，接著在下面如圖7所示，對沿主掃描方向的裂紋缺陷10的檢查方法進行說明。在圖1的被檢查物體6的右側存在一沿著主掃描方向的裂紋缺陷10。當對被檢查物體6用照明手段一邊進行虛線狀照明一邊使試樣臺5依序向左側移動進行攝像的情況作為例子用圖8加以說明。
採取上述方法以虛線狀的照明光23照射圖8a所示的被檢查物體6，使試樣臺5在垂直於紙面的方向上一邊移動，一邊用線狀傳感器4進行攝像。圖8b表示在這種情況下的攝像動作中，作為被檢查物體6一部分即沿著主掃描方向有裂紋缺陷10通過攝像區域11時線狀傳感器的攝像信號。這裡把圖中被檢查物體6的攝像區域分成A、B兩個區域。攝像區域A是不受裂紋缺陷的影響的區域，因此，傳感器4的信號不受裂紋影響，如圖6所示，具有平緩的波紋。而攝像區域B是裂紋缺陷10的部分，當考慮到達該缺陷10的擴散光有來自左側的擴散光24和來自右側的擴散光25，由於進行的是虛線狀的照明，通常兩者的擴散距離是不同的。而且該擴散光的強度是隨著擴散距離呈指數衰減，故來自左側的擴散光24和來自右側的擴散光25存在著強度差。此外對裂紋缺陷10如圖2和圖3所述，由於在其內部結構的龜裂面上產生折射率差，所以對於在被檢查物體6內部的光擴散來講，有使一部分透過使一部分反射的效果，因此使來自左側的擴散光24和來自右側的擴散光25保持著強度差，造成被檢查物體6內部的光擴散在裂紋缺陷10處發生局部不連續的情況。其結果是，擴散輻射光的強度發生變化，在線狀傳感器4的攝像信號上發生急劇變化。
因此，如果用圖像處理部8對圖8b所示的信號進行例如微分處理等方式的處理，則在平緩波紋的部分基本上無信號輸出，而只對裂紋缺陷10部分的信號進行強調。在此設定閾值26進行雙值化，如圖8c所示可以以此進行缺陷檢測。
通常發生的裂紋缺陷的方向是不一定的，但是不管是什麼方向，都可以使用沿副掃描方向的裂紋缺陷9的檢查方法或沿主掃描方向的裂紋缺陷10的檢查方法來進行缺陷檢測。
在這裡不使用本發明用的虛線狀照明光，而使用照明強度均勻的線狀照明光時，則到達裂紋缺陷10內部的龜裂面的來自左側的擴散光24和來自右側的擴散光25強度相等。這時，對於在被檢查物體6內部的光擴散來講，裂紋缺陷即使起到使一部分透過使一部分反射的作用，左邊和右邊來的擴散光也還是相等，所以即使存在裂紋缺陷，在被檢查物體內部光的擴散也沒有局部不連續。因此，對於朝著主檢查方向的裂紋缺陷10，由於攝像信號沒有發生明顯的變化，使該缺陷難以檢測。
而且，為了檢測上述擴散輻射光15的信號變化，不需要特別高靈敏度的信號檢測技術，用市售的CCD攝像手段和圖像顯示裝置就能夠在監控器畫面上以清晰的對比度顯示裂紋缺陷的存在位置。還有，在本實施例1中作為攝像手段將CCD元件排列成線狀作為線狀傳感器4使用，但是也可以使用CCD以外的元件作為該攝像元件。
實施例2圖9表示本發明實施例2的使用光的缺陷檢查裝置的結構圖。與實施例1中圖1的結構相同部分示於相同的符號並且省略其說明。
在實施例2的使用光的缺陷檢查裝置中，將實施例1的照明手段替換為一邊使強度變化一邊對被檢查物體6進行一維掃描照明的照明手段。
該實施例2的照明手段由雷射光源控制部27、雷射光源28、準直透鏡29、多角稜鏡30、反射鏡31和成象透鏡32構成。
藉助於上述結構，來自雷射光源28的雷射在準直透鏡29的作用下變成平行光，在多角稜鏡30、反射鏡31和成象透鏡32的作用下在被檢查物體6上成象為光點S。然後使多角稜鏡30旋轉以在副掃描方向上用成象光點S進行掃描。在副掃描期間由雷射光源控制部27改變雷射光強，同時在線狀傳感器4的測光期間內對成象光點S進行一次以上的掃描，以此對線狀傳感器4的攝像形成虛線狀的照明區域12。
該照明光線透入被檢查物體6的內部，再度從被檢查物體表面6射出的輻射光15包含被檢查物體6內部的信息。從該照明區域12擴散到被檢查物體6內部再從攝像區域11輻射出的擴散輻射光15通過攝像手段的物鏡在線狀傳感器4上成象。
