導電性接觸件及導電性接觸件單元的製作方法

2023-09-13 07:11:30 4

專利名稱：導電性接觸件及導電性接觸件單元的製作方法
技術領域：
本發明涉及一種在進行液晶面板或半導體集成電路等的電子部件的 導通狀態檢查或動作特性檢查時，與該電子部件的電極或端子接觸以進行 電信號的接收傳送的導電性接觸件及使用該導電性接觸件所構成的導電 性接觸件單元。
背景技術：
以往，在關於半導體集成電路等檢查對象的電氣特性檢查的技術領域 中，眾所周知有具備下列功能的導電性接觸件單元的相關技術，即具有與 半導體集成電路的連接用電極對應地配設多個導電性接觸件，並將導電性 接觸件物理性與連接用電極接觸，由此以確保電導通的功能。導電性接觸 件單元具備多個導電性接觸件；及用於保持該多個導電性接觸件的導電
性接觸件支架。在如此的導電性接觸件單元中，己經提出了用於隨著作為 檢査對象的半導體集成電路等的精細化傾向而能夠對應於連接用電極的 配列間隔的狹小化的種種技術。
例如下列專利文獻1中，公開有一種關於具備與檢查對象接觸的接觸 部及對於該接觸部彈性施力的彈性部，並形成為板狀的導電性接觸件的技 術。在該現有技術中，在板厚度方向以狹窄之間隔排列配置多個導電性接 觸件而配置，由此可應對檢查對象的連接用電極的配列間隔的狹小化。
專利文獻l:日本特開2001-343397號公報
然而，在上述的現有技術中，由於導電性接觸件的前端在與彈性體的 伸縮方向大致平行的方向行進(stroke)，因此無法充分去除形成在檢査對象 的表面的氧化膜或附著於其表面的髒汙等，而有導致無法獲得穩定的電接 觸的情況。在此情況下，也有導致對導電性接觸件施加過度的載荷，使得 導電性接觸件的耐久性產生問題。
此外，在進行檢查時，期望操作人員能夠以目視方式觀察導電性接觸件的前端與檢查對象的接觸，然而，由於以往的導電性接觸件單元從上方 觀看時，下方側的導電性接觸件的前端較導電性接觸件支架的側面更位於 內側，因此在觀察導電性接觸件的前端部附近的與檢查對象的接觸狀況 時，操作人員本身必需彎曲姿勢等以觀看接觸處附近，而隨著觀察次數的 增加，使操作人員的負擔也隨著增大。

發明內容
本發明鑑於上述情形，其目的在於提供一種可應對配列間隔的狹小化 並具有優異的耐久性，並且能夠容易以目視方式觀察與檢査對象的接觸狀 況的導電性接觸件及導電性接觸件單元。
為了解決上述課題並達成目的，本發明的一方式的導電性接觸件，其 形成為板狀，且將輸出檢査用的信號的電路構造與檢查對象電連接，其特 徵在於，具備第一接觸部，其位於該導電性接觸件的長度方向的端部，
並與所述電路構造接觸；彈性部，其具有在與所述長度方向正交且與該導
電性接觸件的寬度方向平行的方向上延伸的多個直線部、及將相鄰的所述 直線部彼此連接並彎曲為圓弧狀的多個彎曲部，且所述彈性部位於所述長
度方向的中間部，並能夠在所述長度方向伸縮；以及第二接觸部，其位於 所述長度方向的與所述第一接觸部不同的端部，且與所述檢查對象接觸的 前端與所述彈性部的寬度方向的邊緣端部相比，在更遠離所述彈性部的寬 度方向的中心軸的方向上突出，並且所述多個彎曲部中，在所述第二接觸 部突出的一側彎曲的所述彎曲部的外徑越接近所述第二接觸部的前端則 越小；所述多個彎曲部中，在與所述第二接觸部突出的一側相反的相反側 彎曲的所述彎曲部的外徑越接近所述第二接觸部的前端則越大。
此外，在上述發明中，可構成為所述多個彎曲部中，在所述第二接觸 部突出的一側彎曲的所述彎曲部的外徑以連接所述第一及第二接觸部的 各自前端的直線作為基準直線，並與使用此基準直線而對於各彎曲部所確 定的第一基準量對應地進行線性變化；所述多個彎曲部中，在與所述第二 接觸部突出的一側相反的相反側彎曲的所述彎曲部的外徑與使用所述基 準直線對各彎曲部規定的第二基準量對應地進行線性變化。
此外，在上述發明中，可構成為所述直線部的線徑越遠離所述第一
6接觸部的前端則越大。
此外，在上述發明中，可構成為所述直線部的線徑與從所述第一接 觸部的前端或所述第二接觸部的前端至所述直線部的中心為止的距離對 應地進行線性變化。
此外，在上述發明中，可構成為還具備還具備第一連接部，其連 接所述第一接觸部及所述彈性部；以及第二連接部，其連接所述彈性部及 所述第二接觸部，並形成有貫通該導電性接觸件的板厚方向的開口部，所 述第一連接部、所述第二連接部及所述彈性部各自的所述寬度方向上的長 度互為相等。
