用於矽片鹼腐蝕加工的新型夾具的製作方法
2023-06-11 14:58:26 1
專利名稱：用於矽片鹼腐蝕加工的新型夾具的製作方法
技術領域：
本發明涉及一種用於矽片鹼腐蝕加工的新型夾具。
背景技術：
矽片在研磨後的腐蝕工藝主要有酸腐蝕和鹼腐蝕兩種。較酸腐蝕而言，鹼腐蝕主要優點為加工成本低，環境汙染小特點。對於小尺寸產品(3 5寸)，多半採用鹼腐蝕工藝。鹼腐蝕工藝中比較難控制的是矽片在腐蝕過程中的漂浮狀態以及腐蝕後矽片表面鹼液衝洗。為了控制矽片在鹼腐蝕過程的漂浮高度和便於清洗，需要把矽片放在合適的夾具中。鹼腐蝕中常用的一種夾具是片架和花籃的組合。如圖1所示為花籃結構示意圖。 其結構包括支撐框1和提架2。支撐框1設置有第一通孔11、第二通孔12、第三通孔13和第四通孔14。提架2包括第一連杆21和第二連杆22。第一連杆21和第二連杆22均為一端與支撐框1連接，另一端通過橫杆23連接。橫杆23兩端分別設置有第一螺母M和第二螺母25。如圖2所示為一種片架3結構示意圖。使用時，矽片放置於片架3內。四個片架 3分別放置於第一通孔11、第二通孔12、第三通孔13和第四通孔14。再將夾具放入鹼液內對矽片進行鹼腐蝕處理。這種夾具存在的最大問題是不能控制矽片的漂浮狀態，導致矽片表面部分過度腐蝕或腐蝕不足，這個問題嚴重影響了鹼腐蝕成品率。使用這種提籃進行鹼腐蝕時，良率約為99. 2%。
發明內容
本發明的目的是為了克服現有技術中的不足，提供一種用於矽片鹼腐蝕加工，可控制矽片在鹼腐蝕過程的漂浮高度的用於矽片鹼腐蝕加工的新型夾具。為實現以上目的，本發明通過以下技術方案實現用於矽片鹼腐蝕加工的新型夾具，包括支撐框，支撐框設置有放置片架的通孔；支撐框上安裝有提架，其特徵在於，所述提架包括至少兩根與支撐框垂直的連杆，兩根連杆端部通過橫杆連接；還包括壓條，所述壓條可靠近支撐框或遠離支撐框運動地安裝在提架上。優選地是，所述壓條橫跨通孔。優選地是，還包括壓框，所述壓條安裝於壓框上；所述壓框可靠近支撐框或遠離支撐框運動地安裝在提架上。優選地是，所述壓框形狀與支撐框形狀相適應；所述壓框與連杆可拆卸連接。優選地是，所述提架包括兩根連杆和一根橫杆；兩根連杆分別有一端與支撐框連接，另一端通過橫杆連接；所述壓框可沿連杆移動卡設於兩根連杆上。優選地是，所述支撐框設置有與連杆相配合的兩個開口 ；兩根連杆分別與兩個開口相配合。優選地是，所述壓框上設置有限位塊，限位塊位於壓框與支撐框之間。優選地是，所述限位塊可拆卸地安裝在壓框上。
優選地是，還包括用於放置矽片的片架，所述片架設置在通孔內。本發明中的用於矽片鹼腐蝕加工的新型夾具，可方便地調整壓框的位置，既方便限制矽片的漂浮高度，又方便將片架裝配在支撐框上。調整壓框的位置時，只需沿著連杆推動壓框即可，調整方便。壓框上安裝有限位塊，限制壓框的移動距離，可防止用力過大時壓壞矽片。限位塊可拆卸安裝在壓框上，方便更換。利用壓條限制矽片的漂浮，壓條採用圓柱形時可避免阻擋衝洗液，不會妨礙衝洗矽片。本發明結構簡單，使用方便，製造成本低。使用本發明中的夾具，矽片鹼腐蝕良率可達到99. 8%以上。
圖1為一種提籃結構示意圖。圖2為一種片架結構示意圖。圖3為本發明中的用於矽片鹼腐蝕加工的新型夾具結構示意圖。圖4為本發明中的壓框結構示意圖。
