泵裝置的驅動方法

2023-09-19 20:02:15 3

專利名稱：泵裝置的驅動方法
技術領域：
本發明涉及泵裝置的驅動方法，是如隔膜泵等那樣，通過使形成泵室的一 部分的隔膜等的位移構件位移，從而從吸入口吸入流體，將吸入的流體從排出 口排出。
背景技術：
作為將多種流體以規定的比例混合後排出的混合泵裝置，已知有一種是， 將多種流體吸入單一的泵室，在該泵室內進行混合，形成混合流體，從該泵室 排出混合流體。專利文獻1中揭示了混合泵裝置，它是在高速液體色譜分析裝 置中，用柱塞泵吸入多種溶劑進行混合，將得到的混合流體向柱排出。
在這裡揭示的混合泵裝置中，將步進電動機的旋轉通過凸輪機構向柱塞傳 遞，使泵室的內部容積增加或減少。在流體的吸入過程中，在擴大泵室的期間，
依次打開配置在與泵室連通的2條流入路徑的各路徑中的閥，通過各流入路徑
向泵室內吸入流體，在泵室內進行混合。然後，進行排出過程，縮小泵室，從 泵室排出混合液體。
專利文獻l:特許第3117623號公報
但是，在該構成的混合泵裝置中，在從排出過程向吸入過程切換時，有時 在泵室的內壓、與用閥隔開的流入路徑側的壓力之間存在壓力差。若將在有壓 力差的狀態下關閉的閥打開，則流體暫時產生逆流，通過各流入路徑吸入泵室 的2種流體的吸入量將變化，它們的混合比將變動。
另外，在隔膜泵的情況下，在隔膜開始變形時，出現即使變形、但泵室容 積不變化的不靈敏區。因此，在使用隔膜泵的混合泵裝置中，在從排出過程向 吸入過程切換時，或者從吸入過程向排出過程切換時，泵室的內部容積變化產 生滯後，向泵室的流體吸取量、或從泵室的流體排出量產生誤差。

發明內容
本發明的課題在於提出一種泵裝置的驅動方法，它能夠消除在排出過程與 吸入過程之間進行切換時所產生的流體吸入動作、或流體排出動作的不穩定性。
為了解決上述課題，本發明的泵裝置的驅動方法，包含以下過程 在關閉泵室的排出口而打開其吸入口的狀態下、使規定泵室的內周面的一
部分的位移構件向該泵室的內部容積增加的方向位移、從而從該泵室的吸入口
吸入流體的吸入過程；
在打開前述排出口而關閉前述吸入口的狀態下、使前述位移構件向前述泵
室的內部容積減少的方向位移、從而從該泵室的排出口排出流體的排出過程；
以及在將前述泵室的前述吸入口及前述排出口都關閉的狀態下、使前述位移構 件位移的校正過程，
按照前述吸入過程、前述校正過程及前述排出過程的順序，或者按照前述 排出過程、前述校正過程及前述吸入過程的順序，進行這些過程的各過程。
在本發明的方法中，是在排出過程結束後進行校正過程，然後切換為吸入 過程。或者，是在吸入過程結束後進行校正過程，然後切換為排出過程。在校 正過程中，由於是關閉吸入口及排出口使位移構件位移，因此密閉狀態的泵室 的內部容積增加或減少，與之相應泵室內壓也變化。因而，通過適當設定位移 構件的位移方向及位置量，例如能夠消除泵室的內壓、與來自排出口的流體流 出側的壓力之差。另外，在隔膜泵的情況下，由於能夠利用泵室的內壓變化而 使隔膜位移，因此在這之後的吸入過程或排出過程中，若使隔膜位移，則泵室 內部容積與位移相應、高精度地發生變化。這樣，能夠消除或抑制吸入過程及 排出過程切換時的流體吸入量或流體排出量的誤差。
這裡，在交替進行前述吸入過程及前述排出過程時，最好在從前述吸入過 程向前述排出過程切換時、以及從前述排出過程向前述吸入過程切換時的兩種 情況下進行前述校正過程。
另外，在前述吸入過程與前述排出過程之間進行的前述校正過程中，使前 述位移構件沿著使前述泵室的內部容積減少的方向位移，在前述排出過程與前
述吸入過程之間進行的前述校正過程中，反之，使前述位移構件沿著使前述泵 室的內部容積增加的方向位移。