接著用試樣臺5使被檢查物體6一邊移動一邊對經過前處理部7向圖像處理部8輸入的圖像信號進行圖像處理，以此可以與實施例1一樣對被檢查物體6上的副掃描方向的裂紋缺陷9和主掃描方向的裂紋缺陷10為代表的所有方向上的裂紋缺陷進行檢查。
此外本實施例2也和實施例1相同，為了檢查出包含被檢查物體6內部信息的、從被檢查物體6表面輻射出的擴散輻射光15，最簡單的手段是把被檢查物體6上的作為照明手段的虛線狀照明區域12與作為攝像手段拍攝的線狀的攝像區域11平行配置，而且兩個區域的設置分開一段距離，使擴散輻射光15的攝像區域11與照明區域12不重疊。以這樣的配置，在線狀傳感器4中可以防止來自照明區域12的高強度的反射光混入，只檢測強度低的擴散輻射光15。
還有，在本實施例2中，作為改變雷射強度的手段採用了對雷射光源進行控制，但也可以使用別的改變強度的手段。
實施例3圖10表示本發明實施例3的使用光的缺陷檢查裝置的結構圖。與實施例1中圖1的結構相同部分標以相同的符號並且省略其說明。
在實施例3的使用光的缺陷檢查裝置中，將實施例1的照明手段替換為投射虛線狀的狹縫像對被檢查物體6進行照明的照明手段。
實施例3的照明手段由白色光源33、聚光透鏡34、具有虛線狀開口的狹縫35和投影透鏡36構成。
藉助於上述結構，來自白色光源33的光通過聚光透鏡34對具有虛線狀開口的狹縫35進行照明，這個狹縫像通過投影透鏡36投影到被檢查物體6上，該照明光13以強度變化的形式虛線狀地照明被檢查物體6。該照明光13透入被檢查物體6內部，再度從被檢查物6表面射出的輻射光15包含被檢查物體6內部的信息。從該照明區域12擴散到被檢查物體6內部再從攝像區域11輻射出的擴散輻射光15通過物鏡3在線狀傳感器4上成象。
接著用試樣臺5使被檢查物體6一邊依序移動一邊對經過前處理部7向圖像處理部8輸入的圖像信號進行圖像處理，以此可以與實施例1一樣對被檢查物體6上的副掃描方向的裂紋缺陷9和主掃描方向的裂紋缺陷10為代表的所有方向上的裂紋缺陷進行檢查。
在本實施例3也和實施例1相同，為了檢查出包含被檢查物體6內部信息的、從被檢查物體6表面輻射出的擴散輻射光15，其最簡單的手段是，把被檢查物體6上作為照明手段的點虛線狀的照明區域12與作為攝像手段拍攝的線狀的攝像區域11平行配置，同時兩個區域分開一段距離設置使擴散輻射光15的攝像區域11與照明區域12不重疊。以這樣的配置，在線狀傳感器4中可以防止來自照明區域12的高強度的反射光混入，只檢測強度低的擴散輻射光15。
實施例4圖11表示本發明實施例4的使用光的缺陷檢查裝置的結構圖。與實施例1中的圖1的結構相同部分標以相同的符號並且省略其說明。
在實施例4的使用光的缺陷檢查裝置中，將實施例1的照明手段替換為通過反射鏡對被檢查物體6進行虛線狀照明的照明手段，將實施例1的攝像手段替換為通過用上述反射鏡來檢測與所述照明手段在被檢查物體6上的照明區域相平行的位置上的線狀區域輻射出的輻射光的攝像手段。又將實施例1的驅動手段替換為使上述反射鏡按規定角度、往復轉動的驅動手段。
實施例4的照明手段由列狀光源1、投影透鏡2和反射鏡43構成。
而實施例4的攝像手段由反射鏡43、物鏡3、和線狀傳感器4構成。
而實施例4的驅動手段由使反射鏡43以規定的角度往復轉動的反射鏡旋轉驅動部44構成。
還有，前處理部7通過線狀傳感器4的信號和反射鏡旋轉驅動部44的反射鏡旋轉信號形成圖像。
藉助於上述結構，來自列狀光源1的像通過投影透鏡2和反射鏡43投影在被檢查物體6上，在表面位置上進行強度不同的虛線狀照明。該照明光13透入被檢查物體6內部，包含被檢查物體6內部信息的擴散輻射光15再度從被檢查物體6表面射出。從該照明區域12擴散到被檢查物體6內部再從攝像區域11輻射出的擴散輻射光15通過反射鏡43、由物鏡3在線狀傳感器4上成象。
