沉積裝置及沉積方法與流程

2023-06-05 17:11:21

本發明涉及沉積裝置和沉積方法。

背景技術：

最近，具有低電耗、高亮度以及快速的響應速度的有機發光顯示裝置(organiclightemittingdiodedisplay；oled)作為下一代平板顯示裝置而備受矚目。

通常，有機發光顯示裝置包括自發光的自發光型有機發光元件，並且由於不需要額外的光源而可製造為輕量型和薄型。

作為在這種有機發光元件上形成有機物薄膜的沉積裝置，主要使用真空熱沉積裝置(thermalevaporationapparatus)。

真空熱沉積裝置由在高真空狀態下進行沉積的多個真空腔構成。在沉積裝置的真空腔內部，在襯底固定至載體(carrier)上並在坩堝的上方移動的期間對襯底實施有機物沉積。

技術實現要素：

對於這種載體，將載體取出到沉積裝置的外部，並通過作業人員手動更換防沉積部件或去除靜電卡盤的顆粒(particle)等來進行維護(maintenance)。

然而，隨著襯底的尺寸由於最近技術的發展而增加，傳送襯底的載體也變得大型且高荷重。

因此，為在沉積工藝線上對大型化載體進行維護而將高荷重的載體取出到沉積裝置的外部的操作會導致作業人員的安全問題以及作業的低效率。

本發明要解決的問題在於，提供如下沉積裝置及沉積方法，即，通過在沉積裝置的內部布置維護單元(maintenanceunit)而在流程(process)中對變得大型化的載體進行維護。

本發明的問題不限於以上所提及的技術問題，並且本領域技術人員將通過以下記載清楚地理解未提及的其它技術問題。

為實現上述問題的根據本發明一實施方式的沉積裝置包括對襯底執行沉積工藝的沉積單元、包括固定所述襯底的載體和傳送所述載體傳送部件的傳送單元、布置成與所述沉積單元相鄰並且對所述載體執行維修的維護單元，並且所述傳送部件可包括維護傳送部件，該維護傳送部件布置於所述沉積單元與所述維護單元之間使得將所述載體從所述沉積單元傳送至所述維護單元的維護傳送部件。

所述沉積單元可包括沉積腔、布置於所述沉積腔內並且向所述襯底提供沉積物質的沉積組件、布置於所述沉積腔的下方並且連接至所述維護單元的返回腔、布置於所述沉積腔和所述返回腔的一側的襯底供給腔、以及布置於所述沉積腔和所述返回腔的另一側的襯底回收腔。

所述傳送部件還可包括布置於所述沉積腔內的第一傳送部件以及布置於所述返回腔內的第二傳送部件，並且所述維護傳送部件可從所述第二傳送部件分支出並且可布置於所述返回腔與所述維護單元之間。

所述載體可包括本體部、布置於所述本體部的一個表面上並且將所述襯底固定至所述本體部上的靜電卡盤、布置於所述本體部的一個表面上並且將防沉積部件結合至所述本體部上的至少一個第一結合部件、以及布置於所述本體部的外側並且使所述本體部隨著所述傳送部件移動的凸輪從動件。

所述傳送部件可包括支承所述凸輪從動件的表面的至少一個支承面、以及引導所述凸輪從動件的側面的引導面。

所述維護單元可包括對所述載體執行維修的載體維護部、以及更換結合至所述載體上的防沉積部件的防沉積部件維護部。

所述載體維護部可包括積載並固定有所述載體的載體積載部、布置於所述載體積載部的兩側側壁上並且去除附著至所述載體的顆粒的顆粒去除部、以及向所述載體供給潤滑油的注油部。

所述載體積載部還可包括形成於所述側壁中以供所述顆粒去除部能夠出入的中孔。

所述載體積載部可形成為多層以堆疊多個所述載體。

所述防沉積部件維護部可包括供額外的所述防沉積部件堆疊為多層的防沉積部件積載部、以及執行所述防沉積部件從所述載體的更換的防沉積部件更換部，並且所述防沉積部件更換部可布置於所述載體積載部與所述防沉積部件積載部之間。

所述裝置還可包括確認是否維修所述載體的控制部，並且所述控制部可分別與所述沉積單元、所述傳送單元以及所述維護單元連接，並且可分別控制所述沉積單元、所述傳送單元以及所述維護單元的驅動以使得所述維護單元對所述載體執行維修。

為解決上述問題的根據本發明另一實施方式的沉積裝置可包括：包括對襯底執行沉積工藝的工藝腔的沉積單元、包括傳送所述襯底的載體的傳送單元、布置於所述工藝腔的一側並且包括對所述載體執行維修的維護腔的維護單元、布置於所述工藝腔與所述維護腔之間的轉換腔以及連接至所述工藝腔和所述轉換腔的第一連接部和連接至所述轉換腔和所述維護腔的第二連接部。

