閘閥的製作方法

2023-09-18 22:07:10 2

閘閥的製作方法
【專利摘要】本發明涉及一種閘閥(100)，所述閘閥，包括：閥片(120)，在閥殼(110)能夠密封開口部(112)；閥杆(130)，連接於所述閥片(120)，能夠進行上下及水平運動；導座(140)，連接於所述閥殼(110)的外側，在兩側內面形成有L動作塊導槽(142)；L動作塊(L-Motion?Block)(150)，連接於所述閥杆(130)，在兩側面設置有插入於所述L動作塊導槽(142)進行驅動的導輥(151)；驅動塊(160)，分別通過一個以上連杆(155)連接於所述L動作塊(150)的上側及下側；一個以上拉簧單元(170)，設置於所述L動作快(150)和所述驅動塊(160)之間；上下驅動單元(180)，用於上下驅動所述驅動塊(160)。
【專利說明】
閘閥

【技術領域】
[0001]本發明涉及一種閘閥(100)，所述閘閥，其特徵在於，包括:閥片(120)，在閥殼
(110)緊貼於形成在開口部(112)的周圍的閥座(Valve-Seat) (111)，可從內側密封所述開口部(112);閥杆(130)，連接於所述閥片(120)，通過波紋管(131)能夠以保持氣密性的方式從所述閥殼(110)內部向外部突出形成，並能夠進行上下及水平運動；導座(140)，連接於所述閥殼(110)的外側，在兩側內面形成有L動作塊導槽(142)，所述L動作塊導槽由朝上下方向形成的上下驅動區間凹槽(143)及朝水平方向形成的開閉驅動區間凹槽(144)而構成，所述開閉驅動區間凹槽朝向密封方向(c)並連續形成於所述上下驅動區間凹槽
(143)的上側；L動作塊(L-Mot1n Block) (150)，連接於所述閥杆(130)，在兩側面設置有插入於所述L動作塊導槽(142)進行驅動的導輥(151);驅動塊(160)，分別通過一個以上連杆(155)連接於所述L動作塊(L-Mot1n Block) (150)的上側及下側；一個以上拉簧單元(170)，設置於所述L動作塊(L-Mot1n Block) (150)和所述驅動塊(160)之間；上下驅動單元(180)，用於上下驅動所述驅動塊(160)。

【背景技術】
[0002]本發明涉及一種閘閥(gate valve),其用於打開或關閉將集成電路(IC)或其零件等加工物從某一真空處理室傳送至其他真空處理室的傳送路徑，或者打開或關閉壓縮流體或氣體等流體流動路徑或排氣流動路徑。
[0003]通常，例如在處理半導體晶片或液晶基板的裝置中，半導體晶片或液晶基板通過連通通道(communicat1n passageways)插入於多個處理室或從多個處理室撤回，在該連通通道設置有用於打開或關閉通道的閘閥。
[0004]作為閘閥的實施例，提出過各種各樣的實施例，其中，作為現有發明有如大韓民國授權專利第10-0338164號(專利文獻1:發明名稱為「閘閥」)的構成。
[0005]所述專利文獻I的閘閥，通過設置在閥箱外的操作手段並通過氣密地突出於閥箱外的閥杆自如移動閥箱內的閥桌(valve desk)使得離開或接觸於閥座，當所述閥杆的移動結束時，所述閥杆進行傾斜運動，使所述閥箱內的閥杆按壓所述閥桌，所述操作手段通過輥輪以及引導該輥輪的傾斜的長孔連接活塞氣缸裝置的活塞杆和閥杆之間，或者在兩者之間連接傾斜連杆而使兩端部自如旋轉。
[0006]但是，如圖1的(a)所示，現有閘閥，由於閥桌相對於上下方向及水平方向成緩慢的傾斜進行動作，因此，與設置於閘閥內部的各種構成要素發生幹擾或產生機械磨損等，而導致異物混入所述處理室內的問題。