具體實施例方式下面結合附圖對本發明進行詳細的描述如圖3、圖4所示，用於矽片鹼腐蝕加工的新型夾具，其結構包括支撐框1和提架 2。支撐框1為長方形形狀。支撐框1設置有第一通孔11、第二通孔12、第三通孔13和第四通孔14。提架2包括第一連杆21和第二連杆22。第一連杆21和第二連杆22均為一端與支撐框1連接，另一端通過橫杆23連接。橫杆23兩端分別設置有第一螺母M和第二螺母25。還包括壓框4。壓框4為長方形形狀，與支撐框1的形狀相適應。壓框4上安裝有第一壓條41和第二壓條42。第一壓條41橫跨在第一通孔11和第二通孔12上方。第二壓條42橫跨在第三通孔13和第四通孔14上方。第一壓條41和第二壓條42均用於阻擋放置於第一通孔11、第二通孔12、第三通孔13或第四通孔14內的片架3內的矽片，防止其漂浮過大。壓框4設置有第一開口 43和第二開口 44。第一開口 43與第一連杆21相配合；第二開口 44與第二連杆22相配合，將壓框4卡設於第一連杆21和第二連杆22上，並且壓框4可沿第一連杆21和第二連杆22上下移動。壓框4向上移動時，遠離支撐框1 ；壓框4向下移動時，靠近支撐框1。壓框4上通過四個螺釘49可拆卸地安裝第一限位塊45、第二限位塊46、第三限位塊47和第四限位塊48。第一限位塊45、第二限位塊46、第三限位塊47和第四限位塊48位於壓框4與支撐框1之間。在壓框4向下移動時，第一限位塊45、第二限位塊46、第三限位塊47和第四限位塊48可限制壓框4與支撐框1之間的距離，防止其距離過近壓壞矽片。第一限位塊45、第二限位塊46、第三限位塊47和第四限位塊48可拆卸地安裝在壓框4上，方便更換。使用本發明中的夾具，矽片鹼腐蝕良率可達到99. 8%以上。本發明中的實施例僅用於對本發明進行說明，並不構成對權利要求範圍的限制， 本領域內技術人員可以想到的其他實質上等同的替代，均在本發明保護範圍內。
權利要求
1.用於矽片鹼腐蝕加工的新型夾具，包括支撐框，支撐框設置有放置片架的通孔 』支撐框上安裝有提架，其特徵在於，所述提架包括至少兩根與支撐框垂直的連杆，兩根連杆端部通過橫杆連接；還包括壓條，所述壓條可靠近支撐框或遠離支撐框運動地安裝在提架上。
2.根據權利要求1所述的用於矽片鹼腐蝕加工的新型夾具，其特徵在於，所述壓條橫跨通孔。
3.根據權利要求1所述的用於矽片鹼腐蝕加工的新型夾具，其特徵在於，還包括壓框， 所述壓條安裝於壓框上；所述壓框可靠近支撐框或遠離支撐框運動地安裝在提架上。
4.根據權利要求3所述的用於矽片鹼腐蝕加工的新型夾具，其特徵在於，所述壓框形狀與支撐框形狀相適應；所述壓框與連杆可拆卸連接。
5.根據權利要求3所述的用於矽片鹼腐蝕加工的新型夾具，其特徵在於，所述提架包括兩根連杆和一根橫杆；兩根連杆分別有一端與支撐框連接，另一端通過橫杆連接；所述壓框可沿連杆移動卡設於兩根連杆上。
6.根據權利要求5所述的用於矽片鹼腐蝕加工的新型夾具，其特徵在於，所述支撐框設置有與連杆相配合的兩個開口 ；兩根連杆分別與兩個開口相配合。
7.根據權利要求3或5所述的用於矽片鹼腐蝕加工的新型夾具，其特徵在於，所述壓框上設置有限位塊，限位塊位於壓框與支撐框之間。
8.根據權利要求7所述的用於矽片鹼腐蝕加工的新型夾具，其特徵在於，所述限位塊可拆卸地安裝在壓框上。
9.根據權利要求1所述的用於矽片鹼腐蝕加工的新型夾具，其特徵在於，還包括用於放置矽片的片架，所述片架設置在通孔內。
全文摘要
本發明公開了一種用於矽片鹼腐蝕加工的新型夾具，包括支撐框，支撐框設置有放置片架的通孔；支撐框上安裝有提架，其特徵在於，所述提架包括至少兩根與支撐框垂直的連杆，兩根連杆端部通過橫杆連接；還包括壓條，所述壓條可靠近支撐框或遠離支撐框運動地安裝在提架上。本發明中的用於矽片鹼腐蝕加工的新型夾具，可方便地調整壓框的位置，既方便限制矽片的漂浮高度，又方便將片架裝配在支撐框上。調整壓框的位置時，只需沿著連杆推動壓框即可，調整方便。壓框上安裝有限位塊，限制壓框的移動距離，可防止用力過大時壓壞矽片。使用本發明中的夾具，矽片鹼腐蝕良率可達到99.8％以上。
文檔編號C30B33/10GK102345171SQ201110231799
公開日2012年2月8日 申請日期2011年8月14日 優先權日2011年8月14日
發明者李強, 黃春峰 申請人:上海合晶矽材料有限公司