此外，在上述發明中，可構成為還具備第一連接部，其連接所述第 一接觸部與所述彈性部；以及第二連接部，其連接所述彈性部與所述第二 接觸部，並形成有貫通該導電性接觸件的板厚方向的開口部，在所述彈性 部的寬度方向的邊緣端部中的與所述第二接觸部突出的一側為相反側的 邊緣端部與所述第一及第二連接部的寬度方向的邊緣端部中的與所述第 二接觸部突出的一側為相反側的邊緣端部相比，朝更靠近所述彈性部的寬 度方向的中心軸的方向退避。
此外，在上述發明中，可構成為在所述彈性部的寬度方向的邊緣端 部中的所述第二接觸部突出側的邊緣端部與所述第一及第二連接部的寬 度方向的邊緣端部中的所述第二接觸部突出側的邊緣端部相比，朝更靠近 所述彈性部的寬度方向的中心軸的方向退避。
本發明其它方式的導電性接觸件單元，其特徵為具備呈板狀的多個 導電性接觸件，其具有第一接觸部，位於長度方向的端部，並與輸出檢 查用的信號的電路構造接觸；彈性部，具有在與所述長度方向正交且與該 導電性接觸件的寬度方向平行的方向上延伸的多個直線部及將相鄰的所 述直線部彼此連接並彎曲為圓弧狀的多個彎曲部，且位於所述長度方向的 中間部，並能夠在所述長度方向上伸縮；第二接觸部，位於所述長度方向
的與所述第一接觸部不同的端部，且與所述檢查對象接觸的前端與所述彈 性部的寬度方向的邊緣端部相比，在更遠離所述彈性部的寬度方向的中心
軸的方向上突出；第一連接部，連接所述第一接觸部及所述彈性部；第二 連接部，連接所述彈性部及所述第二接觸部，並形成有貫通厚度方向的開
7口部，導電性接觸件支架，其具有多個第一引導槽，嵌合保持所述導電性接觸件的長度方向的一方的邊緣端部中的所述第二接觸部突出側的邊緣端部；多個第二引導槽，位於與所述多個第一引導槽分別相對向的位置，並嵌合保持嵌入於相對向的所述第一引導槽的所述導電性接觸件的另一方的邊緣端部；棒狀構件，貫通所述多個導電性接觸件分別具有的形成於所述第二連接部的所述開口部，並固接於所述導電性接觸件支架，並且所述導電性接觸件的所述多個彎曲部中，在所述第二接觸部突出的一側彎曲的所述彎曲部的外徑越接近所述第二接觸部的前端則越小；所述多個彎曲
部中，在與所述第二接觸部突出的一側相反的相反側彎曲的所述彎曲部的外徑越接近所述第二接觸部的前端則越大。
此外，在上述發明中，可構成為所述棒狀構件的與長度方向垂直的剖面積比形成在所述導電性接觸件的所述開口部的面積更小。
此外，在上述發明中，可構成為所述第二接觸部的前端比所述導電性接觸件支架的外側面中的內側形成有所述第一引導槽的部分的外側面更向該外側面的法線方向突出。
根據本發明，提供一種導電性接觸件及導電性接觸件單元，其具備與輸出檢查用的信號的電路構造接觸的第l接觸部；具有在與長度方向正交且與寬度方向平行的方向上延伸的多個直線部、及將相鄰的上述直線部連接而彎曲為圓弧狀的多個彎曲部，且可在長度方向上伸縮的彈性部；與
檢查對象接觸的前端比上述彈性部的寬度方向的邊緣端部更向從上述彈
性部的寬度方向的中心軸遠離的方向突出的第2接觸部，並且，上述多個彎曲部中，在上述第2接觸部突出的一側彎曲的上述彎曲部的外徑越接近上述第2接觸部的前端則越小，上述多個彎曲部中，在與上述第2接觸部突出的一側為相反側彎曲的上述彎曲部的外徑越接近上述第2接觸部的前端則越大，由此可應對配列間隔的狹小化並具有較佳的耐久性，並且能夠容易以目視方式觀察與檢查對象的接觸狀況。


圖1是表示本發明一實施方式的導電性接觸件單元的結構立體圖。圖2是表示本發明一實施方式的導電性接觸件的結構圖。
8圖3是表示用於說明彎曲部的外徑的設定例的圖。
圖4是表示導電性接觸件支架的上表面部的局部放大立體圖。
圖5是表示本發明的一實施方式的導電性接觸件單元的內部結構圖。圖6是表示本發明的一實施方式的變形例的導電性接觸件的結構圖。主要組件符號說明
1 導電性接觸件單元2導電性接觸件
3 導電性接觸件支架上表面部
3b側面部3c側面部
3d 底面部4棒狀構件
5 導電性接觸件21第1接觸部
22第2接觸部23彈性部
23a-l、 23a-2、…23a-n、 53a-i直線部
23b畫l、 23b-2、 23b-(n+l)、 53b-j彎曲部
24第l連接部25開口部
26第2連接部31保持部
31a第1引導槽31b第2引導槽
32固接用孔部51第1接觸部
52第2接觸部53彈性部
54第l連接部55開口部
56第2連接部勵電路基板
101固定構件200檢查對象
L！直線(基準直線)L2、 L3直線(第2直線)
