具有減震特徵的流體軸承滑塊的製作方法
2023-09-23 07:38:15
具有減震特徵的流體軸承滑塊的製作方法
【專利摘要】本發明公開了一種具有減震特徵的流體軸承滑塊。構想了一種滑塊主體的裝置和關聯的方法，該滑塊主體定義了前端和後端的縱向範圍。流體軸承表面部分地由側軌形成，該側軌基本沿滑體主體縱向延伸並且接合至基本沿滑塊主體橫向延伸的橫軌。側軌和橫軌定義了正壓凹槽的至少一部分。在流體軸承表面定義出口，該出口與位於側軌一側的環境壓力流體流體連通，但是不與位於該側軌另一側的正壓凹槽流體連通。
【專利說明】具有減震特徵的流體軸承滑塊
【技術領域】
[0001]本發明公開了一種具有減震特徵的流體軸承滑塊。
【發明內容】
[0002]本發明的各實施例構想了一種具有滑塊主體的裝置，該滑塊主體定義了前端和後端處的縱向範圍。側軌具有基本沿滑塊主體縱向延伸的第一表面，並且軌部接合至橫軌，該橫軌具有基本沿滑塊主體橫向延伸的第二表面。第一和第二表面定義了正壓凹槽(positive pressure recess)的至少一部分。在側軌內定義一腔體，該腔體不與第一表面相交、但與和第一表面相對的側軌的另一縱向表面相交。
[0003]本發明的各實施例構想了一種方法，包括獲得具有渭塊主體的滑塊，該滑塊主體定義了前端和後端處的縱向範圍，該滑塊進一步具有側軌，該側軌包括基本沿滑塊主體縱向延伸的第一表面且軌部接合至橫軌，該橫軌包括基本沿滑塊主體橫向延伸的第二表面，第一和第二表面定義了正壓凹槽的至少一部分，並且滑塊在側軌中具有一腔體，該腔體不與第一表面相交、但與和第一表面相對的側軌的另一縱向表面相交；且一旦通過移動介質創建了流體流則使滑塊飛離該介質。
[0004]本發明的各實施例構想了一種具有滑塊主體的裝置，該滑塊主體定義了前端和後端處的縱向範圍。通過側軌來部分地形成流體軸承表面，該側軌基本沿滑塊主體縱向延伸且接合至基本沿滑塊主體橫向延伸的橫軌。側軌和橫軌定義了正壓凹槽的至少一部分。在流體軸承表面定義了出口，與位於側軌一側上的環境壓力流流體連通，但是不與側軌另一側上的正壓凹槽流體連通。
[0005]附圖簡要說明
[0006]圖1為根據本發明的各實施例構造的數據存儲設備的等比例圖。
[0007]圖2為根據本發明的各實施例構造的圖1的數據存儲設備中的滑塊的圖解平向圖。
[0008]圖3為根據本發明的實施例的圖2的滑塊的一部分的橫截面圖。
[0009]圖4為類似於圖3、但示出本發明的等效可選實施例的橫截面圖。
[0010]圖5為類似於圖3、但示出本發明的等效可選實施例的橫截面圖。
[0011]圖6為圖2中的滑塊的側軌中的一個腔體的等比例圖。
[0012]圖7為類似於圖6、但示出本發明的等效可選實施例的等比例圖。
[0013]圖8為類似於圖6、但示出本發明的等效可選實施例的等比例圖。
[0014]圖9為圖2的滑塊中的另一個腔體的等比例圖。
[0015]圖10為類似於圖2、但示出滑塊各區域的圖解平面示圖，該各區域是被處理為降低流體粘附的表面。
[0016]圖11圖解地描述了具有明顯冠狀的滑塊。
[0017]圖12圖解地描述了具有明顯十字線(cross curve)的滑塊。【具體實施方式】
[0018]盤存儲設備在數據存儲盤上存儲數字地編碼的信息。頭從盤讀取數據或者將數據寫入盤，該盤繼而由馬達旋轉。頭包括換能器元件，諸如用於讀或者寫操作的磁阻、磁-光、或者感性元件。致動器組件相對於盤上所選數據軌部而移動頭以傳輸數據。
[0019]一般，頭包括耦合至頭懸架組件的滑塊。盤的旋轉創建了衝擊滑塊上的空氣動力學特徵的流體流，該滑塊被設計為產生足夠創建期望升力的壓力分布。升力與來自懸架組件的載荷力相反。這些抵消力的所得平衡產生了從盤106表面開始的滑塊的期望飛行高度。當盤存儲設備受到外部震動事件(諸如掉落或者突然顛簸盤驅動器存儲設備)影響時，可改變標稱飛行高度。這樣的操作性震動可導致頭-盤接觸、可能導致性能損失或者更加糟糕、存儲的數據或者存儲數據的能力的損失。由於頭在極小的飛行高度上飛行的事實，防止頭-盤接觸的需求進一步加劇。
