玻璃基板的輸送系統的製作方法
2023-06-11 23:59:06 3
專利名稱：玻璃基板的輸送系統的製作方法
技術領域：
本發明涉及玻璃基板的輸送系統，具體地說，涉及能使在水平方向裝載的玻璃基板在傾斜立起的狀態下卸載的玻璃基板輸送系統。
背景技術：
眾所周知，在TFT-LCD(Thin Film Transistor-Liquid Crystal Display)、PDP(Plasma Display Panel)、EL(Electro Luminescent)等平板顯示器製造領域中使用的玻璃基板，經過玻璃熔融爐中熔融的熔融玻璃成型為平板的成型工序、和進行切斷使其符合初級規格的切斷工序製造後，通過清洗和檢驗工序分選出合格和不合格產品。
作為一個例子，從本申請人的韓國專利申請2002-30386號來看，在玻璃基板清洗處(Cleaning Station)，將已通過清洗工序的玻璃基板裝入稱為盒(cassette)的容器後，轉移到檢查處(Inspection station)，放置在容器中的玻璃基板由輸送裝置(handler)卸載並裝載到檢查處。在檢查處，檢查存在於玻璃基板中的氣泡、石粒等雜物的混入、汙染、刮痕、齒輪碎屑、切削碎屑、裂紋等缺陷。
專利文獻韓國專利申請2002-30386號。
為防止玻璃基板的汙染，玻璃基板的清洗處和檢查處為清潔室，但是，由於使用容器和輸送裝置，清潔室的布局變複雜，為了確保工作人員和輸送裝置的活動路線，存在必須使清潔室的面積增加到必要以上的問題。不僅如此，由於工作人員和輸送裝置的動作在清潔室產生的紊流的影響，微粒附著在玻璃基板上產生汙染而增加不合格率，存在大量生產性能低劣、生產成本增加的問題。
再者，在玻璃基板裝載和卸載之際，由於輸送裝置產生的物理接觸和撞擊，恐怕玻璃基板產生刮痕、裂紋等缺陷的可能性相當高，存在浪費時間增多、產量降低的問題。特別是由於在能由輸送裝置的夾鉗進行夾緊的玻璃基板的夾緊區域容許在各邊緣起8mm以內進行夾持，因此，在大型、薄型玻璃基板的情況下，依靠夾鉗的夾緊難以支撐玻璃基板的重量，同時，玻璃基板因撓性變形而變得易於破裂，會導致安全事故。因而，確實需要開發從清洗處到檢查處能夠一條線上輸送玻璃基板的技術，但事實上還沒有開發出能夠穩定地將玻璃基板在線一條線上輸送的技術。
發明內容
本發明鑑於上述事實，其目的在於提供玻璃基板的輸送系統，該系統能將在水平方向裝載的玻璃基板在傾斜立起的狀態下卸載。
本發明的另一個目的在於提供玻璃基板的輸送系統，該系統能使玻璃基板的物理接觸最小化，能使玻璃基板穩定地、容易地從水平狀態轉換到傾斜狀態。
本發明的再一個目的在於提供玻璃基板的輸送系統，該系統能通過簡單的工作轉換，非常容易且有效地實施向靈活性生產系統的轉換，所述靈活性生產系統能檢查各種尺寸的玻璃基板。
本發明的又一個目的在於提供玻璃基板的輸送系統，該系統能通過串聯玻璃基板的輸送線使產量提高且使配置簡單化，就能大大地降低生產成本。
為達到上述目的，本發明的玻璃基板輸送系統的特徵在於，該系統包括系統底盤；水平輸送裝置，設置在前述系統底盤上，能支撐玻璃基板兩端的周緣部分並進行水平輸送；浮動裝置，通過空氣吹送使裝載在前述水平輸送裝置上的前述玻璃基板浮升；傾斜裝置，使前述水平輸送裝置傾斜，以使裝載在前述水平輸送裝置上的前述玻璃基板能傾斜立起；傾斜輸送裝置，設置在前述傾斜裝置上，能支撐傾斜立起的前述玻璃基板的下端並進行輸送。