接著用反射鏡旋轉驅動部使反射鏡43旋轉、使被檢查物體6上的照明區域12和攝像區域11一邊依序在主掃描方向上移動一邊對經過前處理部7向圖像處理部8輸入的圖像信號進行圖像處理，以此可以與實施例1一樣對被檢查物體6上的副掃描方向的裂紋缺陷9和主掃描方向的裂紋缺陷10為代表的所有方向上的裂紋缺陷進行檢查。
在本實施例4也和實施例1相同，為了檢查出包含被檢查物體6內部信息的、從被檢查物體6表面輻射出的擴散輻射光15，其最簡單的手段是，把被檢查物體6上作為照明手段虛線狀的照明區域12與作為攝像手段拍攝的線狀的攝像區域11平行配置，在兩個區域設置分離間隔使擴散輻射光15的攝像區域11與照明區域12不重疊。以這樣的配置，在線狀傳感器4中可以防止來自照明區域12的高強度的反射光混入，只檢測強度低的擴散輻射光15。
又，在本實施例4，不需用圖1的實施例1那種用於攝像動作的試樣臺5，使結構更簡單。這樣的藉助於旋轉的反射鏡43向時掃描照明區域12和攝像區域11的方法與圖9的實施例2和圖10的實施例3組合的話，也可以不要試樣臺5。
實施例5圖12表示本發明實施例5的使用光的缺陷檢查裝置的結構圖。與實施例1中的圖1結構相同的部分標以相同的符號並且省略其說明。
在實施例5的使用光的缺陷檢查裝置中，將實施例1的照明手段替換為在被檢查物體6表面上不重疊地照射在表面位置強度不同的多種波長的光的照明手段，將實施例1的攝像手段替換為對與所述照明手段在被檢查物體上的照明區域相平行的位置上的線狀區域輻射出的光按各自的波長分離後進行檢測的波長分解式的彩色分離攝像手段。
實施例5的照明手段由白色光源33、聚光透鏡34、具有線狀開口的狹縫37、只使波段a通過的區域與只使波段b通過的區域交互配置的帶通濾波器38以及投影透鏡36構成。
而實施例5的彩色分離攝像手段由物鏡3、使波段a的光線通過而使波段b的光線反射的分色鏡40、以及拍攝各波段的光線的兩個線狀傳感器4構成。
還有，作為圖象處理手段的前處理部7用兩個線狀傳感器4將各自的信號和搭載被檢查物體6的試樣臺5的移動信號分別形成圖像，該圖像信號被輸出到按波段分別設置的兩個圖象處理部8。
藉助於上述結構，來自白色光源33的光線通過聚光透鏡34對具有線狀開口的狹縫37進行照明，該狹縫的像由投影透鏡36投射在被檢查物體6上。這時，用只使波段a通過的區域與只使波段b通過的區域交互配置的帶通濾波器38形成以波段a的照明區域和波段b的照明區域交互配置的線狀照明光39照射被檢查物體6。
該波段a和波段b各自的照明光39透入被檢查物體6內部，再度從被檢查物體6表面射出的輻射光43包含被檢查物體6內部的信息。從照明區域12擴散到被檢查物體6內部，從攝像區域11輻射出的波段a和波段b的各擴散輻射光43射入到攝像手段的物鏡3。接著，分色鏡40使波段a的光線透過，而使波段b的光線反射。在它們各自的成像位置上配置線狀傳感器4進行攝像。
接著用試樣臺5依序一邊使被檢查物體6移動一邊對經過用兩個線狀傳感器4的信號和試樣臺5的信號形成圖像的前處理部按波段向兩個圖象處理部8輸入的圖像信號進行圖象處理，以此可以對被檢查物體6上的副掃描方向的裂紋缺陷9和主掃描方向的裂紋缺陷10為代表的所有方向上的裂紋缺陷進行檢查。
在本實施例5也和實施例1相同，為了檢查出包含被檢查物體6內部信息的、從被檢查物體6表面輻射出的擴散輻射光43，其最簡單的手段是，把被檢查物體6上作為照明手段的波段a的照明區域與波段b的照明區域交互配置的線狀照明區域12與作為攝像手段拍攝的線狀的攝像區域11平行配置，在兩個區域設置分離間隔使拍攝擴散輻射光43的攝像區域11與照明區域12不重疊。以這樣的配置，用線狀傳感器4可以防止來自照明區域12的高強度的反射光混入，只檢測強度低的擴散輻射光43。
下面舉出方位相互垂直的副掃描方向上的缺陷9和主掃描方向上的缺陷10的例子作為具有各種方位的裂紋缺陷的代表，以此為例說明各情況下的檢測動作。
