液態軸承、液態軸承型碟片驅動器及液態軸承的製造方法

2023-09-23 04:22:15 2

專利名稱：液態軸承、液態軸承型碟片驅動器及液態軸承的製造方法
技術領域：
本發明涉及液態車由承(fluid dynamic bearing)。
背景技術：
在磁碟驅動器及類似產品中，液態軸承馬達用作碟片旋轉馬達。傳統的 液態軸承馬達經常採用這樣的軸承結構其中，通過軸套來旋轉地支撐軸。 在這樣的軸承結構的實例中，圓柱狀的軸插入到圓筒狀軸套中的開口中，這 樣軸才能夠旋轉。因為碟片驅動馬達需要很高的旋轉跳動精度(rotational runout accuracy)(=低非重複性跳動，low NRRO)，所以高剛度、安靜和 長壽命的液態軸承經常用作軸承結構。液態軸承包括軸承液，比如設置在軸 套和軸之間的潤滑油，這樣軸可以旋轉而不與軸套有任何直接接觸。
用於磁碟驅動器中的液態軸承馬達的軸例如通常由馬氏體不鏽鋼形成， 馬氏體不鏽鋼具有高剛度和相對良好的機械可加工性。套筒軸承(sleeve bearing)通常由銅材料形成，銅材料減少與軸的膠合(seizing)(粘附， adhesion)並且具有良好的機械加工性。
液態軸承的特性在環境溫度的影響下會改變。具體地，當環境溫度改變 時，軸承液的粘度也會變化，導致軸承剛度變化和轉矩損失。當軸承液(油) 的粘度為n，軸的旋轉角速度為"，軸的直徑為d，且軸和軸套之間的間隙 是c時，軸承剛度和轉矩損失如下所示
軸承剛度^ n"d4/c3
轉矩損失"n "d4/c
因為軸承液的粘度隨環境溫度變化，所以液態軸承馬達的特性也會變化。
具體地，當環境溫度升高時，軸承液的粘度下降，從而軸承剛度降低。
當環境溫度降低時，軸承液的粘度上升，從而轉矩損失增大。
因此，馬達的性能會受與環境溫度的變化相關聯的軸承液粘度的很大影響。當需要將軸承液粘度保持為常數而響應溫度變化時，在現階段的技術條 件下，具有這種特性的軸承液的研發在技術上很難。
在己經提出的液態軸承的結構中，減小了軸承液的粘度變化對馬達性能 的影響。在這種液態軸承結構中，軸套和軸的材料選擇要使得軸套的線性膨 脹係數小於軸的線性膨脹係數。具體地，通過馬達特性的變化可以消除由於 軸承液的粘度變化引起的馬達特性的變化。
更具體地，當環境溫度升高時，軸和軸套之間的間隙減小，從而增大軸 承剛度。
當環境溫度降低時，軸和軸套之間的間隙增加，從而減小轉矩損失。 因此，依據軸和軸套之間的線膨脹係數的差別，自動調節軸和軸套之間 的間隙，以避免軸承液粘度變化的影響。為此目的，己提出材料的多種組合。
例如，日本公開專利申請No.8-161820公開一種液態軸承，其中，軸由 奧氏體不鏽鋼製成，而軸套由鐵素體或者馬氏體不鏽鋼製成。
在另一個實例中，日本公開專利申請No.5-118322公開一種液態軸承， 其中，軸由鋁合金製成，而軸套由鐵合金製成。
此外，日本公開專利申請No.9-17767公開一種液態軸承，其中，軸由不 鏽鋼製成，而軸套由殷鋼(鐵-鎳合金)製成。
在另一個例子中，日本公開專利申請No.5-118322公開一種液態軸承， 其中，軸由馬氏體不鏽鋼製成，而軸套由陶瓷製成。
