一種光學透鏡的超潔淨真空密封方法
2023-06-19 02:07:31 1
一種光學透鏡的超潔淨真空密封方法
【專利摘要】本發明公開了一種光學透鏡的超潔淨真空密封方法，將安裝裝置和光學透鏡之間通過軟性金屬密封圈密封固定。本發明的光學透鏡的超潔淨真空密封方法，可以解決傳統橡膠圈密封所引起真空汙染問題，同時克服金屬法蘭密封的高成本問題，同時透鏡的更換簡單易操作。
【專利說明】一種光學透鏡的超潔淨真空密封方法
【技術領域】
[0001]本發明涉及對真空潔淨度有要求的系統中光學透鏡密封帶來的汙染物控制技術，尤其涉及一種光學透鏡的超潔淨真空密封方法。
【背景技術】
[0002]在大功率雷射泵浦光源及應用光學系統、極紫外光源光學系統、超潔淨分析儀器中，大量使用光學透鏡，部分透鏡還需要承擔不同壓力差的空間之間隔離的作用，一般採用的辦法有兩種:一種是採用橡膠圈的真空密封方案；另一種是通過玻璃金屬封接的方案將透鏡封接在CF不鏽鋼法蘭上，通過不鏽鋼法蘭上的刀口與無氧銅密封圈的壓緊密封，實現空間真空隔離。第一種方案簡單易操作，但是由於使用的是橡膠圈密封，橡膠圈中所使用的增塑劑、橡膠材料本身均會在產生有機蒸汽，特別是在強光照射下，釋放出有機汙染物，對系統的潔淨度造成影響。第二種方案能夠實現無汙染的真空密封，但是由於將光學透鏡固定的不鏽鋼法蘭比較重，透鏡與法蘭間的封接對於大尺寸的光學透鏡製作困難成本高，同時對易損傷且要經常更換的光學透鏡，代價太大，且更換不方便。針對兩種方法的不足，並結合兩種方案的優點，本發明將採用橡膠圈密封的方案中的橡膠圈用鋁、錫、鉛、銦、金、銀等軟性金屬製作的金屬密封圈替代，通過用光學透鏡將金屬密封圈在被安裝裝置上壓緊變形，達到真空密封的目的，並克服橡膠密封圈給系統帶來的汙染問題，同時具備易更換操作的特點。
【發明內容】
[0003]發明目的:為了克服現有技術中存在的不足，本發明提供一種光學透鏡的超潔淨真空密封方法，解決傳統橡膠圈密封所引起真空汙染問題，同時克服金屬法蘭密封的高成本問題，同時透鏡的更換簡單易操作。
[0004]技術方案:為實現上述目的，本發明的技術方案如下:
[0005]一種光學透鏡的超潔淨真空密封方法，安裝裝置和光學透鏡之間通過軟性金屬密封圈密封固定。
[0006]具體步驟如下:
[0007]a、在安裝裝置上製作放置軟性金屬密封圈的密封槽，所述軟性金屬密封圈放置在密封槽內；
[0008]b、光學透鏡的四周設置有緊固件形成一體結構；
[0009]C、所述緊固件將光學透鏡和軟性金屬密封圈壓緊在密封槽內。
[0010]更進一步的，所述軟性金屬密封圈採用鋁、錫、鉛、銦、金、銀或它們的合金材料製成。
[0011]更進一步的，所述軟性金屬密封圈的橫截面為圓形或矩形或圓環形或彎月形，且其周長與密封槽的周長對應。
[0012]更進一步的，所述軟性金屬密封圈和密封槽形狀為圓形或者方形。
[0013]更進一步的，所述緊固件為邊框形結構，所述緊固件與安裝裝置對應面上開設有卡槽，所述卡槽的形狀與光學透鏡的形狀相對應，所述光學透鏡嵌入設置在卡槽內形成一體結構。
[0014]更進一步的，所述緊固件包括至少兩個一端帶有凸塊的固定框，在所述光學透鏡側面設有對應凹槽，所述固定框的凸塊嵌入安裝在凹槽內形成一體結構。
[0015]有益效果:本發明採用軟性金屬密封圈密封光學透鏡與被安裝裝置之間的真空腔，可以解決傳統橡膠圈密封所引起真空汙染問題，同時克服金屬法蘭密封的高成本問題，同時透鏡的更換簡單易操作。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0016]附圖1為本發明密封固定的第一種實施例示意圖。
[0017]附圖2為本發明密封固定的第二種實施例示意圖。
[0018]附圖3為本發明光學透鏡與緊固件空間位置示意圖。
[0019]附圖4為本發明密封槽在安裝裝置上的空間位置示意圖。
[0020]附圖5為本發明圓形光學透鏡與矩形緊固件的空間位置結構示意圖。
[0021]附圖6為本發明環形截面軟性金屬密封圈截面示意圖。
[0022]附圖7為本發明彎月形截面軟性金屬密封圈截面示意圖。
【具體實施方式】
[0023]下面結合附圖對本發明作更進一步的說明。
[0024]如附圖1或附圖2所示，一種光學透鏡的超潔淨真空密封方法，安裝裝置2和光學透鏡I之間通過軟性金屬密封圈3密封固定，控制由橡膠密封圈帶來的有機汙染物汙染問題。所述軟性金屬密封圈3採用鋁、錫、鉛、銦、金、銀或它們的合金材料製成。所述軟性金屬密封圈3的橫截面為圓形或矩形或圓環形或彎月形，所述軟性金屬密封圈3和密封槽4形狀為圓形或者方形，且軟性金屬密封圈3周長與密封槽4的周長對應。軟性金屬密封圈3的截面可以是圓形或方形或圓環性或彎月形，採用截面是圓環形的密封圈，即空心金屬密封圈，目的是使密封圈易變形，起到更好密封作用。採用彎月形截面密封圈，也是使金屬密封圈邊緣易變形，起到好的密封作用。