[0020]施加至盤驅動器的操作性震動一般導致脈衝激勵；即，短時段的突加載荷。盤驅動器底盤和支架系統的結構性阻尼，通過隨時間擴展該脈衝而減小脈衝的幅度。這一脈衝激勵最終在淺凹點(dimple point)傳輸至滑塊，引起擠出滑塊與盤之間的空氣的偏差。結果，滑塊經歷高和低預載荷的交變載荷、俯仰力矩、以及翻轉力矩。因此，故障可歸於在正負載條件期間的後邊緣(TE)滾落和在負負載條件期間前邊緣(LE)摔落。
[0021]對於在其中可能發生外部震動事件的應用中，操作性震動可能是對於記錄頭的可靠性能的嚴重限制性因素，因為極低的飛行高度導致在操作性震動事件期間可發生頭-盤接觸的增加的可能性。此處描述了涉及改進震動穩鍵性的各實施例，特別是在短脈衝寬度的震動輸入的臨界情況下。
[0022]圖1為表徵為盤驅動器100的數據存儲設備的等比例圖，其中，本發明的實施例是有用的。在本說明書中使用盤驅動器100是說明性的，並且不是對要求保護的主題的枚舉或者任何方式的限制。在這些說明性的實施例中，盤驅動器100能夠是盤盤驅動器、光碟驅動、磁光碟驅動以及類似物。
[0023]盤驅動器100包括底座102。盤驅動器100進一步包括通過盤夾108安裝為在主軸馬達109上進行選擇性旋轉的一個或多個盤106。每個盤106具有記錄表面，其在數據傳輸關係中與配合頭110關聯。在圖1中所示說明性實施例中，每個頭110由懸架組件112支承，該懸架組件112繼而附連至致動器116的跟蹤存取臂114。圖1中示出的致動器116為已知為旋轉動圈式致動器類型，並且包括通常在118處示出的音圈馬達(VCM)。音圈馬達118使得致動器116和所附連的頭110圍繞樞轉軸120旋轉，以沿著盤的最內數據軌部和最外數據軌部之間的弧形路徑來定位頭110。基於由頭110讀取格式化到盤106的伺服數據而生成的信號，由伺服電子元件128來驅動音圈馬達118。每個頭110具有流體軸承滑塊表面(或者「滑塊」)。盤106的高速旋轉生成圍繞盤106的操作流體(諸如，空氣、氦氣以及類似物)的向外螺旋流。通過流體流衝擊滑塊，空氣動力學地抬起每個頭110，以使得頭110飛離各自的盤106的記錄表面小段距離(「飛行高度」)。
[0024]圖2為根據本發明的說明性實施例構造的頭110的滑塊部分(面向各自的盤106的表面)的圖解平面描述。一般地，該滑塊設置有空氣動力學特徵，該空氣動力學特徵使能頭110飛得極接近盤106，使得能夠通過該較小飛行高度換能短波長、高頻信號，從而在盤106上存儲高密度數據/從盤106取回高密度數據。[0025]一般地，滑塊包括結構主體140，其一般地為矩形主體140，該矩形主體140定義了相對於由箭頭146所指示的流體流的方向的前端142和後端144。兩端142、144定義了橫跨縱軸148的主體140的縱向範圍。
[0026]空氣軸承表面(「ABS」)150(由剖面線指示)從主體140的表面152延伸，並且基本與之平行。ABS150的一部分由基本沿主體140縱向延伸的側軌153形成。ABS150的另一連續部分由結合至側軌153並且基本沿主體140橫向延伸的橫軌154形成。另一軌部156連接到橫軌154的一端，並且基本沿主體140縱向延伸。軌部153、154、156具有從滑塊表面152向外突起的端面以定義正壓凹槽158。正壓凹槽158通過在方向146中沿側軌153、156流動並且接著衝擊橫軌154的流體而正向受壓，藉此相對於滑塊生成推動頭110離開盤106的升力。
[0027]將意識到，可設置空氣動力學過渡特徵以減少流入正壓凹槽158和在其外的流體創建的湍流。圖3示出如所描述的側軌153的放大的橫截面示圖，其一般地具有向外突起、基本上垂直於主體140的表面152、並藉此部分地形成正壓凹槽158的表面155。在這些實施例中，尖銳稜角過渡比圖4的方形-階梯過渡表面162或者圖5的角-階梯過渡表面164更可能生成湍流。