軸和軸套的這種材料組合在以下方面有缺點
當用不鏽鋼製作軸和軸套時，同種金屬彼此之間的滑動或者接觸可能會 產生膠合(粘附)。
當用鋁合金做軸時，軸可能不能獲得足夠的剛度。
當用殷鋼(Invar)材料做軸套時，由於殷鋼材料在市場上較少使用且因 此價格昂貴，就會增加成本。此外，殷鋼材料的機械加工性能差，所以很難 在軸套內表面中形成動壓槽(dynamic pressure groove)(人字形槽)。
由於陶瓷價格昂貴，所以當用陶瓷做軸套時會增加成本。陶瓷的機械加 工性能也不好，所以很難在軸套內表面形成動壓槽(人字形槽)。
因此，關於馬達剛度、尺寸精度、機械加工性能或者成本，已提出的軸 和軸套的材料的多種組合在實際應用中存在問題。

發明內容
本發明的主要目的是克服前述的問題。本發明更具體的目的是提供一種 液態軸承馬達，其中可以消除由環境溫度變化引起的軸承液粘度變化導致的 馬達的性能的變化。本發明的另一個目的是提供一種使用該液態軸承馬達的 碟片驅動器。
在一個方案中，本發明提供一種液態軸承，包括軸套，其具有軸插入 孔；軸，其旋轉地插入軸套內的軸插入孔；以及軸承液，其設置於軸套內的 軸插入孔的內表面和軸之間。軸由選自由鋼、鐵合金材料、鋁合金材料以及 銅合金材料構成的群組中的材料製成，而軸套由鈦材料形成。
在另一個方案中，本發明提供液態軸承馬達，其包括上述液態軸承。軸 固定在轉子上而軸套固定在定子上。
在另一個方案中，本發明提供碟片驅動器，其包括作為碟片旋轉馬達的 上述液態軸承馬達。
在另一個方案中，本發明提供了一種製造液態軸承的方法，該液態軸承 旋轉地支撐軸。該方法包括步驟形成軸，該軸由選自由鋼、鐵合金材料、 鋁合金材料以及銅合金材料構成的群組中的材料製成；用鈦材料製造軸套， 該軸套旋轉地支撐軸；以及，通過蝕刻工藝在軸套內的軸插入孔的內表面上 形成動壓槽。
根據本發明，由於軸套由鈦材料製成，所以軸和軸套之間的間隙以這樣 一種方式變化，消除由溫度變化引起的軸和軸套之間軸承液粘度變化所帶來 的影響。因此，可以降低軸承液的粘度變化對馬達性能的影響，從而可以在 大的溫度範圍內獲得穩定的馬達性能。


參照說明書和附圖，本發明的其它目的、特徵和優點將會更清楚，其中 圖1示出根據本發明的實施例的液態軸承馬達的剖視圖。 圖2示出圖1所示的實施例的軸套的部分剖視立體圖。 圖3示出用於蝕刻軸插入孔的內表面的光掩模設備(photomask apparatus)的結構。圖4示出使用圖3所示的光掩模設備在圖2所示的軸套通孔的內表面上
形成運壓槽圖案的工藝流程圖。
圖5示出在掩模構件的外表面上形成曝光圖案的工藝流程圖。 圖6示出通過圖5的工藝形成曝光圖案的方法。 圖7示出形成在鈦材料上的細槽圖案。
圖8示出通過表面粗糙度測試儀測得的成形後的槽的輪廓的結果；禾口 圖9示出使用鈦軸套的液態軸承的特性和使用傳統材料製成的軸套的液 態軸承的特性對照表。
具體實施例方式
下文中，參照附圖描述本發明的實施例。
參照圖1，其描述根據本發明的實施例的液態軸承馬達。圖1示出根據 本實施例的液態軸承主軸馬達的剖視圖。圖1中所示的液態軸承主軸馬達用 於使碟片在碟片驅動器中旋轉，比如磁碟驅動器。
