一種多晶矽棒生長直徑的測量裝置的製作方法
2023-06-19 00:18:44 1
本發明涉及多晶矽技術領域,具體為一種多晶矽棒生長直徑的測量裝置。
背景技術:
多晶矽,是單質矽的一種形態。熔融的單質矽在過冷條件下凝固時,矽原子以金剛石晶格形態排列成許多晶核,如這些晶核長成晶面取向不同的晶粒,則這些晶粒結合起來,就結晶成多晶矽。在太陽能利用上,單晶矽和多晶矽也發揮著巨大的作用。雖然從目前來講,要使太陽能發電具有較大的市場,被廣大的消費者接受,就必須提高太陽電池的光電轉換效率,降低生產成本。利用價值:從目前國際太陽電池的發展過程可以看出其發展趨勢為單晶矽、多晶矽、帶狀矽、薄膜材料(包括微晶矽基薄膜、化合物基薄膜及染料薄膜)。
現有技術中,需要根據多晶矽的生長規律預先制定出進料生長曲線和電流/電壓曲線,然後再生產多晶矽。在多晶矽的生產過程中,操作人員需通過還原爐上的視窗觀察並監測多晶矽的生長情況,例如監測原料矽棒的生長直徑,並根據多晶矽的實際生長情況來優化實際的進料生長曲線和電流/電壓曲線。然而,目前的情況是,對原料矽棒的生長直徑的監測大多依賴於操作人員的觀察及經驗,即,操作人員通過肉眼觀察原料矽棒,並憑藉其經驗估算出原料矽棒的生長直徑。這種估算方式對操作人員的經驗的要求比較高,估算結果也因人而異,誤差較大。
技術實現要素:
本發明的目的在於提供一種多晶矽棒生長直徑的測量裝置,以解決上述背景技術中提出的問題。
為實現上述目的,本發明提供如下技術方案:一種多晶矽棒生長直徑的測量裝置,包括爐體,所述爐體的底部連接有支腿,所述爐體底部安裝有液壓缸,所述液壓缸的輸出端連接有活塞杆,所述活塞杆的一端伸入到爐體內,所述活塞杆的端部連接有升降平臺,所述爐體的頂部設有檢測窗,所述檢測窗水平設置,所述檢測窗的頂部轉動連接有測微尺,所述爐體的側壁上固定連接有固定支架,所述固定支架上轉動連接有轉動支架,所述轉動支架的一端連接有光學顯微鏡,所述光學顯微鏡的頂部設有觀察口,所述光學顯微鏡的底部設有鏡頭,所述鏡頭處還設有紅外線發射器,所述爐體的內部均勻覆蓋有保溫結構層,所述爐體內部還安裝有led燈。
優選的,所述支腿的底部設有地腳,所述支腿和地腳之間螺紋連接。
優選的,所述轉動支架包括第一轉動架和第二轉動架,所述第一轉動架和第二轉動架之間轉動連接。
優選的,所述爐體的正面還設有觀察窗和溫度計。
優選的,所述檢測窗的截面為圓形,所述檢測窗和爐體的連接處還設有密封圈。
與現有技術相比,本發明的有益效果是:本發明結構新穎,操作方便,通過在爐體的頂部設置檢測窗,並在檢測窗的頂部轉動連接有測微尺,操作人員通過控制液壓缸,使活塞杆推動升降平臺向上移動,多晶矽安置在升降平臺上,此時多晶矽靠近檢測窗,操作人員通過轉動支架將光學顯微鏡的鏡頭對準多晶矽,此時,轉動測微尺,使測微尺測量多晶矽的直徑,利用紅外線發射器發射出的紅外光輔助測量定位,減小誤差,通過設置led燈,保證測量的光線,增設觀察窗和溫度計,提高了裝置的功能性,具有很高的實用性,大大提升了該一種多晶矽棒生長直徑的測量裝置的使用功能性,保證其使用效果和使用效益,適合廣泛推廣。
附圖說明
圖1為本發明一種多晶矽棒生長直徑的測量裝置的結構示意圖;
圖2為本發明一種多晶矽棒生長直徑的測量裝置的內部結構示意圖;