為了消除排出過程開始時刻的泵室內外的壓力差，只要在前述吸入過程與 前述排出過程之間進行的前述校正過程中，使前述位移構件位移，以便消除前 述泵室的內壓、與和前述排出口連通的流體排出側流通路徑的壓力之差即可。 另外，為了消除吸入過程開始時刻的泵室內外的壓力差，只要在前述排出過程 與前述吸入過程之間進行的前述校正過程中，使前述位移構件位移，以便消除 前述泵室的內壓、與和前述吸入口連通的流體吸入側流通路徑的壓力之差即 可。
在這種情況下，在前述吸入過程與前述排出過程之間進行的前述校正過程 中，監視前述泵室的內壓、與和前述排出口連通的流體排出側流通路徑的壓力 之差，並能夠根據該監視結果，使前述位移構件位移。同樣，在前述排出過程 與前述吸入過程之間進行的前述校正過程中，監視前述泵室的內壓、與和前述 吸入口連通的流體吸入側流通路徑的壓力之差，並能夠根據該監視結果，使前 述位移構件位移。
也可以代替監視壓力的閉環控制，在前述校正過程中，根據預先設定的條 件使前述位移構件位移，進行這樣的開環控制。
接著，在吸入多種不同的流體、進行混合時，只要對前述泵室預先形成多 個前述吸入口，在前述吸入過程中，依次打開關閉狀態的多個前述吸入口，重 復吸入流體的吸入動作，在前述泵室內形成不同種類的流體以預先規定的比例 混合的混合流體即可。
另外，在這種情況下，最好在將混合比最低的流體吸入前述泵室之前，將 混合比高於該流體的流體的至少一部分吸入前述泵室。這樣，通過將吸入量多 的流體分幾次吸入，就能夠確實在泵室內進行流體的混合。
接著，在將吸入泵室的流體分配給不同的供給方時，只要對前述泵室預先 形成多個前述排出口，在前述排出過程中，依次打開關閉狀態的多個前述排出 口，排出流體即可。
另外，本發明的驅動方法，若用於使用位移構件是隔膜的隔膜泵構成的泵 裝置，則是有效果的。通過在吸入過程開始前、或排出過程開始前進行的校正
過程中使隔膜位移，則由於在吸入過程或排出過程中，泵室內部容積與隔膜的 位移相應、高精度地增加或減少，因此能夠正確進行流體的吸入動作及流體的 排出動作。


圖1所示為採用本發明的混合泵裝置的基本構成的概念圖。 圖2A所示為圖l所示的混合泵裝置的動作時序圖。
圖2B所示為位移構件的位置與解析度的關係的說明圖。 圖3A為關於隔膜的變形的說明圖。 圖3B為關於隔膜的變形的說明圖。 圖3C為關於隔膜的變形的說明圖。 圖3D為關於隔膜的變形的說明圖。
圖4所示為採用本發明的混合泵裝置的基本構成的概念圖。 圖5A為採用本發明的混合泵裝置的立體圖。
圖5B所示為圖5A所示的混合泵裝置的流通路徑等的平面說明圖。 圖6為從斜上方來看圖5A的混合泵裝置時的分解立體圖。 圖7所示為圖5A的混合泵裝置的剖面構成的說明圖。 圖8為縱向分割圖5A的混合泵裝置的狀態的分解立體圖。 圖9A所示為在圖8所示的混合泵裝置中使泵室的內部容積膨脹的狀態的 說明圖。
圖9B所示為在圖8所示的混合泵裝置中使泵室的內部容積收縮的狀態的 說明圖。
圖IOA為圖8所示的泵機構的旋轉體所用的轉子的立體圖。 圖IOB為圖IOA所示的轉子的平面圖。 圖IOC為圖IOA所示的轉子的剖視圖。
圖IIA為圖8所示的泵機構的旋轉體所用的移動體的立體圖。 圖IIB為圖IIA所示的移動體的平面圖。 圖IIC為圖IIA所示的移動體的剖視圖。
圖12為從斜上方來看將作為採用本發明的混合泵裝置的主動(active)閩
使用的閥的主要部分沿軸向切斷的部分時的說明圖。 圖13所示為圖12所示的閥的磁力線的說明圖。
具體實施例方式
以下，參照

本發明的實施形態。
圖l所示為採用本發明的混合泵裝置的基本構成的概念圖。如圖1所示，
