洗滌方法和液晶裝置的製造方法
2023-09-16 00:50:50
專利名稱:洗滌方法和液晶裝置的製造方法
技術領域：
本發明涉及一種液晶板等工件的洗滌方法，和採用該洗滌方法的液晶裝置的製造方法。
背景技術：
在製造作為顯示裝置等使用的液晶裝置時，在使兩片基板貼合、形成板後，用減壓注入等方法在該板之間填充液晶。然後，在將板的液晶注入口封止後，或將板切斷後，對板進行洗滌，除去附著在板表面上的液晶等，之後採用各向異性導電膜等連接上柔性印刷線路板。
作為這種洗滌中採用的洗滌液，雖然有氟素類洗滌液，但由於氟素類洗滌液是破壞臭氧層的原因，所以其使用有被限制、禁止的傾向。因此，一直採用烴類洗滌液以取代氟素類洗滌液。
但是，烴類洗滌液雖然可除去有機物類汙垢，但存在不能充分除去無機物類汙垢的問題。而且，雖然有通過與水洗滌相組合而洗掉無機物類汙垢的方法，當如果採用水洗滌，則在廢水處理上要花很大成本，同時存在乾燥時費時費力的問題。
因此，可以考慮通過採用加有界面活性劑的烴類洗滌液，將附著在液晶板上的有機類和無機類汙垢洗掉的方法，但在採用這種洗滌液時，存在洗滌後的液晶板上殘留的界面活性劑可能會有影響的問題。
鑑於上述問題，本發明的目的在於提供一種即使用烴類洗滌液進行洗滌時，也可以將有機物類和無機物類任一類型的汙垢從工件上完全除去、同時不會殘留界面活性劑的洗滌方法，和採用該洗滌方法的液晶裝置的製造方法。
為了解決上述問題，本發明為一種具有採用加有界面活性劑的烴類洗滌液、對工件進行浸漬洗滌的前洗滌工序，和採用未摻合有界面活性劑的烴類洗滌液、對該前洗滌工序結束後的工件進行浸漬洗滌的後洗滌工序的洗滌方法，其特徵為，在上述後洗滌工序中，在將工件浸漬在洗滌液中的狀態下，重複進行使洗滌槽內減壓的操作和恢復到大氣壓的操作。
本發明中，通過用加有界面活性劑的的烴類洗滌液對工件進行洗滌，在將附著在工件上的有機類和無機類汙垢除去後(前洗滌工序)，在未摻合有界面活性劑的烴類洗滌液中洗滌工件，將附著在工件上的加有界面活性劑的烴類洗滌液洗掉(後洗滌工序)。
而且，在洗滌工序中，由於在將工件浸漬在洗滌液中的狀態下重複進行使洗滌槽內減壓的操作和恢復到大氣壓的操作，所以在減壓時，工件的空隙或工件和工件之間生成氣泡並結合，成為大的氣泡，從空隙之間放出。因此，由於洗滌液順利地浸透在空隙之間，所以進入空隙之間的加有界面活性劑的烴類洗滌液可完全置換成未摻合有界面活性劑的烴類洗滌液。從而在洗滌後的工件上，可完全除去有機類和無機類的汙垢，同時含在前洗滌工序中採用的洗滌液中的界面活性劑不會殘留在工件上。
在本發明中，最好在上述前洗滌工序和上述後洗滌工序中任一個工序中，邊使工件傾斜邊將其從洗滌液中拉出。這樣，當將工件拉出時，在通常的姿勢下流不出來的洗滌液也從工件上流出。因而可大幅度減少附著在從洗滌液中拉出的工件上的洗滌液。
在本發明中，最好在上述前洗滌工序和上述後洗滌工序中任一個工序中，邊使工件上下運動邊將其從洗滌液中拉出。若採用這種結構，則進入工件的空隙之間或工件和工件之間的髒洗滌液和儲存在洗滌槽中的洗滌液能夠可靠地置換。
在本發明中，最好在上述前洗滌工序和上述後洗滌工序之間對工件進行乾燥處理。若採用這樣的結構，則一旦將進入工件的空隙之間或工件和工件之間的洗滌液除去後，可轉移到後洗滌工序，所以在進行後洗滌工序時，洗滌液可順利地進入工件的空隙之間或工件和工件之間，能夠進行良好的洗滌。
本發明的洗滌方法可適用於例如將封入了液晶的液晶板作為上述工件進行洗滌的情況。即，在構成液晶板的一對基板中至少一方的基板採用了鈉鈣玻璃基板的情況下，鈉鈣玻璃價格低廉，但代價是存在加熱時從基板自身有鹼金屬在表面上析出，生成鹽的缺點。儘管如此，在本發明中，由於這種無機物質也由加有界面活性劑的烴類洗滌液洗掉，所以根據本發明，可消除鹼金屬在表面上析出、生成鹽，產生腐蝕這種玻璃基板的問題。