P、 Q 前端外徑
效偏移量
&、 h 突出量
具體實施例方式
以下參照

用於實施本發明的最佳的方式(以下稱為「實施方式」)。此外，圖式為示意圖，各部分的厚度與寬度的關係、以及各個部分的厚度的比例等也會有與實際有所不同，在此應予注意。此外，當然也包含即使在各圖式相互之間，尺寸的關係及比率互為不同的部分。
圖1是表示本發明一實施方式的導電性接觸件單元的結構立體圖。該圖所示的導電性接觸件單元1用於進行對作為檢査對象的液晶面板等的電路構造的導通狀態檢查或動作特性檢査，並具備形成為板狀的多個導電性接觸件2;收納並保持多個導電性接觸件2的導電性接觸件支架3;及固接於導電性接觸件支架3，並支撐多個導電性接觸件2的棒狀構件4。
首先，說明導電性接觸件2。圖2是表示本實施方式1的導電性接觸件2的結構的圖式。在以下的說明中，將圖2的垂直方向稱為「導電性接觸件2的長度方向」，將圖2的水平方向稱為「導電性接觸件2的寬度方
向J，將與長度方向及寬度方向正交的方向，即垂直於紙面的方向稱為「導電性接觸件2的板厚度方向」。
圖2所示的導電性接觸件2使用導電性材料而形成為板狀，並確立生成檢查用的信號的電路構造與檢査對象之間的電連接。具體而言，導電性接觸件2具備與包含檢査用電路的規定的電路構造物理性接觸的第1接
觸部21;與液晶面板等的檢查對象物理接觸的第2接觸部22;設置在第l
接觸部21及第2接觸部22之間，並可在長度方向上伸縮的彈性部23;連接第1接觸部21及彈性部23的第1連接部24;連接第2接觸部22及彈性部23，並形成有貫通板厚(厚度)方向的開口部25的第2連接部26。
第1接觸部21以從第1連接部24的短邊方向中央部向長度方向突出的方式而設置。然而，第1接觸部21的從第1連接部24突出的位置並不限定於此，只要根據設置於接觸對象的電路構造的電極的位置等條件而確定即可。
第2接觸部22比彈性部23的寬度方向的邊緣端部向更遠離彈性部23的寬度方向的中心軸的方向突出。第2接觸部22的形狀需依據導電性接觸件2的材質或檢査時應施加於導電性接觸件2的載荷、收納並保持導電性接觸件2的導電性接觸件支架3的形狀、及檢查對象的種類等的種種條件而予以確定，只要比第2連接部26的寬度方向的邊緣端部更向該寬度方向突出，則可針對該形狀的細節部進行適當的變更。
彈性部23具有在與導電性接觸件2的長度方向正交且與導電性接觸件2的寬度方向平行的方向上延伸的多個直線部23a-l、 23a-2、…、23a曙n、
10及將相鄰的直線部彼此連接並彎曲為圓弧狀的多個彎曲部23b-l、
23b-2、…、23b-n、 23b-(n+l)，並沿著長度方向而形成為蜿蜒為S字狀的形狀。彈性部23的寬度方向的長度與第1連接部24及第2連接部26的寬度方向的長度相同。此外，在圖2所示的情況下，直線部的數目n雖為奇數，但這僅為一例，n的具體數目根據施加於導電性接觸件2的載荷而適當地確定。
直線部23a-i(i^、 2、 ...、 n)的線徑ti越遠離第l接觸部21則越大，
即t，〈t2〈…〈tn。該線徑ti優選與從第l接觸部21的前端P或第2接觸
部22的前端Q至各直線部23a-i的中心為止的距離對應地線性變化即可。由此，可使彈性部23的在施加有導電性接觸件單元1的內部載荷時應力容易集中的部分(彎曲部23b-n的附近區域)的直線部23a-n的線徑tn形成為最粗，而降低該部分與導電性接觸件單元1之間的摩擦的影響。
彎曲部23b-l、 23b-2、 ...、 23b-(n-l)中，在第2接觸部22突出的一側
彎曲的彎曲部23b-j(j-2、 4.....n+l; j為偶數)，其外徑Rj越接近第2接
觸部22的前端則越小，即尺2>114>...>尺 +1。相對於此，在與第2接觸部22突出的一側為相反側彎曲的彎曲部23b-j(j^、 3、 ...、 n; j為奇數)，其外徑Rj越接近第2接觸部22的前端則越大，即R,〈R3〈.XRn。另外，R,及R2滿足R^R2。此外，彎曲部23b-k(1^1、 2、…、n+l)的線徑Tk根據在該端部連接的直線部23a-(k-l)的線徑tk.,與直線部23a-k的線徑tk而確定，且至少滿足tk.^Ktk(其中，k=l時，T,《t" k=n+l時，tn《Tn+1)。
彎曲部23b-j(j-l、 2、 ...、 n+l)的外徑Rj，更優選為設成以連結第l接觸部21的前端P及第2接觸部22的前端Q的直線L,作為基準直線，並根據使用該基準直線L,所確定的基準量進行線性變化即可。以下針對此點，參照表示出使用基準直線L,的外徑Rj的設定例的圖3進行說明。