混合泵裝置1具有泵室2，對該泵室2形成多個、在本例中為2個的吸入口 30a 及30b;以及多個、在本例中為2個的排出口 40a及40b。流入路徑3a及3b 分別與吸入口 30a及30b連通，流出路徑4a及4b分別與排出口 40a及40b連 通。利用這些泵室2、吸入口30a及30b、排出口40a及40b、流入路徑3a及 3b、以及流出路徑4a及4b，構成泵裝置本體7。
對吸入口 30a及30b，配置將它們分別進行開關用的流入側主動閥5a及 5b。對排出口40a及40b，也配置將它們分別進行開關用的流出側主動閥6a及 6b。利用控制裝置18，對這些流入側主動閥5a及5b、和流出側主動閥6a及 6b進行開關驅動。
另外，泵室2的內周面的一部分，利用活塞、隔膜等位移構件17來規定。 位移構件17能夠向泵室的內外方向位移，在本例中，利用具有步進電動機12 的驅動裝置105使位移構件17位移。利用這些位移構件17及驅動裝置105， 構成泵驅動機構13。驅動裝置105的步進電動機12向某一方向旋轉時，位移 構件17沿著泵室2的內部容積增加的A方向位移，步進電動機12向反方向旋 轉時，位移構件17沿著泵室2的內部容積減少的B方向位移。
在該構成的混合泵裝置1的吸入過程中，利用控制裝置18，例如打開一方 的流入側主動閥5b，關閉另一方的流入側主動閥5a、和流出側主動閥6a及6b， 則在這樣的狀態下，利用驅動裝置105使位移構件17沿A方向位移，從而從 流入路徑3b通過吸入口 30b將流體LB吸入泵室2。接著，切換流入側主動閥 5a及5b的開關狀態，使位移構件17再沿A方向位移，從而從另一方的流入路 徑3a通過吸入口 30a將流體LA吸入泵室2。將吸入的流體LA及LB在泵室2 內混合。
在混合泵裝置1的排出過程中，例如利用控制裝置18，打開一方的流出側
主動閥6a，關閉另一方的流出側主動閥6b、和流入側主動閥5a及5b，在這樣 的狀態下，利用驅動裝置105使位移構件17沿B方向位移，從而將混合流體 從泵室2通過排出口 40a向流出路徑4a排出。接著，切換流出側主動閥6a及 6b的開關狀態，使位移構件17再沿B方向位移，從而將混合流體從另一方的 排出口 40b向流出路徑4b排出。
這裡，在混合泵裝置l中，在這樣的吸入過程與排出過程之間，進行以下 說明的校正過程。
圖2A及圖2B所示為圖l所示的混合泵裝置的動作時序圖及位移構件的位 置與解析度的關係的說明圖。參照圖2A，具體說明混合泵裝置1的動作。以下 的說明是通過2條流入路徑3a及3b吸入的第1液體LA與第2液體LB的流入 量之比(混合比)為1: 5的情況。
在圖2A中，最上部是表示由泵驅動機構13產生的吸入動作及排出動作， 由泵驅動機構13產生的吸入動作，是步進電動機12例如順時針旋轉，位移構 件17沿著使泵室2的內部容積增加的A方向(參照圖l)位移，通過上述這樣來 進行的。由泵驅動機構13產生的排出動作，是步進電動機12例如逆時針旋轉， 位移構件17沿著使泵室2的內部容積減少的B方向(參照圖l)位移，通過上述 這樣來進行的。泵驅動機構13的停止，是通過停止對步進電動機12供電來進 行的。
另外，流入側主動闊5a及5b、和流出側主動閥6a及6b，都是在正脈衝 輸入以後成為打開狀態，在負脈衝輸入的時刻切換為關閉狀態。另外，負脈衝 輸入以後成為關閉狀態，在正脈衝輸入的時刻切換為打開狀態。
在圖2A中，首先，在時刻tl，停止對步進電動機2的供電，泵驅動機構 13處於停止狀態。另外，在時刻tl以前，全部主動閥5a、 5b、 6a、 6b處於關 閉狀態。