按照本發明的玻璃基板的輸送系統，能使來自清洗處的水平裝載的玻璃基板在檢查處以傾斜立起的狀態連續卸載，在使玻璃基板的物理接觸最小化的同時，能穩定且容易地將玻璃基板從水平狀態轉換到傾斜狀態，從而能夠在線形成玻璃基板的輸送系統。再者，能通過簡單的工作轉換，非常容易且有效地實施向靈活性生產系統的轉換，所述靈活性生產系統能檢查各種尺寸的玻璃基板。而且，由於在線化玻璃基板的輸送線使產量提高且使配置簡單化，具有能大大降低生產成本的效果。
圖1是表示本發明輸送系統的結構的正視圖。
圖2是表示本發明輸送系統的結構的俯視圖。
圖3是表示本發明輸送系統的結構的側視圖。
圖4是表示本發明輸送系統中傾斜裝置傾斜到玻璃基板的傾斜位置的狀態的正視圖。
圖5是表示在本發明輸送系統中水平輸送裝置結構的俯視圖。
圖6-A和圖6-B是表示本發明輸送系統中空氣浮動裝置吹氣管的正視圖和截面圖。
圖7是表示本發明輸送系統中旋轉編碼器結構的正視圖。
圖8是表示本發明輸送系統中間隔調節裝置和第五帶傳動裝置結構的正視圖。
圖9是部分表示本發明輸送系統中另一例水平輸送裝置和間隔調節裝置的側視圖。
圖10是圖9的俯視圖。
具體實施例方式
下面，根據附圖，詳細說明本發明的玻璃基板輸送系統的優選實施例。
首先，參照圖1，按照本發明的輸送系統，能夠在玻璃基板1的清洗處和檢查處之間將玻璃基板1的輸送線串聯構成，例如，能夠輸送長(mm)×寬(mm)大小為約370×470～1500×1800、厚度為約0.4～1.1mm的玻璃基板1。
參照圖1-5，本發明的輸送裝置具有系統底盤10，在系統底盤10的上部以支撐玻璃基板1的兩端並水平輸送的方式設置有水平輸送裝置20。水平輸送裝置20由設置在系統底盤10的兩側部的第一輸送機21和第二輸送機22構成。第一和第二輸送機21、22各自的輸送機框架21a、22a，沿著玻璃基板1的輸送方向並列設置在系統底盤10上部的兩側部；在輸送機框架21a、22a上，支撐玻璃基板1兩端(即，當玻璃基板1立起設置時的下端1a和上端1b)的邊緣部分的多個輥21b、21b-1、21b-2、22b、22b-1、22b-2，以軸21c、22c為中心配置成隔著規定間隔可自由旋轉地安裝。
第一和第二輸送機21、22的輥21b、22b，在第一驅動裝置23的作動下旋轉。第一驅動裝置23具備供給驅動力的伺服馬達24、橫穿第一和第二輸送機21及22並自由旋轉地設置的主動軸25、將伺服馬達24的驅動力傳遞到主動軸25的第一帶傳動裝置26、將主動軸25的旋轉力傳遞給第一輸送機21的各個輥21b的多個第二帶傳動裝置27、將主動軸25的旋轉力傳遞給第二輸送機22的各個輥22b的第三帶傳動裝置28。
如圖1詳示，第一帶傳動裝置26由靠伺服馬達24的驅動旋轉的主動輪26a、安裝在主動軸25的一端的從動輪26b、卷繞在主動輪26a和從動輪26b上的帶26c構成。如圖5詳示，第二帶傳動裝置27將主動軸25的旋轉力依次傳遞給相互靠近的第一輸送機21的輥21b。第二帶傳動裝置27具有交替安裝在輥21b的軸21c上的多個主動輪27a、與各自的主動輪27a對應的交替安裝在輥21b的軸21c上的多個從動輪27b、卷繞在相互對應的每對主動輪27a和從動輪27b上的帶27c。如圖2、4和5所示，第三帶傳動裝置28具有安裝在主動軸25上的主動輪28a、安裝在輥22b的軸22c上的多個從動輪28b、卷繞在主動輪28a和從動輪28b上的帶28c。在本實施例中，第一至第三帶傳動裝置26、27、28各自的主動輪26a、27a、28a和從動輪26b、27b、28b及帶26c、27c、28c也能替換成驅動定時齒輪、從動定時齒輪和同步皮帶。進一步，第二和第三帶傳動裝置27、28能替換成由主動鏈輪、從動鏈輪和鏈構成的鏈傳動裝置。在圖2、4和5中示出，主動軸25能與第一和第二輸送機21、22的輥21b、22b中的一個，例如最下遊輥21b-2、22b-2的軸21c、22c連接成一體；最上遊輥21b-1、22b-1的軸21c、22c由從動軸29連接成一體。在該實施例中也能作如下設置，將已有的軸承安裝在第一和第二輸送機21、22的各自的輸送機框架21a、22a上，主動軸25和從動軸29各自的兩端由軸承支撐。