圖1中，軸2旋轉地插入軸套4的軸插入孔4a中。軸套4固定在定子 構件6上，定子構件6上安裝有定子線圈8。
軸2的上端從軸套4的軸插入孔4a中凸出並固定到轉子構件10上，以 使轉子構件10可以圍繞軸2旋轉。轉子構件10具有凸緣部10a，該凸緣部 10a沿軸2的軸向延伸。在凸緣部10a內側上，磁鐵12相對於定子線圈8固 定，該定子線圈8以小間隙連接到定子構件6上。
當電流流過定子線圈8時，轉子磁鐵12中產生旋轉力，由此轉子構件 10圍繞軸2旋轉。因此，可以旋轉連接到轉子構件10的凸緣部10a上的磁 盤14。通過提供磁頭和用於驅動靠近磁碟14的該磁頭的驅動單元，本實施 例用作磁碟驅動器。
在本實施例中，軸2由馬氏體不鏽鋼製成，比如SUS420J2。經常用作 軸材料的馬氏體鏽鋼SUS420J2具有優良的剛度、良好的機械加工性和耐腐 蝕特性。馬氏體不鏽鋼SUS420J2的線性膨脹係數為10.3x10—6/k。然而，軸2 的材料不局限於馬氏體不鏽鋼SUS420J2。例如，軸材料可以是不鏽鋼而不 是馬氏體不鏽鋼；是鋼而不是不鏽鋼；是鐵合金材料；是鋁合金材料或者銅 合金材料。具體地，軸2可以由具有比下述鈦材料更大的線性膨脹係數的金屬材料製成。
在本實施例中，軸套4由鈦材料製成。鈦材料用作軸套4具有足夠的剛 度，並且在金屬中它的線性膨脹係數較小(8xl0—6/k)。鈦材料也適用於作為 軸套材料，因為鈦材料的耐化學性好並且可以抵抗例如軸承液(油)中的添 加劑所帶來的侵蝕這樣的失效。通過使用鈦材料來作為軸套4的材料，可以 將軸套4的線性膨脹係數製得與軸2相比足夠的小。因此，當軸2和軸套4 的溫度升高時，可以減小軸2和軸套4的軸插入孔4a之間的間隙。當軸2 和軸套4的溫度降低時，可以增大軸2和軸套4的軸插入孔4a之間的間隙。
具體地，當溫度升高時，供應到軸2和軸套4的軸插入孔4a之間的間 隙中的軸承液(油)的粘度降低，降低了軸承的剛度；然而軸2和軸套4的 軸插入孔4a之間的間隙減小，增加了軸承剛度。因此，消除了由於溫度升 高引起的軸承特性的變化，從而減小了馬達性能的改變。
此外，當溫度降低時，供應到軸2和軸套4的軸插入孔4a之間的間隙 的軸承液(油)的粘度升高，增大了轉矩損失；然而軸2和軸套4的軸插入 孔4a之間的間隙增大，減小了轉矩損失。因此，消除了由於溫度降低引起 的軸承特性的變化，從而減小了馬達性能的改變。
在軸2和軸套4的軸插入孔4a的內表面之間，供應有軸承液，比如潤 滑油。在軸2和軸套4之間的軸承液中，通過軸2的旋轉產生動壓。因此， 軸2在軸套4的軸插入孔4a內旋轉，同時軸2的外表面始終覆蓋有軸承液。
如圖2所示，在軸套4的軸插入孔4a的內表面上形成有動壓槽4b，以 作為在軸承液中產生動壓的方法。動壓槽4b， 一般選用人字型槽，包含很多 的細槽。依據液態軸承的多種狀況，動壓槽4b的尺寸可能不同。例如，很 多10ym深的V型槽以100"m的間距排列，以使每個槽的尖部都朝向軸的 旋轉方向。
因為動壓槽都是細槽而且需要形成在通孔4b的內表面上，所以動壓槽 的形成很難。此外，當軸套4由鈦材料形成時，鈦材料難以加工就成為另一 個問題。