[0007]對此，專利文獻2提出了一種真空閥(大韓民國公開專利第10-2011-0073476號)，所述真空閥改善了移動路徑傾斜的閘閥的構成，如圖1的(b)所示，在進行密封動作時，先朝上方驅動，然後朝密封位置水平移動。
[0008]所述專利文獻2的真空閥，包括:壁，具有由閥座圍繞的閥開口部；至少一個閥片，配置於真空閥的真空區域(所述閥片可從開放位置縱向移動到中間位置，然後，從該中間位置朝相對於縱向垂直的橫向移動到密封位置)；至少一個閥杆，具備閥片(所述閥杆被引導至真空閥的真空區域外，相對於壁可朝縱向(所述縱向與閥杆的縱軸平行)或橫向移動)；縱向驅動裝置及橫向驅動裝置，配置於真空閥的真空區域的外部(閥杆可朝縱向或橫向移動使得通過所述裝置移動閥板)。
[0009]但是，所述專利文獻2的真空閥，雖其動作路徑非常有效，但是，為了驅動閥門，需要縱向驅動裝置及橫向驅動裝置，因此，其構成非常複雜、且製造費用高。並且，為正確地進行打開或關閉動作，所述縱向驅動裝置及橫向驅動裝置應按照動作順序在正確的時間內互相聯動動作，所述聯動動作需要非常複雜的構成要素。


【發明內容】

[0010]本發明的目的在於，解決現有發明所存在的問題，提供一種閥門，所述閥門僅使用一個驅動單元，其結構不僅簡單又可靠，而且也能進行密封動作或開放動作，從而，防止與設置於閘閥內部的各種構成要素發生幹擾，或者因機械磨損而產生的汙染物質進入所述處理室內的問題，從而，能有效進行動作，其中，進行所述密封動作時，所述閥板從開放位置縱向移動到中間位置之後，從該中間位置朝垂直於縱向的橫向移動到密封位置進行密封，所述開放動作以與密封動作相反順序進行。
[0011]為達成所述目的，本發明的閘閥，其特徵在於，包括:閥片(120)，在閥殼(110)緊貼於形成在開口部(112)的周圍的閥座(Valve-Seat) (111)，可從內側密封所述開口部
(112);閥杆(130)，連接於所述閥片(120)，通過波紋管(131)能夠以保持氣密性的方式從所述閥殼(110)的內部向外部突出形成，並能夠進行上下及水平運動；導座(140)，連接於所述閥殼(110)的外側，在兩側內面形成有L動作塊導槽(142)，所述L動作塊導槽由朝上下方向形成的上下驅動區間凹槽(143)及朝水平方向形成的開閉驅動區間凹槽(144)而構成，所述開閉驅動區間凹槽朝向密封方向(c)並連續形成於所述上下驅動區間凹槽(143)的上側山動作塊(L-Mot1n Block) (150)，連接於所述閥杆(130)，在兩側面設置有插入於所述L動作塊導槽(142)進行驅動的導輥(151);驅動塊(160)，分別通過一個以上連杆(155)連接於所述L動作塊(L-Mot1n Block) (150)的上側及下側；一個以上拉簧單元(170)，設置於所述L動作塊(L-Mot1n Block) (150)和所述驅動塊(160)之間；上下驅動單元(180)，用於上下驅動所述驅動塊(160)。
[0012]本發明進一步包括:下側突出部(161)，形成於所述驅動塊(160)的下側，在密封狀態下接觸並支撐所述L動作塊(L-Mot1n Block) (150)的下表面；驅動塊引導件(166)，設置於所述驅動塊(160)，並結合於設置在所述導座(140)的內側的驅動塊導軌(165)，從而使所述驅動塊(160)僅朝上下方向驅動。
[0013]另外，其特徵在於，所述拉簧單元(170)包括:第一彈簧銷(154)，設置於彈簧銷通孔(153)，所述彈簧銷通孔分別形成於所述L動作塊(L-Mot1n Block) (150)的上側及下側的2個以上部位；第二彈簧銷(164)，設置於彈簧銷結合孔(163)，所述彈簧銷結合孔分別形成於所述驅動塊(160)的上側及下側的2個以上部位；彈簧(171)，分別設置於所述第一彈簧銷(154)的兩末端和所述第二彈簧銷(164)的兩末端，其特徵還在於，在連接所述上下驅動區間凹槽(143)和所述開閉驅動區間凹槽(144)的區間的外周緣還形成有具有曲率的彎曲部。