本發明在用於將數片液晶板重疊的狀態下洗滌的情況下效果更好。本發明中，在後洗滌工序中，由於是在將液晶板浸漬在洗滌液中的狀態下重複在減壓的狀態和返回大氣壓的狀態，所以減壓時氣泡生成並結合，成為大的氣泡，從空隙之間放出。因此，洗滌液順利地浸透到空隙之間，所以進入液晶板的空隙或液晶板和液晶板之間的加有界面活性劑的烴類洗滌液可完全置換成未摻合有界面活性劑的烴類洗滌液。因而在洗滌後的液晶板上，可完全除去有機類和無機類的汙垢，同時不會殘留含在前洗滌工序中使用的洗滌液中的界面活性劑。
如上所述，在本發明中，通過用加有界面活性劑的烴類洗滌液洗滌工件，在將附著在工件上的有機類和無機類汙垢除去之後，在未摻合有界面活性劑的烴類洗滌液中洗滌工件，將附著在工件上的加有界面活性劑的烴類洗滌液完全洗掉。而且，在後洗滌工序中，由於是在將工件浸漬在洗滌液中的狀態下重複進行將洗滌槽內減壓的操作和返回大氣壓的操作，所以在減壓時，在工件的空隙或工件和工件之間生成氣泡並結合，成為大的氣泡，從空隙放出。因此，洗滌液順利地浸透空隙中。所以，進入到空隙中的加有界面活性劑的烴類洗滌液可完全置換成未摻合有界面活性劑的烴類洗滌液。因而可在洗滌後的工件上完全除去有機類和無機類汙垢，同時也不會殘留含在前洗滌工序中使用的洗滌液中的界面活性劑。
而且，在液晶裝置的製造方法中採用本發明的洗滌方法，由於不僅可提高液晶裝置的洗滌效果，還可以一次處理大量的液晶裝置，所以可縮短製造時間和降低成本。
附圖的簡要說明
圖1為構成液晶裝置中採用的液晶板的結構的縱向剖視圖。
圖2為圖1所示的液晶板的俯視圖。
圖3為表示圖1所示的液晶板的製造工序中、液晶注入工序中將液晶注入基板之間的方法的說明圖。
圖4為表示用於實施本發明的洗滌方法的帶有蒸餾再生機能的洗滌機整體結構的方框圖。
圖5為表示在圖4所示的帶有蒸餾再生機能的洗滌機中進行浸漬洗滌時的說明圖。
圖6為在圖4所示的帶有蒸餾再生機能的洗滌機中洗滌液晶板所採用的保持器的說明圖。
圖7為說明在圖4所示的帶有蒸餾再生機能的洗滌機中進行噴淋洗滌和蒸汽洗滌時的說明圖。
圖8為表示在圖4所示的帶有蒸餾再生機能的洗滌機中進行乾燥工序時的說明圖。
圖9為用於說明在圖4所示的帶有蒸餾再生機能的洗滌機中，採用多級蒸餾的效果而示出的沸點-組成特性的曲線圖。
圖10為說明在本發明其它實施形式的洗滌方法中，將液晶板拉出時的說明圖。
圖11為表示在本發明其它實施形式的洗滌方法中，用別的方法將液晶板拉出時的說明圖。
實施發明的形式參照附圖對本發明的實施形式加以說明。另外，在說明本發明的各實施形式之前，對作為洗滌對象(工件)的液晶板的結構和其製造方法加以說明。
工件/液晶板的結構圖1和圖2分別為表示液晶顯示裝置(液晶裝置)中採用的液晶板的結構的縱向剖視圖和俯視圖。圖3為表示在該液晶板中注入液晶的工序說明圖。
圖1中所示的液晶板1為單純的矩陣型液晶裝置用，具有玻璃板構成的透明、薄的第一透明基板10和由相同的玻璃板構成的透明、薄的第二透明基板20。在這些基板的一方上通過印刷等形成密封劑30，隔著該密封劑30，第一透明基板10和第二透明基板20留有指定間隙31(小室間隙)地粘接固定。在此，第一透明基板10和第二透明基板20的小室間隙是由夾在第一透明基板10和第二透明基板20之間的多個隔離件32所規定的。
如圖2所示，在密封劑30上形成有作為注入液晶時的液晶注入口301的切口部分，該液晶注入口301是由紫外線固化樹脂構成的封止劑305封止的。