在研究了多種鈦材料的微加工方法之後，本發明發現可以通過一種特殊 的蝕刻工藝形成動壓槽4b，如下所述。
在蝕刻工藝中，不透光層，即抗蝕劑(resist)，形成於掩模表面，然後進行曝光、顯影和蝕刻步驟，以在掩模表面形成負正翻轉圖形
(negative-positive inverted pattern)。在被加工元件(軸套4)的圖案(動壓 槽4b)要形成的位置處，形成不透光層，即抗蝕劑。將掩模插入被加工元件
(軸套4)內，進行曝光，以將掩模圖案轉印到抗蝕劑上。顯影抗蝕劑後， 進行蝕刻，以將掩模圖案形成在被加工元件的表面(即軸套4的軸插入孔 4a的內表面)上。
下文將對蝕刻工藝進行詳細描述。圖3示出用於蝕刻工藝的光掩模設備 的結構。
在圖3中，由鈦材料製成的軸套4的軸插入孔4a的內表面覆蓋有抗蝕 劑22。抗蝕劑22是光敏抗蝕劑(紫外光固化抗蝕劑)。在軸插入孔4a中插 入掩模構件20，掩模構件20是圓柱狀，且在其外表面上形成有預定的掩模 圖案(與動壓槽相對應的圖案)。掩模構件20的材料可為透明的玻璃或石 英，或者透明的樹脂材料。樹脂材料的實例包括丙烯酸(acrylic)樹脂、聚 碳酸酯(polycarbonate)、聚酯(polyester)以及聚對苯二甲酸乙二醇酯(PET， polyethylene terephthalate)。
掩模構件20經由連接件24可拆卸地連接到支撐部26上。因此，可以 根據軸套4的軸插入孔4a的形狀，用帶有期望形狀的另一個掩模來替換掩 模構件20。掩模構件20連接到可以由柔性光纖製成的導光纜28( light-guiding cable)上。柔性導光纜28的使用使操作布局(operating layout)成為可能， 因此提高了可操作性。
導光纜28連接到曝光源(比如紫外光源)上，該曝光源沒有示出。曝 光源發出的紫外光經過導光纜28併到達掩模構件20，將掩模圖案曝光在抗 蝕劑22上。
參照圖4，說明了使用前述的光掩模設備，在軸套4的軸插入孔4a的內 表面上形成動壓槽4b的圖案的程序。圖4示出了該程序的流程圖。
首先，將抗蝕劑22塗布在軸套4的軸插入孔4a的內表面上(步驟S101)。 具體地，將溶劑稀釋後的抗蝕劑溶液逐滴施加到軸插入孔4a的內表面上， 接著去除過多的溶液。形成抗蝕劑22的層的其它方法包括在抗蝕劑溶液 中浸蘸物品的浸蘸工藝(dipping process)、流動塗布(flow-coating)、旋 轉塗布 (rotary-coating )、 噴霧塗布 (spray-coating ) 以及電沉積(electrodeposition)。
接著將塗布後的抗蝕劑22進行預烘(步驟S102)，由此，為了蒸發步 驟S101中施加到抗蝕劑中的溶劑，將抗蝕劑22的溫度升高到預定的溫度。
接著將掩模構件20插入到軸套4的軸插入孔4a中(步驟S103)，然後 通過掩模構件20進行曝光(步驟S104)。具體地，將形成於掩模構件20 的外表面上的掩模圖案曝光到抗蝕劑22上，該掩模構件在步驟S103中被插 入到軸套4的軸插入孔4a中。在從軸插入孔4a中去除掩模構件20後(步驟 S105)，例如，使用碳酸鈉(carbonate)溶液顯影抗蝕劑22 (步驟S106)。 以此方式，在軸套4的軸插入孔4a內形成掩模圖案。