如圖2和5所示，本發明的輸送系統具有阻擋由水平輸送裝置20輸送的玻璃基板1並進行排列的制動單元30。制動單元30由擋塊31和致動器32構成；擋塊31分別安裝在水平輸送裝置20下遊兩側，以便能擋住玻璃基板1的輸送方向前端兩側；致動器32使擋塊31在擋住玻璃基板1的輸送方向前端的阻擋位置和容許玻璃基板1輸送的解除位置之間轉動。
參照圖2、3、6-A和6-B，本發明的輸送系統具有空氣浮動裝置40，該空氣浮動裝置40使由第一和第二輸送機21、22的輥21b、22b支撐下端1a和上端1b並進行輸送的玻璃基板1，從輥21b、22b上浮起來。該空氣浮動裝置40具有沿玻璃基板1的輸送方向設置的、沿縱向形成有多個面向玻璃基板1噴出空氣的噴嘴孔41a的吹氣管41。多個吹氣管41設置成排列在位於底板42上面的任意水平平面上。在圖2和3中示出了5個吹氣管形成等間隔的配置，但是，這是示例性的，吹氣管41的數量和位置能夠適當地變化，使玻璃基板1穩定浮升。
如圖1和圖6-B所示，供給空氣的空氣供給裝置43與空氣浮動裝置40的吹氣管41相連。空氣供給裝置43由產生空氣的鼓風機44、和過濾來自鼓風機44的空氣並供給吹氣管41的空氣過濾器45構成。鼓風機44由供給驅動力的馬達44a和由該馬達驅動旋轉的葉輪44b構成。在該實施例中，空氣過濾器45可由過濾約0.3um的微細粒子的HEPA過濾器(High EfficiencyParticular Air Filter)構成。進一步，空氣供給裝置40的鼓風機44可以替換成眾所周知的空氣壓縮機和控制空氣流量和壓力的空氣控制單元。
參照圖1-5和圖7，本發明的輸送系統具有使水平輸送裝置20和空氣浮動裝置40相對於系統底盤10傾斜的傾斜裝置50，以便使在水平輸送裝置20上水平裝載的玻璃基板1傾斜並立起起來。傾斜裝置50由傾斜支架51和由軸承52支撐以使傾斜支架51相對於系統底盤10轉動的軸53構成，傾斜支架51上裝載有水平輸送裝置20的第一和第二輸送機21、22，以及第一驅動裝置23和空氣浮動裝置40的底板42。
傾斜裝置50的軸53由第二驅動裝置54的作用而旋轉。第二驅動裝置54由安裝在系統底盤10上並供給驅動力的伺服馬達55、將伺服馬達55的驅動力傳遞到軸53的第四帶傳動裝置56、以及旋轉編碼器57構成，旋轉編碼器57檢測軸53的旋轉角度，以便能控制伺服馬達55的驅動。第四帶傳動裝置56由安裝成通過伺服馬達55的驅動能旋轉的主動定時齒輪56a、安裝在軸53上的從動定時齒輪56b、卷繞在主動定時齒輪56a和從動定時齒輪56b上的同步皮帶56c構成。
如圖7所示，旋轉編碼器57由發光的發光傳感器57a、感受由該發光傳感器57a投射的光的感光傳感器57b、安裝在軸53上且能配置在發光傳感器57a和感光傳感器57b之間並具有與光軸對齊的狹縫57c的旋轉圓盤57d構成。圖7中示出設置了4個旋轉編碼器57，這4個旋轉編碼器57能根據軸53的旋轉角度來控制玻璃基板1的水平位置和傾斜位置，但旋轉編碼器57的數量可以適當地變化。在該實施例中，如圖3所示，傾斜裝置50使玻璃基板1相對於垂直軸線58傾斜約5-20°的傾斜角度(θ)，最好傾斜約10°的傾斜角度(θ)。