在圖1中，第一透明基板10和第二透明基板20之間的間隙31中由密封劑30劃分的液晶封入區域300內封入有液晶40。在第一透明基板10和第二透明基板20的各對向面上形成的帶狀電極105、205的雙方的表面上形成有定向膜101、201，以STN(Super TwistedNematic)方式使用液晶40。
在第一透明基板10和第二透明基板20的各外側表面上分別貼有偏光板102、202。另外，在液晶板1是作為反射型液晶板1構成時，貼在第二透明基板20上的偏光板202上貼有反射板203。
在第一透明基板10的內側表面上，例如通過ITO(銦錫氧化物)膜形成向橫向延伸的數個帶狀電極105，在第二透明基板20的內側表面上，通過ITO膜形成向縱向延伸的多個帶狀電極205。在這些帶狀電極105、205之間的各交叉部分上構成畫素。由於第二透明基板20大於第一透明基板10，所以第二透明基板20的一部分從第一透明基板10的下端緣突出，在該突出部分的端部上構成的端子206上通過各向異性導電膜3等連接有柔性印刷線路板2。在此，端子206是例如將在形成於第二透明基板20上的帶狀電極205原封不動地突出的部分上也配線(延伸)形成的部分、和形成於第一透明基板10上的帶狀電極105通過導通劑(圖中未示出)實現第一透明基板10和第二透明基板20之間電連接，在突出部分上配線形成的部分配列連接加以利用的。因此，當通過柔性印刷線路板2，從外部電路輸入各種控制信號或電源等驅動信號時，可根據該驅動信號將電壓加在所希望的適當的帶狀電極105、205上。因而可控制各畫素中液晶40的定向狀態，在液晶板1上顯示所希望的圖象。
液晶板的製造方法在這種液晶板1的製造方法中，第一透明基板10和第二透明基板20均是在中途可取多片這樣的基板的大型基板的狀態下形成帶狀電極105、205後，在大型基板的狀態下通過密封劑30相互貼合。這樣，在大型基板的狀態下貼合後切斷成長方形的狀態下進行圖3所示的液晶注入工序。
在圖3中，當進行液晶注入工序時，在長方形的板100的切斷部分上，是分別在成為液晶板1的部分上開口有液晶注入口301的狀態。因此，在將長方形的板100配置在液晶注入裝置的處理室內後，使該處理室為真空，在該狀態下使儲存有液晶40的容器41上升，液晶注入口301為浸漬在容器41內的液晶40中的狀態，在該狀態下將處理室內向大氣開放，解除真空狀態。其結果，由於由第一透明基板10和第二透明基板20夾持的間隙31內為真空狀態，液晶40從液晶注入口301被吸入間隙31內。
這樣，在液晶40的注入結束後，如參照圖2所說明的那樣，用紫外線固化樹脂構成的封止劑305將液晶注入口301封止。
這樣，在結束液晶40的注入、封止工序後，或在將長方形的板100切斷成單個的液晶板1後，將附著的液晶或切斷時附著的玻璃粉洗滌、除去。
洗滌機的整體結構圖4為表示用於上述本發明的洗滌方法的帶有蒸餾再生機能的洗滌機整體結構的方框圖。圖5為表示用圖4所示的帶有蒸餾再生機能的洗滌機進行浸漬洗滌時的說明圖。圖6為用帶有蒸餾再生機能的洗滌機洗滌液晶板時採用的保持器的說明圖。圖7為表示用圖4所示的帶有蒸餾再生機能的洗滌機進行噴淋洗滌或蒸汽洗滌時的說明圖。圖8為表示用圖4所示的帶有蒸餾再生機能的洗滌機進行乾燥工序時的說明圖。
在圖4中，本形式的帶有蒸餾再生機能的洗滌機500(以下稱為洗滌機500)大致是由洗滌液晶板1等工件的洗滌部600和用於將該洗滌部600中使用的洗滌液蒸餾再生的蒸餾再生部700構成的。