所述工藝腔可配置成真空腔，並且所述維護腔可配置成常壓腔。

所述第一連接部和所述第二連接部可包括閘門閥，所述閘門閥將所述轉換腔轉換為真空狀態或常壓狀態。

根據本發明一實施方式的沉積裝置的沉積方法可包括以下步驟：將投入到襯底供給腔中的襯底與載體結合；將所述載體從所述襯底供給腔傳送至沉積腔；在將結合有所述襯底的所述載體隨著第一傳送部件從所述沉積腔傳送至所述襯底回收腔的期間，對結合至所述載體的所述襯底執行沉積工藝；將已執行沉積工藝的所述襯底從所述載體分離，並且將已執行沉積工藝的所述襯底移出至所述襯底回收腔的外部；將分離自所述襯底的所述載體從所述沉積腔傳送至返回腔；將傳送至所述返回腔的所述載體隨著第二傳送部件傳送至所述襯底供給腔；以及判斷是否需要對傳送至所述返回腔的所述載體執行維修；將所述載體中的需要維修的所述第一載體隨著從所述第二傳送部件分支出的維護傳送部件傳送至維護單元；維修傳送至所述維護單元的所述第一載體；以及將經維修的所述第一載體隨著所述維護傳送部件回送至所述返回腔。

所述方法還可包括以下步驟：將傳送至所述返回腔的所述載體區分為需要維修的第一載體以及除所述第一載體之外的第二載體；以及將所述第二載體隨著所述第二傳送部件傳送至所述襯底供給腔。

所述方法還可包括以下步驟：將傳送至所述返回腔的所述載體區分為需要維修的第一載體以及除所述第一載體之外的第二載體；以及將回送至所述返回腔的經維修的所述第一載體隨著所述第二傳送部件傳送至所述襯底供給腔。

維修傳送至所述維護單元的所述第一載體的步驟可包括以下步驟：對傳送至所述維護單元的所述第一載體進行固定；利用防沉積部件更換部更換所述第一載體的防沉積部件；以及向所述第一載體的靜電卡盤噴射氣體以去除顆粒，並且向第一載體的凸輪從動件注入油脂。

其它實施方式的具體細節包含在詳細的說明及附圖中。

根據本發明實施方式的沉積裝置能夠通過在沉積裝置中布置維護單元來改善作業人員的安全。

此外，根據本發明實施方式的沉積裝置和沉積方法能夠最大限度地減少沉積作業的損失(loss)。

此外，根據本發明實施方式的沉積裝置和沉積方法能夠最大限度地縮短載體的維護時間。

根據本發明實施方式的效果不限於以上所例示的內容，並且本說明書中包含有更多種效果。

附圖說明

圖1是根據本發明一實施方式的沉積裝置的平面配置圖。

圖2是圖1的沉積裝置的示意性剖面配置圖。

圖3是圖1的沉積單元的a-a'剖視圖。

圖4是根據本發明一實施方式的傳送部件的局部立體圖。

圖5是根據本發明另一實施方式的傳送部件的局部立體圖。

圖6是放大示出圖2中所示的維護單元的剖視圖。

圖7是根據本發明一實施方式的控制部的框圖。

圖8是根據本發明一實施方式的沉積方法的流程圖。

圖9至圖12是根據本發明一實施方式的沉積裝置的維護工藝的各工藝步驟的剖視圖。

圖13是根據本發明另一實施方式的沉積裝置的維護單元的剖視圖。

圖14是根據本發明又一實施方式的沉積裝置的維護單元的剖視圖。

具體實施方式

參照下文中結合附圖詳細描述的實施方式，本發明的優點和特徵以及實現所述優點和特徵的方法將變得明確。然而，本發明不限定於下文中所公開的實施方式，而是可實現為彼此不同的多種形態。這些實施方式只是為了使本發明的公開完整並且為了將發明的範圍完整地告知給本發明所屬技術領域的技術人員而提供的，並且本發明僅由權利要求書的範圍來定義。

當元件(elements)或層被稱為在其它元件或層「上(on)」時，包括該元件或層直接位於其它元件上、或者在中間插入有其它層或其它元件的兩種情況。在整篇說明書中，相同的附圖標記指示相同的構成要素。

應明確，雖然第一、第二等用於敘述多種構成要素，但這些構成要素並不受這些措辭限制。這些措辭僅用於將一個構成要素與其它構成要素區分開。因此，應明確，在不背離本發明的技術思想的情況下，下文中提及的第一構成要素也可稱為第二構成要素。

以下，將參照附圖對本發明的實施方式進行說明。

首先，對根據本發明的實施方式的沉積裝置的結構進行說明。

圖1是根據本發明一實施方式的沉積裝置的平面配置圖，圖2作為圖1的沉積裝置的示意性剖面配置圖，更具體地，圖2是將圖1的沉積裝置投影至xz平面上的示意性剖面配置圖，並且圖3是圖1的沉積單元的a-a'剖視圖。

參照圖1至圖3，沉積裝置1000包括沉積單元100、維護單元200以及傳送單元300。

在沉積裝置1000中被實施沉積工藝的襯底s可以是用於顯示裝置(如有機發光顯示裝置)的襯底。襯底s可以是母玻璃(motherglass)襯底，其中該母玻璃襯底上定義有用於形成多個顯示裝置的多個襯底區域。然而，並不限於此，並且用於單個顯示裝置的個別襯底也可被用作襯底s。