在該狀態下，在時刻tl， 2個流入側主動閥5a及5b中，僅配置在與液體 LB相對應的流入路徑3b的流入側主動閥5b切換為打開狀態。接著，在時刻 t2，對步進電動機12供電，步進電動機12順時針旋轉，位移構件17沿著使 泵室2的內部容積增加的A方向位移。其結果，液體LB從流入路徑3b流入泵 室2。在對步進電動機12輸入125步大小的脈衝後的時刻t3，停止對步進電
動機12供電，位移構件17也停止。同時，流入側主動閥5b從打開狀態切換 為關閉狀態。其結果，停止液體LB從流入路徑3b向泵室2流入。通過該吸入 動作，液體LB的全部流入量的1/2流入泵室2。
接著，在時刻t4，僅流入側主動閥5a切換為打開狀態，在時刻t5，對步 進電動機12供電，步進電動機12沿同一方向(順時針)旋轉，位移構件17再 沿著同一方向(使泵室2的內部容積增加的A方向)位移。其結果，液體LA從 流入路徑3a流入泵室2。然後，在對步進電動機12輸入50步大小的脈衝後的 時刻t6，停止對步進電動機12供電，位移構件17的位移也停止。同時，流入 側主動閥5a從打開狀態切換為關閉狀態。其結果，停止液體LA從流入路徑3a 向泵室2流入。通過該吸入動作，液體LA的全部流入量流入泵室2。
接著，在時刻t7,僅流入側主動閥5b再一次切換為打開狀態，在時刻t8， 對步進電動機12供電，步進電動機12沿同一方向(順時針)旋轉。通過這樣， 位移構件17再沿著同一方向(使泵室2的內部容積增加的A方向)位移，液體 LB從流入路徑3b流入泵室2。然後，在對步進電動機12輸入125步大小的脈 衝後的時刻t9，停止對步進電動機12供電，位移構件17的位移也停止。同時， 流入側主動閥5b從打開狀態切換為關閉狀態。其結果，停止液體LB從流入路 徑3b向泵室2流入。通過這樣，液體LB的全部流入量的剩下的1/2流入泵室 2。
通過以上那樣吸入過程結束後，在時刻t10與時刻tll之間，進行校正過 程，之後切換為排出過程。關於校正過程將在後面說明，首先，說明從時刻tll 開始的排出過程。
在時刻tll， 2個流出側主動閥6a及6b中，僅流出側主動閥6a切換為打 開狀態，在時刻tl2，對步進電動機12供電，步進電動機12沿反方向即逆時 針旋轉。通過這樣，位移構件17沿著使泵室2的內部容積減少的B方向位移， 泵室2的混合液體從流出路徑4a排出。然後，在對步進電動機12輸入150步 大小的脈衝後的時刻t13，若停止對步進電動機12供電，則位移構件17的位 移停止。同時，流出側主動閥6a從打開狀態切換為關閉狀態。其結果，相當 於流入泵室2的液體的1/2的量的混合液體從流出路徑4a排出。
接著，在時刻tl4， 2個流出側主動閥6a及6b中，僅流出側主動闊6b切
換為打開狀態，在時刻tl5，對步進電動機12供電，步進電動機12沿同一方
向(逆時針)旋轉，位移構件17再沿著使泵室2的內部容積減少的B方向位移， 泵室2的混合液體從流出路徑4b排出。然後，在對步進電動機12輸入150步 大小的脈衝後的時刻t16，停止對步進電動機12供電，位移構件17的位移停 止。同時，流出側主動闊6b從打開狀態切換為關閉狀態。其結果，相當於流 入泵室2的液體的1/2的量的混合液體從流出路徑4b排出。然後，在時刻tl7 與U8之間，進行校正過程，之後結束動作。
這裡，說明時刻tlO至時刻tll的期間、以及時刻U7至時刻tl8的期間 中進行的校正過程。在位移構件17的位移方向切換時刻、即從吸入過程向排 出過程切換的上死點及從排出過程向吸入過程切換的下死點，如圖2B所示， 存在定位解析度降低的傾向。在例如驅動裝置105採用齒輪機構時，這樣的傾 向是由於其齒隙而發生的。另外，在上死點或下死點，位移構件17還對動作 產生響應滯後，容易發生位置偏移。