在這種洗滌機500中，在洗滌部600中首先配置具備超音波振蕩器626的第一預備洗滌槽602，和具備超音波振蕩器627的第二預備洗滌槽603，由這兩個預備洗滌槽602、603進行前洗滌工序。第一預備洗滌槽602和第二預備洗滌槽603為整體構成，洗滌液從第二預備洗滌槽603向第一預備洗滌槽602中溢流。
在此，第一預備洗滌槽602和第二預備洗滌槽603中儲存有在主要成分為正壬烷或正癸烷等正鏈烷烴中添加了界面活性劑的加有界面活性劑的烴類洗滌液。這種界面活性劑例如為脂肪酸烷基醇醯胺和N亞烷基烯二胺脂肪酸鹽，這種添加劑均是在例如5重量％以下的濃度添加的。在本形式中，作為添加劑，分別由下式R1CON(R2OH)2·NH(R2OH)2(其中，R1和R2為烷基)表示的脂肪酸烷基醇醯胺，和由下式R3NH·R4H2·2R5COOH(其中，R3和R5為烷基，R4為烷撐基)表示的N亞烷基烯二胺脂肪酸鹽，以5重量％以下的濃度添加的。
而且，在洗滌部600中配置有進行後洗滌工序的洗滌槽601，關於該洗滌槽601的結構將在以下與來自蒸餾再生部700的配管結構一起敘述，洗滌槽601中使用的洗滌液為以正壬烷或正癸烷等為主要成分的烴類洗滌液。其中，該洗滌液中未摻合有界面活性劑。
另外，在洗滌部600中配置有將搭載了成為洗滌對象(工件)的液晶板1的洗滌籠685以第一預備洗滌槽602，第二預備洗滌槽603和洗滌槽601的順序運送的機械手(如箭頭D所示)。
另一方面，在蒸餾再生部700中配置有從洗滌槽601溢流而來的洗滌液通過洗滌液排出管702被回收的管理槽701，用於將來自該管理槽701的洗滌液蒸餾再生的蒸餾再生器是多級構成的。即，在蒸餾再生器700中，串聯連接有從管理槽701供給洗滌液的第一級(初級)蒸餾再生器721，和蒸餾再生由該蒸餾再生器721蒸餾再生的再生洗滌液的第二級(終級)蒸餾再生器722。
各蒸餾再生器721、722是由將從蒸餾再生器蒸發而來的蒸汽液化的冷凝器731、732和儲存由這些冷凝器731、732液化的再生洗滌液的中間槽741、742構成的。
在此，第一級蒸餾再生器721和第一級中間槽741是通過冷凝器731和加裝有閥的再生洗滌液排出管761連接的，同時，第一級中間槽741和第二級蒸餾再生器722是通過加裝有閥的再生洗滌液供給管781連接的。因此，由第一級蒸餾再生器721蒸餾再生的再生洗滌液可經由第一級中間槽741供給到第二級蒸餾再生器722。
第二級蒸餾再生器722和第二級中間槽742是通過加裝有冷凝器732的再生洗滌液排出管762連接的。
在本形式中，在蒸餾再生器721、722的下方位置配置有分別接收從這些蒸餾再生器排出的洗滌液或殘渣的接收槽791、792。
在這樣構成的洗滌機500中，第一級中間槽741通過加裝有閥的浸漬洗滌液供給管782連接在洗滌槽601上，可將由第一蒸餾再生器721蒸餾再生的洗滌液作為浸漬洗滌液供給到洗滌槽601。
第二級中間槽742通過加裝有閥的噴淋用洗滌液供給管752連接在洗滌槽601上，可將由第二蒸餾再生器722蒸餾再生的洗滌液作為噴淋洗滌液供給到洗滌槽601。而且，第二級中間槽742通過加裝有閥的浸漬洗滌液供給管750連接在洗滌槽601上，可將由第二蒸餾再生器722蒸餾再生的洗滌液作為浸漬洗滌液供給到洗滌槽601。另外，第二級蒸餾再生器722通過加裝有閥的洗滌劑蒸汽供給管756連接在洗滌槽601上，可將洗滌劑蒸汽供給到洗滌槽601。
圖5中，在配置於洗滌部600中的洗滌槽601高度方向的大致中央位置上配置有洗滌液供給口671，該洗滌液供給口671上連接有浸漬洗滌液供給管750、782。另外，在洗滌槽601上連接有用於維持洗滌液的液面的洗滌液排出管702，通過將洗滌槽601內的洗滌液經由洗滌液排出管702溢流到管理槽701(參照圖4)中而維持液面。