首先對裂紋缺陷沿著副掃描方向的情況下的裂紋缺陷9的檢查方法進行說明。圖12的被檢查物體6的右側存在沿著該副掃描方向的裂紋缺陷9。圖13所示為當試樣臺5依序向左側移動時對該被檢查物體6進行攝像情況的例子。
採用上述方法，圖13a所示的被檢查物體6由兩個線狀傳感器4從左側向右進行攝像。在各線狀傳感器4從左側向右對被檢查物體6進行攝像時，當被檢查物體6的一部分的、沿著副掃描方向的裂紋缺陷9通過攝像區域11前後各線狀傳感器4上任一像素的攝像信號變化情況，對于波段a示於圖13b，波段b示於圖13d。兩者幾乎相等，顯示出與圖5所示的裂紋檢測信號有相同的信號變化。對於各攝像信號用各圖象處理部8進行例如微分等處理，再設定閾值17使其雙值化，就能進行如圖13c與13e所示的缺陷檢查。
下面對沿著主掃描方向的裂紋缺陷10的檢查方法進行說明。圖12的被檢查物體6的右側存在著沿著主掃描方向的裂紋缺陷10。下面以一邊用照明手段對被檢查物體6進行虛線狀照明，一邊使試樣臺5依序向左移動進行攝影的情況為例用圖14進行說明。
採用上述方法，用波段a的虛線狀照明光41和波段b的虛線狀照明光42(以虛線表示)照明，一邊使試樣臺5在垂直於紙面的方向移動一邊用兩個線狀傳感器4按波段分別進行攝像。在該攝像動作中，在被檢查物體6的一部分的、沿著主掃描方向的裂紋缺陷10通過攝像區域11時各線狀傳感器4的攝像信號，對于波段a示於圖14b，波段b示於圖14d。
在這裡首先考慮波段a的攝像，把圖中的被檢查物體6上的攝像區域分成A、B二區。攝像區域A是不受裂紋缺陷10影響的區域，因此各線狀傳感器4的信號不受裂紋缺陷10的影響，如圖8所述具有平緩的波紋。而攝像區域B是裂紋缺陷10的部分，當考慮到達該裂紋缺陷10的擴散光有來自左側的擴散光24和來自右側的擴散光25，由於進行虛線狀的照明，通常二者的擴散距離是不同的。該擴散光的強度隨著擴散距離的增加而指數減少，因此來自左側的擴散光24和來自右側的擴散光25存在強度差。裂紋缺陷10由於作為內部結構的龜裂面而產生折射率差，所以對被檢查物體6內部的光擴散存在著有部分透射有部分反射的作用，因此，使來自左側的擴散光24和來自右側的擴散光25仍存在強度差，在裂紋缺陷10處，產生被檢查物體內部的光擴散有局部不連續。其結果是擴散輻射光43的強度發生變化，拍攝波段a的線狀傳感器4的攝像信號如圖14b所示在裂紋部分處急劇減少。
下面考慮波段b的攝像情況，由於與波段a的照明有不同的照明區域，同樣當考慮到達裂紋缺陷10的擴散光有來自左側的擴散光24和來自右側的擴散光25，則兩者的強度差與波段a的情況相反。其結果是，拍攝波段b的線狀傳感器4的攝像信號如圖14d所示，在裂紋部分處急劇增加。
接著，如果分別用圖象處理部8對圖14b和圖14d所示的信號進行例如微分等處理，則在波紋平緩的部分幾乎不存在信號，只有裂紋缺陷10的部分信號得到強調，波段a的信號如圖14c所示，而波段b的信號如圖14e所示。
取兩個信號的差則得到圖14f所示的信號，可以使裂紋缺陷10的檢測靈敏度得到提高。這裡通過設定閾值26並進行雙值化，就可以檢測裂紋缺陷10。
在本實施例5中使用了兩個波段的照明光，但是也可以使用兩個以上的波段照明。又，在本實施例5使用白色光源33、狹縫37和帶通濾波器38形成具有多個波段的照明光，除了這種方法以外，也可以使用如雷射、LED這種方式預先用波段不同的多種光源構成照明手段。又可以使用多種波段的點狀照明光構成如圖9的實施例4中所說明的掃描式照明手段如上所述，採用實施例1～實施例5，從限定的照明區域12向攝像區域11進行光擴散、從被檢查物體6表面輻射出的擴散輻射光15或43由於受攝像區域11或其周邊的裂紋缺陷的影響，強度發生變化，對此加以利用、並突出對裂紋缺陷進行檢測，因此即使是與攝像手段的像素解析度相比裂紋開口寬度微小的缺陷也能夠檢測出，其結果是，能夠提供不管有無光擴散性都能夠高精度、廉價、高速度地檢查表面裂紋缺陷和內部裂紋缺陷的缺陷檢查裝置。