參照圖1-4，本發明的輸送系統具有支撐玻璃基板1的下端1a並進行輸送的傾斜輸送裝置60，把傾斜輸送裝置60的第三輸送機61設置成能與傾斜裝置50的傾斜支架51上的第一輸送機21平行。把第三輸送機61的輸送機支架61a沿玻璃基板1的輸送方向2並列設置，以便能靠近傾斜裝置50的傾斜支架51上的第一輸送機21；在輸送機支架61a上，多個輥61b在對應的軸61c上分別自由旋轉地安裝著。軸61c相互以規定間隔隔離開。在輥61b的外表面形成有穩定地容納玻璃基板1下端1a以防止脫離的V字形槽61d。
參照圖2-5，第三輸送機61的輥61b依靠第三驅動裝置62的作動而旋轉。第三驅動裝置62由供給驅動力的伺服馬達63、能由該伺服馬達63驅動旋轉地靠近輥61b且沿輸送機支架61a的縱向安裝的軸64、將軸64的旋轉力傳遞給第三輸送機61的各個輥61b的齒輪裝置65構成。齒輪裝置65由多個主動齒輪65a和多個從動齒輪65b構成，主動齒輪65a安裝在位於靠近各個輥61b的軸64上，從動齒輪65b安裝在輥61b各自的軸61c上以與主動齒輪65a嚙合。在該實施例中，第三輸送機61可由第三驅動裝置62來旋轉且安裝在輸送機支架61a一側的主動輪、安裝在輸送機支架61a另一側的驅動輪、卷繞在主動輪和驅動輪上的帶構成。而且，第三驅動裝置62的軸64和齒輪裝置65可替換成將伺服馬達63的驅動力傳遞到輥61b的帶傳動裝置。
參照圖2-5和圖8，本發明的輸送系統具有使第二輸送機22相對於第一輸送機21運動的間隔調節裝置70，以便能調節第一輸送機21和第二輸送機22之間的間隔。通過間隔調節裝置70調節第一輸送機21和第二輸送機22之間的間隔，能支撐大小不同的玻璃基板1的下端1a和上端1b並進行輸送。間隔調節裝置70由可自由旋轉地相互並列設置在傾斜支架51上部的第一和第二推動螺杆71a及71b、安裝成沿第一和第二推動螺杆71a及71b作螺旋運動並固定在第二輸送機22的輸送機支架22a上的滾珠軸套72、引導輸送機支架22a的線性運動的線性運動導向裝置73、供給使第一和第二推動螺杆71a及71b旋轉的驅動力的伺服馬達74、將伺服馬達74的驅動力傳遞給第一和第二推動螺杆71a及71b的第五帶傳動裝置75構成。
第一和第二推動螺杆71a及71b的前端受到安裝在傾斜支架51上的安裝託架76的軸承77的支撐。線性運動導向裝置73由多個導向杆73a和介於第二輸送機22的輸送機支架22a和導向杆73a之間的滾珠軸套73b構成，所述多個導向杆73a貫通第二輸送機22的輸送機支架22a和安裝託架76並相互並列設置，以允許第二輸送機22的線性運動。在該實施例中，線性運動導向裝置73可由並列設置在傾斜支架51上面的一對導向軌道和沿該導向軌道能滑動且被安裝在輸送機支架22a下面的一對滑塊構成。
第五帶傳動裝置75由依靠伺服馬達74的驅動進行旋轉的主動輪75a、分別安裝在第一和第二推動螺杆71a及71b上的第一和第二從動輪75b及75c、卷繞在主動輪75a和第一從動輪75b上的第一帶75d、卷繞在第一和第二從動輪75b及75c上的第二帶75e構成。圖2、圖4和圖5中示出的是交替安裝著的第一和第二推動螺杆71a及71b和3個導向杆73a的結構，但導向杆73a的數量可以適當地變化。
參照圖1和2，為了連續地輸送玻璃基板1，本發明的輸送系統具有設置在系統底盤10的上遊的進入側水平輸送裝置80和設置在系統底盤10的下遊的排出側傾斜輸送裝置90。進入側水平輸送裝置80可以由與能水平輸送來自清洗處的玻璃基板1的水平輸送裝置20的第一和第二輸送機21、22同樣的輸送機81、82構成。排出側傾斜輸送裝置90可以由與使傾斜輸送裝置61輸送的玻璃基板1傾斜並進行輸送的空氣浮動裝置40的吹氣管41及傾斜輸送裝置60的第三輸送機61同樣的吹氣管91和輸送機92構成。