沉積至襯底s上的物質可以是應用於有機發光顯示裝置的諸如有機發光層、空穴注入層、空穴傳輸層、電荷注入層、以及電荷傳輸層等有機發光元件的有機物。然而，並不限於此，並且沉積至襯底s的物質也可以是用於層間絕緣膜或平坦化膜、濾色器等的有機物。

沉積單元100包括工藝腔110及至少一個沉積組件130，其中至少一個沉積組件130布置於工藝腔110的內部並且向襯底s提供沉積物質。

工藝腔110可包括沉積部、返回部、襯底供給部以及襯底回收部。沉積部、返回部、襯底供給部以及襯底回收部可分別由獨立的腔構成，但是也可在將一個腔劃分為多個區域之後布置在所劃分的各區域中。例如，在沉積部和返回部的情況下，也可在將一個腔區分為第一層和第二層之後，將返回部布置在第一層，並且將沉積部布置在第二層。在以下實施方式中，將以沉積部、返回部、襯底供給部以及襯底回收部分別由獨立的腔構成的情況為例進行說明。

工藝腔110可包括實施沉積工藝的沉積腔111、布置於沉積腔111的下方的返回腔112、以及布置於沉積腔111和返回腔112的一側(以附圖為基準的左側)的襯底供給腔113、以及布置於沉積腔111和返回腔112的另一側(以附圖為基準的右側)的襯底回收腔114。

沉積腔111是實施沉積工藝的腔。沉積腔111可以是真空腔。沉積腔111可具有在第一方向x上延伸的形狀。

至少一個沉積組件130布置在沉積腔111內。雖然在附圖中例示了多個沉積組件130布置成沿著第一方向x以一定的間隔相隔開的情況，但是也可對沉積組件130的布置進行多種改變。

沉積組件130起到將沉積物質排放至襯底s側從而在襯底s的面對沉積組件130的一個表面上沉積薄膜的作用。沉積組件130可布置在襯底s的下方。沉積組件130可包括容納沉積物質的坩堝131、布置於坩堝131的外側並且對坩堝131進行加熱從而使沉積物質氣化的加熱器、以及排放經氣化的沉積物質的至少一個噴嘴135。噴嘴135可在坩堝131的上方布置成朝向襯底s。

返回腔112起到將在完成沉積工藝之後分離了襯底s的載體310返回至沉積腔111的投入口或襯底供給腔113側的作用。返回腔112可布置在沉積腔111的下方。返回腔112可與沉積腔111相同地具有在第一方向x上延伸的形狀。返回腔112可布置成與沉積腔111重疊。例如，返回腔112可位於第一層，並且沉積腔111可布置在返回腔112上而構成第二層。

襯底供給腔113布置在沉積腔111和返回腔112的一側。襯底s從外部投入襯底供給腔113中。投入到襯底供給腔113中的襯底s在襯底供給腔113中固定至載體310上。

襯底供給腔113可包括第一升降機331。載體310從第一層的返回腔112投入到襯底供給腔113內，第一升降機331可使投入的載體310上升，並且上升的載體310可被投入第二層的沉積腔111。而且，載體310可固定投入到襯底供給腔113中的襯底s並向沉積腔111側移動，然後在沉積腔111內進行沉積工藝。

襯底回收腔114布置在沉積腔111和返回腔112的另一側。在沉積腔111中完成沉積工藝的襯底s與載體310一同移動至襯底回收腔114內，並且在襯底回收腔114內襯底s與載體310分離並被移出至襯底回收腔114的外部。

襯底回收腔114可包括第二升降機333。第二升降機333可使分離了襯底s的載體310下降，並且下降的載體310可投入到第一層的返回腔112內。而且，投入到返回腔112中的載體310可返回至襯底供給腔113側。在沉積腔111、返回腔112、襯底供給腔113以及襯底回收腔114由獨立的腔構成的情況下，各個腔之間布置有連接部400。

具體地，連接部400可布置在襯底供給腔113與沉積腔111之間、沉積腔111與襯底回收腔114之間、返回腔112與襯底回收腔114之間、以及返回腔112與襯底供給腔113之間。

連接部400包括開閉連接部401和閘門連接部402。

在返回腔112、襯底供給腔113、以及襯底回收腔114與沉積腔111相同地均為真空腔的情況下，開閉連接部401布置在各個腔之間從而起到開閉各個腔的作用。開閉連接部401可以是開閉擋板。

在各個腔具有彼此不同的氣氛的情況下，例如，在沉積腔111維持真空而相鄰的襯底回收腔114維持常壓(或大氣壓)的情況下，閘門連接部402起到使沉積腔111維持真空狀態並且使襯底回收腔114維持常壓狀態的作用。閘門連接部402可以是包括閘門閥的開閉擋板。