實施例6圖15表示本發明實施例6的使用光的缺陷檢查裝置的結構圖。與實施例1中的圖1部分相同部分標以相同的符號並且省略其說明。
在實施例6的使用光的缺陷檢查裝置中，將實施例1的照明手段替換為一邊使強度變化一邊對被檢查物體6進行掃描加熱的加熱手段，將實施例1的攝像手段替換為對與所述加熱手段在被檢查物體6上的加熱區域相平行的位置上的線狀區域輻射出的紅外線進行檢測的攝像手段。
還有，作為圖象處理手段從上述攝像手段檢測出的攝像信號中檢測出被檢查物體6的熱傳導不均勻部分。
實施例6的加熱手段由雷射光源控制部27、雷射光源28、準直透鏡29、多角稜鏡30、反射鏡31和成象透鏡32構成。
而實施例6的攝像手段由物鏡3、和檢測紅外線的線狀傳感器45構成。
藉助於上述結構，來自雷射光源28的雷射通過準直透鏡29變成平行光，由多角稜鏡30、反射鏡31和成象透鏡32的作用在被檢查物體6上成像為光點S。然後使多角稜鏡30旋轉，以使上述成像的光點在副掃描方向上掃描。在進行該副掃描方向上的掃描時，雷射光源控制部27改變雷射的強度，在紅外線檢測用的線狀傳感器45的受光時間內，使成像光點進行一次以上的掃描，使雷射成虛線狀地照射在被檢查物體6上，被檢查物體6的照射雷射的區域由於吸收光線而發熱，因而形成虛線狀的加熱區域46。
該熱量在被檢查物體6內部熱傳導，熱量以紅外線形式從被檢查物體6的熱量傳導過的區域表面輻射出來，該紅外線輻射光包含被檢查物體6的內部信息。這裡稱該輻射光為紅外擴散輻射光。從該加熱區域46熱傳導到被檢查物體6內部，再從攝像區域11輻射出的紅外擴散輻射光48，然後通過攝像手段的物鏡3在紅外線檢測用的線狀傳感器45上成像。
接著，用試樣臺5使被檢查物體6依序一邊移動一邊通過根據線狀傳感器45的信號與試樣臺5的信號通過形成圖像的前處理部7向圖象處理部輸入，對圖像信號進行圖象處理，以此檢查出被檢查物體6中的裂紋缺陷。
在實施例6中，為了檢測從被檢查物體6表面射出的包含被檢查物體6的內部信息的紅外擴散輻射光48，作為最簡單的手段，將被檢查物體6上的作為加熱手段進行虛線狀加熱的加熱區域46與作為攝像手段進行攝像的線狀攝像區域11兩個區域平行配置，中間隔開一段距離，使拍攝紅外擴散輻射光48的區域11與加熱區域46不重迭。以這樣的配置可以防止在檢測紅外線用的線性傳感器45中混入從加熱區域46來的高強度紅外光，而只檢測強度低的紅外擴散輻射光48。
在被檢查物體6的內部，如果存在熱傳導局部性不均勻，則在該不均勻處存在的附近表面輻射的紅外光的強度與其他表面處的紅外輻射光相比有所不同。該不同的原因說明如下。
圖16a是從被檢查物體6的加熱區域46向被檢查物體6的內部傳熱，在被檢查物體6內部進行熱擴散，該擴散的熱47的一部分從攝像區域11輻射出紅外擴散輻射光48的模式圖。這裡，設加熱前的被檢查物體6的表面溫度為t0，設加熱區域46的溫度為t1，則加熱時被檢查物體6的表面溫度分布如圖16b所示，攝像區域11的溫度設為t。
圖17表示被檢查物體6上存在裂紋缺陷9的剖面模式圖。擴散的熱47的一部分到達被檢查物體6的攝像區域11，輻射出紅外擴散輻射光48。又，裂紋缺陷9的剖面形狀如圖17所示，在被檢查物體6的內部存在一個龜裂面，在該龜裂面的間隙，存在著與一般的金屬、塑料等構成的被檢查物體6的傳導率λ相比其熱傳導率要小得多的空氣層16。因此，在龜裂的界面上產生熱導率的差異，造成被檢查物體6的內部擴散的熱47不均勻。
如圖17a所示，在加熱區域46與攝像區域11之間存在裂紋缺陷9的情況下，從加熱區域46向被檢查物體6的內部熱擴散到達攝像區域11的擴散熱47的一部分是經過裂紋缺陷9傳導到達攝像區域11的。而經過裂紋缺陷9傳導的熱擴散受到空氣層16的隔熱作用，因而到達攝影區域11的熱量減少。這裡以t0表示加熱前的被檢查物體6的表面溫度，而以t1表示加熱區域46的溫度，則加熱時被檢查物體6的表面溫度分布為圖17b所示，攝像區域11的溫度與沒有裂紋缺陷9的情況下的溫度t相比要低，其溫度以t』表示。其結果是，從攝像區域11輻射出的紅外擴散輻射光48的強度與沒有裂紋缺陷9的情況相比要低。
