一種氟氣混合氣的處理設備的製作方法
2023-06-05 14:35:36 2
一種氟氣混合氣的處理設備的製作方法
【專利摘要】本實用新型公開了一種氟氣混合氣的處理設備，包括第一操作櫃和第二操作櫃；所述第一操作櫃正面設有第一操作手孔，頂部設有排氣管，內部設有氣體混合裝置；所述第二操作櫃的正面設有第二操作手孔，內部設有順序連接的鹼石灰吸收塔、碳酸鈉吸收塔、緩衝罐、碳酸鉀噴淋塔和風機，所述鹼石灰吸收塔與所述氣體混合裝置連接，所述風機的排風口設於所述第二操作櫃外。採用本實用新型，操作人員通過所述操作手孔對所述第一操作櫃和第二操作櫃內的設備進行操作，操作人員本身與操作櫃內空氣隔離，防止操作人員與操作櫃內有害氣體接觸，提高操作安全性。
【專利說明】一種氟氣混合氣的處理設備
【技術領域】
[0001 ] 本實用新型涉及一種廢氣回收處理設備，尤其涉及一種氟氣混合氣的處理設備。【背景技術】
[0002]目前市場上，特別是半導體電子行業用到的氟氣混合氣，這些混合氣使用後其尾氣含有一定量的氟氣，使用後的包裝物中也含有一定量的餘氣氟氣混合氣，這些氣體不能直接排放到大氣中，需要進行含氟化合物的處理。但是目前缺乏有效的氟氣混合氣處理裝置，工業上還是採用較為粗放的氫氧化鈣吸收塔處理，當操作人員將含有氟氣廢氣的鋼瓶與吸收塔連接時容易發生洩漏，對操作人員和環境造成危害，而且其氟氣吸收不完全，經過處理後仍然會有少量氟氣排放到大氣中，破壞環境。
【發明內容】
[0003]本實用新型所要解決的技術問題在於，提供一種氟氣混合氣的處理設備，可有效處理氟氣混合氣中的氟氣，並且製成含氟工業原料，具有極高的操作安全性。
[0004]為了解決上述技術問題，本實用新型提供了一種氟氣混合氣的處理設備，包括第一操作櫃和第二操作櫃；所述第一操作櫃正面設有第一操作手孔，頂部設有排氣管，內部設有氣體混合裝置；所述第二操作櫃的正面設有第二操作手孔，內部設有順序連接的鹼石灰吸收塔、碳酸鈉吸收塔、緩衝罐、碳酸鉀噴淋塔和風機，所述鹼石灰吸收塔與所述氣體混合裝置連接，所述風機的排風口設於所述第二操作櫃外。
[0005]作為上述方案的改進，所述氣體混合裝置包括惰性氣體連接頭和含氟廢氣連接頭，所述惰性氣體連接頭和所述含氟廢氣連接頭上均設有減壓閥。
[0006]作為上述方案的改進，所述排氣管與所述碳酸鉀噴淋塔連接。
[0007]作為上述方案的改進，所述排氣管、氣體混合裝置、鹼石灰吸收塔、碳酸鈉吸收塔、緩衝罐、碳酸鉀噴淋塔和風機之間相互連接處均設有截止閥。
[0008]作為上述方案的改進，所述第一操作櫃設於所述第二操作櫃中，所述第一操作櫃和所述第二操作櫃各自獨立密封。
[0009]實施本實用新型，具有如下有益效果:
[0010]所述第一操作櫃和第二操作柜上均設有操作手孔，操作人員通過所述操作手孔對所述第一操作櫃和第二操作櫃內的設備進行操作，操作人員本身與操作櫃內空氣隔離，防止操作人員與操作櫃內有害氣體接觸，提高操作安全性。
[0011]所述氟氣混合氣經過所述鹼石灰吸收塔、碳酸鈉吸收塔、緩衝罐和碳酸鉀噴淋塔的分級處理，可以將氟氣混合氣內的氟氣充分吸收，並製成氟鹽等工業原料，既保護環境，也可以創造效益。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0012]圖1是本實用新型一種氟氣混合氣的處理設備的結構示意圖。【具體實施方式】
[0013]為使本實用新型的目的、技術方案和優點更加清楚，下面將結合附圖對本實用新型作進一步地詳細描述。
[0014]如圖1所示，一種氟氣混合氣的處理設備，包括第一操作櫃I和第二操作櫃2 ;所述第一操作櫃I正面設有第一操作手孔3，頂部設有排氣管4，內部設有氣體混合裝置5 ;所述第二操作櫃2的正面設有第二操作手孔6，內部設有順序連接的鹼石灰吸收塔7、碳酸鈉吸收塔8、緩衝罐9、碳酸鉀噴淋塔10和風機11，所述鹼石灰吸收塔7與所述氣體混合裝置5連接，所述風機11的排風口設於所述第二操作櫃2外。