[0014]另外，所述上下驅動單元(180)進一步包括活塞(182)，所述活塞設置於氣缸(181)的內部，通過空壓朝上下方向驅動，在上側設置有連接於所述驅動塊(160)的驅動杆(183)。
[0015]根據本發明的閥門，僅使用一個驅動單元，其結構不僅簡單又可靠，而且也能進行密封動作或開放動作，從而，防止與設置於閘閥內部的各種構成要素發生幹擾，或者因機械磨損而產生的汙染物質進入所述處理室內的問題，從而，能有效進行動作，其中，進行所述密封動作時，所述閥板從開放位置縱向移動到中間位置之後，從該中間位置朝垂直於縱向的橫向移動到密封位置進行密封，所述開放動作以與密封動作相反順序進行。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0016]圖1的(a)和(b)是比較現有閘閥的動作路徑的模式圖；
[0017]圖2是示出根據本發明的一實施例的閘閥的外形和內部的側面投影圖；
[0018]圖3是示出根據本發明的一實施例的閘閥的外形及內部的正面投影圖；
[0019]圖4的(a)、(b)、及(C)是示出根據本發明的一實施例的閘閥的各部分的側截面圖；
[0020]圖5是示出根據本發明的一實施例的閘閥的主要構成要素的結合關係的分解立體圖；
[0021]圖6的(a)、(b)、(C)、及⑷是示出根據本發明的一實施例的閘閥的動作過程圖；
[0022]圖7的(a)和(b)是示出根據本發明的一實施例的閘閥的驅動塊和L動作塊的動作過程以及密封狀態下的立體圖。

【具體實施方式】
[0023]以下，參照附圖詳細說明根據本發明的一實施例的閘閥。首先，應注意在圖中對相同的構成要素或零件標註相同的符號。在說明本發明時，省略對相關公知功能或構成的詳細說明以防本發明的要旨不明確。
[0024]如圖2及圖5所示，本發明的閘閥大致包括:閥片(120)、閥杆(130)、導座(140)、L動作塊(L-Mot1n Block) (150)、驅動塊(160)、拉簧單元(170)以及上下驅動單元(180)。
[0025]首先，對閥片(120)進行說明。如圖5所示，所述閥片在閥殼(110)緊貼於形成在開口部(112)的周圍的閥座(Valve-seat) (111)，可從內側密封所述開口部(112)。通過所述閥片(120)開放或密封所述開口部(112)，從而，實現本發明的閘閥(100)的開放及密封動作。
[0026]接著，對閥杆(130)進行說明。如圖5所示，所述閥杆(130)連接於所述閥片
(120)，如圖2及圖4的(a)、(b)、(c)所示，所述閥杆通過波紋管(131)以保持氣密性的方式從所述閥殼(110)的內部向外部突出形成，並能夠進行上下及水平運動。
[0027]接著，對導座(140)進行說明。如圖2及圖4的(a)、(b)、(C)所示，所述導座(140)連接於所述閥殼(110)的外側，在內部安裝所述L動作塊(150)及所述驅動塊(160)等主要動作單元，以進行保護。如圖5所示，在所述導座(140)的兩側內面形成有L動作塊導槽(142)，所述L動作塊導槽由朝上下方向形成的上下驅動區間凹槽(143)及朝水平方向形成的開閉驅動區間凹槽(144)而構成，所述開閉驅動區間凹槽朝向密封方向(c)並連續形成於所述上下驅動區間凹槽(143)的上側。此處，所述L動作塊導槽(142)整體呈倒「L」字型，即具有類似「Γ」的形狀。另外，在連接所述L動作塊導槽(142)的所述上下驅動區間凹槽(143)和所述開閉驅動區間凹槽(144)的區間的外周緣，如圖4的(c)所示，優選形成具有曲率的彎曲部r，使得能柔和地進行動作。
