真空設備的閘閥裝置的製作方法
2023-09-14 22:19:30 1
專利名稱：真空設備的閘閥裝置的製作方法
技術領域：
本發明是涉及一種閘閥裝置，特別是涉及一種安裝在真空設備的兩個間隔腔座間，並用來封閉及打開所述腔座間通道的真空設備的閘閥裝置。
背景技術：
參閱圖1、圖2，以往真空設備的閘閥裝置1是架設在兩個腔座10之間，並用來打開及關閉所述腔座10的通道，上述閘閥裝置1包含一個固定地安裝在所述腔座10間的基座11，上述基座11具有兩片左右間隔並分別開設一個閥口110的閥壁111，以及一個位於所述閥壁111間的控制室112，而該基座11還包含一個架設在基座11上方的活塞機構12、一個位於控制室112內並受活塞機構12驅動而直線升降的驅動板13、一個位於控制室112內並和驅動板13平行的封閉板14，以及連接封閉板14及驅動板13的多個上連板15、多個下連板16(圖中只示意一個)。上述活塞機構12包括一個架設在基座11頂端並界定出一活塞室121的活塞座122、一支貫穿活塞室121及控制室112的活塞杆123，而該驅動板13就是安裝在活塞杆123的底端。
以往閘閥裝置1位於圖1所示的一非封閉位置時，該活塞杆123是位於一個內縮位置，也就是說，在此狀態下，該驅動板13鄰近活塞座122，且封閉板14和驅動板13相貼合，同時封閉板14並未封閉右側閥壁111的閥口110，而兩個腔座10的通道可以藉由所述閥口110相通。當活塞杆123帶動驅動板13下移，並使封閉板14底緣靠在基座11的一個底壁上時，持續下移的驅動板13會利用上下設置的連板15和連板16的連接，而將封閉板14往右側閥壁111推，當封閉板14緊密壓抵在閥壁111內側面時，該閘閥裝置2會由圖1的非封閉位置轉換到圖2的一個封閉位置。
以往閘閥裝置1利用活塞機構12直線下移，以及驅動板13及兩組上下設置的連杆15和連杆16間的配合，而將封閉板14頂向其中一個閥壁111的設計，雖然可以關閉閥口110，但是就製造的角度，要使該封閉板14水平精確地往閥壁111方向移動，並且密貼在閥壁111內側面，需要較佳的加工精度，也就是說，在封閉板14壓向閥壁111的過程中，該封閉板14是以無彈性平行的方式往閥壁111靠合，這種沒有彈性的連接壓合設計，在製造時組件間的精度只要稍有偏差，就會造成橫長板狀的封閉板14翹曲，而無法緊密地壓向閥壁111，因此這種以往的閘閥裝置1在製造時組件間需要精確的尺寸及配合，在製造時比較困難。
發明內容
本發明的目的是在提供一種結構創新，且製造較為容易的真空設備的閘閥裝置。
本發明的閘閥裝置是架設在真空設備的兩個腔座間，包含一架設在所述腔室間的基座、一架設在基座上的驅動機構、一受到驅動機構驅動而可在基座的一控制室內直線升降的驅動座，以及一封閉機構，該基座包括兩片間隔且分別具有一閥口的閥壁，而該封閉機構包括一平行於該驅動座的封閉板。
該封閉機構包含括至少一個將封閉板以可擺動方式架設在驅動座上的樞擺單元，以及多個架設在所述驅動座及封閉板間並可將封閉板壓向所述其中一片閥壁的回力單元，並且上述回力單元位於該樞擺單元的上方及下方，藉由樞擺單元的單點樞接，以及上下設置回力單元的彈性抵接，可以改善以往雙組連杆連接所產生的精度控制困難的問題，使該閘閥裝置在製造較為容易。
圖1是一種以往真空設備的閘閥裝置的組合側面剖視圖，圖中該閘閥裝置位於一個打開位置；圖2是一類似圖1的組合側面剖視圖，圖中該閘閥裝置位於一個封閉位置；圖3是本發明閘閥裝置的一較佳實施例的立體外觀圖；
圖4是該較佳實施例的一側面組合簡圖，省略閘閥裝置的一個基座上的兩條導軌，圖中該閘閥裝置位於一個打開位置；圖5是該較佳實施例的一未完整立體圖，省略該閘閥裝置的一基座；圖6是該較佳實施例的一局部立體分解圖，單獨顯示該閘閥裝置的一個驅動座及一個封閉機構的部份構造；及圖7是一類似圖4的側面組合簡圖，圖中該閘閥裝置位於一個封閉位置。
具體實施例方式
下面通過最佳實施例及附圖對本發明的閘閥裝置進行詳細說明，附圖中參閱圖3、圖4、圖5，本發明閘閥裝置的一較佳實施例是架設在真空設備的一個第一腔座21及一個第二腔座22間，並用來連通及關閉所述第一腔座21和第二腔座22間的通道。上述閘閥裝置包含一個夾設在所述第一腔座21和第二腔座22間的基座3、一個安裝在基座3上的驅動機構4、一個可受到驅動機構4驅動而可直線升降的驅動座5，以及一個和驅動座5連接並可執行打開及封閉動作的封閉機構6。