[0028]再次參考圖2，盤106的旋轉以方向146將流體流動從滑塊的前端142引導向後端144。流體衝擊ABS150以創建流體承載壓力分布，其將升力施加至滑塊並繼而施加至頭110。該定義頭110相鄰盤106表面的飛行高度做貢獻方面，升力與經由在載荷點(在該載荷點附近，頭110俯仰和翻轉)處的懸架組件112提供的載荷力相反。ABS150專門設計用於給與主動和被動條件兩者相關的期望頭-盤間距提供壓力分布。主動條件是指諸如通過熱致動或者類似物，頭100被行動從而減少和/或控制飛行高度中的變化。當頭110被熱地或者通過某些其他方式時沒有如此致動，存在被動條件。
[0029]在側軌153上形成腔體(有時也稱作「出口」)168。在這些說明性實施例中，腔體168位於滑塊的前端部分的側軌153中；即，在前端142與前端142和後端144之間的中點軸180之間。圖6為延伸到側軌153中的腔體168的經放大的具體示圖，但是腔體168部分地由封閉端171形成，使得腔體168不與形成正壓凹槽158的一部分的側軌153的表面155相交。注意，在這些實施例中，腔體168的深度在貫穿側軌153的整個厚度上一致，使得滑塊表面152形成腔體168的整個底部。
[0030]腔體168的相對的開口端與和表面155相對的側軌153的另一表面170相交，表面155比相對的(在這些實施例中基本上平行的)表面170更靠近縱軸148。藉此，腔體168與環境流體流體連通，意味著流體在方向146中流動，但是其不會衝擊側軌153，並且與正壓凹槽158相反。環境流體比正壓凹槽158中包含的流體具有相對更低的壓力。腔體168不能使得正壓凹槽158中相對更高壓力的流體與通過側軌153的環境流體流體連通。
[0031]在這些說明性實施例中，腔體168由非平行的表面180、182來定義，使得開口端比封閉端更寬。中心軸184使得開口端與方向146中流動的到來的環境流體成一定角度，有助於將環境流體引入腔體168。操作性震動(諸如外部激勵)改變了由在方向146中流動並且衝擊ABS150的流體所創建的壓力分布。結果可以是劣化的性能或甚至對於頭110和/或盤106的破壞。腔體168用於對由側軌153形成的ABS150的一部分動態地施加壓力。通過在頭110上升方向中提供源自外部衝擊事件的增強的滾落阻力，有利地對操作性震動的不利影響進行阻尼。阻尼特徵僅僅響應于震動事件而激活，有利地在其他情況下不會不利地影響滑塊的ABS150性能。
[0032]中心軸184的最優角取向是相關滑塊的標稱歪斜(skew)或者盤形成-因子來獲得的。歪斜是縱軸148與被構造為用於所所選數據軌部的切線之間的相對偏移，軌部其中頭110用於寫數據到該數據軌部中/從該數據軌部讀取數據。歪斜隨著數據軌部的不同的徑向位置而變化。最優角取向力圖使得當頭110在最裡和最外存儲軌部之間移動時，在歪斜值範圍上，標稱飛行、傾斜、和滾動行為儘可能保持不變。
[0033]腔體168相對於滑塊中點180的縱向偏移影響了操作性震動事件期間的動態側傾和縱向穩定性。選擇腔體168的縱向偏移距離和寬度、腔體168的深度、以及腔體168中的階梯數的所有，從而使得後邊緣滾落模式和前邊緣摔落模式兩者中的震動穩健性最優化。
[0034]圖7描述了與圖6的實施例類似的實施例，但是由非線性表面171』、180』、182』定義的腔體168』。在等同可選實施例(未描述)中，腔體168可由像圖6中描述的那些的線性表面和像圖7中描述的那些的非線性表面的組合來定義。圖8描述了類似於圖6的那些的其他實施例，但是由中間表面186形成階梯狀的腔體168深度，該中間表面186定義了比滑塊表面152更淺的深度。階梯的深度能夠有利地消除由流過腔體的流體流產生的湍流，並且因此可可選地由諸如上述圖3-5描述的那些弧形或者有角度的過渡表面來構造。多個階梯的深度和階梯數量的差異決定了響應於激勵而施加至頭110的動態阻尼的幅度。