傳送單元300起到移動襯底s的作用，並且包括固定襯底s的載體310以及移動載體310的傳送部件350。

載體310可包括本體部311、布置於本體部311的一側面上的靜電卡盤317、以及布置於本體部311的寬度方向(與本體部的移動方向平行的方向)外側處的凸輪從動件313。

本體部311作為支承襯底s的荷重的部件，其可形成為多種形狀和結構。本體部311可配置成能夠承受襯底s的荷重，例如，可由諸如鐵或sus等具有剛性的金屬構成。

靜電卡盤317可位於本體部311的一個表面的中央部處，並且起到利用靜電力固定襯底s的作用。靜電卡盤317可包括由陶瓷構成的本體和嵌入本體內部的電極。靜電卡盤317可適用整體一體成型的母靜電卡盤(motherelectrostaticchuck)。在靜電卡盤317為母靜電卡盤的情況下，可防止在作為固定對象的襯底s上產生汙跡。

凸輪從動件313設置在本體部311的側方。凸輪從動件313可在本體部311的側方布置有多個。

凸輪從動件313作為軸承的一種，其可起到傳送本體部311的輪子的作用。凸輪從動件313可形成為輥形態以隨著待後述的傳送部件350移動。

凸輪從動件313還可在其內側包括針輥。上述針輥作為用於驅動凸輪從動件313的輥，其隨著載體310移動而發生不均勻磨損。這種不均勻磨損可通過在待後述的維護單元200中向凸輪從動件313供給如油脂(grease)的潤滑油來減少。

多個凸輪從動件313可分別具有不同的大小。當各凸輪從動件313的大小不同時，即使是在傳送部件350在沉積工藝中受損而形成障礙物的情況下，也容易越過上述障礙物。

載體310還可包括將待後述的防沉積部件b結合至本體部311的第一結合部件315a。在本體部311的結合有靜電卡盤317的一個表面的兩側邊緣處可布置有多個第一結合部件315a。然而，並不限於此，並且可對第一結合部件315a的數量進行多種變化。

如圖3中示例性地示出的，第一結合部件315a可結合至本體部311的一個表面且相對於本體部311的一個表面部分地突出。

待後述的防沉積部件b可設置有與第一結合部件315a結合的第二結合部件315b。第二結合部件315b形成為與相對於本體部311的一個表面部分地突出的第一結合部件315a的形態對應。即，第二結合部件315b可在防沉積部件b的一個表面上形成為與第一結合部件315a的形狀對應的引入槽的形態。

因此，當第一結合部件315a與第二結合部件315b結合時，本體部311的一個表面與防沉積部件b的表面可彼此直接接觸，並且可彼此貼緊。基準夾鉗可應用作為第一結合部件315a和第二結合部件315b，但是並不限於此。

再次參照圖1和圖2，傳送部件350包括布置於沉積單元100內的主傳送部件351和352以及從主傳送部件351和352分支出並且布置於沉積單元100與維護單元200之間的維護傳送部件353。主傳送部件351和352包括布置於沉積腔111中的第一傳送部件351和布置於返回腔112中的第二傳送部件352。第一傳送部件351、第二傳送部件352以及維護傳送部件353僅僅在位置和功能上存在差異，其結構和形狀可實質上相同。

第一傳送部件351起到從襯底供給腔113經由沉積腔111向襯底回收腔114側傳送固定有襯底s的載體310的作用。

第二傳送部件352起到從襯底回收腔114經由返回腔112向襯底供給腔113側傳送與襯底s分離的載體310的作用。

維護傳送部件353起到如下作用，即，當需要進行載體310維修時，從返回腔112向維護單元200側傳送載體310，並且從維護單元200向返回腔112側重新回送完成維修的載體310。

維護傳送部件353可在返回腔112內從第二傳送部件352分支出。在返回腔112內可由待後述的控制部600決定隨著返回腔112的第二傳送部件352移動的載體310是繼續隨著第二傳送部件352移動還是移動至維護傳送部件353。

將參照圖4和圖5對傳送部件350的多種結構進行更加詳細的說明。

圖4是根據本發明一實施方式的傳送部件的局部立體圖。圖5是根據本發明另一實施方式的傳送部件的局部立體圖。

圖4例示了傳送部件350由底面350a和側壁350b構成的情形。底面350a是支承凸輪從動件313的表面的支承面，並且側壁350b是引導凸輪從動件313的側面的引導面。

圖5例示了傳送部件350_1除了底面350a和側壁350b之外還包括上蓋350c的情形。底面350a和上蓋350c是在下方和上方支承凸輪從動件313的表面的支承面，並且側壁350b是如上所述引導凸輪從動件313的側面的引導面。