首先說明在第2接觸部22突出的一側彎曲的彎曲部23b-j(j=2、 4、...、n+l; j為偶數)的外徑Rj。此時的外徑Rj與直線L,位於同一平面上，且至少與直線L,在彈性部23的內部不相交，並根據與平行於導電性接觸件2的長度方向的直線L2之間的距離而確定。具體而言，彎曲部23b-j(j:2、
4.....n+l; j為偶數)的外徑Rj以滿足與直線"和直線L2之間的距離且
通過該彎曲部23b-j的中心並與直線L2正交的方向的距離Xj(第1基準量)為具有線性關係Rj=aXj+|3(a〉0， (3為常數)的方式而確定。
相對於此，在與第2接觸部22突出的一側為相反側彎曲的彎曲部23b-j(j=l、 3、 ...、 n; j為奇數)的外徑Rj與直線I^位於同一平面上，且至少與直線L,在彈性部23的內部不相交，並根據與平行於導電性接觸件2的長度方向的直線L3之間的距離而確定。具體而言，彎曲部23b-j(j^、
3.....n; j為奇數)的外徑Rj以滿足與直線L,與直線L3之間的距離且為
通過該彎曲部23b-j的中心並與直線L3正交的方向的距離x'j(第2基準量)具有線性關係Rj=pc'j+5(y>0， S為常數)的方式而確定。
在此所說明的外徑Rj的確定方式僅為一例，第1及第2基準量的定義及(x、 p、 Y、 5的值可進行適當的變更。此外，第2直線(相當於上述直線"或直線LO的確定方式也可任意進行。
進而，作為第2直線，除使用如上述2條不同的直線L2及直線L3的外，也可使用當中任一條直線來定義第1及第2基準量。此時，彎曲部
23b-j(j=l、 2.....n+l)也可根據是否向第2接觸部22突出的一側彎曲而
適用不同的線性關係式並確定各彎曲部23b-j的外徑Rj。
接著說明導電性接觸件支架3。如圖1所示，導電性接觸件支架3系形成為大致呈長方體狀的外觀形狀，並具有貫通上表面部3a與底面部(圖1中未圖示)而保持多個導電性接觸件2的保持部31;及分別形成於經由保持部31而相互對置的側面部3b的規定位置，並將棒狀構件4的端部固接的固接用孔部32。
圖4是表示導電性接觸件支架3的上表面部3a的局部放大立體圖。如圖4所示，保持部31上形成有多對直線狀的第1引導槽31a及直線狀的第2引導槽31b，其中，第l引導槽31a是在安裝導電性接觸件2時，將該導電性接觸件2的寬度方向上的一方的邊緣端部中第2接觸部22突出側的邊緣端部嵌合而保持，第2引導槽31b位於與該第1引導槽31a相對的位置，並將嵌入該第1引導槽31a的導電性接觸件2的寬度方向的另一邊的邊緣端部嵌合保持。成對的第1引導槽3ia及第2引導槽31b具有將導電性接觸件2相對於與其長度方向垂直的面方向定位的功能，並具有引導導電性接觸件2的伸縮動作的功能。此外，第l引導槽31a及第2引導槽31b所形成的對中，互為相鄰的對彼此之間的間隔完全相等且相互平行。
各個第1引導槽31a及第2引導槽31b具有相同的槽寬度(設定為w)， 且具有相同的槽深度(設定為d)。在此雖說明第1引導槽31a的槽深度及 第2引導槽31b的槽深度為相等的情況，但是兩個引導槽的槽深度也可互 為不同。
圖5是表示導電性接觸件單元1的內部結構的圖式。圖5所示的導電 性接觸件支架3的剖面相當於圖4的A-A線剖面。如圖5所示，第1引導 槽31a及第2引導槽31b具有沿著圖5的z軸方向(垂直於槽寬度方向的方 向)互相平行而延伸的構造。第1引導槽31a在圖5的z軸方向上延伸的長 度比第2引導槽31b在相同的z軸方向上延伸的長度短，第2引導槽31b 雖到達導電性接觸件支架3的底面部3d為止，但第1引導槽31a僅到達 底面部3d的垂直上方的位置為止。
在圖1及圖5所示的坐標系(xyz)中，具有以上結構的導電性接觸件支 架3將導電性接觸件2保持為，其寬度方向與x軸方向平行，板厚度方向 與y軸方向平行，且長度方向與z軸方向平行。就此點而言，導電性接觸 件2的板厚度比第1引導槽31a及第2引導槽31b的槽寬度(w)稍小。
