真空度檢測儀的製作方法

2023-09-17 03:05:40

專利名稱：真空度檢測儀的製作方法
技術領域：
本發明專利申請涉及的是真空度電子檢測裝置。
背景技術：
直到目前，一個空間的真空度檢測是通過壓力檢測來實現的。每一抽真空工作泵 都要配裝壓力表，其密封裝配要求極為嚴格，安裝相對複雜，使用中還會出現相當的偏差， 壓力表及其附件的安裝必然會有漏點出現的可能性，難以保證其正常的使用期。

發明內容
本發明專利申請的發明目的在於徹底改變直接測量壓力值來實現真空度檢測的 現有技術狀況，提供一種新型利用溼度檢測方法實現真空度檢測的真空度檢測儀，它具有 易於實現密封安裝、密封可靠性高、安裝構造簡單的技術特點。本發明專利申請提供的真空 度檢測儀技術方案，其主要技術內容是一種真空度檢測儀，該真空度檢測儀為真空度溼度 檢測儀，本檢測儀的溼度檢測頭連接於密封裝配安裝在真空腔體的電連接部件上，溼度檢 測頭變送信號的信號處理單元與電連接部件連接設置，共同構成本真空度檢測儀。人們的共識是真空是一個氣體壓力低於一個大氣壓的空間狀態，因此其真空度的 檢測方法只有壓力檢測法才能實現。但在氣體稀薄的真空狀態下，其水汽含量同樣減少，也 就是溼度也隨之減少，本發明專利申請的真空度檢測儀技術方案正是利用溼度檢測手段來 完成真空度的檢測，從而避開壓力儀表的管道機械式連接結構，而由密封裝配更為簡單也 更為可靠和穩定的電連接插接頭實現內部溼度檢測頭與外部電路部分的工作連接，不僅可 以有效的、持久、穩定的保證真空狀態，而且其構造簡單、體積小巧、易於保證檢測精度、使 用壽命長。


圖1是本真空度檢測儀中的溼度檢測頭安裝示意2是本真空度檢測儀一實施構造的電路原理圖。
具體實施例方式本發明專利申請提供的真空度檢測儀實質為真空度的溼度檢測儀，本檢測儀包括 溼度檢測頭3和處理溫度檢測頭3變送信號的信號處理單元及顯示單元、電源單元，溼度檢 測頭1置於真空腔體2中或與真空腔體2相連通的空間中，與密封裝配於真空腔體2的電 連接插座1連接，其電連接插座1可選用航空用密封插接頭；信號處理單元的溼度採集信 號輸入端與電連接插座插接電連接，經放大電路、模/數轉換電路經顯示單元顯示檢測值。 所述的信號處理單元，其一實施構造如圖2所示，但本專利保護範圍不受本實施例所限。在 本信號處理單元中，作為溼度檢測頭3的溼敏電阻R8與震蕩電路共同構成本信號處理單元 中的溼度變送電路，溼敏電阻R8經電連接插座連接於信號處理單元的電路中，震蕩電路由運算放大器U3D與電阻R1、R2、R6和電容C1、C2共同構成，為溼敏電阻R8提供所需頻率信 號，震蕩電路輸入端設置有由分壓電阻R3和R4構成的電源電壓分壓電路，溼度變送電路 的輸出端設置有由兩運算放大器U3B、U3E及其外圍部件構成的兩道比例放大電路，其第二 道比例放大電路的輸出連接至顯示單元，且第二道比例放大電路輸出產生與顯示單元所要 求的輸入信號相匹配的電壓信號。在本實施例結構中，由於溼敏電阻的一工作特性是超出 20-60°C溫度時則表現為非線性，為保證溼度檢測精度，在溼度變送電路輸出與第一道比例 放大器輸入之間設置有由運算放大器U3C和反饋二極體Dl構成一溫度補償電路，通過二極 管Dl反饋壓降隨溫度升高而降低的性能，使其溫度高於60°C或低於20°C時，拉底或提升運 算放大器U3C輸出電壓，從而保證輸出端的電壓穩定，使測量更為準確。本電源電路由分壓 電阻R25和穩壓管D3連接構成，連接方便。
權利要求
一種真空度檢測儀，其特徵在於該真空度檢測儀為真空度溼度檢測儀，本檢測儀的溼度檢測頭(3)連接於密封裝配安裝在真空腔體(1)的電連接部件上，溼度檢測頭變送信號的信號處理單元與電連接部件連接設置，共同構成本真空度檢測儀。
2.根據權利要求1所述的真空度檢測儀，其特徵在於作為溼度檢測頭的溼敏電阻(R8) 與震蕩電路共同構成信號處理單元的溼度變送電路，溼度變送電路的輸出端設置有與顯示 單元所要求的輸入信號相匹配的比例放大電路。
3.根據權利要求2所述的真空度檢測儀，其特徵在於溼度變送電路輸出與比例放大器 輸入之間設置有由運算放大器(U3C)和反饋二極體(Dl)構成的溫度補償電路。
4.根據權利要求1、2或3所述的真空度檢測儀，其特徵在於電源單元由分壓電阻和穩 壓管連接構成。
全文摘要
本發明申請涉及的是真空度電子檢測裝置。本真空度檢測儀實質為真空度的溼度檢測儀，本檢測儀的溼度檢測頭連接於密封裝配安裝在真空腔體的電連接部件上，溼度檢測頭變送信號的信號處理單元與電連接部件連接設置，共同構成本真空度檢測儀。本技術方案改變了通過檢測壓力值的方法檢測真空度的意識誤區，而利用溼度檢測手段來完成真空度的檢測，因此避開壓力儀表的管道機械式連接結構，只由密封裝配更為簡單的電連接插接頭內外電連接，能夠有效的、持久、穩定的保證真空狀態，且體積小巧、易於保證檢測精度、使用壽命長。
文檔編號G01L21/00GK101915636SQ201010217010
公開日2010年12月15日 申請日期2010年6月30日 優先權日2010年6月30日
發明者張建軍, 王麗娜, 鄒利民 申請人:丹東科亮電子有限公司