另一方面，如圖18a所示在攝像區域11的外面存在裂紋缺陷9，在加熱區域46與攝像區域11之間不存在裂紋缺陷的情況下，此時首先與不存在裂紋的情況相同，擴散的熱47的一部分到達攝像區域11。再加上，擴散熱47的一部分由於裂紋缺陷9的隔熱作用，使熱擴散受到抑制，反過來又造成抑制的擴散熱的一部分達到攝像區域11。這裡以t0表示加熱前的被檢查物體6的表面溫度，以t1表示加熱區域46的溫度，則加熱時的被檢查物體6的表面溫度分布為圖18b所示，攝像區域的溫度與不存在裂紋缺陷的情況下的溫度t相比上升為t」。其結果是，從攝像區域11輻射出的紅外擴散輻射光48的強度與不存在裂紋缺陷9的情況相比有所增加。
這樣，裂紋缺陷由於其內部結構的龜裂面上存在著空氣層16，造成了熱傳導率差，從而對熱擴散起著部分隔熱作用。
根據這一點，下面首先對沿著副掃描方向的裂紋缺陷9的檢查方法加以說明。在圖15的被檢查物體6右側存在著沿該副掃描方向的裂紋缺陷9。下面以使試樣臺5依序向左側移動、對該被檢查物體6進行攝像的情況為例用圖19加以說明。
採用上述方法，圖19a所示的被檢查物體6用紅外線檢測用的線狀傳感器45從左側起向右方向攝像。在這時用線狀傳感器進行的從左側起向右方向對被檢查物體6的攝像中，在被檢查物體6的一部分即沿著副掃描方向的裂紋缺陷9通過攝像區域11前後，線狀傳感器45上的任一像素中攝像信號的變化示於圖19b。這裡把圖中的被檢查物體6上的攝像區域分為A、B、C三個區域。攝像區域A是不受裂紋缺陷9影響的區域，因此，線狀傳感器45的信號是不受裂紋缺陷9影響的基準電平。其次是在攝影區域B，拍攝的紅外擴散輻射光48如上述圖18所示，紅外擴散輻射光48的強度增加，造成線狀傳感器45的信號也相應增加。而在攝像區域C，拍攝的紅外擴散輻射光48如前述圖17所示，由於裂紋缺陷9的空氣層16的隔熱而強度低下，與此相應線狀傳感器45的信號也低下。
這樣的信號特性取決於被檢查物體6內部的裂紋缺陷9的空氣層16的厚度、尺寸及方向，正如圖19所示的攝像區域B、C那樣，只要在攝像區域旁邊存在裂紋缺陷9，則即使在攝像區域11內不存在裂紋缺陷9，由於也有信號的變化，相當於是對裂紋缺陷進行擴大強調後進行檢測。這裡若以線狀傳感器45的一個像素的尺寸除以攝像手段的攝像倍率的商為像素解析度，則即使採用像素解析度比應該檢測出的裂紋缺陷9的尺寸大的低攝像倍率的攝像手段，也能夠檢測出比像素解析度小的裂紋缺陷9，因此能夠以低攝像倍率匯總檢查較大的檢查區域。又，在該圖19中用裂紋缺陷9是表面有開口的情況作了說明，但是對在表面沒有開口的內部裂紋也會引起同樣的信號變化。這裡由於裂紋缺陷9通過攝像區域11時顯示出最陡峻的信號變化，因此用圖像處理部8對圖19(b)的信號進行例如微分等處理，通過設定閾值26並進行雙值化，就可以檢測出如圖19(c)所示的裂紋缺陷9。
下面在設置虛線狀加熱區域46的情況下對檢測紅外光用的線狀傳感器45的攝像信號進行說明。先把該線狀傳感器45上任意一個攝像點作為參照點，則各加熱區域46與該攝像點的距離通常是不同的，因此，從各加熱區域46傳到該攝像點的熱量不同。因此，線狀傳感器45的檢測信號是具有平緩波紋的波形。下面據此說明沿著主掃描方向的裂紋缺陷10的檢測方法。在圖15的被檢查物體6的右側有沿著主掃描方向的裂紋缺陷10。下面以用加熱手段對該被檢查物體6進行虛線狀加熱，一邊加熱一邊依序向左移動試樣臺5對該被檢查物體6進行攝像的情況為例用圖20進行說明。