[0028]一方面，作為構成所述導座(140)的實施例，可通過一體成型等各種實施例體現，但是，一般優選構成為，如圖5所不,包括側面導向板(141)、殼體上板(146)以及殼體下板(147)，並將這些相結合製造。此時，所述L動作塊導槽(142)優選形成於所述側面導向板
(141)的內面。
[0029]接著,對L動作塊(150)進行說明。如圖4的(a)、(b)、(C)及5所示,所述L動作塊(150)連接於所述閥杆(130)，在兩側面設置有插入於所述L動作塊導槽(142)而驅動的導棍(151) ο
[0030]接著，對驅動塊(160)進行說明。如圖5及圖7的(a)、(b)所示，所述驅動塊(160)分別通過一個以上連杆(155)連接於所述L動作塊(150)的上側及下側，由此，由於通過所述連杆(155)分別連接於所述L動作塊的上側及下側的構成，如圖6的(a)、(b)、(C)、(d)及圖7的(a)、(b)所示，所述L動作塊(150)和所述驅動塊(160)能夠以相互保持平衡的狀態下進行互相緊貼或隔開的動作。
[0031]此時，作為構成所述連杆(155)的實施例可以有很多實施例。作為構成所述連杆
(155)的一實施例，優選為，如圖5及圖7的(a)、(b)所示，在分別朝側面方向貫穿形成於所述L動作塊(150)的上側及下側的連杆銷通孔(152)分別插入連杆銷(156)，並在朝側面方向分別貫穿形成在所述驅動塊(160)的上側及下側的連杆銷結合孔(162)也插入連杆銷
(156)，然後，在處於分別對應於所述L動作塊(150)的所述連杆銷(156)的位置的所述驅動塊(160)的所述連杆銷(156)設置連杆(155)。
[0032]另外，如圖4的(a)、(b)、(c)及圖5所示，優選為，在所述驅動塊(160)的下側形成有下側突出部(161)，在密封狀態下，所述下側突出部接觸並支撐所述L動作塊(150)的下表面，從而，在密封狀態下，確實地支撐所述L動作塊(150)而能穩定地保持密封狀態。
[0033]在進行開放動作時，在所述L動作塊(150)和所述驅動塊(160)之間也會通過所述連杆(155)產生很強的拉力，此時，所述驅動塊(160)朝所述L動作塊(150)的方向移動而有可能發生動作不良。為防止所述動作不良，如圖4的(b)或圖5所示，優選為，在所述驅動塊(160)進一步設置驅動塊引導件(166)，所述驅動塊引導件結合於設置在所述導座
(140)的內側的驅動塊導軌(165)，以使所述驅動塊僅朝上下方向驅動，從而，徹底防止因所述驅動塊(160)移動到側方而導致的動作不良。
[0034]接著，對拉簧單元(170)進行說明。如圖6的(a)、(b)、(c)、(d)及圖7的(a)、(b)所示，具備有一個以上的所述拉簧單元(170)，其設置於所述L動作塊(150)和所述驅動塊(160)之間，並向所述L動作塊(150)和所述驅動塊(160)之間提供拉力。在通過所述拉簧單元(170)開始開放動作的階段，通過所述驅動塊(160)的下降動作，所述L動作塊(150)朝所述驅動塊(160)的方向水平移動的動作更加順利。
[0035]此時，體現所述拉簧單元(170)的實施例有很多。作為體現所述拉簧單元(170)的一實施例，如圖6的(a)、(b)、(c)、(d)及圖7的(a)、(b)所示，優選包括:第一彈簧銷(154)，設置於彈簧銷通孔(153)，所述彈簧銷通孔分別形成於所述L動作塊(150)的上側及下側的2個以上部位；第二彈簧銷(164)，設置於彈簧銷結合孔(163)，所述彈簧銷結合孔分別形成於所述驅動塊(160)的上側及下側的2個以上部位；彈簧(171)，分別設置於所述第一彈簧銷(154)的兩末端和所述第二彈簧銷(164)的兩末端。