洗滌槽601的結構在用這樣構成的洗滌機500洗滌工件(液晶板1)時，例如使用圖6中所示的保持器680。在採用該保持器680洗滌液晶板1時，使以重疊狀態搭載有液晶板1的保持器680為多段層疊，裝入洗滌籠685中。因此，雖然一個洗滌籠685中可裝入2000～5000片液晶板1，一次進行洗滌工序。但液晶板1之間幾乎沒有間隙。
在本形式中，在用圖5中所示的洗滌槽601洗滌液晶板1時，在形成於洗滌槽601下半部的浸漬洗滌室610的工件臺620上放置洗滌籠685。由於在該浸漬洗滌室610中儲存有未摻合有界面活性劑的烴類洗滌液，所以在將洗滌籠685放置在浸漬洗滌室610的工件臺620上的狀態下將洗滌籠685內的液晶板1浸漬在洗滌液中。
在此，在工件臺620的底面一側上配置有與工件臺620一體的超音波振蕩器625。而且，工件臺620連結在升降機構(箭頭A所示)上，升降機構可使工件臺620與超音波振蕩器625一起上下移動。另外，形成有儲存在浸漬洗滌室610中的洗滌液相對於浸漬洗滌室610的循環路徑615，在該循環路徑615的中間位置加裝有冷卻器616。
在本形式中，洗滌槽601的上半部為較浸漬洗滌室610小一圈的小的處理室630，在該處理室630內配置有朝下方噴射洗滌用洗滌液的噴淋嘴631，同時配置有朝下方噴出漂洗用洗滌劑蒸汽的蒸汽吹出口655。
而且，在處理室630的壁面上開口有連接在真空抽吸裝置(箭頭B所示)上的排氣口635，可從該排氣口635對處理室630進行真空抽吸。而且，在洗滌槽601中，當升降機構將工件臺620從圖5所示的位置如圖8所示的那樣上舉時，工件臺620作為隔板將下半部的浸漬處理室610和上半部的處理室630完全隔開。因此，在該狀態下，洗滌液的蒸汽不會從浸漬洗滌室610侵入處理室630內，並且當從排氣口635進行真空抽吸時，可使處理室630內為真空狀態。
前洗滌工序在本形式中，要用洗滌機500洗滌液晶板1，首先，將搭載在洗滌籠685中的液晶板1浸漬在儲存於第一預備洗滌槽602中的洗滌液(加有界面活性劑的烴類洗滌液)中，進行超音波洗滌(浸漬洗滌)，然後，浸漬在儲存於第二預備洗滌槽603中的洗滌液(加有界面活性劑的烴類洗滌液)中，進行超音波洗滌(浸漬洗滌)。
後洗滌工序在前洗滌工序結束後，將洗滌籠685放置在洗滌槽601的浸漬洗滌室610中的工件臺620上，將液晶板1浸漬在洗滌液(未摻合有界面活性劑的烴類洗滌液)中。
然後，重複從排氣口635進行真空抽吸和導入空氣，使浸漬洗滌室610內重複為減壓到6.67×103～13.33×103Pa(50～100託)的狀態和返回到大致通常的大氣壓的狀態。
然後，在使浸漬洗滌室610返回到接近大氣壓的狀態下，使超音波振蕩器625動作，通過洗滌液對液晶板1施加超音波振動，同時進行浸漬洗滌(超音波洗滌)。
這樣，經過指定時間後，使超音波振蕩器625停止，再次重複從排氣口635進行真空抽吸和導入空氣，使浸漬洗滌室610內重複於減壓狀態和返回大氣壓的狀態。
然後，在使浸漬洗滌室610內返回到大氣壓的狀態下使超音波振蕩器625再次動作，通過洗滌液對液晶板1施加超音波振動，同時進行浸漬洗滌(超音波洗滌)。
根據需要重複這種循環指定次數後結束浸漬洗滌(超音波洗滌)。
在進行這種超音波洗滌時，在本形式中，是在對洗滌對象的影響或蒸發所產生的洗滌液損耗不會帶來問題的範圍內將洗滌液加熱到例如50～80℃而降低汙垢等的粘度，同時通過提高洗滌液的浸透性提高洗滌能力，另一方面，通過冷卻器616冷卻洗滌液，進行溫度控制，防止因超音波使洗滌液過熱。通過這種溫度控制，即使是具有引火性的洗滌液，也可以保持在低於引火點10℃左右的較低溫度。