此外，雖然未在附圖中示出，但是底面350a和上蓋350c中還可形成有至少一個槽。凸輪從動件313可安置在上述槽中，使得載體310能夠精確地移動。

這裡，傳送部件350可通過彎曲一個平板或用螺釘結合多個平板來形成底面350a、側壁350b和上蓋350c。

傳送部件350可以是傳送載體310的傳送導軌。

再次參照圖1和圖2，載體310可從第二傳送部件352移動至維護傳送部件353，以傳送至維護單元200。

在圖2中維護單元200呈現為猶如布置在沉積單元100的下方，但這是為了在圖2上具體地示出沉積單元100、維護單元200以及轉換腔500的結構。因此，圖2中所示的維護單元200布置在與沉積單元100的返回腔112相同的平面上。即，維護單元200可在xy平面上布置於相同的y線上。

維護單元200起到對傳送過來的載體310執行維修的作用。維護單元200可布置成與工藝腔110相鄰。將參照圖6對維護單元200進行更詳細的說明。

圖6是放大示出圖2中所示的維護單元的剖視圖。參照圖6，維護單元200包括載體維護部230和防沉積部件維護部250。

載體維護部230包括載體維護腔213以及分別布置於載體維護腔213內的載體積載部231和237、顆粒去除部233、以及注油部235。

載體維護腔213是對傳送過來的載體310執行維修的腔。載體維護腔213可以是常壓腔。載體維護腔213可布置成與返回腔112相鄰。載體維護腔213的內部布置有載體積載部231和237。

載體積載部231和237上積載有從維護傳送部件353傳送過來的載體310。載體積載部231和237可以是擱板形格子框。載體積載部231和237包括支承板237和至少一個側壁231。載體310可收納在由支承板237和側壁231限定的空間內。支承板237可布置在傳送過來的載體310的下方並支承載體310的一個表面。

另外，載體維護部230還可包括在支承板237的一個表面上以一定間隔隔開布置的固定部件236。

固定部件236起到固定傳送至載體積載部231和237的載體310並且防止載體310向載體積載部231和237的外側脫離的作用。固定部件236可形成為板形，並且如圖6中所示，固定部件236可包括具有與載體310的一個表面或載體310的靜電卡盤317對應的形狀的槽。而且，載體310的靜電卡盤317可插入上述槽內，並且由此載體310可固定在固定部件236上。然而，固定部件236的形態並不限於此。例如，固定部件236還可以是如阻擋器的杆狀。

載體積載部231和237的側壁231可連接至維護傳送部件353，並且側壁231可從維護傳送部件353接收載體310並向載體積載部231和237的內側移動載體310。然而，載體310的移動方法並不限於此。例如，載體積載部231和237與維護傳送部件353之間也可布置有機械臂，並且機械臂從維護傳送部件353向載體積載部231和237的內側移動載體310。

另外，載體維護部230還可包括結合至側壁231的加強肋234。加強肋234起到提升用於積載載體310的載體積載部231和237的側壁231的剛性的作用。

載體維護部230還可包括形成於側壁231中的中孔232。待後述的顆粒去除部233和防沉積部件更換部253可插入中孔232，也可從中孔232拆離。

顆粒去除部233起到去除附著在載體310的靜電卡盤317上的顆粒的作用。多個顆粒去除部233可連接至載體積載部231和237的兩側側壁231。顆粒去除部233可布置成與中孔232相鄰，並且可根據待後述的控制部600的決定經由中孔232向載體積載部231和237的內側和外側移動。為此，顆粒去除部233可通過額外的移動部件連接至側壁231，並且示例性地，上述移動部件可以是滑軌。然而，顆粒去除部233與側壁231的連接並不限於此。例如，顆粒去除部233可通過連接至側壁231的一側上的機械臂向載體積載部231和237的內側和外側進出。此外，顆粒去除部233能夠在多種角度上進行角度調節。顆粒去除部233可以是空氣噴嘴。

注油部235起到向配置在用於傳送本體部311的凸輪從動件313上的針輥供給如油脂的潤滑油的作用。多個注油部235可布置於載體積載部231和237的側壁231的一側。注油部235可根據控制部600的決定以附圖為基準在左右方向上進行移動，並且可布置成與載體310的凸輪從動件313相鄰。為此，注油部235可通過額外的移動部件連接至載體積載部231和237的側壁231，並且上述移動部件示例性地可以是滑軌。然而，注油部235與側壁231的連接並不限於此。例如，注油部235也可布置成通過連接至側壁231的一側上的機械臂與凸輪從動件313相鄰。

參照圖1和圖6，如上所述，載體維護腔213可以是常壓腔。因此，在返回腔112配置成真空腔的情況下，返回腔112與載體維護腔213之間可布置有轉換腔500。轉換腔500可以是在隨著維護傳送部件353傳送過來的載體310被傳送至載體維護腔213之前為轉換氣氛而暫時等待的腔，即緩衝腔。例如，當載體310在處於真空狀態的返回腔112中隨著維護傳送部件353向轉換腔500移動時，轉換腔500的內部狀態可變成真空狀態。然後，轉換腔500與返回腔112之間的閘門連接部(或第一連接部)402可被開啟，並且載體310可進入轉換腔500的內部。由此，可以維持返回腔112的真空狀態。在載體310進入轉換腔500的內部之後，轉換腔500與返回腔112之間的第一連接部402可被關閉，並且轉換腔500的內部可改變為常壓狀態。然後，轉換腔500與載體維護腔213之間的閘門連接部(或第二連接部)402可被開啟，並且轉換腔500中的載體310可向載體維護腔213移動。由此，可以維持載體維護腔213的常壓狀態。