採用上述方法，在圖20a所示的被檢查物體6上設置虛線狀的加熱區域46，一邊使試樣臺在垂直於紙面的方向上移動一邊用紅外線檢測用的線狀傳感器45進行攝像。在這時進行的攝像動作中，在被檢查物體6的一部分即沿著主掃描方向的裂紋缺陷10通過攝像區域11時，線狀傳感器45的攝像信號示於圖20b。這裡把圖中被檢查物體6上的攝像區域分成A、B二個區域。攝像區域A是不受裂紋缺陷10影響的區域，因此，線狀傳感器45的信號不受裂紋缺陷10的影響，具有平緩的波紋。而攝像區域B是裂紋缺陷10的部分，考慮到達該缺陷10的擴散熱有從左側擴散來的熱49和從右側擴散來的熱50，由於設定的是虛線狀的加熱區域，故左、右側兩者通常有不同的擴散距離。同時該熱擴散的熱量隨著擴散距離的增加而減少，故從左側擴散來的熱量49與從右側擴散來的熱量50存在熱量差。裂紋缺陷10由於其內部的空氣層結構16而產生熱傳導率差，因此，對被檢查物體6內部的熱擴散起著絕熱作用，所以從左側擴散來的熱49和從右側來的擴散熱50可依然保持熱量差，由於裂紋缺陷10的關係，被檢查物體6的內部溫度分布局部存在不連續。其結果是，紅外擴散輻射光48的強度發生變化，紅外光檢測用的線性傳感器45的攝像信號急劇變化。
從而，如果用圖像處理部8對圖20b所示的信號進行例如微分等處理，則對平緩波紋的部分幾乎不產生信號，只突出裂紋缺陷10部分的信號。同樣通過設定閥值26並實行雙值化，從而能夠如圖20c所示檢測裂紋缺陷10。
通常發生的裂紋缺陷的方向是不確定的，但是任何方向的裂紋缺陷都能夠用副掃描方向的裂紋缺陷9的檢查方法或主掃描方向的裂紋缺陷10的檢查方法進行檢測。
在這裡，不採用本發明使用的虛線狀的加熱區域46，而是使用均勻的線狀加熱區域，在此情況下，到達裂紋缺陷10內部的空氣層16的來自左側的擴散熱49與來自右側的擴散熱50相等。從而，即使裂紋缺陷10對被檢查物體6內部的熱擴散起著絕熱作用，由於來自左右兩邊的熱擴散相等，即使存在裂紋缺陷10，被檢查物體6內部的熱擴散也不產生局部的不連續。因而，對於沿著主掃描方向的裂紋缺陷10，由於攝像信號沒有發生清晰的變化，對該裂紋缺陷的檢測是困難的。
還有，在本實施例6中，不是像已往的紅外線溫度記錄法所進行的那樣對整個被檢查物體6進行加熱，而只對攝像區域近旁依序進行加熱，故能及早地檢測出局部熱傳導不均勻的地方，因此，即使對熱傳導性能好的被檢查物體用已往的方法很難檢測出缺陷，用本法也能夠進行高靈敏度的缺陷檢測。
採用該實施例6，從限定的加熱區域46向攝像區域11熱擴散，從被檢查物體6表面發射的紅外擴散輻射光48，由於攝像區域11及其周邊存在的裂紋缺陷而發生強度變化，利用這一變化突出裂紋缺陷進行檢測，故即使與攝像手段的像素分解能力相比裂紋開口寬度微小的裂紋缺陷也能測出，其結果是，可以提供不管有否光擴散性能都能夠高精度、廉價、快速地檢查被檢查物體中發生的表面裂紋缺陷和內部裂紋等缺陷的缺陷檢查裝置。
上面根據實施例對本發明作了詳細說明。以上各實施例使用於陶瓷基板的裂紋缺陷檢測，但是從本發明的原理可知，對滲透到被檢查物體6的內部，包含其光學不均勻部分的信息從被檢查物體6表面輻射出的光，或者在被檢查物體6的內部傳導熱量，包含其熱傳導不均勻信息從被檢查物體表面輻射出的光進行檢測，通過對這兩種光色的檢測，檢測出被檢查物體的光學不均勻的部分或熱傳導不均勻的部分，這樣的發明也可以適用於除裂紋缺陷以外的檢測。
例如，也可檢測在內部局部存在的反射率高的界面和局部存在的熱傳導低的界面等。
權利要求
1.一種使用光的缺陷檢查方法，其特徵在於，在被檢查物體表面，照射在表面位置上強度不同的光，檢測該照射光從上述被檢查物體表面透入內部後從所述被檢查物體表面輻射出的輻射光，檢測所述被檢測的輻射光的強度變化以檢測出被檢查物體的光學不均勻部分。
2.根據權利要求1所述的使用光的缺陷檢查方法，其特徵在於，照射在被檢查物體表面的光是成虛線狀照射的光，檢測輻射光的區域是線狀區域。
3.一種使用光的缺陷檢查方法，其特徵在於，在表面位置上強度不同的多種波段的光不重疊地照射在被檢查物體的表面上，分別檢測各照射光從上述被檢查物體表面透入內部後從所述被檢查物體表面輻射出的輻射光，檢測所述被檢測的各輻射光的強度變化以檢測出被檢查物體的光學不均勻部分。