[0035]因為相比內徑，盤的表面速率在外徑處更大，所以，在徑向地在盤106上移動中，滑塊的前端上的升力變化。補償升力中的這一變化的有效方式是用自負載負壓力滑塊特徵來抵消。補償滑塊上的正向和負向壓力之間的變化導致最接近於在所有盤軌部半徑上提供恆定飛行高度。
[0036]關於這一點，並且回到圖2，在這些說明性實施例中，縱向側軌190在滑塊的後端部分上形成ABS150的另一部分；即，在滑塊的中點軸180和後端144之間。側軌190接合至另一橫向的橫軌192，該橫軌192繼而接合至另一縱向軌部194。軌部190、192、194具有從滑塊表面152向外突起的端面，以定義負壓凹槽196。負壓凹槽196由首先流過橫軌192然後沿方向146中的側軌190、194流動的流體來施加負壓，藉此在滑塊上產生真空效果，促使頭110朝向盤106。
[0037]另一腔體(或者「出口 」)200形成在滑塊的後端部分中的側軌190中。圖9為腔體200的放大的具體示圖，該腔體200延伸到側軌190中，但是由封閉端202形成，使得腔體200不與形成負壓凹槽196的一部分的側軌190的表面204相交。注意到，在這些實施例中，腔體200的深度在側軌190的整個厚度上一致，使得滑塊表面152形成腔體200的整個底部。但是，在等同可選實施例中，如以上關於圖7和8分別描述的，腔體能夠具有一個或更多個非線性表面並且是階梯的。
[0038]腔體200的相對的開口端與和表面204相對的側軌190的另一表面206相交，表面204比相對的(在這些實施例中基本上不平行)表面206更靠近縱軸148。藉此，腔體200與方向146中流過的環境流體流體連通，該環境流體具有比由流過負壓凹槽196的流體創建的空間具有相對更高的壓力。腔體200使得負壓凹槽196中的相對更低壓力的流體與通過側軌190的環境流體並不流體相通。
[0039]在這些說明性實施例中，腔體200由基本上平行的表面208、210來定義，該基本上平行的表面208、210沿著中心軸212延伸，該中心軸212與方向146中的環境流體成一定角度，有助於將環境流體引入腔體200。但是，要求保護的發明不限於那些說明性實施例。同樣，操作性震動(諸如外部激勵)改變了由方向146中的流體流對於ABS150創建的壓力分布。腔體200用作對由側軌190形成的ABS150的一部分動態地施加壓力。通過動態側傾穩定性對震動效果進行阻尼且防止後邊緣翻轉事件，有利地對操作性震動的不利影響進行了阻尼。另一優點是僅響應于震動事件來激活阻尼，從而有利地，在其他情況下並不對ABS的性能不利。
[0040]回到圖2，在這些說明性實施例中，在縱軸148的另一側上的相對的縱向側軌220類似地形成位於滑塊的後端部分上的ABS150的另一部分。側軌220接合至另一橫向橫軌222，其繼而接合至另一縱向軌部224。軌部220、222、224具有從滑塊表面152向外突起的端面，以定義另一負壓凹槽226，其與以上所討論的負壓凹槽196起相同的作用。在等同可選實施例(未示出)中，側軌190、220可接合至相同橫軌，藉此每個側軌190、220形成相同負壓凹槽的不同的部分。
[0041]另一腔體(或者「出口 」)228形成在滑塊的後邊緣部分中的側軌220中。與腔體200成鏡像，腔體228延伸到側軌220中，但是由封閉端形成，使得腔體228不與形成負壓凹槽226的一部分的側軌220的表面相交。但是，如在這些說明性實施例中清楚地描述的，腔體228比腔體200更長，使得腔體200、228圍繞縱軸148非對稱。類似腔體200，腔體228的深度能夠延伸完全通過側軌220，或者可被階梯成具有兩個或者更多個不同的深度。
[0042]腔體228的相對的開口端與側軌220的最外表面相交。藉此，腔體200與方向146中流動的環境流體流體連通，該環境流體相比於負壓凹槽226中包含的流體具有相對更高的壓力。腔體200與負壓凹槽226中的相對更低的壓力流體並不流體連通，其中環境流體通過側軌220。
