雷射二極體晶片功率檢測電極的製作方法

2023-10-04 22:20:24 1

專利名稱：雷射二極體晶片功率檢測電極的製作方法
技術領域：
本實用新型涉及一種電極，具體地說是一種用於測量雷射二極體晶片功率的電極。
技術背景 由於半導體雷射器有著超小型、高效率和工作高速等優點，因此它已經在光通信、光變換、光互連、並行光波系統、光信息處理和光存儲等方面得到了廣泛的應用。而在半導體雷射器的製作和生產的工藝過程中，雷射二極體晶片的功率檢測是非常重要的一個環節。傳統的檢測方法是將晶片放置在測試臺上，其中測試臺與晶片下表面接觸作為通電電路的一極，用一個探針與晶片的上表面接觸作為通電電路的另一極，然後通電形成迴路，使雷射二極體發光，並用光探測器的測頭測量晶片發出的光線，以實現測量晶片功率的目的。隨著技術的發展，單個晶片的功率越來越大，這就需要檢測時通過晶片的電流越來越大，探針式電極與晶片的上表面是點接觸，當電流較大時極易將接觸點處燒蝕，造成晶片的損壞。再就是檢測時是通過一個垂直方向的移動機構帶動探針式電極與晶片上表面接觸的，探針與晶片的接觸壓力不好控制，極易將薄而脆的晶片刺傷，造成晶片損壞。因此需要一種能通過較大電流的、接觸壓力可以方便控制的雷射二極體晶片功率檢測電極。
發明內容針對上述的不足，本實用新型提供了一種雷射二極體晶片功率檢測電極。本實用新型是通過以下技術方案實現的一種雷射二極體晶片功率檢測電極，是由基座、電極片、驅動電機、減速機、凸輪、絕緣板、螺釘、絕緣墊片、鍵組成的，其特徵在於電極片由逐漸變窄變薄的金屬板材製成，電極片的測頭端向下彎折成圓弧狀，電極片的另一端通過螺釘、絕緣墊片與絕緣板一起安裝在基座上，驅動電機固定在基座上，減速機安裝在驅動電機端面上，使用絕緣材料製作的凸輪通過鍵安裝在減速機的輸出軸上。該實用新型的有益之處是能提高雷射二極體晶片功率檢測效率，降低雷射二極體晶片功率檢測時晶片的損壞率。

附圖I為本實用新型的主視圖。附圖2為本實用新型的附視圖。圖中，I、基座，2、螺釘，3、驅動電機，4、鍵，5、凸輪，6、電極片，7、絕緣板，8、絕緣墊片，9、減速機。
具體實施方式
一種雷射二極體晶片功率檢測電極，是由基座I、電極片6、驅動電機3、減速機9、凸輪5、絕緣板7、螺釘2、絕緣墊片8、鍵4組成的，其特徵在於電極片6由逐漸變窄變薄的金屬板材製成，電極片6的測頭端向下彎折成圓弧狀，電極片6的另一端通過螺釘2、絕緣墊片8與絕緣板7 —起安裝在基座I上，驅動電機3固定在基座I上，減速機9安裝在驅動電機3的端面上，凸輪5通過鍵4安裝在減速機9的輸出軸上。當把被檢測的雷射二極體晶片放到電極片6的下方時，驅動電機3通過減速機9的輸出軸和鍵4帶動凸輪5順時針轉動，將電極片6壓下，使電極片6的測頭端與被測雷射二極體晶片的上表面接觸，然後電極片6通電進行雷射二極體晶片功率測試，當測試完成後，驅動電機3通過減速機9的輸出軸和鍵4帶動絕緣凸輪5逆時針轉動，電極片6在自身的彈性作用下與被測雷射二極體晶片的上表面脫離接觸，完成一次檢測。本裝置可以通過控制驅動電機3旋轉的角度，精確的控制電極片6的下壓行程和下壓力。電極片6的測頭端向下彎折成圓弧狀，在與被測雷射二極體晶片的上表面接觸時 產生彈性變形，形成一個接觸面，從而允許電極片6與被測雷射二極體晶片之間通過較大的電流。
權利要求1.一種雷射二極體晶片功率檢測電極，是由基座、電極片、驅動電機、減速機、凸輪、絕緣板、螺釘、絕緣墊片、鍵組成的，其特徵在於電極片由逐漸變窄變薄的金屬板材製成，電極片的測頭端向下彎折成圓弧狀，電極片的另一端通過螺釘、絕緣墊片與絕緣板一起安裝在基座上，驅動電機固定在基座上，減速機安裝在驅動電機端面上，使用絕緣材料製作的凸輪通過鍵安裝在減速機的輸出軸上。
專利摘要一種雷射二極體晶片功率檢測電極，是由基座、電極片、驅動電機、減速機、凸輪、絕緣板、螺釘、絕緣墊片、鍵組成的，其特徵在於電極片由逐漸變窄變薄的金屬板材製成，電極片的測頭端向下彎折成圓弧狀，電極片的另一端通過螺釘、絕緣墊片與絕緣板一起安裝在基座上，驅動電機固定在基座上，減速機安裝在驅動電機端面上，使用絕緣材料製作的凸輪通過鍵安裝在減速機的輸出軸上。該實用新型的有益之處是能提高雷射二極體晶片功率檢測效率，降低雷射二極體晶片功率檢測時晶片的損壞率。
文檔編號G01R1/04GK202522590SQ20122003412
公開日2012年11月7日 申請日期2012年2月3日 優先權日2012年2月3日
發明者於復生, 張涵, 焦方方, 王傳慧, 範文利, 陳繼文 申請人:山東建築大學