如圖7所示，本發明的輸送系統具有作為控制裝置的控制器100，用於系統的控制，控制器100按照可編程邏輯控制(Programmable logic control)控制水平輸送裝置20、制動單元30、空氣浮動裝置40、傾斜裝置50、傾斜輸送裝置60、間隔調節裝置70等的系統作動。控制器100能夠與玻璃基板1輸送線上配置的眾所周知的計算機同步，通過計算機的聯網在整個輸送線上一體控制和管理玻璃基板1的輸送。
圖9和圖10中示出了另一個適用於本發明的輸送系統的水平輸送裝置。參照圖9和10，另一個例子中的水平輸送裝置120具有同傾斜裝置50的傾斜支架51分離且設置在系統底盤10上的第二輸送機122。第二輸送機122的輸送機支架122a可移動地設置在系統底盤10的上部；在輸送機支架122a上，支撐玻璃基板1上端1b周緣部分的多個輥122b分別可自由旋轉地安裝在相應的軸122c上。軸122c相互以規定的間隔隔離開。在輥122b的外表面，形成有能對玻璃基板1上端1b進行支撐排列的凸緣122d。另外，第一和第二輸送機21、122的輥21b、122b能依靠供給驅動力的驅動裝置123進行旋轉。驅動裝置123可以是和前面所說明的第三驅動裝置62同樣的結構。驅動裝置123的結構及作動說明參照第三驅動裝置62的結構及作動。
水平輸送裝置120具有使第二輸送機移動以便能夠調節第二輸送機122相對於第一輸送機21的間隔的間隔調節裝置170。間隔調節裝置170由設置在系統底盤10的上面並供給驅動力的伺服馬達171、由伺服馬達171驅動旋轉的主動定時齒輪172、在玻璃基板1的輸送方向的橫向遠離該主動定時齒輪172配置的從動定時齒輪173、卷繞在主動定時齒輪172和從動定時齒輪173上的同步皮帶174、使第二輸送機122的輸送機支架122a和同步皮帶174固定的連接件175、相對於系統底盤10引導輸送機支架122a的線性運動的線性運動導向機構176構成。線性運動導向機構176由安裝在系統底盤10上面位於玻璃基板1的輸送方向橫向兩側的一對導向軌道176a、安裝在輸送機支架122a下面沿該導向軌道176a滑動的一對滑塊176b構成。
下面，說明具有這種結構的本發明的玻璃基板的輸送系統的作用。
參照圖1、2和5，在傾斜裝置50的傾斜支架51保持水平且第一和第二輸送機21、22的輥21b、22b配置在同一平面的狀態下，把由進入側水平輸送裝置80的輸送機81、82水平輸送的玻璃基板1輸送到第一和第二輸送機21、22上，玻璃基板1的下端1a和上端1b的周緣部分由最上遊輥21b-1、22b-1支撐。第一驅動裝置23的伺服馬達24一驅動，伺服馬達24的驅動力就通過第一帶傳動裝置26的主動輪26a、從動輪26b和帶26c傳遞到主動軸25；主動軸25使最下遊輥21b-2、22b-2旋轉。最下遊輥21b-2、22b-2的旋轉力分別通過第二帶傳動裝置27的主動輪27a、從動輪27b、帶27c和第三帶傳動裝置28的主動輪28a、從動輪28b、帶28c傳遞到各個輥21b、22b，旋轉的輥21b、22b通過滾動運動使玻璃基板1水平輸送。