另外，也可以使超音波振蕩器625動作，將超音波振動施加到液晶板1上，同時重複從排氣口625進行真空抽吸和導入空氣，使浸漬洗滌室610重複於減壓的狀態和返回大氣壓的狀態。
然後，使升降機構動作，將工件臺620從圖5中所示的位置上升到圖7所示的位置附近，在將下半部的浸漬處理室610和上半部的處理室630完全隔開的狀態下，首先從噴霧噴嘴631向液晶板1噴射洗滌液，進行第一次的漂洗。
接著，從排氣口635進行真空抽吸，使浸漬洗滌室610和處理室630內為6.67×103～13.33×103Pa(50～100託)的減壓狀態，從蒸餾再生器722經由洗滌劑蒸汽供給管756和蒸汽吹出口655供給洗滌蒸汽，對液晶板1進行蒸汽洗滌(第二次漂洗)。
然後，在使洗滌槽601返回到大氣壓的狀態下從蒸汽吹出口655噴出洗滌劑蒸汽，對液晶板1進行蒸汽洗滌(第三次漂洗)。
這樣，在結束漂洗後，將工件臺620上升到圖8所示的位置，使工件臺620為隔板，將下半部的浸漬處理室610和上半部的處理室630完全隔開。然後，從排氣口635對處理室630進行真空抽吸，使處理室630內為2.67×103Pa(20託)以下的減壓狀態(真空狀態)，使液晶板1真空乾燥。
這樣，將乾燥結束後的液晶板1與洗滌籠685一起從洗滌槽601中取出，進行其它的液晶板1的洗滌。
本形式的洗滌方法的效果在本形式的液晶板1的洗滌方法中，首先，在前洗滌工序中，通過用加有界面活性劑的烴類洗滌液洗滌液晶板1，將附著在液晶板1上的有機類和無機類汙垢除去，然後在後洗滌工序中，用未摻合有界面活性劑的烴類洗滌液洗滌液晶板1，將附著在液晶板1上的加有界面活性劑的烴類洗滌液完全洗掉。
在後洗滌工序中，由於是在將液晶板1浸漬在浸漬洗滌室610內的洗滌液中的狀態下使浸漬洗滌室610內重複於減壓的狀態和返回大氣壓的狀態，所以減壓時生成氣泡並結合，成為大的氣泡，從液晶板1的空隙或液晶板1之間重疊的部分放出。因此，由於洗滌液可順利地浸透空隙中，所以進入液晶板1的空隙或液晶板1和液晶板1之間的加有界面活性劑的烴類洗滌液可完全置換成未摻合有界面活性劑的烴類洗滌液。因此，在洗滌後的液晶板1上，有機類和無機類汙垢被完全除去，同時不會殘留含在前洗滌工序中採用的洗滌液中的界面活性劑。
另外，如果是本形式所採用的加有界面活性劑的烴類洗滌液，則可以洗掉加熱價廉的鈉鈣玻璃基板時析出的鹼金屬或表面上生成的鹽，防止腐蝕，所以液晶板1所採用的一對基板中至少一方的基板可採用價廉的鈉鈣玻璃。
在本形式中，在邊對浸漬在洗滌液中的液晶板1施加超音波振動邊進行浸漬洗滌(超音波洗滌)時，通過冷卻器616將洗滌液冷卻，防止因施加超音波而使洗滌液為高溫。因此，可防止由薄的玻璃板構成的第一和第二基板10、20(液晶板1)變形。因而不會發生因隔離件32在液晶板1的基板之間移動、集中而引起的顯示品質降低。
在本形式中，由於在通過工件臺620(隔板)與浸漬洗滌室610鄰接的處理室630中連續地對液晶板1進行漂洗和減壓乾燥處理，所以洗滌液不會漏到外部。因而即使在採用具有引火性的烴類洗滌液時也是安全的。而且，通過使用於對處理室630減壓的真空抽吸裝置在隔板打開的狀態下動作，可原封不動地採用該真空抽吸裝置，使浸漬處理室610內重複於減壓的狀態和返回大氣壓的狀態，並且可使浸漬處理室610內的洗滌液產生蒸汽，進行蒸汽洗滌。因而具有在洗滌槽601中設置一臺真空抽吸裝置即可的優點。
而且，由於在減壓狀態下從蒸餾再生器722產生蒸汽，所以即使是與氟素類洗滌液相比沸點高的烴類洗滌液，也具有易於進行蒸汽洗滌的優點。
