光阻預烤爐加熱器溫度控制裝置製造方法
2023-10-07 12:21:09
光阻預烤爐加熱器溫度控制裝置製造方法
【專利摘要】本實用新型涉及一種光阻預烤爐加熱器溫度控制裝置，特別是指一種運用在液晶顯示裝置(LCD)製程上的光阻預烤爐加熱裝置，能使加熱區域的熱板達到均溫，以提升產品品質及生產合格率。其主要由腔體、加熱器、熱板及溫度感應器所組成，該腔體為一容槽狀，位於支撐底板上方設有加熱器，並可對熱板進行加熱，而該熱板內設置有複數個溫度感應器，以偵測熱板各區域的溫度，再利用每一溫度感應器所偵測的溫度作為參考值，以調整加熱器的溫度，使熱板中央、環邊或端邊的溫度一致，能將放置於熱板上烘烤的玻璃基板都能達到均勻受熱。
【專利說明】光阻預烤爐加熱器溫度控制裝置
【技術領域】
[0001]本實用新型涉及一種光阻預烤爐加熱器溫度控制裝置，其是利用複數個溫度感應器，以調整加熱器使熱板表面的溫度均勻一致。
【背景技術】
[0002]按，玻璃基板是液晶顯示裝置(TFT-1XD)的主要製程原料，就是俗稱的母玻璃或素玻璃，是一種高精密透明的電子零件，玻璃在液晶顯示裝置(TFT-LCD)產業中扮演的角色好比是半導體產業中的晶圓，因此液晶顯示裝置(TFT-LCD)產業對玻璃基板表面精度的要求近乎完美。
[0003]其次，液晶顯示裝置(TFT-LCD)的製程是分別利用兩塊無鹼玻璃基板，於無鹼玻璃基板表面構裝彩色濾色片與IC電路，並將玻璃基板表面經過乾式蝕刻，將紅、藍、綠三原色與黑色以微細的結構建置於玻璃表面，成為彩色濾色片，IC驅動電路則利用半導體製程，再將CMOS電路建置於玻璃表面，玻璃基板的功能是做為彩色濾色片與IC驅動電路的承載材料，而液晶顯示裝置(TFT-1XD)製程需要真空蒸鍍與蝕刻，所以玻璃基板，必須要能忍受強酸強鹼的腐蝕、高溫的製程環境，並且必須具備非常精密的表面平整度與平面起伏度。
[0004]因此，玻璃基板在製造過程中的每個流程都非常精細，其中，當塗抹光阻液後，需經過烘烤將感光劑及光阻液等化學物質揮發，此時，請配合參閱圖1所示，該基板I進行烘烤時，先是將基板I放在熱板11上，再憑藉熱板11的熱度使玻璃基板I表面的化學物質揮發，在此過程中，其溫度高達約攝氏70?150°C，且熱板11的熱源來自於底部的加熱器12，而該加熱器12則以I?15個區域設置在熱板11下方，使熱板11中央、環邊或端邊能儘量保持均衡的溫度，然而，儘管熱板11已經設置I?15個區域來控制溫度，卻還是無法在烘烤過程中保持均溫，加上每一相鄰區域的溫度會互相干擾，使得烘烤效果不佳，而影響液晶顯示裝置的生產品質。
[0005]有鑑於此，發明人特別針對加熱裝置進行改良，而研發一種憑藉輸入多點測量溫度來使單一加熱器可以進行更加精確的溫度控制，以提升加熱區域內的溫度控制精度，當加熱區域在溫度偏離設定值時可以更快速的進行回復至設定範圍內，以增加熱板的均溫性，並提高產品生產合格率，顯為一理想的光阻預烤爐熱板加熱性性能提升的結構及控制方式的改良。
實用新型內容
[0006]本實用新型涉及一種光阻預烤爐其加熱器的加熱性能提升的改良，特別是指一種運用在液晶顯示裝置(LCD)製程上的光阻預烤爐，能使加熱區域的熱板達到均溫，以提升產品生產合格率。
[0007]為實現上述目的，本實用新型採用的技術方案是:
[0008]一種光阻預烤爐加熱器溫度控制裝置，其主要由腔體、加熱器、熱板及溫度感應器所組成，該腔體為容槽狀，底部設有一支撐底板，頂端面利用上蓋板將其封閉成一加熱空間，而該腔體一側設有入口，供置入玻璃基板，在該腔體任一側邊開設有排風口，而該支撐底板上設有加熱器，其利用電熱絲產生熱源，並在加熱器上設置一熱板，該熱板為具有導熱性的金屬板，其特徵在於:該熱板上分成有複數個小分區，其由複數個獨立的加熱器投影於熱板背面所產生，使得加熱器能對每一小分區各別進行獨立加熱，且於每一小分區內或對應小分區的加熱器內設置有複數個溫度感應器，以偵測每一小分區內的熱板的溫度，並以此參考數據來調整加熱器的加熱與否。
[0009]所述的光阻預烤爐加熱器溫度控制裝置中:該熱板分成16至60個小分區，熱板的小分區底部各自設有相對應的加熱器。
[0010]當光阻預烤爐腔體內進行烘烤作業時，是先將玻璃基板由入口置入腔體內，然後將入口封閉，使腔體形成一封閉空間，僅保留側邊的排風口，以便於空氣流通，而位於腔體內的熱板，受加熱器的加溫，使其達到約70?150°C的溫度，以將玻璃基板進行加熱並使光阻內的溶劑揮發，當烘烤一段時間後，該熱板每一小分區的溫度會有些微的變化，一般來說，位於熱板中央的溫度通常高於端邊，而容易導致玻璃基板的受熱不均，此時維持熱板的均溫相當重要，雖然將熱板分成多區加熱可達到小分區的溫度改善，但針對熱板的小分區的溫度調整，則需憑藉在加熱器或熱板內設置的複數個溫度感應器，其是能偵測加熱器涵蓋範圍的熱板內的溫度，然後使該加熱器能微調該涵蓋範圍內的溫度，使熱板上相對應的小分區內的溫度達到均勻受熱，有效提升產品生產合格率。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0011]圖1是現有烘烤玻璃基板的剖面示意圖；