如上所述，返回腔112與轉換腔500之間以及轉換腔500與載體維護腔213之間可分別布置有用於維持氣氛的閘門連接部402。

載體維護腔213的未連接至轉換腔500的另一側布置有防沉積部件維護部250。

防沉積部件維護部250起到對防沉積部件b執行維修的作用。防沉積部件維護部250包括防沉積部件維護腔215、布置於防沉積部件維護腔215中的防沉積部件積載部251以及布置於防沉積部件維護腔215與載體維護腔213之間的防沉積部件更換部253。

與載體維護腔213相同地，防沉積部件維護腔215可為常壓腔。防沉積部件維護腔215的內部中央處布置有防沉積部件積載部251。

防沉積部件積載部251起到積載並保管待更換的額外的防沉積部件b的作用。防沉積部件積載部251可形成為多層擱板形狀。

防沉積部件b起到在進行沉積工藝時防止沉積物質沉積至載體310上的作用。防沉積部件b可以是寬的鐵板。防沉積部件b可包括上述第二結合部件(圖3的315b)。結合至載體310上的防沉積部件b可通過防沉積部件更換部253進行更換。

防沉積部件更換部253可布置在載體維護腔213與防沉積部件維護腔215之間。雖然防沉積部件更換部253可與防沉積部件積載部251一起布置在防沉積部件維護腔215的內部，但是如圖6中所示，防沉積部件更換部253也可布置在防沉積部件維護腔215的外部。防沉積部件更換部253起到根據待後述的控制部600的決定將耗損的防沉積部件b從載體310移除並將新的防沉積部件b結合至已移除耗損的防沉積部件b的載體310上的作用。防沉積部件更換部253可以是將積載在防沉積部件積載部251上的防沉積部件b結合至形成於載體310的一個表面上的第一結合部件315a的機械臂。

圖7是根據本發明一實施方式的沉積裝置的示意性框圖。

還可包括根據本發明一實施方式的控制部600，並且控制部600可控制沉積單元100、維護單元200、傳送單元300以及連接部400的驅動。

具體地，控制部600可確認是否對載體310進行維修，並且控制傳送單元300的驅動以使得載體310能夠在沉積單元100和維護單元200內移動。

示例性地，控制部600可判斷是否需要對載體310執行維修。第二傳送部件352和維護傳送部件353的分支區域中可設置有從第二傳送部件352向維護傳送部件353轉換傳送方向的轉換裝置或向維護傳送部件353移動第二傳送部件352上的載體310的機械臂。轉換裝置和機械臂可根據控制部600的決定進行切換並操作。在沉積裝置1000中循環的載體310之中需要維修的載體310(或第一載體)可根據控制部600的控制而通過轉換裝置或機械臂從第二傳送部件352傳送至維護傳送部件353，並且隨著維護傳送部件353經由轉換腔500傳送至載體維護腔213。

另外，在沉積裝置1000中循環的載體310之中不需要維修的載體(或第二載體)310可根據控制部600的控制隨著第二傳送部件352繼續傳送至下一步驟的襯底供給腔113中。即，上述第二載體310隨著第二傳送部件352繼續傳送至襯底供給腔113，而不中斷傳送動作。

此外，控制部600可連接至布置於各個腔之間的連接部400，並且可控制連接在各個腔之間的連接部400的操作。

然而，控制部600的操作不限於上述的情形。與載體310的狀態無關地，載體310可根據控制部600的控制按照預定的周期從第二傳送部件352傳送至維護傳送部件353。示例性地，當一個載體310隨著第二傳送部件352移動預定次數(示例性地為5次)時，該載體310可根據控制部600的控制從第二傳送部件352傳送至維護傳送部件353。

控制部600可控制對載體310執行維修的維護單元200的驅動。

完成維修的載體310可根據控制部600的控制隨著維護傳送部件353回送至返回腔112。這裡，完成維修的載體310在轉換腔500內處於等待狀態，然後再回送至返回腔112中。因此，在工藝腔110中循環著的多個載體310可繼續傳送至下一步驟，而不中斷傳送操作。

接下來，將與沉積裝置1000的操作一同對根據本發明一實施方式的沉積方法進行說明。

圖8是示出根據本發明一實施方式的沉積方法的流程圖。參照圖8，根據本發明一實施方式的沉積方法包括：將投入到襯底供給腔中的襯底與載體結合的步驟s11；將載體從襯底供給腔傳送至沉積腔的步驟s12；在使結合有襯底的載體隨著第一傳送部件從沉積腔傳送至襯底回收腔的期間對結合在載體上的襯底執行沉積工藝的步驟s13；將已執行沉積工藝的襯底從載體分離並且將已執行沉積工藝的襯底移出至襯底回收腔的外部的步驟s14；將分離了襯底的載體從沉積腔傳送至返回腔的步驟s15；將傳送至返回腔的載體隨著第二傳送部件傳送至襯底供給腔的步驟s16；以及判斷是否需要對載體執行維修的步驟s17；並且還可包括：將載體隨著第二傳送部件傳送至襯底供給腔的步驟s18；將載體隨著從第二傳送部件分支出的維護傳送部件傳送至維護單元的步驟s19；以及維修傳送至維護單元的載體的步驟s20。