保持於導電性接觸件支架3的導電性接觸件2在載荷尚未施加於第1 接觸部21及第2接觸部22的狀態(圖5所示的狀態)下，第2接觸部22的 前端Q比導電性接觸件支架3的側面部3c更向x軸的正方向突出規定量 (設突出量為&)。此外，第2接觸部22的前端Q從導電性接觸件支架3 的底面部3d向z軸的負方向突出規定量(設突出量為h)。由此，操作人員 即使從導電性接觸件單元1的斜上方也能夠確認導電性接觸件2的前端與 檢查對象之間的物理性接觸的有無(參照圖1)。另外，圖5中，將從通過 第1接觸部21的前端P且平行於z軸方向的軸O到第2接觸部22的前端 的偏移量設定為A1<5在此所說明的突出量^及h以及偏移量A^艮據導電 性接觸件2或導電性接觸件支架3的大小、應施加到檢査對象的載荷等條 件而適當確定。
就防止與導電性接觸件2電連接而產生短路的觀點來看，導電性接觸 件支架3優選為以絕緣性材料形成。例如可使用低熱膨脹的合成樹脂形成 導電性接觸件支架3，並利用切割等而形成第1引導槽31a及第2引導槽
1331b。其它，例如可利用氧化鋁(Al203)、氧化鋯(Zr02)、氧化矽(Si02)等的
陶瓷、矽、環氧樹脂等的熱固化性樹脂、聚碳酸酯等的工程塑料等形成導
電性接觸件支架3的母材，並利用蝕刻等的加工技術而形成第1引導槽31a 及第2引導槽31b。此外也可構成為，使用其它適當的材料(不論是否有絕 緣性)形成母材，並對可能與導電性接觸件2接觸的部分(包含第1引導槽 31a及第2引導槽31b的部分)塗敷適當的絕緣性塗料，由此取代使用絕緣 性材料而形成導電性接觸件支架3的。就此點而言，也可對導電性接觸件 2的表面的一部分或全部塗敷絕緣性塗料。
接著說明棒狀構件4。棒狀構件4將多個導電性接觸件2安裝於保持 部31，並在貫通各個導電性接觸件2的開口部25的後，其兩端部插通於 分別形成在導電性接觸件支架3的相互對置的側面部3b的固接用孔部32， 並固接於導電性接觸件支架3。棒狀構件4 一併貫通由保持部31保持的多 個導電性接觸件2的開口部25，由此實現防止導電性接觸件2從保持部 31鬆脫的功能，並實現對導電性接觸件2賦予初期撓曲的功能。
棒狀構件4的與長度方向垂直的剖面形成為將圖5所示的長方形的角 倒角後形狀，其面積比導電性接觸件2所具有的開口部25的面積小。由 此，對於導電性接觸件2形成固接用孔部32時可容易進行加工。
鑑於棒狀構件4貫通多個導電性接觸件2的開口部25，並支撐這些全 部的導電性接觸件2，棒狀構件4優選以剛性較高，且即使施加載荷也不 會產生過大撓曲，並且與導電性接觸件2之間的滑動阻力較小的陶瓷等絕 緣性材料所形成。由此，當施加載荷時，可使導電性接觸件2的運動變得 順利。因此可縮小棒狀構件4與開口部25的間隔，並能夠確保棒狀構件4 對導電性接觸件2的支撐穩定性。
此外，棒狀構件4的與長度方向垂直的剖面形狀並不限定於上述形狀， 例如可為多邊形或是正方形等，也可為圓形。此外，固接用孔部32的形 狀當然可根據棒狀構件4的剖面形狀而改變。
在具有以上結構的導電性接觸件支架3的上方，安裝用於確保與生成 並輸出檢查用信號的信號處理電路之間的電連接的電路基板100。電路基 板100在由聚醯亞胺等所構成的片狀的基材的一側的表面，形成有由鎳等 所構成的多條配線及連接用的電極。在安裝電路基板100時，以使電路基板100的電極與導電性接觸件2的第1接觸部21接觸的方式進行定位， 並利用以與導電性接觸件支架3為相同的材料構成的固定構件101以及導 電性接觸件支架3夾持電路基板100，並使用螺釘等的緊固機構(未圖示) 來固定。結果為，對各個導電性接觸件2施加由作用在本身的重力以外的 力所形成的載荷(初始載荷)，且各個彈性部23在長度方向上收縮。
接下來說明導電性接觸件單元1與檢査對象200之間的接觸方式。在 進行檢查時，利用規定的驅動手段(未圖示)使液晶面板等的檢査對象200 與第2接觸部22的前端Q接觸，並上升至規定位置為止。由於第2接觸 部22的前端Q如上述從第1接觸部21的前端P向x軸方向偏移Ap因 此在與檢査對象200接觸的導電性接觸件2上產生力矩。g卩，彈性部23 收縮使開口部25離開棒狀構件4後，導電性接觸件2在圖5中順時針方 向旋轉微小角度。
通過上述旋轉，第2接觸部22的前端Q —邊保持檢査對象200的表 面上的接觸狀態， 一邊在檢査對象200上刮抓移動。如此，第2接觸部22 的前端在檢查對象200上移動，由此去除形成於檢查對象200的表面的氧 化膜以及附著於其表面的汙垢，並獲得與檢查對象200之間穩定的電性接 觸。此時，若適當的控制檢査對象200的移動速度(上升速度)，則可防止 第2接觸部22的前端大幅刮傷檢査對象200的表面，且不須對導電性接 觸件2施加過重負荷。