[0012]圖2是本實用新型的立體圖；
[0013]圖3是本實用新型的立體分解圖；
[0014]圖4是本實用新型另一實施例圖；
[0015]圖5是本實用新型烘烤時的剖面示意圖；
[0016]圖6是本實用新型使用的示意圖；
[0017]圖7是本實用新型多區域使用的示意圖。
[0018]附圖標記說明:〔現有技術〕1-基板；11-熱板；12-加熱器；〔本實用新型〕2-腔體；20-上蓋板；201-支撐底板；202-排風口 ；203-入口；21-加熱器;22_熱板；221~小分區；23-溫度感應器；3_玻璃基板。
【具體實施方式】
[0019]首先，請參閱圖2並配合圖3所示，其主要由腔體2、熱板22、加熱器21及溫度感應器23所組成，該腔體2為容槽狀，位於底部設有支撐底板201，頂端面則利用上蓋板20將其封閉成一加熱空間，位於腔體2 —側設有入口 203，供置入玻璃基板3，而於任一側邊開設有排風口 202，並於支撐底板201上方設置有加熱器21，其是利用電熱絲來產生熱源，再於加熱器21上放置一熱板22，使加熱器21以複數個獨立裝置設置在熱板22背面，而熱板22為具有導熱性的金屬板，並憑藉加熱器21的數量投影在熱板22背面，而形成複數個小分區221，即能利用加熱器21以分區方式對熱板22進行加熱，尤其加熱器21都是獨立的溫度控制，所以每一小分區221的溫度可各別進行設定，特別在熱板22及其每一小分區221內設置複數個溫度感應器23，能偵測每一小分區221內不同位置的溫度，並以此參考數據來調整加熱器21的加熱與否，而該溫度感應器23也能設置在加熱器21內，請配合參閱圖4，該加熱器21是以對應熱板22的小分區221的數量設置，其每一小分區221設置的數量為一個以上。
[0020]當腔體2內進行烘烤作業時，請仍然參閱圖5並配合圖6所示，是先將玻璃基板3由入口 203置入腔體2內，(請回顧圖4所示)然後將入口 203封閉，使腔體2形成一封閉空間，僅保留側邊的排風口 202，以便於空氣進行流通，而位於腔體2內的熱板22受加熱器21的加溫，使其達到約攝氏70?150°C，以將玻璃基板3表面的光阻溶劑使其揮發，當烘烤一段時間後，請配合參閱圖7所示，該熱板22的每一小分區221的溫度會有些微的變化，一般來說，位於小分區221中央的溫度通常高於端邊，而容易導致玻璃基板3的受熱不均，此時維持小分區221的均溫相當重要，雖然將加熱器小分區221分成多區(16至60區)加熱可達到小分區221的溫度改善，但針對熱板22的小分區221的溫度控制，則需憑藉每一小分區221設置的複數個感應器23來調整，其設置在加熱器21內或熱板的小分區221內，並分布在環邊或端邊的區域，以偵測小分區221在中央、環邊或端邊的溫度，並擷取每一溫度感應器23的數值，再經過演算後取得一溫度，此時，再依據計算出的溫度微調該小分區221其相對應的加熱器21的溫度，促使熱板22的每一小分區221上的溫度都能達到均勻受熱，有效提升玻璃基板3的品質，有效提升玻璃基板3的加熱性及生產合格率，進一步降低不合格率的發生。
[0021]綜上所述，本實用新型是於熱板內或其下方每一小分區設置複數個溫度感應器，再憑藉溫度感應器所偵測的溫度來調整該小分區的加熱器溫度，使每一小分區能達到均溫，且每一小分區都是獨立的溫度控制，所以溫度可以各別進行設定，而能令熱板的整體表面都可達到均勻加熱，使位於熱板上的玻璃基板的烘烤溫度相當一致，不會過高或過低，以達到最佳的效能。
【權利要求】
1.一種光阻預烤爐加熱器溫度控制裝置，其主要由腔體、加熱器、熱板及溫度感應器所組成，該腔體為容槽狀，底部設有一支撐底板，頂端面利用上蓋板將其封閉成一加熱空間，而該腔體一側設有入口，供置入玻璃基板，在該腔體任一側邊開設有排風口，而該支撐底板上設有加熱器，其利用電熱絲產生熱源，並在加熱器上設置一熱板，該熱板為具有導熱性的金屬板，其特徵在於:該熱板上分成有複數個小分區，其由複數個獨立的加熱器投影於熱板背面所產生，使得加熱器能對每一小分區各別進行獨立加熱，且於每一小分區內或對應小分區的加熱器內設置有複數個溫度感應器，以偵測每一小分區內的熱板的溫度。
2.根據權利要求1所述的光阻預烤爐加熱器溫度控制裝置，其特徵在於:該熱板分成16至60個小分區，熱板的小分區底部各自設有相對應的加熱器。
【文檔編號】C03C17/00GK204241988SQ201420635826
【公開日】2015年4月1日 申請日期:2014年10月29日 優先權日:2014年10月29日
【發明者】李東明 申請人:李東明