[0043]如上所討論的，腔體228與方向146中流動的環境流體成一定角度，有助於將環境流體引入腔體228。同樣，操作性震動(諸如外部激勵)改變了衝擊ABS150的方向146中的流體流創建的壓力分布。腔體228用於對由側軌220形成的ABS150的一部分動態地施加壓力。這有利地動態地響應於操作性震動的不利影響，通過增強的動態側傾穩定性來阻尼對震動的響應以防止後邊緣滾落，並且在負向上載荷上提供了增強的動態滾動阻力。另一優勢在於僅響應于震動事件來激活阻尼，並且藉此在其他情況下有利地不對ABS性能不利。
[0044]通過減少在ABS150的所選區域上的粘附力、結合腔體168、200、228的使用，可進一步增強操作性震動性能。粘附力作用在隨著滑塊變得離盤106更近而呈現的較大的ABS150區域上。這些力隨著滑塊-盤間隙的減少而迅速增加。當滑塊接近到距離盤106 —到二納米內時，這可導致突然吸合。鑑於發生在操作性震動事件期間的較大外部負載，粘附力顯著地減少了滑塊間隙，使得更可能可發生頭110和盤106之間的不想要的接觸。
[0045]圖10圖解地示出(通過剖面線圖案)ABS150的一部分，對於部分，可施加所選表面處理以減少粘附力，並且藉此通過貢獻更低的翻轉力矩並且將樞轉軸點推向中央墊區域，致力於有效地平衡翻轉力矩和俯仰力矩，從而增加了後邊緣滾落模式中的震動穩健性。表面處理可包括施加合適的表面塗層以減少有效表面能量並且通過盤潤滑劑來減少表面溼潤性、和/或諸如通過紋理或類似物來增加表面粗糙度。[0046]圖11圖解地示出滑塊的增強的冠形，帶來了滑塊與盤106之間的前邊緣間隙餘量250的增益。在前邊緣處增加的間隙防止了由於在操作性震動負載的負向周期期間發生的前邊緣摔落而帶來的故障，並且因此增加了操作性震動閾值。增加間隙還帶來了最接近前邊緣142的滑塊的一部分上的更低的粘附力，因此減少了在震動事件期間前邊緣142摔落引起的粘附頃向。
[0047]圖12圖解地描述了增強的十字線滑塊，帶來了後邊緣側軌190、220處的滑塊-盤間隙極限252中的增益。後邊緣側軌190、220處的增加的間隙防止了由於在操作性震動負載的正向周期期間發生的後邊緣滾落而帶來的故障，並且因此增加了操作性震動閾值。增加間隙還導致滑塊的側軌部分190、220上的更低的粘附力，因此減少了在震動事件期間側軌滾落引起的粘附傾向。
[0048]通過結合如這裡所描述的一個或者更多個腔體，粘附力的減小、增強的冠形、以及增強的十字線，操作性震動性能能夠相對基線性能得到提高，因此提高了盤驅動器的可靠性。
[0049]將理解到，即使在之前的描述中已經結合結構和功能的細節給出了各同方面的大量的特徵和優點，但是本公開僅僅是說明性的，在細節上，特別是在結構和安排的事物上，可以作出改變，到表達所附權利要求書的的術語的廣泛的通用含義所指示的全部範圍。
【權利要求】
1.一種裝置，包括: 滑塊主體，定義了前端和後端的縱向範圍； 側軌，具有基本沿所述滑塊主體縱向延伸的第一表面，並且所述側軌接合至具有基本沿所述滑塊主體橫向延伸的第二表面的橫軌，所述第一表面和第二表面定義了正壓凹槽的至少一部分；以及 位於所述側軌中的腔體，所述腔體不與所述第一表面相交，但與所述側軌的和所述第一表面相對的另一縱向表面相交。
2.如權利要求1的裝置，其中所述腔體在前邊緣與前邊緣和後邊緣之間的中點之間的軌部中。
3.如權利要求1的裝置，其中所述側軌表徵為第一側軌，並且所述橫軌表徵為第一橫軌，所述裝置包括: 第二側軌，具有基本沿所述滑塊主體縱向延伸的第三表面並且所述第二側軌接合至具有基本沿滑塊主體橫向延伸的第四表面的第二橫軌，所述第三和第四表面定義了負壓凹槽的至少一部分；以及 位於第二側軌中的第二腔體，所述第二腔體不與所述第三表面相交，但與所述第二側軌的和所述第三表面相對的另一縱向表面相交。