另一方面，如圖6-A和6-B所示，當空氣供給裝置43的鼓風機44工作，將空氣供給空氣浮動裝置40的吹氣管41時，玻璃基板1利用吹氣管41的噴嘴1a吹出的空氣力從第一和第二輸送機21、22的輥21b、22b浮升例如約0.5mm，並繼續進行輸送。從而，由於能夠在除了下端1a和上端1b的部分不進行物理接觸的狀態下輸送玻璃基板1，因此能有效地防止因物理接觸在玻璃基板1上產生的缺陷，例如刮痕、裂紋等；還能夠有效地防止大型玻璃基板1，例如長(mm)×寬(mm)大小為約730×920以上的玻璃基板1的撓性變形。
如圖2所示，由水平輸送裝置20的第一和第二輸送機21、22和空氣浮動裝置40水平輸送的玻璃基板1的輸送方向的前端，被位於阻止位置的制動單元30的擋塊31擋住，使第一驅動裝置23的伺服馬達24停止工作。第二驅動裝置54的伺服馬達55一開始驅動，伺服馬達55的驅動力就由第四帶傳動裝置56的主動定時齒輪56a、從動定時齒輪56b和同步皮帶56c傳遞到軸53，如圖3中箭頭A所示，由軸承52軸支撐的軸53使傾斜支架51從水平位置傾斜到傾斜位置。如圖7所示，旋轉編碼器57檢測出軸53的旋轉角度，並把旋轉編碼器57的檢測信號輸入給控制器100。控制器100根據從旋轉編碼器57輸入的檢測信號控制馬達44a的驅動速度，從而控制通過吹氣管41的噴嘴孔41a吹氣產生的空氣力。即，為了不使由傾斜裝置50的傾斜運動傾斜立起的玻璃基板1從第一和第二輸送機21、22脫離，要隨著玻璃基板1的傾斜角度(θ)使空氣力逐漸減小。
參照圖3和4，由傾斜裝置50的傾斜運動傾斜立起的玻璃基板1，利用自重在沿著第一和第二輸送機21、22的輥21b、22b滑動的同時下降。下降的玻璃基板1的下端在落在形成於第三輸送機61的輥61b上的槽61d中的同時受到支撐。此時，玻璃基板1的下端1a和上端1b的周緣部分，在作為夾緊區域所允許的8mm之內從下端1a和上端1b接觸到第一輸送機21的輥21b和第二輸送機22的輥22b。
參照圖1和3，在第三輸送機61的輥61b支撐玻璃基板1的下端1b時，根據控制器100的控制，制動單元30的致動器32被驅動，使擋塊從阻擋位置旋轉到解除位置。在第三驅動裝置62的伺服馬達63被驅動時，依靠伺服馬達63的驅動使軸64旋轉。軸64的旋轉力通過齒輪裝置65的主動齒輪65a和從動齒輪65b傳遞到第三輸送機61的輥61b，輥61b通過滾動運動將傾斜立起的玻璃基板1輸送到下遊。
然後，把由傾斜輸送裝置60的第三輸送機61輸送的玻璃基板1輸送到續接在系統底盤10下遊的排出側傾斜輸送裝置90上，排出側傾斜輸送裝置90依靠吹氣管91和輸送機92將玻璃基板1輸送到檢查處。採用從這種系統底盤10的上遊把水平輸送的玻璃基板1在傾斜立起狀態下輸送到下遊輸送作業，在清洗處和檢查處之間能連續地保持玻璃基板1的輸送，因此，能提高玻璃基板1的產量。
參照圖4和5，在根據本發明的檢查系統改變玻璃基板1的大小並進行輸送的情況下，為了符合玻璃基板1的大小，實施由間隔調節裝置70調節第一輸送機21和第二輸送機22之間的間隔的工作轉換(job change)。間隔調節裝置70的伺服馬達74一驅動，伺服馬達74的驅動力就能由第五帶傳動裝置75的主動輪75a、第一和第二從動輪75b及75c以及第一和第二帶75d及75e傳遞到第一和第二推動螺杆71a、71b。第一和第二推動螺杆71a、71b由安裝託架76的軸承77軸支撐；沿第一和第二推動螺杆71a、71b作螺旋運動的滾珠軸套72使第二輸送機22相對於第一輸送機21運動，並調節第一和第二輸送機21、22之間的間隔。此時，線性運動導向裝置73的滾珠軸套73b在沿導向杆73a滑動的同時，引導第二輸送機22的線性運動。為了能夠符合這種玻璃基板1的大小，利用對第一和第二輸送機21、22之間的間隔進行調節的工作轉換，就能夠非常容易且有效地實施向靈活性生產系統的轉換。