特別是，在使用隔膜作為位移構件17時，在隔膜的位移方向切換的上死 點或下死點，對位移容易發生響應滯後。另外，隔膜的形狀容易受到泵室2的 內壓與大氣壓的壓力差。參照圖3A 3D說明這一點。
例如，如圖3A所示，在泵室2的內壓等於大氣壓時，不會因壓力差的影 響而對隔膜170產生不必要的位移。如圖3B所示，在泵室2的內壓大於大氣 壓時，因該壓力差的緣故，形成隔膜170膨脹的狀態。反之，如圖3C所示， 在泵室2的內壓低於大氣壓時，因該壓力差的緣故，形成隔膜170收縮的狀態。
因而，在結束吸入動作的時刻t9、泵室2成為負壓時，容易成為圖3C所 示的狀態。另外，在結束排出動作的時刻t16、泵室2成為正壓時，容易成為 圖3B所示的狀態。因此，在圖3C所示的狀態下，若在時刻tll流出側主動閥 6a成為打開狀態，泵室2從流出管4a的閥6a與流出口 40a—側連通，則在流 出管4a的流出口 40a —側的混合液有可能因揚程差而向泵室2產生逆流。若 發生這樣的事態，則混合液的排出量將少於預定的量。另外，在圖3B所示的 狀態下，若在時刻tl流入側主動閥5b成為打開狀態，泵室2從流入管3b的 閥5b與流入口 30b—側連通，則泵室2的混合液從流入管3b產生逆流，第2 液體LB的流入量將少於預定的量。
另一方面，在結束吸入的時刻t9、或結束排出的時刻U6，即使泵室2與 大氣壓相同，但如圖3D所示，在流出管4a及4b位於上方、流入管3a及3b 位於下方時，也發生下面那樣的問題。首先，在時刻t9結束吸入之後，由於 泵室2的壓力與流入側主動閥5b的外側的壓力相等，因此若在時刻tll流出 側主動閥6a成為打開狀態，泵室2與流出管4a的流出口 40a—側連通，則在 比流出管4a的閥6a位於流出口 40b —側的混合液有可能因揚程差而向泵室2 產生逆流。若發生這樣的事態，則在驅動隔膜170之前隔膜170膨脹，混合液 的排出量將少於預定的量。另外，在結束排出的時刻t16，泵室2即使與大氣 壓相等，但在時刻tl6結束排出之後，由於泵室2的壓力與流出側主動閥6b 的外側的壓力相等，因此若在再次吸入時，在時刻tl流入側主動閥5b成為打 開狀態，泵室2與流入管3b的流入口 30b —側連通，則有可能混合液在流入 管3b中產生逆流。若發生這樣的事態，則在驅動隔膜170之前隔膜170凹陷， 第2液體LB的流入量將少於預定的量。
為了避免這樣的弊病，在從吸入過程向排出過程切換時、及從排出過程向 吸入過程切換時，進行對位移構件17的位置進行校正用的校正過程。在從吸 入過程向排出過程切換時，使位移構件17稍微沿著泵室2的內部容積減少的 方向位移，在從排出過程向吸入過程切換時，使位移構件17稍微沿著泵室2 的內部容積增加的方向位移。
若更詳細地進行說明，則如圖2A所示，在結束吸入之後，在開始排出之 前的時刻UO至時刻tll中，對步進電動機12供電，使步進電動機12逆時針 旋轉，使位移構件17沿著泵室2的內部容積減少的方向位移。反之，在結束 排出之後，在開始下一次吸入之前的時刻tl7至時刻tl8中，對步進電動機12 供電，使步進電動機12順時針旋轉，使位移構件17沿著泵室2的內部容積增 加的方向位移。
這裡，在校正過程中，可以根據預先設定的條件，在控制裝置18的控制 下，驅動閥5a、 5b、 6a、 6b及位移構件17。
另外，也可以採用這樣的方法，即在從吸入向排出切換時、及從排出向吸 入切換時，直接或間接地監視從關閉狀態向打開狀態切換的閥5b及6a的兩側 位置的壓力差，在校正過程中，根據該監視結果，使位移構件17向消除這樣
的壓力差的方向位移。