蒸餾再生操作在這樣進行洗滌期間，在蒸餾再生部700中，如以下所說明的，進行洗滌槽601中使用的洗滌液的蒸餾再生。
首先，在洗滌槽601中使用的洗滌液先儲存在管理槽701中，從該管理槽701定量地向第一級蒸餾再生器721輸送。在該蒸餾再生器721中，在定量投入洗滌液的狀態下進行蒸餾再生(第一蒸餾模式)。
然後，在第一級蒸餾再生器721中產生的洗滌劑蒸汽在加裝有再生洗滌液排出管761的冷凝器731中液化，之後儲存在第一級中間槽741中，儲存在第一級中間槽741中的再生洗滌液通過再生洗滌液供給管781定量地輸送到第二級蒸餾再生器722中。在該蒸餾再生器722中以定量投入洗滌液的狀態進行蒸餾再生(第一蒸餾模式)。
然後，第二級蒸餾再生器722中產生的洗滌劑蒸汽在加裝有再生洗滌液排出管762的冷凝器732中液化，之後儲存在第二級中間槽742中。
這樣，在本形式的洗滌機500中，由於洗滌所使用的洗滌液是通過多級連接的多個蒸餾再生器721、722蒸餾再生的，所以可獲得雜質濃度低的正常的洗滌液。即，在圖9中所示的沸點-組成特性中，在蒸餾再生前的洗滌液中混入箭頭c所示濃度的雜質的情況下，該洗滌液在第一級(初級)蒸餾再生器721中雜質濃度降低到箭頭a所示的水平附近，之後投入到第二級蒸餾再生器722中。由於在該第二級蒸餾再生器722中投入雜質濃度已降低到箭頭a所示水平附近的洗滌液，所以雜質濃度可下降到箭頭b所示的水平附近。因而可獲得淨化到漂洗所必須水平的再生洗滌液。
而且，可從多級連接的各蒸餾再生器721、722獲得雜質濃度為各種水平的再生洗滌液。因此，僅在蒸餾再生器721中進行了一次蒸餾再生的再生洗滌液(第一級中間槽741內的再生洗滌液)由於雜質濃度較高而用於浸漬洗滌，在蒸餾再生器721、722中進行了兩次蒸餾再生的再生洗滌液(第二中間槽742內的再生洗滌液)由於雜質濃度較低而主要用於漂洗，可根據洗滌液的雜質水平分開使用。因而不會發生將費時費力地使雜質濃度進一步降低的洗滌液用於預備洗滌等的浪費。
在進行這種蒸餾操作期間，在洗滌槽601中需要浸漬洗滌液時，儲存在第一級中間槽741中的再生洗滌液通過浸漬洗滌液供給管782輸送到預備洗滌槽601中。而且，在洗滌槽601中需要浸漬洗滌液時，儲存在第二級中間槽742中的再生洗滌液通過浸漬洗滌液供給管750輸送到洗滌槽601中。另外，在洗滌槽601中需要噴淋洗滌液時，儲存在第二級中間槽742中的再生洗滌液通過噴淋洗滌液供給管752輸送到洗滌槽601中。而且，在洗滌槽601中需要蒸汽洗滌所必須的洗滌劑蒸汽時，在第二級蒸餾再生器722中產生的洗滌劑蒸汽通過洗滌劑蒸汽供給管756輸送到洗滌槽601中。
隨著蒸餾再生的進行，在各蒸餾再生器721、722中雜質濃度逐漸增高。因此，通常是邊對各蒸餾再生器721、722定量投入洗滌液邊進行蒸餾再生(第一蒸餾模式)，但如圖9中箭頭c』、a』、b』所示，在各蒸餾再生器721、722內或從此處排出的洗滌液的雜質濃度上升時，或者預想到雜質濃度上升時，進行蒸發操作等降低雜質的操作(第二蒸餾模式)。
該蒸發操作是停止向蒸餾再生器721、722定量投入洗滌液，對此刻儲存在各蒸餾再生器721、722中的洗滌液進行蒸餾再生(第二蒸餾模式)。這樣，在回收了一定程度的洗滌液的時刻停止蒸餾再生，將各蒸餾再生器721、722中殘留的洗滌液與殘渣(雜質)一起丟棄在接收槽791、792中，然後，再次邊向各蒸餾再生器721、722定量投入洗滌液邊進行洗滌液的蒸餾再生。因此，由於可有效地去除蒸餾再生器721、722內的雜質，所以可降低再生洗滌液的雜質濃度。