參照圖9和10，利用傾斜裝置50的傾斜運動，使裝載在傾斜支架51上的第一輸送機21、空氣浮動裝置40的吹氣管41和第三輸送機61傾斜，第二輸送機122就會固定在系統底盤10上。利用第一和第二輸送機21、122的輥21b、122b的滾動運動，把被輸送的玻璃基板1的上端1b支撐並排列在第二輸送機122的輥122b上形成的凸緣122d上。
使間隔調節裝置170的伺服馬達171驅動後使主動定時齒輪172旋轉時，卷繞在從動定時齒輪172和從動定時齒輪173上的同步皮帶174就開始移動，由連接件175和同步皮帶174連接的第二輸送機122的輸送機支架122a就和同步皮帶174一起連動，如圖9的箭頭B所示。線性運動導向機構176的滑塊176在沿導向杆176a滑動的同時引導第二輸送機122的線性運動。從而，能夠容易且有效地實施工作轉換來調節第一和第二輸送機21、122之間的間隔以符合玻璃基板1的大小。
以上雖然說明了本發明的優選實施例，但在不背離本發明權利要求保護的範圍內，本領域技術人員能作出各種改變。
權利要求
1.一種玻璃基板的輸送系統，其特徵在於，包括系統底盤；水平輸送裝置，設置在前述系統底盤上，能支撐玻璃基板兩端的周緣部分並進行水平輸送；傾斜裝置，使前述水平輸送裝置傾斜，以使裝載在前述水平輸送裝置上的前述玻璃基板能傾斜立起；傾斜輸送裝置，設置在前述傾斜裝置上，能支撐傾斜立起的前述玻璃基板的下端並進行輸送。
2.如權利要求1記載的玻璃基板的輸送系統，其特徵在於，前述水平輸送裝置具備第一輸送機，設置在前述系統底盤一側，且具有支撐前述玻璃基板一端周緣部分的多個輥；第二輸送機，與前述第一輸送機並列設置在前述系統底盤的另一側，且具有支撐前述玻璃基板另一端周緣部分的多個輥，第一驅動裝置，使前述第一和第二輸送機的輥旋轉。
3.如權利要求2記載的玻璃基板的輸送系統，其特徵在於，其中前述第一驅動裝置具備伺服馬達，安裝在前述傾斜裝置上，供給驅動力；主動軸，橫穿前述水平輸送裝置的第一和第二輸送機，自由旋轉地設置；第一帶傳動裝置，將前述伺服馬達的驅動力傳遞到前述主動軸；多個第二帶傳動裝置，將前述主動軸的旋轉力依次傳遞到相互靠近的前述第一輸送機的輥上；第三帶傳動裝置，將前述主動軸的旋轉力傳遞到前述第二輸送機的輥上。
4.如權利要求2或3記載的玻璃基板的輸送系統，其特徵在於，還具有間隔調節裝置，使前述第二輸送機相對於前述第一輸送機線性運動，以便調整前述水平輸送裝置的第一和第二輸送機之間的間隔。
5.如權利要求4記載的玻璃基板的輸送系統，其特徵在於，前述間隔調節裝置具備多個第一推動螺杆和第二推動螺杆，在前述傾斜裝置上部自由旋轉地相互並列設置；滾珠軸套，安裝成能沿前述第一和第二推動螺杆作螺旋運動，且固定在前述第二輸送機上；線性運動導向機構，引導前述第二輸送機的線性運動；第二驅動裝置，包括安裝在前述傾斜裝置上並供給驅動力的伺服馬達、和將前述伺服馬達的驅動力傳遞到前述第一和第二推動螺杆的第五帶傳動裝置。
6.如權利要求1或2記載的玻璃基板的輸送系統，其特徵在於，還具有制動單元，阻擋並排列由前述水平輸送裝置輸送的前述玻璃基板，前述制動單元包括擋塊，分別安裝在前述水平輸送裝置的下遊兩側，以能夠阻擋前述玻璃基板的輸送方向前端的兩側；以及致動器，使前述擋塊在阻擋前述玻璃基板的輸送的阻擋位置和允許輸送的解除位置之間轉動。
7.如權利要求1記載的玻璃基板的輸送系統，其特徵在於，還具有空氣浮動裝置，通過空氣吹送使裝載在前述水平輸送裝置上的前述玻璃基板浮升；前述傾斜裝置使前述空氣浮動裝置傾斜。