以下，將進一步參照圖9和圖12對根據本發明一實施方式的沉積方法進行更詳細的說明。

圖9至圖12是根據本發明一實施方式的沉積裝置的維護工藝的各工藝步驟的剖視圖。

參照圖2、圖8至圖12，步驟s11和步驟s12可以以如下方式進行。

將投入到襯底供給腔113中的未經沉積的襯底s安裝在載體310的形成有靜電卡盤317的一個表面上。接著，將安裝有襯底s的載體310的一側連接至第一傳送部件351。此時，載體310可沿著第一傳送部件351的行進方向傳送。

接著，將連接至第一傳送部件351的載體310從襯底供給腔113傳送至沉積腔111。

步驟s13和步驟s14可以以如下方式進行。

在使傳送至沉積腔111的載體310在沉積組件130的上方沿著第一傳送部件351的行進方向移動的期間，將沉積物質沉積至安裝於載體310的襯底s上。

接著，將安裝有完成沉積工藝的襯底s的載體310從沉積腔111傳送至襯底回收腔114。接著，將完成沉積工藝的襯底s從載體310分離，並將完成沉積工藝的襯底s移出至襯底回收腔114的外部。

步驟s15至步驟s17可以以如下方式進行。

利用第二升降機333使分離了襯底s的載體310從第二層的沉積腔111下降至第一層的返回腔112。

接著，將投入到返回腔112中的載體310的一側連接至第二傳送部件352。接著，將連接至第二傳送部件352的載體310沿著第二傳送部件352的行進方向返回至襯底供給腔113側。

接著，判斷是否需要對隨著第二傳送部件352傳送過來的載體310執行維修，並且將隨著第二傳送部件352傳送過來的載體310區分為需要維修的第一載體和除第一載體之外的第二載體。

步驟s19可以以如下方式進行。

在將第一載體傳送至轉換腔500之前，返回腔112與轉換腔500之間的第一連接部402將轉換腔500的內部轉換為真空狀態。接著，當轉換腔500的內部轉換為真空狀態時，打開轉換腔500與返回腔112之間的第一連接部402。接著，將第一載體310傳送至轉換腔500的內部。接著，在將第一載體310傳送至轉換腔500的內部之後，封閉轉換腔500與返回腔112之間的第一連接部402。然後，轉換腔500與載體維護腔213之間的第二連接部402將轉換腔500的內部轉換為常壓狀態。接著，當轉換腔500的內部轉換為常壓狀態時，打開轉換腔500與載體維護腔213之間的第二連接部402。接著，將第一載體310隨著維護傳送部件353從轉換腔500內傳送至載體維護腔213。

接著，當第一載體310隨著維護傳送部件353進入載體積載部231和237時，停止維護傳送部件353的操作。

步驟s20可以以如下方式進行。

首先，進行對傳送至維護單元200的第一載體進行固定的步驟。具體地，在上述步驟中，利用固定部件236將傳送至維護單元200的第一載體固定至載體積載部231和237的支承板237上。

接下來，進行利用防沉積部件更換部253對第一載體的防沉積部件b進行更換的步驟。具體地，在上述步驟中，利用防沉積部件更換部253從載體310分離耗損的防沉積部件b。接著，利用防沉積部件更換部253將積載在防沉積部件積載部251上的防沉積部件b移動至耗損的防沉積部件b已分離的載體310的一個表面。接著，防沉積部件更換部253將防沉積部件b插置在載體310的一個表面中並進行結合。

接下來，進行向第一載體的靜電卡盤317噴射氣體以去除顆粒並且向第一載體的凸輪從動件313供給潤滑油的步驟。具體地，在上述步驟中，將顆粒去除部233布置得與顆粒所在的區域相鄰，並向顆粒所在的區域噴射氣體以去除顆粒。這時，顆粒去除部233可調節噴射噴嘴的角度以向正確的位置噴射氣體。

接著，在經過一定的噴射時間例如5秒至30秒之後，停止顆粒去除部233的操作。

接著，將注油部235定位到凸輪從動件313的注油位置處。位於注油位置處的注油部235向凸輪從動件313注入如油脂的潤滑油。接著，當達到預定注油量時，停止注油部235的操作。

接著，將完成維修的第一載體從載體積載部231和237分離，並將完成維修的第一載體回送至維護傳送部件353。接著，將載體310隨著維護傳送部件353傳送至轉換腔(圖1的500)。這時，第一載體可在轉換腔500中等待以能夠被回送至先前在工藝腔110中進行循環時的原位置。