為了直接監視閥5b及6a的兩側位置的壓力差，只要在泵室2、流入管3b 中的閥5b的外側位置、以及流出管4a中的閥6a的外側位置配置壓力傳感器， 根據由這些壓力傳感器得到的檢測結果，來檢測壓力差即可。另外，為了間接 監視閥5b及6a的兩側位置的壓力差，只要測定流出管4a的流出口 40a的高 度位置，監視圖3D所示的第2液體LB的液面位置即可。
如上所述，在混合泵裝置1中，步進電動機12向某一方向旋轉時，位移構 件17沿著泵室2的內部容積增加的A方向位移，步進電動機12向反方向旋轉 時，位移構件17沿著泵室2的內部容積減少的B方向位移。因此，不管位移 構件17的位置如何，在步進電動機12向某一方向旋轉期間，僅使配置在流出 路徑4a及4b中的主動閥6a及6b為關閉狀態，依次使配置在流入路徑3a及 3b中的主動闊5a及5b進行開關，就能夠將多種流體以規定的比例吸入泵室2。 另外，在步進電動機12向反方向旋轉期間，僅使配置在流入路徑3a及3b中 的主動閥5a及5b為關閉狀態，使配置在流出路徑4a及4b中的主動閥6a及 6b的一方或雙方為打開狀態，能夠從泵室2排出混合流體。因而，與將步進電 動機12的旋轉通過凸輪機構向位移構件17傳遞的構成不同，不需要用光電斷 續器來監視凸輪的位置等。因此，能夠簡化混合泵裝置1的構成，因此能夠力 圖實現小型化及低成本。
另外，通過僅改變供給步進電動機12的信號模式，就能夠容易改變位移 構件17的位移量(行程)。因而還具有的優點是，能夠根據使用的液體的種類， 最佳設定位移構件17的位移量(行程)等。
再有，控制裝置18控制主動閥5a、 5b、 6a、 6b的開關，使得在從流入路 徑3a及3b流入的第1液體LA及第2液體LB中，在將混合比低的第1液體LA 吸入泵室2之前，使混合比高的第2液體LB的一部分流入泵室2。為此，由於 能夠防止第1液體LA偏於泵室2的一角、例如主動閥5a的附近，所以能夠確 實將第1液體LA與第2液體LB進行混合。特別是，由於在僅將混合比高的第 2液體LB的相當於總量的1/2部分吸入泵室2之後，將混合比低的第l液體 LA吸入泵室2，然後，將第2液體LB的剩下的1/2吸入泵室2，因此能夠更確 實將第1液體LA與第2液體LB進行混合。
再有另外，在時刻tlO至時刻tll的期間、以及時刻tl7至時刻tl8的期 間中，進行校正過程。即使位移構件17到達上死點或下死點的情況下，也在 從上死點或下死點返回之後進行吸入及排出。因此，吸入量及排出量的精度高。 特別是，在位移構件17是隔膜的情況下，在從排出過程向吸入過程切換時、 或從吸入過程向排出過程切換時，產生即使隔膜位移但泵室的內部容積也不變 化那樣的、不靈敏狀態下的位移，吸入量或排出量容易產生誤差。通過當中夾 入校正過程，能夠消除這樣的誤差。
再有，在使用隔膜作為位移構件17時，有時因泵室2的內壓與大氣壓的 壓力差而使隔膜產生不必要的變形。由於在進行校正過程、校正這樣的變形之 後，進行吸入及排出，因此吸入量及排出量的精度高。 [混合泵裝置的具體構成例]
下面，說明採用本發明的混合泵裝置的具體構成例。
首先，為了容易理解，參照圖4說明以下敘述的混合泵裝置的基本構成。 由於本例的混合泵裝置的基本構成與圖1所示的混合泵1相同，因此對於圖中 相對應的部位，附加同一標號。
如圖4所示，本例的混合泵裝置1A的泵裝置本體7具有室2;與泵室2 連通的2個流入路徑3a及3b;以及與泵室2連通的6個流出路徑4a 4f。 2 個流入路徑3a及3b、和6個流出路徑4a 4f互相獨立與泵室2連通。2個流 入路徑3a及3b中，分別配置流入側主動閥5a及5b。 6個流出路徑4a 4f中， 分別配置流出側主動閥6a 6f。