圖3為本發明一種多晶矽棒生長直徑的測量裝置的測微尺結構示意圖;
圖4為本發明一種多晶矽棒生長直徑的測量裝置的轉動支架部分結構示意圖。
圖中:1爐體、2支腿、3液壓缸、4活塞杆、5升降平臺、6檢測窗、7密封圈、8測微尺、9固定支架、10轉動支架、11光學顯微鏡、12觀察口、13鏡頭、14紅外線發射器、15保溫結構層、16led燈、17第一轉動架、18第二轉動架、19觀察窗、20溫度計。
具體實施方式
下面結合說明書附圖和實施例,對本發明的具體實施例做進一步詳細描述:
請參閱圖1-4,本發明提供一種技術方案:一種多晶矽棒生長直徑的測量裝置,包括爐體1,所述爐體1的底部連接有支腿2,所述爐體1底部安裝有液壓缸3,所述液壓缸3的輸出端連接有活塞杆4,所述活塞杆4的一端伸入到爐體1內,所述活塞杆4的端部連接有升降平臺5,所述爐體1的頂部設有檢測窗6,所述檢測窗6水平設置,所述檢測窗6的頂部轉動連接有測微尺8,所述爐體1的側壁上固定連接有固定支架9,所述固定支架9上轉動連接有轉動支架10,所述轉動支架10的一端連接有光學顯微鏡11,所述光學顯微鏡11的頂部設有觀察口12,所述光學顯微鏡11的底部設有鏡頭13,所述鏡頭13處還設有紅外線發射器14,所述爐體1的內部均勻覆蓋有保溫結構層15,所述爐體1內部還安裝有led燈16,所述支腿2的底部設有地腳,所述支腿2和地腳之間螺紋連接,所述轉動支架10包括第一轉動架17和第二轉動架18,所述第一轉動架17和第二轉動架18之間轉動連接,所述爐體1的正面還設有觀察窗19和溫度計20,所述檢測窗6的截面為圓形,所述檢測窗6和爐體1的連接處還設有密封圈7。
工作原理:使用時,通過在爐體1的頂部設置檢測窗6,並在檢測窗6的頂部轉動連接有測微尺8,操作人員通過控制液壓缸3,使活塞杆4推動升降平臺5向上移動,多晶矽安置在升降平臺5上,此時多晶矽靠近檢測窗6,操作人員通過轉動支架10將光學顯微鏡11的鏡頭13對準多晶矽,此時,轉動測微尺8,使測微尺8測量多晶矽的直徑,利用紅外線發射器14發射出的紅外光輔助測量定位,減小誤差,通過設置led燈16,保證測量的光線,增設觀察窗19和溫度計20,提高了裝置的功能性,具有很高的實用性。
以上所述,僅是本發明的較佳實施例而已,並非對本發明的技術範圍作出任何限制,故凡是依據本發明的技術實質對以上實施例所作的任何細微修改、等同變化與修飾,均仍屬於本發明的技術方案的範圍內。
技術特徵:
技術總結
本發明公開了一種多晶矽棒生長直徑的測量裝置,包括爐體,所述爐體的底部連接有支腿,所述爐體底部安裝有液壓缸,所述液壓缸的輸出端連接有活塞杆,所述活塞杆的一端伸入到爐體內,所述活塞杆的端部連接有升降平臺,所述爐體的頂部設有檢測窗,所述檢測窗水平設置,所述檢測窗的頂部轉動連接有測微尺,所述爐體的側壁上固定連接有固定支架,所述固定支架上轉動連接有轉動支架,所述轉動支架的一端連接有光學顯微鏡,所述光學顯微鏡的頂部設有觀察口,所述光學顯微鏡的底部設有鏡頭,所述鏡頭處還設有紅外線發射器,所述爐體的內部均勻覆蓋有保溫結構層,所述爐體內部還安裝有LED燈,適合廣泛推廣。
技術研發人員:袁榮;張巍;費凌翔;吳倩倩;王濤;王靜;周海燕
受保護的技術使用者:蕪湖中科智捷信息科技有限責任公司
技術研發日:2017.05.25
技術公布日:2017.08.29