用於真空鍍膜設備的冷凝裝置製造方法
2023-10-04 02:22:49 6
用於真空鍍膜設備的冷凝裝置製造方法
【專利摘要】一種用於真空鍍膜設備的冷凝裝置，包含有一進氣管、一出氣管，以及一介於進氣管與出氣管之間的冷阱組件，冷阱組件具有一第一弧形彎管及一第二弧形彎管，第一弧形彎管與進氣管之間、第一、第二弧形彎管之間，以及第二弧形彎管與出氣管之間分別藉由一個冷阱管而兩兩連接在一起，各冷阱管內設有一障板組，各障板組具有多數個相互並排的傾斜障板及一貼抵於各傾斜障板的冷卻水管，藉此，來自腔體內的蒸氣在通過冷阱組件的過程中會順利凝結在各傾斜障板的表面，並能避免對第一弧形彎管及第二弧形彎管造成腐蝕損壞。
【專利說明】用於真空鍍膜設備的冷凝裝置
【技術領域】
[0001]本實用新型與真空鍍膜設備有關，特別是指一種用於真空鍍膜設備的冷凝裝置。【背景技術】
[0002]簡單來說，所謂的真空鍍膜是藉由一真空泵抽出腔體內的殘餘氣體，使腔體的內部維持真空狀態，接著把一待鍍物(例如基板)放到腔體內，最後再將一蒸鍍源(例如硒)加熱至汽化升華的狀態，使蒸鍍源的氣體附著至待鍍物的表面而形成一層薄膜。
[0003]然而，腔體內的殘餘氣體除了一般水蒸氣及其它高沸點蒸氣之外，同時也可能含有些許的腐蝕性蒸氣，為了避免真空泵吸入過多的腐蝕性蒸氣而影響使用壽命，腔體與真空泵之間通常會設置一冷阱組件(cold trap)，冷阱組件主要是利用低溫冷凝效應來捕集腔體內的殘餘氣體，使腔體內具有良好的真空度。就冷阱組件的現有技術來說，如美國公告第6，161，575號專利案所揭露的T型冷阱組件會影響蒸氣流通的順暢度，如此容易導致蒸氣內的固體粒子聚集在T型冷阱組件的內部而產生局部腐蝕的現象。
【發明內容】
[0004]本實用新型的主要目的在於提供一種用於真空鍍膜設備的冷凝裝置，其能增加蒸氣流通的順暢度，以提升捕集蒸氣的效率。
[0005]為了達成上述目的，本實用新型的冷凝裝置設置在一腔體與一真空泵之間，並且包含有一連接該腔體的進氣管、一連接該真空泵的出氣管，以及一介於該進氣管與該出氣管之間的冷阱組件。該冷阱組件具有一第一弧形彎管、一第二弧形彎管，以及三冷阱管，該第一弧形彎管與該進氣管之間、該第一、第二弧形彎管之間，以及該第二弧形彎管與該出氣管之間分別藉由一該冷阱管而連接在一起，而且，該第一、第二弧形彎管之間具有相反的彎曲方向，使得該第一、第二弧形彎管在連接之後形成一 S形通道，此外，該冷阱組件具有三障板組，各個障板組設於一該冷阱管內且具有多數個呈並排設置且間隔排列的傾斜障板及一冷卻水管，各個冷卻水管具有多數條接觸段，各個接觸段貼抵於一該傾斜障板的一側面，用以提供降溫效果給各個傾斜障板，使來自該腔體內的蒸氣在碰到各個傾斜障板時會確實凝結在各個該傾斜障板的表面。
[0006]藉此，本實用新型的冷凝裝置藉由該冷阱組件的第一、第二弧形彎管的設計，讓蒸氣能夠順暢地從該進氣管朝該出氣管的方向流動而不易產生粒子沉積，同時藉由該冷阱組件的多數個傾斜障板的並排設計，可以達到提升捕集蒸氣效率的目的。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0007]圖1為本實用新型的結構外觀示意圖。
[0008]圖2為本實用新型的結構剖面示意圖。
[0009]圖3為本實用新型的局部立體剖視圖，主要顯示傾斜障板與冷卻水管之間的關係O[0010]圖4為本實用新型的局部平面剖視圖，主要顯示傾斜障板與冷卻水管之間的關係O
【具體實施方式】
[0011]請參閱圖1及圖2，本實用新型冷凝裝置10安裝於真空鍍膜設備的一腔體12與一真空泵14之間，並且包含有一連接腔體12的進氣管20、一連接真空泵14的出氣管30，以及一位於進氣管20與出氣管30之間的冷阱組件40。