泵驅動機構13具有規定泵室2的內周面的一部分的隔膜170;具有使該 隔膜170位移用的步進電動機12的驅動裝置105;以及控制流入側主動閥5a 及5b和流出側主動閥6a 6f的開關的控制裝置18。
下面，圖5A及圖5B為混合泵裝置1A的立體圖及平面構成圖。圖6為它 的分解立體圖，圖7為表示它的剖面構成的說明圖。
參照這些圖進行說明，混合泵裝置1A在盒狀的泵裝置本體7的一個面71 上，連接規定吸入口 30a及30b、和排出口 40a 40f的管子。泵裝置本體7具 有泵驅動機構13;以及將主動閥5a、 5b、 6a 6f的布線基板74、底板75、 基座板76、後述的流通路徑形成為溝槽狀的流通路徑構成板77、通過覆蓋在
該流通路徑構成板的上面來封閉流通路徑的上面的封閉片78、以及連接前述管
子的上板79按該順序層疊而成的結構。
在基座板76上，形成構成泵驅動機構13及主動閥5a、 5b、 6a 6f的配 置空間等用的孔137、及67a 67h。另外，在流通路徑構成板77上，在其中 心位置，形成構成泵室2用的圓形貫通孔21，在該貫通孔21的周圍，在流通 路徑構成板77的下面側，形成構成主動闊5a、 5b、 6a 6f的閥室的凹下部分 (未圖示)。另外，從貫通孔21呈放射狀延伸8條槽41a 41h。另外，在流通 路徑構成板77的槽41a 41h的附近形成槽42a、 42b、…等。
利用8條槽41a 41h形成流入路徑3a及3b和流出路徑4a 4f。 g卩，若 重疊基座板76、流通路徑構成板77及封閉片78，則形成的狀態是，利用槽41a 41f、 42a、 42b…形成流入路徑3a及3b和流出路徑4a 4f，同時對流入路徑 3a及3b和流出路徑4a 4f的各路徑配置流入側主動閥5a、 5b和流出側主動 閥6a 6f 。
由於主動閥5a、 5b、 6a 6f呈平面狀配置在泵室2的周圍，因此能夠縮 短流入路徑3a及3b和流出路徑4a 4f的各路徑，而且能夠力圖實現混合泵 裝置1A的薄型化。另外，由於能夠抑制來自各流出路徑4a 4f的排出量的誤 差，因此能夠高精度地排出適量的液體。而且，在多個流出路徑4a 4f中， 從泵室2到流出側主動闊6a 6f的流通路徑的長度相等。因此，能夠高精度 地控制通過各流出路徑4a 4f的排出量。另外，由於流入口 30a及30b和流 出口 40a 40f在泵裝置本體7的同一面71進行開口 ，因此混合泵裝置1A與 外部容易連接。再有，由於泵裝置本體7具有在一面側將流入路徑3a及3b 和流出路徑4a 4f形成為溝槽狀的流通路徑構成板77;以及與該流通路徑構 成板77的一面側重疊配置的封閉片78，因此能夠對小型的泵裝置本體7形成 多個流通路徑，而且能夠以高效率生產混合泵裝置1A。
再有另外，2個流入路徑3a及3b和6個流出路徑4a 4f的構成互相相同， 而且流入側主動閥5a、 5b和流出側主動閥6a 6f的構成互相相同。因此，對 於流入路徑3a及3b和流出路徑4a 4f，也可以利用任何一個作為流入路徑 3a及3b或流出路徑4a 4f。因而，不限於2種液體，也可以將3種以上的液 體進行混合、排出。
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(泵驅動機構的詳細構成)
參照圖8 圖11，說明混合泵裝置1A中裝入的泵驅動機構13。圖8為縱 向分割混合泵裝置1A的狀態的分解立體圖。圖9A及9B所示為使泵室膨脹的 狀態的說明圖、及使泵室收縮的狀態的說明圖。圖10A 10C分別為圖8所示 的泵驅動機構的旋轉體所用的轉子的立體圖、平面圖、及剖視圖。圖11A 11C 分別為圖8所示的泵驅動機構的旋轉體所用的移動體的立體圖、平面圖、及剖 視圖。