4.如權利要求3的裝置，其中所述第二腔體在所述後邊緣與所述前邊緣和所述後邊緣之間的中點之間的第二軌部中。`
5.如權利要求3的裝置，包括: 第三軌部，圍繞所述滑塊的縱軸和所述第二軌部相對，所述第三軌部具有基本沿所述滑塊主體縱向延伸的第五表面且所述第三軌部接合至具有基本沿所述滑塊主體橫向延伸的第六表面的第三橫軌，所述第五和第六表面定義了另一負壓凹槽的至少一部分；以及 位於第三側軌中的第三腔體，所述第三腔體不與所述第五表面相交，但與所述第三軌部的和所述第五表面相對的另一縱向表面相交。
6.如權利要求5的裝置，其中所述第三腔體在所述後邊緣與所述前邊緣和所述後邊緣之間的中點之間的第三軌部中。
7.如權利要求1的裝置，其中所述第一表面比另一縱向表面更靠近縱軸。
8.如權利要求1的裝置，其中所述第一表面和另一縱向表面基本上彼此平行。
9.如權利要求1的裝置，其中所述腔體由沿著第一中心軸的彼此相對的不平行表面來定義。
10.如權利要求1的裝置，其中所述腔體由沿著第一中心軸延伸的相對表面來定義，所述相對表面的至少一個的至少一部分是非線性的。
11.如權利要求1的裝置，其中所述腔體定義了兩個或者更多個不同的深度。
12.如權利要求5的裝置，其中所述第二和第三腔體圍繞所述滑塊主體的縱軸非對稱。
13.—種方法,包括: 獲得具有滑塊主體的滑塊，所述滑塊主體定義了前端和後端的縱向範圍，所述滑塊進一步具有側軌，所述側軌包括基本沿滑塊主體縱向延伸的第一表面且接合至包括基本沿所述滑塊主體橫向延伸的第二表面的橫軌，所述第一和第二表面定義了正壓凹槽的至少一部分，並且所述滑塊具有位於所述側軌中的腔體，所述腔體不與所述第一表面相交，但是與所述側軌的和第一表面相對的側軌的另一縱向表面相交；以及 使得一旦通過移動介質創建了流體流則使所述滑塊飛離所述介質。
14.一種裝置，包括: 滑塊主體，定義了前端和後端處的縱向範圍； 流體軸承表面，由側軌部分地形成，所述側軌基本沿所述滑塊主體縱向延伸且接合至基本沿所述滑塊主體橫向延伸的橫軌，所述側軌和所述橫軌定義了正壓凹槽的至少一部分；以及 定義在所述流體軸承表面內的出口，所述出口與位於所述側軌一側上的環境壓力流體流體連通，但是不與位於所述側軌另一側上的正壓凹槽流體連通。
15.如權利要求14的裝置，其中所述流體軸承表面部分地由所述第二側軌來形成，所述第二側軌基本沿所述滑塊主體縱向延伸且接合至基本沿所述滑塊主體橫向延伸的第二橫軌，所述第三和第四表面定義了負壓凹槽的至少一部分，所述裝置包括定義在所述流體軸承表面中的第二出口，所述第二出口與位於所述第二側軌一側上的環境壓力流體流體連通，但是不與位於所述第二側軌的另一側上的負壓凹槽流體連通。
16.如權利要求15的裝置，其中所述流體軸承表面部分地由圍繞滑塊縱軸與所述第二側軌相對的第三側軌形成，所述第三側軌基本沿所述滑塊主體縱向延伸且接合至基本沿所述滑塊主體橫向延伸的第三橫軌，所述第三側軌和第三橫軌定義了另一負壓凹槽的至少一部分，所述裝置包括定義在所述流體軸承表面中的第三出口，所述第三出口與位於所述第三側軌一側上的環境壓力流體流體連通，但是不與位於所述第三側軌另一側上的另一負壓凹槽流體連通。
17.如權利要求14的裝置，其中所述出口由沿第一中心軸彼此相對的非平行表面來定`義。
18.如權利要求14的裝置，其中所述出口由沿第一中心軸延伸的相對的表面來定義，所述相對的表面的至少一個的至少一部分是非線性的。
19.如權利要求14的裝置，其中所述出口由兩個或者更多個不同的深度來定義。
20.如權利要求5的裝置，其中所述第二和第三出口圍繞所述滑塊主體的縱軸非對稱。
【文檔編號】G11B17/32GK103871431SQ201310757172
【公開日】2014年6月18日 申請日期:2013年12月5日 優先權日:2012年12月7日
【發明者】A·拉賈賽克哈蘭, N·拉馬克裡希南, J·R·克洛尼克 申請人:希捷科技有限公司