此後，後烘(postbake)抗蝕劑22 (步驟S107)，該工序將抗蝕劑22 溫度升高到預定溫度，以去除抗蝕劑22內的溶液和溼氣，並增加抗蝕劑22 到軸插入孔4a的內表面上的粘合性。
接著進行蝕刻(步驟S108)，由此，通過去除軸插入孔4a不存在抗蝕 劑22的內表面部分，在軸套4的軸插入孔4a的內表面上形成預定深度的圖
能夠蝕刻鈦材料的任意一種蝕刻方法都可被採用。例如化學蝕刻，比如 幹蝕刻、溼蝕刻和電解蝕刻(elec加lytic etching)。幹蝕刻的一個實例是等 離子體蝕刻。氫氟酸或硝酸可以用作溼蝕刻鈦材料的溶液。硫酸可以用作電 解蝕刻鈦材料的溶液。
在通過蝕刻形成預定深度的圖案(動壓槽)後，去除抗蝕劑22 (步驟 S109)。固化的抗蝕劑22可以通過脫膜劑(remover)來去除，比如氫氧化 鈉溶液或者有機溶劑。
綜上所述，抗蝕劑22施加在軸套的軸插入孔4a的內表面上動壓槽形成 的部分處，將掩模構件20插入到軸套的軸插入孔4a中，接著進行曝光、顯 影、蝕刻以及去除抗蝕劑22的步驟。以此方式，可以有效地在軸套的軸插 入孔4a的內表面上形成動壓槽4b。
在下文中，描述一種在掩模構件20的外表面上形成曝光圖案(對應於 動壓槽)的方法。圖5示出根據這種方法形成曝光圖案的流程圖。圖6示出 根據圖5的工藝形成曝光圖案的方法。
首先，準備具有能夠插入到軸套4的軸插入孔4a內的形狀的掩模構件20。掩模構件20的外表面設置有通過鉻沉積、電鍍等製成的不透光層(步
驟S201 )。然後給掩模構件20的外表面塗布抗蝕劑(步驟S202)並預烘(步 驟S203)。然後在掩模構件20上纏繞曝光圖案薄膜(步驟S204)並曝光(步 驟S205)，接著顯影抗蝕劑(步驟S206)。然後對顯影后的掩模圖案進行 後烘(步驟S207)。
使用顯影后的抗蝕劑作為掩模，對掩模構件20的表面進行蝕刻(步驟 S208)，去除抗蝕劑(步驟S209),從而在掩模構件20的表面上形成負正 翻轉圖形(步驟S210)。
參照圖5，在前述說明中，使用曝光圖案薄膜通過光蝕刻(photo etching) 在掩模構件20的表面上形成圖案僅僅是是一個實例。在另一個實例中，可 以用雷射對抗蝕劑進行三維掃描，以直接在抗蝕劑層上形成預定的圖案，而 不是使用曝光圖案薄膜。
具體地，當通過雷射三維掃描在被加工的掩模構件20的外表面上形成 曝光圖案時，在準備好具有能夠插入軸套4的軸插入孔4a中的形狀的掩模 構件20之後，在掩模構件20的表面上設置通過鉻沉積、電鍍等製成的不透 光層。接著在掩模構件20的表面上塗布抗蝕劑，然後預烘。
然後，通過雷射三維掃描來曝光抗蝕劑，顯影曝光後的抗蝕劑並隨後進 行後烘。使用顯影后的抗蝕劑作為掩模，蝕刻掩模構件20的表面，去除抗 蝕劑，從而在掩模構件20的表面上形成負正翻轉圖形。
或者，可以通過用雷射三維掃描除去除掩模表面上的不透光層而直接將 負正翻轉圖形繪製在掩模構件20上。例如，在準備好具有能夠插入軸套4 的軸插入孔4a的形狀的掩模構件20之後，通過鉻沉積、電鍍等在掩模構件 20的表面上設置不透光層。可以通過雷射三維掃描去除鉻沉積層，從而將負 正翻轉圖形直接繪製在掩模表面上。