8.如權利要求7記載的玻璃基板的輸送系統，其特徵在於，其中前述空氣浮動裝置具備多個吹氣管，沿前述玻璃基板的輸送方向設置在前述傾斜裝置上部，且沿縱向形成有對著前述玻璃基板噴出空氣的多個噴嘴孔；鼓風機，產生供給前述吹氣管的空氣；空氣過濾器，過濾來自前述鼓風機的空氣並供給前述多個吹氣管。
9.如權利要求7或8記載的玻璃基板的輸送系統，其特徵在於，前述傾斜裝置具備裝載有前述水平輸送裝置和空氣浮動裝置的傾斜支架；使前述傾斜支架相對於前述系統底盤轉動的軸；第二驅動裝置，具有安裝在前述系統底盤上並供給能夠使前述軸旋轉的驅動力的伺服馬達、和將前述伺服馬達的驅動力傳遞到前述軸的第四帶傳動裝置；旋轉編碼器，檢測出前述軸的旋轉角度，以便控制前述第二驅動裝置伺服馬達。
10.如權利要求1記載的玻璃基板的輸送系統，其特徵在於，前述傾斜輸送裝置具備第三輸送機，具有支撐被前述傾斜裝置傾斜立起的前述玻璃基板下端的多個輥；第三驅動裝置，具有安裝在前述傾斜裝置上並供給驅動力的伺服馬達、安裝成能通過前述伺服馬達的驅動而旋轉的軸、將前述軸的旋轉力傳遞到前述第三輸送機的輥的齒輪裝置。
11.如權利要求1記載的玻璃基板的輸送系統，其特徵在於，還具備進入側水平輸送裝置，配置在前述系統底盤上遊，且具有將前述玻璃基板水平裝載在前述水平輸送裝置上並進行輸送的輸送機；排出側傾斜輸送裝置，配置在前述系統底盤下遊，且具有輸送從前述傾斜輸送裝置卸載的前述玻璃基板的吹氣管、和輸送機。
12.一種玻璃基板的輸送系統，其特徵在於，具備系統底盤；第一輸送機，沿前述玻璃基板的輸送方向設置在前述系統底盤一側，且具有支撐前述玻璃基板一端周緣部分的多個輥；第二輸送機，和前述第一輸送機並列設置在前述系統底盤的另一側，且具有支撐前述玻璃基板另一端周緣部分的多個輥，以便和前述第一輸送機協同作動使前述玻璃基板水平輸送；多個吹氣管，設置在前述第一輸送機和第二輸送機之間，以便沿前述玻璃基板的輸送方向吹送空氣使前述玻璃基板浮升；傾斜裝置，使前述第一輸送機和前述吹氣管傾斜，以使裝載在前述第一輸送機和第二輸送機上的前述玻璃基板傾斜立起；第三輸送機，設置在前述傾斜裝置上，並利用多個輥支撐傾斜立起的前述玻璃基板下端並進行輸送。
13.如權利要求12記載的玻璃基板的輸送系統，其特徵在於，還具有間隔調節裝置，使前述第二輸送機相對於前述第一輸送機線性運動，以便調節前述第一和第二輸送機之間間隔。
14.如權利要求13記載的玻璃基板的輸送系統，其特徵在於，前述間隔調節裝置具備設置在前述系統底盤上並供給驅動力的伺服馬達；通過前述伺服馬達的驅動進行旋轉的主動定時齒輪；配置在前述玻璃基板的輸送方向的橫向上的從動定時齒輪；卷繞在前述主動定時齒輪和從動定時齒輪上的同步皮帶；固定前述第二輸送機和同步皮帶的連接件；引導第二輸送機相對於前述系統底盤線性運動的線性運動導向機構。
全文摘要
本發明提供了使在水平方向裝載的玻璃基板在傾斜立起的狀態下卸載的玻璃基板的輸送系統。本發明玻璃基板的輸送系統包括系統底盤；水平輸送裝置，設置在前述系統底盤上，能支撐玻璃基板兩端的周緣部分並進行水平輸送；浮動裝置，通過空氣吹送使裝載在前述水平輸送裝置上的前述玻璃基板浮升；傾斜裝置，使前述水平輸送裝置傾斜，以使裝載在前述水平輸送裝置上的前述玻璃基板能傾斜立起；傾斜輸送裝置，設置在前述傾斜裝置上，能支撐傾斜立起的前述玻璃基板的下端並進行輸送。
文檔編號B65G13/00GK1506286SQ200310115668
公開日2004年6月23日 申請日期2003年10月31日 優先權日2002年10月31日
發明者李昌夏, 曹其成, 金聖撤, 金昔俊 申請人:三星康寧精密琉璃株式會社