[0025]具體步驟如下:
[0026]a、在安裝裝置2上製作放置軟性金屬密封圈3的密封槽4，所述軟性金屬密封圈3放置在密封槽4內；
[0027]b、光學透鏡I的四周設置有緊固件5形成一體結構，形狀如附圖3所示；
[0028]C、所述緊固件5將光學透鏡I和軟性金屬密封圈3壓緊在密封槽4內。
[0029]本發明針對光學透鏡1，光學透鏡I通過軟性金屬密封圈3密封固定的方式具體分為兩種:
[0030]第一種實施例，如附圖1:
[0031]所述緊固件5為邊框形結構，所述緊固件5與安裝裝置2對應面上開設有卡槽51，所述卡槽51的形狀與光學透鏡I的形狀相對應，所述光學透鏡I嵌入設置在卡槽51內形成一體結構，但兩者之間可以不是真空密封。如附圖4所示，在安裝裝置2上製作光學透鏡I覆蓋面積內的密封槽4，在密封槽4內放置軟性金屬密封圈3。將卡槽51四周布置有螺孔7，通過螺栓6將卡槽51固定在安裝裝置2上，並使光學透鏡I完全壓在軟性金屬密封圈3上。緊固安置在卡槽51周邊的一組螺栓6，使光學透鏡I壓迫軟性金屬密封圈3使其發生形變，達到光學透鏡I與安裝裝置2之間對真空腔10的密封。
[0032]第二種實施例，如附圖2:
[0033]所述緊固件5包括至少兩個一端帶有凸塊的固定框52，在所述光學透鏡I側面設有對應凹槽9，本實施例中，在光學透鏡I的側面一周設有一圈對應凹槽9，所述固定框52的凸塊嵌入安裝在凹槽9內形成一體結構，但兩者之間可以不是真空密封。固定框52上設置有一組螺孔7，如附圖4所示，在安裝裝置2上製作光學透鏡I覆蓋面積內的密封槽4，在密封槽4內放置軟性金屬密封圈3，將光學透鏡I和固定框52的一體裝置，通過螺栓6穿過固定框52周邊的螺孔7，將固定框52固定在安裝裝置2的螺絲孔8上，並使光學透鏡I完全壓在軟性金屬密封圈3上。緊固安置在固定框52周邊的一組螺栓6，使光學透鏡I壓迫軟性金屬密封圈3使其發生形變，達到光學透鏡I與安裝裝置2之間對真空腔10的密封。
[0034]所述的光學透鏡I可為矩形、圓形或其他形狀，矩形、圓形或其他形狀的的光學透鏡I與不同形狀的緊固件5的固定方式均在本發明所要保護的範圍內。附圖5為本發明的一種實施例示意圖，圓形光學透鏡I與矩形緊固件5的空間位置結構示意圖。
[0035]以上所述僅是本發明的優選實施方式，應當指出:對於本【技術領域】的普通技術人員來說，在不脫離本發明原理的前提下，還可以做出若干改進和潤飾，這些改進和潤飾也應視為本發明的保護範圍。
【權利要求】
1.一種光學透鏡的超潔淨真空密封方法，其特徵在於:安裝裝置(2)和光學透鏡(I)之間通過軟性金屬密封圈(3)密封固定。
2.根據權利要求1所述一種光學透鏡的超潔淨真空密封方法，其特徵在於，具體步驟: a、在安裝裝置(2)上製作放置軟性金屬密封圈(3)的密封槽(4)，所述軟性金屬密封圈(3)放置在密封槽(4)內； b、光學透鏡(I)的四周設置有緊固件(5)形成一體結構； C、所述緊固件(5)將光學透鏡⑴和軟性金屬密封圈(3)壓緊在密封槽⑷內。
3.根據權利要求2所述一種光學透鏡的超潔淨真空密封方法，其特徵在於:所述軟性金屬密封圈(3)採用鋁、錫、鉛、銦、金、銀或它們的合金材料製成。
4.根據權利要求3所述一種光學透鏡的超潔淨真空密封方法，其特徵在於:所述軟性金屬密封圈(3)的橫截面為圓形或矩形或圓環形或彎月形，且其周長與密封槽(4)的周長對應。
5.根據權利要求2所述一種光學透鏡的超潔淨真空密封方法，其特徵在於:所述軟性金屬密封圈(3)和密封槽(4)形狀為圓形或者方形。
6.根據權利要求2所述一種光學透鏡的超潔淨真空密封方法，其特徵在於:所述緊固件(5)為邊框形結構，所述緊固件(5)與安裝裝置(2對應面上開設有卡槽(51)，所述卡槽(51)的形狀與光學透鏡(I)的形狀相對應，所述光學透鏡(I)嵌入設置在卡槽(51)內形成一體結構。
7.根據權利要求2所述一種光學透鏡的超潔淨真空密封方法，其特徵在於:所述緊固件(5)包括至少兩個一端帶有凸塊的固定框(52)，在所述光學透鏡(I)側面設有對應凹槽(9)，所述固定框(52)的凸塊嵌入安裝在凹槽(9)內形成一體結構。
【文檔編號】G02B7/02GK104076476SQ201410332452
【公開日】2014年10月1日 申請日期:2014年7月11日 優先權日:2014年7月11日
【發明者】張曉兵, 肖梅, 康學軍, 夏柱紅, 祁爭健, 陳振乾 申請人:東南大學