以此方式，用於形成動壓槽的圖案可以繪製在透明的圓柱狀掩模構件20 的外表面上。雖然在前述的實例中，掩模構件20是透明的圓柱狀構件，但 該掩模構件還可以是透明的圓筒狀構件，曝光圖案形成於該圓筒狀構件的內 表面上。
當通過前述的蝕刻工藝在鈦材料的表面形成作為動壓槽的、具有相同形 狀的多個細槽時，能夠獲得好的結果。圖7示出形成在鈦材料上的細槽屈案。圖8示出表面粗糙度測試儀對形成的槽的輪廓的測量結果。該表面粗糙度測
試儀是記錄針式(stylus-type)，利用該表面粗糙度測試儀沿圖7所示的箭頭 方向對表面進行掃描。如圖8所示，大約20"m深的槽以800um的間距形 成。動壓槽所需的寬度和深度分別為幾百微米和幾十到十微米。因此，通過 前述的蝕刻工藝，可以形成具有適用於鈦材料表面輪廓的動壓槽。 實例
如上所述，通過製造鈦材料軸套和馬氏體不鏽鋼(SUS420J2)軸而製作 液態軸承。在室溫(25'c)時，軸的外徑為4mm。在室溫(25°c)時，軸套 的軸插入孔製成為相對於軸的間隙c為4u m。
供應到軸和軸套之間間隙的軸承液包含酯基(ester-based)軸承油。在 室溫(25。c)時，該軸承油的粘度值n為20cSt。在低溫(0'c)時，該軸承 油的粘度值n增大到50cSt;在高溫(50。c)時，該軸承油的粘度值ri減小到 lOcSt。
對比實例
作為對比實例，基於軸和軸套所使用的傳統材料的多種組合來製作液態 軸承。
1) 對比實例1
軸由馬氏體不鏽鋼(SUS420J2)製成而軸套由銅合金製成。這種組合， 在相關技術領域中很常見，其問題在於當環境溫度改變時，軸承剛度和轉矩 損失的變化比的變化相當大。
2) 對比實例2
軸由奧氏體不鏽鋼(SUS304)製成而軸套由馬氏體不鏽鋼(SUS420J2) 製成。因為這種組合是基於同類金屬，所以容易發生膠合(粘附)。
3) 對比實例3
軸由鋁合金製成而軸套由奧氏體不鏽鋼(SUS304)製成。因為軸是鋁製 成的，所以軸的剛度不足。
4) 對比實例4
軸由馬氏體不鏽鋼(SUS420J2)製成而軸套由殷鋼材料製成。因為殷鋼 材料的線性膨脹係數非常小，所以在這方面適合作為軸套材料；但是，該材 料在巿場上比較少見而且機械加工性能差，所以在低成本的狀況下難以將殷鋼加工成可用的形狀。 5)對比實例5
軸由馬氏體不鏽鋼(SUS420J2)製成而軸套由陶瓷製成。因為陶瓷的線 性膨脹係數小，在這方面適合作為軸套的材料；但是，陶瓷的機械加工性能 差，所以在低成本的狀況下難以將陶瓷加工成可用的形狀。
基於上述組合，製造對比實例1到5中的液態軸承，要使它們的軸外徑 在室溫(25'c)時為4mm，在室溫(25。c)時，相對於軸的間隙c為4U m。 對比實例1到5中均使用與本實例相同的軸承液。
根據對比實例1到5和本實例的各液態軸承均在室溫(25。c)、低溫(0 。c)和高溫(50。c)下運轉，測得它們的軸承剛度比和轉矩損失比。