[0036]接著，說明上下驅動單元(180)。所述上下驅動單元(180)具有上下驅動所述驅動塊(160)的功能。體現所述上下驅動單元(180)的實施例可以有很多。作為體現所述上下驅動單元(180)的一實施例，如圖4的(a)、(b)、(c)及圖5所示，優選為，可進一步包括活塞(182)，所述活塞設置於氣缸(181)的內部，通過空壓上下驅動，在上側設置有連接於所述驅動塊(160)的驅動杆(183)。一般，優選為，所述氣缸(181)結合於所述殼體下板(147)，使得在維修本發明的閘閥(100)時容易分解及結合，並製作成一體。
[0037]以下，說明根據本發明的一實施例的閘閥(100)的動作。
[0038]首先說明所述閘閥(100)的密封過程。
[0039]在如圖7的(a)所示的開放狀態(圖7的(a)和(b)中，為明確表示動作的主要部分，省略了閥殼(110)的圖示)下開始密封過程，如圖7的(b)所示，所述上下驅動單元(180)上升的同時所述驅動塊(160)進行上升。此時，所述L動作塊(150)的導輥(151)位於所述L動作塊導槽(142)的所述上下驅動區間凹槽(143)，因此，通過所述連杆(155)接受所述驅動塊(160)的驅動力，從而朝上側進行上升動作。
[0040]接著，如圖6的(C)所示，當所述L動作塊上升到最高上升位置(中間位置)而所述導輥(151)到達所述L動作塊導槽(142)的所述彎曲部!■時，所述驅動塊(160)進一步進行上升動作。
[0041]通過所述驅動塊(160)進一步進行上升動作，如圖6的(d)所示,所述L動作塊(150)隨著所述導輥(151)在所述L動作塊導槽(142)的所述開閉驅動區間凹槽(144)移動，通過所述連杆(155)與所述驅動塊(160)保持平衡狀態的同時，遠離所述驅動塊(160)，最終進行朝圖6的(d)的密封方向(c)水平移動的密封動作。
[0042]通過所述整體的密封過程，如圖1的(b)所示，所述L動作塊(150)經過倒「L」字型的形狀，即具有類似「Γ」形狀的路徑進行動作，通過所述閥杆(130)連接於所述L動作塊(150)的所述閥片(120)，也如圖1的(b)所示，經過倒「L」字型的形狀，即具有類似「Γ」形狀的路徑進行動作，由此，能防止與設置於閘閥的內部的各種構成要素發生幹擾或因機械磨損等而產生的異物進入所述處理室內的問題，從而，能有效進行動作。
[0043]另外，所述閘閥(100)的開放過程以與所述閘閥(100)的密封過程相反順序進行。此時，在通過所述拉簧單元(170)開始開放動作的階段，通過所述驅動塊(160)的下降動作，所述L動作塊(150)朝所述驅動塊(160)的方向水平移動的動作變得更加順利。
[0044]附圖及說明書公開了最佳實施例。在此雖使用了特定術語，但是，這些只是說明本發明的目的而使用的，並不是用來限定含義或者限制權利要求範圍所記載的本發明的範疇。因此，本發明所屬領域的技術人員可由此進行各種變形及均等的其他實施例。並且，本發明的真正的技術保護範圍應由權利要求範圍的技術思想而決定。
【權利要求】