本發明的基座3是橫臥的長矩形，包括一片和第一腔座21固定的結合的第一閥壁31、一片和第一閥壁31間隔並和第二腔座22固定地結合的第二閥壁32、一片銜接在所述第一閥壁31和第二閥壁32頂緣間的頂壁33、一片架設在所述第一閥壁31和第二閥壁32底緣間的底壁34，以及兩片左右間隔地連接在所述第一閥壁31和第二閥壁32間的側壁35，所述壁板界定出一個橫長矩形的控制室36。其中該第一閥壁31具有一個朝向控制室36的內壁面311、一個和第一腔座21貼靠的外壁面312，以及一個沿著長度方向開設並貫穿所述內壁面311和外壁面312的第一閥口313，而第二閥壁32也是具有一沿著長度方向開設的第一閥口321，在底壁34上具有多個間隔並往上突出的抵塊341。而所述側壁35都具有一個朝向控制室36的內壁面351，以及兩條平行間隔並自內壁面351往控制室36突出的導軌352，在所述導軌352間界定出一條直向且開口朝向另一側壁35的導槽353。
本實施例的驅動機構4包括兩個間隔地架設在頂壁33上的驅動壓缸41，所述驅動壓缸41都具有一支穿入控制室36內的缸軸411。
參閱圖4、圖5、圖6，本實施例的驅動座5是受到驅動機構4驅動而可直線升降，同時受到基座3的導槽353限制平穩的移動。上述驅動座5包括一片橫長條狀的驅動板51，此驅動板51具有一個朝向第一閥壁31的第一板面511、一個和第一板面511間隔並朝向第二閥壁32的第二板面512、一個連接在所述板面512底緣間的底面513、一個連接在所述板面512頂緣間的頂面514、兩個分別朝向側壁35的內壁面351的側面515、多個貫穿所述第一板面511和第二板面512並鄰近側面515的輪安裝孔516、多個左右間隔地貫穿所述第一板面511和第二板面512並位於驅動板51中央高度位置的樞設孔517，以及貫穿所述第一板面511和第二板面512的多個上長槽孔518、多個下長槽孔519，上述上長槽孔518和下長槽孔519是對稱地位於樞設孔517的上方和下方。
而該驅動座5還包括多個安裝在底面513下方的底靠輪52、多個安裝在第二板面512上的頂靠輪53、多個架設在所述頂面514及底面515上並鄰近邊緣的第一轉輪54，以及多個安裝在所述輪安裝孔516上的第二轉輪55。上述第一轉輪54可在驅動板51升降時貼靠在基座3的所述內壁面351上，而所述第二轉輪55的輪面可貼靠在基座3的所述導軌352間，藉此增進驅動板51升降時的順暢性。
本實施例的封閉機構6包括一片和驅動板51左右間隔的封閉板61，上述封閉板61的寬度小於該驅動板51，具有一個朝向第一閥壁31的內壁面311的封閉面611、一個朝向驅動板51的安裝面612，以及一個位於所述封閉面611及安裝面612底部間的底面613。而該封閉機構6還包括多個安裝在驅動板51及封閉板61間並使封閉板61可以單點擺動的樞擺單元62、多個固定地安裝在底面613上的底滾輪63、多個上回力單元64，以及多個下回力單元64』。
上述底滾輪63可以沿著第一閥壁31及第二32的方向滾動，每個樞擺單元62都具有一個固定地安裝在安裝面612上並具有兩片往驅動板51突出的翼片621的安裝座622、一片借一支軸623以可擺動方式架設在所述翼片621間的樞擺頂件624、一支穿過該樞擺頂件624的一結合端625的固定連杆626，以及兩支經驅動板51螺鎖在該固定連杆626的兩個固定端627間的螺絲628。而所述回力單元64和回力單元64』的構造相同，且對稱地位於所述樞擺單元62的上方及下方，所述上回力單元64都具有一支固定地結合在封閉板61的安裝面612上的螺管641、一支穿過該驅動板51的上長槽孔518中的其中一個並螺鎖在螺管641上的組裝杆642，以及一個穿套在組裝杆642上並頂撐在驅動板51及組裝杆642的一頭部643間的回力彈簧644。