接著，當先前第一載體所被布置的原位置在經過一定的時間之後轉動回來時，將第一載體從維護傳送部件353回送至第二傳送部件352。

接著，將第一載體沿著第二傳送部件352的行進方向傳送至襯底供給腔113。傳送至襯底供給腔113的載體310可根據上述載體310的循環步驟在工藝腔110中進行循環。

更具體地，步驟s18可以以如下方式進行。

在隨著第二傳送部件352傳送至襯底供給腔113之後，使載體310通過第一升降機331從第一層的返回腔112上升至第二層的沉積腔111。其後，通過反覆進行如上所述的操作，使載體310在工藝腔110中進行循環。

以下，將對根據本發明另一實施方式的沉積裝置進行說明。

圖13是根據本發明另一實施方式的沉積裝置的維護單元的剖視圖。

參照圖13，根據本實施方式的沉積裝置的維護單元200_1與圖1的實施方式的區別在於，載體維護部230_1和防沉積部件維護部250_1一同布置在一個維護腔210中。

具體來說，維護腔210可以是真空腔。因此，在返回腔112配置成真空腔的情況下，返回腔112與維護腔210的一側可直接連接。在返回腔112與維護腔210直接連接的情況下，則無需如圖1的實施方式所示的轉換腔(圖1的500)的結構。因此，由於排除了轉換腔(圖1的500)的結構，所以相比於圖1的實施方式，本實施方式能夠縮短維護時間。

此外，維護腔210的內部分別布置有載體維護部230_1和防沉積部件維護部250_1。因此，本實施方式無需如圖1的實施方式的載體維護腔(圖1的213)和防沉積部件維護腔(圖1的215)的結構。因此，由於排除了載體維護腔(圖1的213)和防沉積部件維護腔(圖1的215)的結構，所以相比於圖1的實施方式，本實施方式能夠縮短維護時間。

即，根據本實施方式的維護單元200_1具有相比於圖1的實施方式能夠縮短維護工藝時間的優點。

以下，將說明根據本發明又一實施方式的沉積裝置。

圖14是根據本發明另一實施方式的沉積裝置的維護單元的剖視圖。

參照圖14，根據本實施方式的維護單元200_2與圖1至圖6的描述中所述的實施方式的區別在於，載體積載部231_1、237a和237b上布置有多個支承板237a和237b、顆粒去除部233a和233b、中孔232a和232b、注油部235a和235b以及固定部件236a和236b。

具體地，載體積載部231_1、237a和237b上以一定的間隔隔開地布置有多個支承板237a和237b。因此，載體積載部231_1、237a和237b的內部形成有多個收納空間。載體積載部231_1、237a和237b的多個收納空間中可分別沿著第三方向z堆疊有多個第一載體。

載體積載部231_1、237a和237b布置成與維護傳送部件353相鄰。載體積載部231_1、237a和237b與維護傳送部件353之間可布置有機械臂。機械臂起到將第一載體從維護傳送部件353移動至載體積載部231_1、237a和237b，或者將完成維修的第一載體從載體積載部231_1、237a和237b移動至維護傳送部件353的作用。

另外，載體積載部231_1、237a和237b的兩側側壁231上布置有多個顆粒去除部233a和233b、中孔232a和232b、注油部235a和235b以及固定部件236a和236b。多個顆粒去除部233a和233b、中孔232a和232b、注油部235a和235b以及固定部件236a和236b可布置成分別對應於載體積載部231_1、237a和237b的多個收納空間。因此，多個顆粒去除部233a和233b、中孔232a和232b、注油部235a和235b以及固定部件236a和236b可分別執行對於堆疊在載體積載部231_1、237a和237b上的多個第一載體的維修。

即，在本實施方式的維護單元200_2中，載體積載部231_1、237a和237b上堆疊有多個第一載體，並且可對堆疊的多個第一載體同時進行維修。

除上述結構之外，其它結構與圖1至圖6的描述中所述的實施方式實質上相同，因此省略具體說明。

雖然在上文中參照附圖對本發明實施方式進行了說明，但在本發明所屬技術領域的技術人員可以理解，本發明可在不改變本發明的技術思想或必要特徵的情況下實施為其它具體形態。因此，應理解，上文中所記載的實施方式在所有方面均為示例性的，而非限定性的。

附圖標記的說明

1000：沉積裝置s：襯底

b：防沉積部件

100：沉積單元110：工藝腔

111：沉積腔112：返回腔

113：襯底供給腔114：襯底回收腔

130：沉積組件200、200_1、200_2：維護單元

210：維護腔213：載體維護腔

215：防沉積部件維護腔

230、230_1、230_2：載體維護部

231：載體積載部233：顆粒去除部

235：注油部

250、250_1、250_2：防沉積部件維護部

251：防沉積部件積載部253：防沉積部件更換部

300：傳送單元310：載體

311：本體部313：凸輪從動件

315：結合部件315a：第一結合部件

315b：第二結合部件317：靜電卡盤

350：傳送部件400：連接部

401：開閉連接部402：閘門連接部

500：轉換腔