在使檢查對象200與第2接觸部22接觸時，彈性部23由於載荷所造 成的收縮而產生彈性變形。在本實施方式中，如上述設定直線部23a-i(i=l、
2.....n)的線徑ti及彎曲部23b-j(j^、 2、 .,.、 n+l)的外徑Rj，由此使檢
查對象200與第2接觸部22接觸並施加載荷時，使彈性部23的應力分布 達到均一，並能夠緩和應力集中於特定部位的情形。結果為，因施加於彈 性部23的最大應力值降低，可提升對於反覆應力的導電性接觸件2的耐 久性。此外，通過降低載荷而也可抑制第2接觸部22的前端部的變形， 就此點而言，也可提升導電性接觸件2的耐久性。
以上說明的導電性接觸件單元1在將一部分嵌入於沿著導電性接觸件 2的彈性部23的伸縮方向延伸的第1引導槽31a及第2引導槽31b的狀態 下保持導電性接觸件2。因此可防止形成為板狀的導電性接觸件2所特有
15的彈性部23收縮時的挫曲及扭曲的問題的產生，並避免由於這些挫曲及
扭曲而導致彈性部23的彈簧特性的惡化。因此，即使在適當的範圍內對 導電性接觸件2施加一定以上的載荷，也不會產生挫曲及扭曲而能夠實現 較大的行程，因此與檢查對象200之間可獲得期望的接觸狀態。
此外，在導電性接觸件單元1中，以第1引導槽31a及第2引導槽31b 保持導電性接觸件2，因此可降低導電性接觸件2與導電性接觸件支架3 之間的接觸面積並減少滑動阻力，而平順進行導電性接觸件2的伸縮動作。
進而，導電性接觸件單元l的第l引導槽31a及第2引導槽31b的槽 寬度(w)可為與導電性接觸件2的板厚相同程度的值，互相相鄰的第1引 導槽31a之間及第2引導槽31b之間的各間隔只要為可充分確保相鄰的導 電性接觸件2之間的絕緣性，則可為任意的較小的值。因此可將多個導電 性接觸件2的配列間隔狹小化，並能夠充分應對電路基板100或檢查對象 200所具有的連接用的電極或端子的配列間隔的狹小化。
此外，在導電性接觸件單元l中，通過使棒狀構件4貫通導電性接觸 件2，將初始撓曲賦予導電性接觸件2並防止鬆脫。結果為，可縮小第2 接觸部22的前端Q即導電性接觸件2的下端從導電性接觸件支架3的底 面部3d向垂直下方突出的突出量h。換而言之，即使縮小第2接觸部22， 也可防止其前端附近的彎曲而穩定地保持，並抑制導電性接觸件2在下端 部附近從第1引導槽31a及/或第2引導槽31b脫離。結果為可提高導電性 接觸件2的位置精度，並提升導電性接觸件單元1的可靠度及耐久性。
此外，在組裝導電性接觸件單元l時，將導電性接觸件2收納於保持 部31的工序，通過將第1接觸部21側插入於保持部31的內部，並將寬 度方向的邊緣端部嵌入第1引導槽31a及第2引導槽31b而完成此工序。 因此，可獲得較以往的導電性接觸件單元更容易進行組裝，並降低製造成 本的效果。
根據以上所說明的本發明的一項實施方式，提供一種導電性接觸件及 導電性接觸件單元，其具備與輸出檢查用的信號的電路構造接觸的第l 接觸部；具有在與長度方向正交且與寬度方向平行的方向上延伸的多個直 線部、及將相鄰的上述直線部連接而彎曲為圓弧狀的多個彎曲部，且可於 長度方向伸縮的彈性部；與檢查對象接觸的前端比上述彈性部的寬度方向
16的邊緣端部更向從上述彈性部的寬度方向的中心軸遠離的方向突出的第2 接觸部，並且，上述多個彎曲部中，在上述第2接觸部突出的一側彎曲的 上述彎曲部的外徑越接近上述第2接觸部的前端則越小，上述多個彎曲部
中，在與上述第2接觸部突出的一側為相反側彎曲的上述彎曲部的外徑越 接近上述第2接觸部的前端則越大，由此可應對配列間隔的狹小化並具有
較佳的耐久性，並且能夠容易以目視方式觀察與檢查對象的接觸狀況。
此外，根據本實施方式，將構成彈性部的多個直線部的寬度與彎曲部 的外徑產生如上述的傾斜變化的方式來設定，由此，使導電性接觸件與檢 查對象接觸並施加載荷時的彈性部的應力分布可達到均一，而能夠防止應 力集中於特定部位，並降低施加於彈性部的最大應力值。因此，可提升對
於反覆應力的導電性接觸件的耐久性。此外通過減少載荷也可抑制第2接
觸部的前端部的變形，故在此觀點上可使導電性接觸件的耐久性提升。 再者，根據本實施方式，由於與導電性接觸件的檢查對象的接觸部分
(第2接觸部)在寬度方向上比導電性接觸件支架更向外側突出，因此檢查 時，操作人員可從導電性接觸件單元的斜向上方，以目視或顯微鏡進行觀 察， 一邊確認導電性接觸件的前端與檢査對象之間的物理性接觸的有無， 一邊進行檢查操作。由此，操作人員不需彎曲姿勢而能夠觀察導電性接觸 件與檢査對象之間的接觸狀況。因此可更進一步提升檢査的操作性及可靠 度，並且可降低操作人員的負擔。