參閱圖3、圖4、圖6，本發明的閘閥裝置位於圖4的一個打開位置時，所述驅動壓缸41的缸軸411是往內縮，也就是說，受到缸軸411的連動，該驅動座5及封閉機構6是鄰近控制室36上方，此時該封閉機構6的封閉板61的封閉面611並未封閉第一閥壁31的第一閥口313，因此，第一腔室21及第二腔室22間可以通過第一閥口313及第二閥口321相通。
參閱圖5、圖6、圖7，當驅動壓缸41的缸軸411往下突出驅動該驅動座51同步下移時，由於該驅動座5的左右兩側分別伸入基座3的導槽353內，且在伸入導槽353的位置設有轉輪54和轉輪55，因此，在下移的過程中，該驅動座5可以順暢且不晃動地下移。當同步下移的封閉板61的底滾輪63靠在基座3的所述抵塊341上時，該封閉板61就會無法持續下移，在此同時，受到驅動壓缸41驅動下移的驅動板51仍會帶動樞擺頂件624的結合端625下移，並因此將封閉板61往第一閥壁31的內壁面311推壓，而在封閉板61往第一閥壁31靠合的同時，分布在所述樞擺單元62上方及下方的回力單元64和回力單元64』也會產生回力的作用，而讓封閉板61具有彈性地壓向第一閥壁31，並且封閉第一閥壁31上的第一閥口313。
綜上所述，本發明以單點樞接的方式來連接驅動板51及封閉板61，並且在兩者間設置多個具有彈力復位作用的回力單元64和回力單元64』，而且所述回力單元64和回力單元64』分布在單點樞接部位的上方和下方的設計，未見於以往真空設備的閘閥裝置，該項設計還可以改善雙組連杆架設方式所產生缺乏彈性壓抵的缺點，以達到製造較為容易的功效。
權利要求
1.一種真空設備的閘閥裝置，架設在真空設備的兩個腔座間，包含一個基座、一個架設在基座上的驅動機構、一個驅動座，以及一個封閉機構，其中該基座包括兩片間隔且分別具有一閥口的閥壁，在所述閥壁間具有一個控制室，而該驅動座受到驅動機構驅動可在基座的控制室內直線升降，該封閉機構包括一片和驅動座平行的封閉板；其特徵在於該封閉機構還將至少一個封閉板以可擺動方式架設在驅動座上的樞擺單元，以及多個架設在所述驅動座及封閉板間並可將封閉板壓向其中一片閥壁的回力單元，並且上述回力單元位於該樞擺單元的上方和下方位置。
2.根據權利要求1所述真空設備的閘閥裝置，其特徵在於該樞擺單元具有一個固定地安裝在封閉板的一個安裝面上的安裝座、一個借一支軸與安裝座以可樞擺方式連接的樞擺頂件、一個架設在該樞擺頂件的一結合端上的固定連杆，以及兩支穿過驅動座後，螺鎖在該固定連杆上的螺絲。
3.根據權利要求2所述真空設備的閘閥裝置，其特徵在於所述回力單元具有一支固定的安裝在封閉板的安裝面上的螺管、一支穿過驅動座後，螺鎖在螺管上的組裝杆，以及一支頂抵在驅動座及組裝杆的一頭部間的回力彈簧。
4.根據權利要求1所述真空設備的閘閥裝置，其特徵在於所述回力單元都具有一支固定地安裝在封閉板的一個安裝面上的螺管、一支穿過驅動座後，螺鎖在該螺管上的組裝杆，以及一支頂抵在驅動座及組裝杆的一頭部間的回力彈簧。
5.根據權利要求3所述真空設備的閘閥裝置，其特徵在於該基座還具有兩個左右間隔的側壁，在每個側壁上都具有一條直向並左右相對設置的導槽，而該驅動座包括一個被限位於所述導槽間的驅動板，以及多個安裝在驅動板鄰近兩側的位置並可在導槽內滾動的轉輪。
6.根據權利要求5所述真空設備的閘閥裝置，其特徵在於該封閉機構還包括多個安裝在該封閉板底端且較驅動板突出的底滾輪，所述底滾輪可在該第一及第二閥壁間移動。
全文摘要
一種真空設備的閘閥裝置，包含一個架設在兩個腔座間的基座、一個架設在基座上的驅動機構、一個受到驅動機構驅動而可在基座的控制室內直線升降的驅動座，以及一封閉機構，其中該基座包括兩片間隔且分別具有一個閥口的閥壁。而該封閉機構包括一封閉板、多個將封閉板以可擺動方式架設在驅動座上的樞擺單元，以及多個具彈力地架設在所述驅動座及封閉板間，並可將封閉板壓向其中一片閥壁的回力單元，上述回力單元位於該樞擺單元的上方及下方。藉由單點樞接以及回力單元的上下彈性抵接，可以使閘閥裝置在製造較為容易。
文檔編號F16K3/02GK101046259SQ200610066330
公開日2007年10月3日 申請日期2006年3月30日 優先權日2006年3月30日
發明者黃泳釗, 鄭博仁 申請人:北儒精密股份有限公司