圖9示出本實例的液態軸承和對比實例1到5的液態軸承的特性對比結 果。在表中，"軸承剛度比"是指軸承剛度與室溫(25'c)下軸承剛度的比 值。具體地，它是指(低溫下軸承剛度)/ (室溫下軸承剛度)，或者是指(高 溫下軸承剛度)/ (室溫下軸承剛度)。"轉矩損失比"是指轉矩損失與室溫 (25。c)下轉矩損失的比值。具體地，它是指(低溫下轉矩損失)/ (室溫下 轉矩損失)，或者是指(高溫下轉矩損失)/ (室溫下轉矩損失)。
從圖9中可見，當軸套由鈦製成時(實例)，軸承剛度比和轉矩損失比 比基於傳統組合的對比實例1小，獲得了重大改進。在對比實例2中，雖然 軸承剛度比和轉矩損失都比使用鈦材料的本實例小，但是由於使用同類金屬 而導致發生膠合(粘附)，所以它很難實際應用。在對比實例3中，雖然軸 承剛度比和轉矩損失都比使用鈦材料的本實例小，但是軸的剛度如此之小， 所以很難實際應用。在用殷鋼製作軸套的對比實例4中，軸承剛度比和轉矩 損失比都是最小，因此提供了最好的特性。然而，由於成本問題，該材料不 實用。在對比實例5中，雖然軸承剛度比和轉矩損失比都與使用鈦材料的本 實例相當，但是陶瓷非常差的機械加工性使它們的製造成本昂貴。
因此，上述內容表明根據本發明的本實施例的、使用鈦材料作為軸套材 料的該實例在包括特性變化、機械加工性能、製造成本以及材料成本等多個 方面中都是最適合的。
可以理解的是，上述討論僅僅說明了代表本發明的原理的很多具體形式 中的一部分。顯然，在不脫離本發明範圍的情況下，本領域技術人員可以容易地設計出很多其他的組合。
本發明申請是基於2007年5月31日提交的日本優先申請 No.2007-45093，其全部內容通過援引在此合併。
權利要求
1.一種液態軸承，包括軸套，其具有軸插入孔；軸，其旋轉地插入該軸套的軸插入孔中；以及軸承液，其設置於該軸套的軸插入孔的內表面與該軸之間；其中，該軸由選自由鋼、鐵合金材料、鋁合金材料以及銅合金材料構成的群組中的材料製成；該軸套由鈦材料形成。
2. 根據權利要求1所述的液態軸承，其中在該軸套的軸插入孔的內表 面上形成動壓槽。
3. 根據權利要求2所述的液態軸承，其中該動壓槽通過蝕刻工藝形成。
4. 一種液態軸承馬達，包括根據權利要求1所述的液態軸承，其中該 軸固定到轉子上，該軸套固定到定子上。
5. —種液態軸承型碟片驅動器，包括作為碟片旋轉馬達的、根據權利 要求4所述的液態軸承。
6. —種製造液態軸承的方法，該液態軸承旋轉地支撐軸，該方法包括 以下步驟利用選自由鋼、鐵合金材料、鋁合金材料以及銅合金材料構成的群組中 的材料來形成軸；利用鈦材料來形成旋轉地支撐該軸的軸套；以及 通過蝕刻工藝，在該軸套的軸插入孔的內表面上形成動壓槽。
全文摘要
本發明公開了一種液態軸承馬達以及使用該液態軸承馬達的碟片驅動器，消除了由於溫度變化引起的軸承液粘度變化所帶來的馬達性能的變化。該液態軸承包括其上具有軸插入孔的軸套，軸旋轉地插入該軸插入孔內。軸承液設置於該軸插入孔的內表面和該軸之間。該軸由鋼、鐵合金材料、鋁合金材料或銅合金材料形成。該軸套由鈦材料製成。
文檔編號F16C17/02GK101315099SQ200810098799
公開日2008年12月3日 申請日期2008年5月30日 優先權日2007年5月31日
發明者三浦康宏, 上田正則 申請人:富士通株式會社