圖6是表示本實施方式的一變形例的導電性接觸件的結構的圖。圖6
所示的導電性接觸件5具備第1接觸部51;第2接觸部52;彈性部53;
第1連接部54;及具有開口部55的第2連接部56。第2接觸部52比第2 連接部56的寬度方向的邊緣端部(及彈性部53的寬度方向的邊緣端部)更 向從彈性部53的寬度方向的中心軸遠離的方向突出。此外，彈性部53的 寬度方向的邊緣端部比第1連接部54的邊緣端部或第2接觸部56的邊緣 端部更向接近彈性部53的寬度方向的中心軸的方向退避。另外，彈性部
53與導電性接觸件2的彈性部23相同，具有直線部53a-i(i^、 2.....n)
及彎曲部53b-j(j^、 2、 ...、 n+l)，並形成蜿蜒為S字狀的形狀，直線部 53a-i(i=l、 2、 ...、 n)的線徑ti及彎曲部53b-j(j^、 2、 ...、 n+l)的外徑Rj 及線徑Tk設定為與上述實施方式相同。在圖6所示的情況下，從第2接觸部52突出的一側的第l連接部54 的寬度方向的邊緣端部的退避量為iV另一方面，從與第2接觸部52突 出的一側為相反側的第1連接部54的寬度方向的邊緣端部的退避量為r2。 換而言之，彈性部53的寬度(寬度方向的長度)比第1連接部54的寬度或 第2連接部56的寬度小ri+r2。退避量ri及r2需要比導電性接觸件支架3 的槽深度的值d小。利用使用具有如此結構的導電性接觸件5能夠使導電 性接觸件5不會從第1引導槽31a或第2引導槽31b中脫離而確實地予以 保持。此外，退避量n及r2可為相等或不相等。此外，當中的一方的退避 量也可為0。
如此，使彈性部53的至少一部分嚮導電性接觸件5主體的中心部的 方向退避，在以導電性接觸件支架3收納導電性接觸件5並進行檢查時， 可減少彈性部53的邊緣端部與第1引導槽31a或第2引導槽31b的底部 接觸，並能夠降低彈性部53與各個引導槽底部之間的摩擦。結果為，可 抑制於施加載荷時的彈性部53的卡住，並具備可靠的原點復位能力。此 外，由於與導電性接觸件支架3之間的滑動阻力變小，因此可降低導電性 接觸件5的檢查載荷值的變動而達到穩定化。
到目前為止詳細敘述用於實施本發明的最佳方式，但本發明並不應僅 限定於上述一項實施方式。例如，本發明的導電性接觸件單元除了對液晶 面板進行檢查的外，也可適用於對搭載有半導體晶片的封裝基板或晶片等 級檢查中所使用的高密度導電性接觸件單元。
如此，本發明可包含在此所未記載的種種實施方式等，且在不脫離以 申請專利範圍所確定的技術性思想的範圍內，可進行種種的設計變更等。
工業上的利用可能性
如上所述，本發明的導電性接觸件及導電性接觸件單元在進行液晶面 板或半導體集成電路等電子部件的導通狀態檢査及動作特性檢査時極為有用。
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權利要求
1. 一種導電性接觸件，其形成為板狀，且將輸出檢查用的信號的電路構造與檢查對象電連接，其特徵在於，具備第一接觸部，其位於該導電性接觸件的長度方向的端部，並與所述電路構造接觸；彈性部，其具有在與所述長度方向正交且與該導電性接觸件的寬度方向平行的方向上延伸的多個直線部、及將相鄰的所述直線部彼此連接並彎曲為圓弧狀的多個彎曲部，且所述彈性部位於所述長度方向的中間部，並能夠在所述長度方向伸縮；以及第二接觸部，其位於所述長度方向的與所述第一接觸部不同的端部，且與所述檢查對象接觸的前端與所述彈性部的寬度方向的邊緣端部相比，在更遠離所述彈性部的寬度方向的中心軸的方向上突出，並且所述多個彎曲部中，在所述第二接觸部突出的一側彎曲的所述彎曲部的外徑越接近所述第二接觸部的前端則越小；所述多個彎曲部中，在與所述第二接觸部突出的一側相反的相反側彎曲的所述彎曲部的外徑越接近所述第二接觸部的前端則越大。
2. 如權利要求1所述的導電性接觸件，其特徵在於， 所述多個彎曲部中，在所述第二接觸部突出的一側彎曲的所述彎曲部的外徑以連接所述第一及第二接觸部的各自前端的直線作為基準直線，並與使用此基準直線而對於各彎曲部所確定的第一基準量對應地進行線性變化；所述多個彎曲部中，在與所述第二接觸部突出的一側相反的相反側彎 曲的所述彎曲部的外徑與使用所述基準直線對各彎曲部規定的第二基準 量對應地進行線性變化。