其它實施形式在上述形式中，是在前洗滌工序中進行浸漬洗滌，在後洗滌工序中進行浸漬洗滌、噴淋洗滌和蒸汽洗滌，但即使在前洗滌工序和後洗滌工序中任一工序中均僅進行浸漬洗滌的情況下，若採用本發明，則也可以進行良好的洗滌。
即使在前洗滌工序和後洗滌工序中任一工序中，也最好如圖10所示，將液晶板1傾斜成將液晶板1從洗滌液中拉出時液晶板1的邊呈斜向的姿勢。這樣，當拉出液晶板1時，以通常的姿勢流不出來的洗滌液也從液晶板1的空隙或液晶板1和液晶板1之間流出來。因此，若在前洗滌工序中採用本方法，則在將液晶板1移至後洗滌工序中時，可大幅度降低前洗滌工序中所使用的加有界面活性劑的洗滌液附著在液晶板1上的量。因而在後洗滌工序中，附著在液晶板1上的加有界面活性劑的洗滌液可完全置換成未摻合有界面活性劑的洗滌液。而且，若在後洗滌工序中採用本方法，則可大幅度減少附著在液晶板1上的洗滌液，可縮短乾燥時間。
在前洗滌工序和後洗滌工序中任一工序中，也最好如圖11所示，在將液晶板1從洗滌液中拉出時，如箭頭E所示地在洗滌液的界面上使液晶板1上下運動。若採用這種方法，則能夠可靠地進行進入到液晶板1的空隙或液晶板1和液晶板1之間的髒洗滌液與儲存在洗滌槽內的洗滌液的置換。因此，若在前洗滌工序中採用本方法，則可防止將附著有大量髒洗滌液的液晶板1移至後洗滌工序中。而且，若在後洗滌工序中採用本方法，則可防止對附著有大量髒洗滌液的液晶板1進行乾燥處理。
在前洗滌工序和後洗滌工序之間最好進行對液晶板1吹溫風等的乾燥處理。若採用這種結構，則可在將進入到液晶板1的空隙或液晶板1和液晶板1之間的洗滌液除去後移至後洗滌工序。因而在進行後洗滌工序時，洗滌液可順利地進入液晶板1的空隙或液晶板1和液晶板1之間，可良好地進行後洗滌工序。
權利要求
1.一種洗滌方法，具有採用加有界面活性劑的烴類洗滌液，對工件進行浸漬洗滌的前洗滌工序；和採用未摻合有界面活性劑的烴類洗滌液，對該前洗滌工序結束後的工件進行浸漬洗滌的後洗滌工序，其特徵為，在上述後洗滌工序中，在將工件浸漬在洗滌液中的狀態下，重複進行使洗滌槽內減壓的操作和恢復到大氣壓的操作。
2.根據權利要求
1所述的洗滌方法，其特徵為，在上述前洗滌工序和上述後洗滌工序中的至少一個工序中，一邊將工件傾斜一邊從洗滌液中拉出。
3.根據權利要求
1或2所述的洗滌方法，其特徵為，在上述前洗滌工序和上述後洗滌工序中的至少一個工序中，一邊使工件上下運動一邊從洗滌液中拉出。
4.根據權利要求
1或2所述的洗滌方法，其特徵為，在上述前洗滌工序和上述後洗滌工序之間對工件進行乾燥處理。
5.一種液晶裝置的製造方法，其特徵為，採用權利要求
1或2所規定的洗滌方法，將封入了液晶的液晶板作為上述工件進行洗滌。
6.根據權利要求
5所述的液晶裝置的製造方法，其特徵為，上述液晶板是在數片重疊的狀態下進行上述前洗滌工序和上述後洗滌工序的。
專利摘要
提供一種洗滌方法和採用這種洗滌方法的液晶裝置的製造方法，即使用烴類洗滌液進行洗滌，也可以從工件上完全除去有機物類和無機物類等任一種類型的汙垢，同時不會殘留界面活性劑。在洗滌機500中，作為前洗滌工序，在第一和第二預備洗滌槽602、603中，用在主要成分為正壬烷或正癸烷等正鏈烷烴中添加了脂肪酸烷基醇醯胺和N亞烷基烯二胺脂肪酸鹽等界面活性劑的烴類洗滌液進行洗滌，之後，作為後洗滌工序，是在洗滌槽601中用未摻合有界面活性劑的烴類洗滌液進行浸漬洗滌、噴淋洗滌和蒸汽洗滌。
文檔編號C11D1/52GKCN1229188SQ01121739
公開日2005年11月30日 申請日期2001年7月5日
發明者小野陽一, 橋倉真次 申請人:精工愛普生株式會社導出引文BiBTeX, EndNote, RefMan