[0015]需要說明的是，所述第一操作櫃I和第二操作櫃2上均設有操作手孔，操作人員通過所述操作手孔對所述第一操作櫃I和第二操作櫃2內的設備進行操作，操作人員本身與操作櫃內空氣隔離，防止操作人員與操作櫃內有害氣體接觸，提高操作安全性。
[0016]同時，所述氟氣混合氣經過所述鹼石灰吸收塔7、碳酸鈉吸收塔8、緩衝罐9和碳酸鉀噴淋塔10的分級處理，可以將氟氣混合氣內的氟氣充分吸收，並製成氟鹽等工業原料，既保護環境，也可以創造效益。
[0017]優選地，所述氣體混合裝置5包括惰性氣體連接頭12和含氟廢氣連接頭13，所述惰性氣體連接頭12和所述含氟廢氣連接頭13上均設有減壓閥14。
[0018]需要說明的是，所述惰性氣體連接頭12用於與裝有惰性氣體的鋼瓶連接，所述含氟廢氣連接頭13用於與裝有含氟混合氣的鋼瓶連接。
[0019]優選地，所述排氣管4與所述碳酸鉀噴淋塔10連接。
[0020]需要說明的是，所述第一操作櫃I在操作人員更換鋼瓶時，容易發生少量洩漏，洩漏出的含氟廢氣經過排氣管4通入所述碳酸鉀噴淋塔10進行處理。
[0021]優選地，所述排氣管4、氣體混合裝置5、鹼石灰吸收塔7、碳酸鈉吸收塔8、緩衝罐
9、碳酸鉀噴淋塔10和風機11之間相互連接處均設有截止閥15。
[0022]優選地，所述第一操作櫃I設於所述第二操作櫃2中，所述第一操作櫃I和所述第二操作櫃2各自獨立密封。
[0023]下面，結合上文一種氟氣混合氣的處理設備的結構描述，描述其工作原理:
[0024]本實用新型設計為主要針對氟氣濃度在20%以下的混合氣的一種處理設備。操作人員先把裝有含氟混合氣的鋼瓶與所述含氟廢氣連接頭13連接，裝有惰性氣體的鋼瓶與所述惰性氣體連接頭12連接，操作人員通過所述操作手孔對所述第一操作櫃I和第二操作櫃2內的設備進行操作，操作人員本身與操作櫃內空氣隔離。氟氣混合氣通過所述減壓閥14減壓後依次進入鹼石灰吸收塔7、碳酸鈉吸收塔8、緩衝罐9和碳酸鉀噴淋塔10，與塔內的鹼石灰、碳酸鈉和碳酸鉀反應，氟氣混合氣內的氟氣反應後生成氟化鹽，除氟後的氣體經過風機11排出所述第二操作櫃2。所述第一操作櫃I中洩漏的少量含氟廢氣經過其頂部的排氣管4進入所述碳酸鉀噴淋塔10處理。
[0025]以上所揭露的僅為本實用新型一種較佳實施例而已，當然不能以此來限定本實用新型之權利範圍，因此依本實用新型權利要求所作的等同變化，仍屬本實用新型所涵蓋的範圍。
【權利要求】
1.一種氟氣混合氣的處理設備，其特徵在於，包括第一操作櫃和第二操作櫃；所述第一操作櫃正面設有第一操作手孔，頂部設有排氣管，內部設有氣體混合裝置；所述第二操作櫃的正面設有第二操作手孔，內部設有順序連接的鹼石灰吸收塔、碳酸鈉吸收塔、緩衝罐、碳酸鉀噴淋塔和風機，所述鹼石灰吸收塔與所述氣體混合裝置連接，所述風機的排風口設於所述第二操作櫃外。
2.如權利要求1所述的氟氣混合氣的處理設備，其特徵在於，所述氣體混合裝置包括惰性氣體連接頭和含氟廢氣連接頭，所述惰性氣體連接頭和所述含氟廢氣連接頭上均設有減壓閥。
3.如權利要求1所述的氟氣混合氣的處理設備，其特徵在於，所述排氣管與所述碳酸鉀噴淋塔連接。
4.如權利要求1所述的氟氣混合氣的處理設備，其特徵在於，所述排氣管、氣體混合裝置、鹼石灰吸收塔、碳酸鈉吸收塔、緩衝罐、碳酸鉀噴淋塔和風機之間相互連接處均設有截止閥。
5.如權利要求1所述的氟氣混合氣的處理設備，其特徵在於，所述第一操作櫃設於所述第二操作櫃中，所述第一操作櫃和所述第二操作櫃各自獨立密封。
【文檔編號】B01D53/78GK203469795SQ201320575136
【公開日】2014年3月12日 申請日期:2013年9月17日 優先權日:2013年9月17日
【發明者】唐忠福, 馬建修, 陳豔珊 申請人:佛山市華特氣體有限公司, 廣東華南特種氣體研究所有限公司, 綏寧縣聯合化工有限責任公司