3. 如權利要求1所述的導電性接觸件，其特徵在於， 所述直線部的線徑越遠離所述第一接觸部的前端則越大。
4. 如權利要求3所述的導電性接觸件，其特徵在於，所述直線部的線徑與從所述第一接觸部的前端或所述第二接觸部的 前端至所述直線部的中心為止的距離對應地進行線性變化。
5. 如權利要求1 4中任一項所述的導電性接觸件，其特徵在於， 還具備第一連接部，其連接所述第一接觸部及所述彈性部；以及 第二連接部，其連接所述彈性部及所述第二接觸部，並形成有貫通該導電性接觸件的板厚方向的開口部，所述第一連接部、所述第二連接部及所述彈性部各自的所述寬度方向 上的長度互為相等。
6. 如權利要求1~4中任一項所述的導電性接觸件，其特徵在於，還具備第一連接部，其連接所述第一接觸部與所述彈性部；以及第二連接部，其連接所述彈性部與所述第二接觸部，並形成有貫通該 導電性接觸件的板厚方向的開口部，在所述彈性部的寬度方向的邊緣端部中的與所述第二接觸部突出的 一側為相反側的邊緣端部與所述第一及第二連接部的寬度方向的邊緣端 部中的與所述第二接觸部突出的一側為相反側的邊緣端部相比，朝更靠近 所述彈性部的寬度方向的中心軸的方向退避。
7. 如權利要求6所述的導電性接觸件，其特徵在於， 在所述彈性部的寬度方向的邊緣端部中的所述第二接觸部突出側的邊緣端部與所述第一及第二連接部的寬度方向的邊緣端部中的所述第二 接觸部突出側的邊緣端部相比，朝更靠近所述彈性部的寬度方向的中心軸 的方向退避。
8. —種導電性接觸件單元，其特徵在於，具備呈板狀的多個導電性接觸件，其具有第一接觸部，位於長度方向的 端部，並與輸出檢查用的信號的電路構造接觸；彈性部，具有在與所述長度方向正交且與該導電性接觸件的寬度方向平行的方向上延伸的多個直 線部及將相鄰的所述直線部彼此連接並彎曲為圓弧狀的多個彎曲部，且位於所述長度方向的中間部，並能夠在所述長度方向上伸縮；第二接觸部， 位於所述長度方向的與所述第一接觸部不同的端部，且與所述檢查對象接 觸的前端與所述彈性部的寬度方向的邊緣端部相比，在更遠離所述彈性部 的寬度方向的中心軸的方向上突出；第一連接部，連接所述第一接觸部及 所述彈性部；第二連接部，連接所述彈性部及所述第二接觸部，並形成有 貫通厚度方向的開口部，導電性接觸件支架，其具有多個第一引導槽，嵌合保持所述導電性 接觸件的長度方向的一方的邊緣端部中的所述第二接觸部突出側的邊緣 端部；多個第二引導槽，位於與所述多個第一引導槽分別相對向的位置， 並嵌合保持嵌入於相對向的所述第一引導槽的所述導電性接觸件的另一 方的邊緣端部；棒狀構件，貫通所述多個導電性接觸件分別具有的形成於所述第二連 接部的所述開口部，並固接於所述導電性接觸件支架，並且所述導電性接觸件的所述多個彎曲部中，在所述第二接觸部突出的一側彎曲的所述彎曲部的外徑越接近所述第二接觸部的前端則越小；所述多個彎曲部中，在與所述第二接觸部突出的一側相反的相反側彎 曲的所述彎曲部的外徑越接近所述第二接觸部的前端則越大。
9. 如權利要求8所述的導電性接觸件單元，其中，所述棒狀構件的與 長度方向垂直的剖面積比形成在所述導電性接觸件的所述開口部的面積 更小。
10. 如權利要求8或9所述的導電性接觸件單元，其中，所述第二接觸 部的前端比所述導電性接觸件支架的外側面中的內側形成有所述第一引 導槽的部分的外側面更向該外側面的法線方向突出。
全文摘要
本發明提供一種可應對配列間隔的狹小化並具有優異的耐久性，並且能夠容易以目視方式觀察與檢查對象的接觸狀況的導電性接觸件及導電性接觸件單元。為了達成此目的，該導電性接觸件具備與輸出檢查用的信號的電路構造接觸的第1接觸部；具有在與長度方向正交且與寬度方向平行的方向上延伸的多個直線部、及將相鄰的上述直線部連接而彎曲為圓弧狀的多個彎曲部，且可於長度方向伸縮的彈性部；與檢查對象接觸的前端比上述彈性部的寬度方向的邊緣端部更向從上述彈性部的寬度方向的中心軸遠離的方向突出的第2接觸部，並且，上述多個彎曲部中，在上述第2接觸部突出的一側彎曲的上述彎曲部的外徑越接近上述第2接觸部的前端則越小，且上述多個彎曲部中，在與上述第2接觸部突出的一側為相反側彎曲的上述彎曲部的外徑越接近上述第2接觸部的前端則越大。
文檔編號G01R1/067GK101506666SQ200780030708
公開日2009年8月12日 申請日期2007年8月9日 優先權日2006年8月18日
發明者大屋敷由香, 茂木孝浩 申請人:日本發條株式會社