1.一種閘閥(100)，其特徵在於，包括: 閥片(120)，在閥殼(110)中，緊貼於形成在開口部(112)的周圍的閥座(Valve-Seat)(111)，可從內側密封所述開口部(112)； 閥杆(130)，連接於所述閥片(120)，通過波紋管(131)以保持氣密性的方式從所述閥殼(110)內部向外部突出形成，並能夠進行上下及水平運動； 導座(140)，連接於所述閥殼(110)的外側，在兩側的內面上形成有L動作塊導槽(142)，所述L動作塊導槽是由朝上下方向形成的上下驅動區間凹槽(143)及朝水平方向形成的開閉驅動區間凹槽(144)來構成，所述開閉驅動區間凹槽朝向密封方向(c)並連續形成於所述上下驅動區間凹槽(143)的上側； L動作塊(L-Mot1n Block) (150)，連接於所述閥杆(130)，在兩個側面上設置有插入於所述L動作塊導槽(142)並進行驅動的導輥(151)； 驅動塊(160)，分別通過一個以上連杆(155)連接於所述L動作塊(L-Mot1n Block)(150)的上側及下側； 一個以上拉簧單元(170)，設置於所述L動作塊(L-Mot1n Block) (150)和所述驅動塊(160)之間；以及 上下驅動單元(180)，用於上下驅動所述驅動塊(160)。
2.根據權利要求1所述的閘閥(100)，其特徵在於，進一步包括: 下側突出部(161)，還形成於所述驅動塊(160)的下側，在密封狀態下接觸並支撐所述L動作塊的下表面； 驅動塊引導件(166)，還設置於所述驅動塊(160)，並結合於設置在所述導座(140)的內側的驅動塊導軌(165)，從而使所述驅動塊(160)僅在朝向上下方向驅動。
3.根據權利要求1所述的閘閥(100)，其特徵在於，所述拉簧單元(170)還包括: 第一彈簧銷(154)，設置於彈簧銷通孔(153)，所述彈簧銷通孔分別形成於所述L動作塊(L-Mot1n Block) (150)的上側及下側的2個以上部位； 第二彈簧銷(164)，設置於彈簧銷結合孔(163)，所述彈簧銷結合孔分別形成於所述驅動塊(160)的上側及下側的2個以上部位；以及 彈簧(171)，分別設置於所述第一彈簧銷(154)的兩末端和所述第二彈簧銷(164)的兩末端， 其中，在連接所述上下驅動區間凹槽(143)和所述開閉驅動區間凹槽(144)的區間的外周緣形成有具有曲率的彎曲部。
4.根據權利要求1所述的閘閥(100)，其特徵在於，所述上下驅動單元(180)進一步包括活塞(182)，所述活塞設置於氣缸(181)的內部，通過空壓朝上下方向驅動，在上側設置有連接於所述驅動塊(160)的驅動杆(183)。
5.根據權利要求1所述的閘閥(100)，其特徵在於，進一步包括: 下側突出部(161)，形成於所述驅動塊(160)的下側，在密封狀態下，接觸並支撐所述L動作塊(150)的下表面； 驅動塊引導件(166)，設置於所述驅動塊(160)，並結合於設置在所述導座(140)的內側的驅動塊導軌(165)，以使所述驅動塊(160)僅朝上下方向驅動， 所述拉簧單元(170)，包括: 第一彈簧銷(154)，設置於彈簧銷通孔(153)，所述彈簧銷通孔分別形成於所述L動作塊(L-Mot1n Block) (150)的上側及下側的2個以上部位； 第二彈簧銷(164)，設置於彈簧銷結合孔(163)，所述彈簧銷結合孔分別形成於所述驅動塊(160)的上側及下側的2個以上部位；以及 彈簧(171)，分別設置於所述第一彈簧銷(154)的兩末端和所述第二彈簧銷(164)的兩末端， 其中， 在連接所述上下驅動區間凹槽(143)和所述開閉驅動區間凹槽(144)的區間的外周緣形成有具有曲率的彎曲部， 所述上下驅動單元(180)進一步包括活塞(182)，所述活塞設置於氣缸(181)的內部，通過空壓朝上下方向驅動，在上側設置有連接於所述驅動塊(160)的驅動杆(183)。
【文檔編號】F16K3/18GK104204635SQ201380018556
【公開日】2014年12月10日 申請日期:2013年4月8日 優先權日:2012年4月6日
【發明者】池晨瑛 申請人:普利西斯株式會社