4.根據權利要求3所述的使用光的缺陷檢查方法，其特徵在於，照射在被檢查物體表面的各種波段不同的光是虛線狀照射的光，檢測輻射光的區域是線狀區域。
5.一種使用光的缺陷檢查方法，其特徵在於，在被檢查物體表面，照射在表面位置上強度不同的光，對該被檢查物體進行加熱，檢測熱量從上述被檢查物體表面向內部傳導後從所述被檢查物體表面輻射出的紅外光，檢測所述被檢測的紅外光的強度變化，以檢測出被檢查物體的熱傳導不均勻部分。
6.根據權利要求5所述的使用光的缺陷檢查方法，其特徵在於，照射在被檢查物體表面的光是虛線狀照射的光，檢測紅外光的區域是線狀區域。
7.一種使用光的缺陷檢查裝置，其特徵在於，具備對被檢查物體進行虛線狀照明的照明手段，檢測與所述照明手段在被檢查物體的照明區域處於平行位置的線狀區域輻射出的輻射光的攝像手段，根據由所述攝像手段檢測出的攝像信號檢測上述被檢查物體的光學不均勻部分的圖象處理手段，以及使所述被檢查物體與所述照明手段及攝像手段相對移動的驅動手段。
8.一種使用光的缺陷檢查裝置，其特徵在於，具備一邊改變強度一邊進行一維掃描地對被檢查物體進行照明的照明手段，檢測與所述照明手段在被檢查物體的照明區域處於平行位置的線狀區域輻射出的輻射光的攝像手段，根據由所述攝像手段檢測出的攝像信號檢測上述被檢查物體的光學不均勻部分的圖象處理手段，以及使所述被檢查物體與所述照明手段及攝像手段相對移動的驅動手段。
9.一種使用光的缺陷檢查裝置，其特徵在於，具備投影虛線狀狹縫像對被檢查物體進行照明的照明手段，檢測與所述照明手段在被檢查物體的照明區域處於平行位置的線狀區域輻射出的輻射光的攝像手段，根據由所述攝像手段檢測出的攝像信號檢測上述被檢查物體的光學不均勻部分的圖象處理手段，以及使所述被檢查物體對所述照明手段及攝像手段相對移動的驅動手段。
10.一種使用光的缺陷檢查裝置，其特徵在於，具備通過反射鏡對被檢查物體進行虛線狀照明的照明手段，通過所述反射鏡檢測與所述照明手段在被檢查物體上的照明區域處於平行位置的線狀區域輻射出的輻射光的攝像手段，根據由所述攝像手段檢測出的攝像信號檢測上述被檢查物體的光學不均勻部分的圖象處理手段，以及使所述反射鏡以規定的角度往復轉動的驅動手段。
11.一種使用光的缺陷檢查裝置，其特徵在於，具備在表面位置上把強度不同的多種波段的光不重疊地照射在被檢查物體的表面上的照明手段，把與所述照明手段在被檢查物體上的照明區域處於平行位置的線狀區域輻射出的光按各波段進行分離後檢測的彩色分離攝像手段，根據由這些攝像手段檢測出的攝像信號檢測上述被檢查物體的光學不均勻部分的圖象處理手段，以及使所述被檢查物體對所述照明手段及攝像手段相對移動的驅動手段。
12.一種使用光的缺陷檢查裝置，其特徵在於，具備一邊改變強度一邊進行一維掃描地對被檢查物體進行加熱的加熱手段，檢測與所述加熱手段在被檢查物體的加熱區域處於平行位置的線狀區域輻射出的紅外光的攝像手段，根據由所述攝像手段檢測出的攝像信號檢測上述被檢查物體的熱傳導不均勻部分的圖象處理手段，以及使所述被檢查物體對所述照明手段及攝像手段相對移動的驅動手段。
全文摘要
本發明是使用光的缺陷檢查方法及其檢查裝置。用由半導體雷射一維配置的列狀光源和投影透鏡在被檢查物體上進行強度變化的虛線狀照明。用線狀傳感器通過物鏡攝像。接著一邊用試樣臺使被檢查物體依序移動一邊通過用線狀傳感器的信號和試樣臺的信號形成圖像的前處理部向圖象處理部輸入圖像信號並進行圖象處理,以此可以檢測被檢查物體上的光學不均勻部分,確認有否裂紋缺陷。以此方法可高精度、高速度地檢測陶瓷基板和金屬燒結材料等的裂紋缺陷。
文檔編號G01N21/88GK1182211SQ9711144
公開日1998年5月20日 申請日期1997年5月22日 優先權日1996年5月22日
發明者高本健治, 西井完治, 伊藤正彌, 福井厚司, 高田和政 申請人:松下電器產業株式會社