[0012]冷阱組件40具有一第一弧形彎管41及一第二弧形彎管42。第一弧形彎管41與進氣管20之間、第一、第二弧形彎管41、42之間，以及第二弧形彎管42與出氣管30之間分別藉由一個冷阱管43而兩兩連接在一起，而且，第一、第二弧形彎管41、42之間具有相反的彎曲方向，使得第一、第二弧形彎管41、42在連接之後形成一 S形通道。再者，冷阱組件40具有六障板組44，該些障板組44兩兩成對地設於一個冷阱管43內，並且分別具有多數個傾斜障板45及一冷卻水管47，這些傾斜障板45沿著冷阱管43之徑向呈並排設置且間隔排列，如圖3及4所示，而且，兩障板組44的傾斜障板45之間呈鏡射對稱而具有相對的傾斜方向，各冷卻水管47具有多數條相互平行的接觸段472與多數條相互平行的穿置段474，各冷卻水管47的接觸段472貼抵於一個傾斜障板45的一側面，各冷卻水管47的穿置段474連接在相鄰兩穿置段474之間且穿置於一個傾斜障板45內，使得冷卻水在流經各冷卻水管47時能夠提供降溫效果給各傾斜障板45。此外，冷阱組件40更具有一液體回收管48，液體回收管48的一端連接第二弧形彎管42，液體回收管48的另一端連接一液體回收裝置50。
[0013]經由上述結構可知，腔體12內的蒸氣會從進氣管20依序通過冷阱組件40的第一、第二弧形彎管41、42之後，接著再由出氣管30進入真空泵14內，在整個過程中，如圖2所示，一旦蒸氣碰觸到冷阱組件40的傾斜障板45時，藉由各冷卻水管47提供給各傾斜障板45的冷卻效果，使得蒸氣會在各傾斜障板45的傾斜表面凝結成液體，冷凝後的液體會再沿著各傾斜障板45的傾斜表面流至第一、第二弧形彎管41、42內，接著再沿著第一、第二弧形彎管41、42的內管壁流往液體回收管48，最後再經由液體回收管48流至液體回收裝置50進行後續處理。
[0014]綜上所陳，本實用新型冷凝裝置10藉由冷阱組件40的第一、第二弧形彎管41、42的設計，使蒸氣的流動順暢度可以大為提升而不易產生粒子沉積，以避免腐蝕性蒸氣對冷阱組件40造成結構上的損壞，另外同時藉由冷阱組件40的各傾斜障板45的並排間隔配置，可以有效提升捕集蒸氣的效率，以達到本實用新型的目的。
【權利要求】
1.一種用於真空鍍膜設備的冷凝裝置，其特徵在於，該真空鍍膜設備包含有一腔體及一真空泵，該冷凝裝置包含有: 一進氣管，用以連接該腔體； 一出氣管，用以連接該真空泵；以及 一冷阱組件，位於該進氣管與該出氣管之間，並且具有一第一弧形彎管、一第二弧形彎管、三冷阱管及至少三障板組，該第一弧形彎管與該進氣管之間、該第一、第二弧形彎管之間及該第二弧形彎管與該出氣管之間分別藉由一該冷阱管而連接在一起，且該第一、第二弧形彎管之間具有相反的彎曲方向，各個冷阱管內設有至少一該障板組，各個障板組具有多數個呈並排設置且間隔排列的傾斜障板及一冷卻水管，該冷卻水管具有多數條接觸段，各個接觸段貼抵於一該傾斜障板的一側面。
2.根據權利要求1所述的用於真空鍍膜設備的冷凝裝置，其特徵在於，各個冷阱管內所設的至少一該障板組的數量為二個，設於各個冷阱管內的二該障板組的傾斜障板之間呈鏡射對稱。
3.根據權利要求1或2所述的用於真空鍍膜設備的冷凝裝置，其特徵在於，該冷卻水管更具有多數條穿置段，各個穿置段連接於相鄰兩該接觸段之間且穿置於一該傾斜障板內。
4.根據權利要求1所述的用於真空鍍膜設備的冷凝裝置，其特徵在於，該多數個傾斜障板沿著該冷阱管的徑向依序排列。
5.根據權利要求1所述的用於真空鍍膜設備的冷凝裝置，其特徵在於，該冷阱組件更具有一液體回收管，該液體回收管連接該第二弧形彎管。
【文檔編號】B01D8/00GK203440441SQ201320263770
【公開日】2014年2月19日 申請日期:2013年5月13日 優先權日:2013年5月13日
【發明者】黃世壬, 廖科峰, 趙亨文, 賴文波, 任常寶, 陳官璧, 汪宇炎, 曾昭隆 申請人:生陽新材料科技（寧波）有限公司