如圖8及圖9A所示，泵驅動機構13實質上具有使得與流入路徑3a及 3b和流出路徑4a 4f連通的泵室2膨脹收縮、進行液體的吸入及排出的作為 位移構件的隔膜170;以及驅動隔膜170的驅動裝置105。
驅動裝置105具有環狀的定子120;以同軸狀配置在該定子120的內側 的旋轉體103;以同軸狀配置在該旋轉體103的內側的移動體160;以及將旋 轉體103的旋轉變換為使移動體160沿軸向移動的力、並向移動體160傳遞的 變換機構140。驅動裝置105在基座板76上形成的空間內，處於安裝在底板 75與基座板76之間的狀態。
定子120形成由巻繞在線圈架123上的線圈121、以及覆蓋線圈121那樣 配置的2塊軛鐵125構成的單元沿軸向層疊2層的結構。在上下2層的各單元 中，沿圓周方向交替排列從2塊軛鐵125的內周邊緣沿軸向突出的極齒。
如圖8、圖9及圖10A 圖IOC所示，旋轉體103具有上方開口的杯狀 構件130;以及在該杯狀構件130的圓筒狀的杯體部131的外周面固定的環狀 的轉子永磁體150。在杯狀構件130的底壁133的中間，形成向軸向上側凹陷 的凹下部分135，在底板75上，形成支承配置在凹下部分135內的球118的軸 承部751。另外，在基座板76的上端側的內表面形成環狀臺階部766。在杯狀 構件130的上端部分，利用杯體部131的上端部分及環狀的凸緣部134，形成 與基座板76 —側的環狀臺階部766相對的環狀臺階部。在用這些環狀臺階部 包圍形成的環狀空間內，配置由環狀的保持架181及利用該保持架181沿圓周 方向保持分開的距離的軸承球182構成的軸承180。這樣，旋轉體103處於能 夠繞軸線旋轉的狀態下被泵裝置本體7支持的狀態。
轉子永磁體150的外周面，與沿定子120的內周面，沿圓周方向排列的極
齒相對。在轉子永磁體150的外周面上，S極與N構沿圓周方向交替排列，定 子120及杯狀構件130構成步進電動機。
如圖8、圖9及圖11A 圖IIC所示，移動體160具有底壁161;從底壁 161的中間沿軸向突出的圓筒部163;以及包該圓筒部163的周圍那樣形成為 圓筒狀的筒體部165，在筒體部165的外周形成陽螺紋167。
為了構成利用旋轉體103的旋轉而使移動體160在軸嚮往復移動用的變換 機構140，如圖8、圖9、圖10A 圖IOC及圖11A 圖IIC所示，在杯狀構件 130的杯體部131的內周面上，在圓周方向上分開的4處，形成陰螺紋137。 另外，在移動體160的筒體部165的外周面上，形成與杯狀構件130的陰螺紋 137嚙合、構成動力傳遞機構141的陽螺紋167。因而，若在杯狀構件130的 內側配置移動體160，使得陽螺紋167與陰螺紋137嚙合，則移動體160成為 支持在杯狀構件130的內側的狀態。
在移動體160的底壁161上，沿圓周方向形成6個長孔169作為貫通孔， 另一方面，從基座板76延伸6條突起769，突起769的下端部嵌入長孔169， 通過這樣構成從動旋轉防止機構149。 g卩，在杯狀構件130旋轉時，由於移動 體160利用由突起769及長孔169構成的從動旋轉防止機構149而被阻止旋轉， 因此杯狀構件130的旋轉通過由其陰螺紋137及移動體160的陽螺紋167構成 的動力傳遞機構141向移動體160傳遞，其結果，移動體160根據旋轉體103 的旋轉方向而向軸向的 一 側及另 一 側直線移動。
(位移構件的構成)
再參照圖8及圖9A進行說明，隔膜170直接與移動體160連接。隔膜170
具有底壁171;從底壁171的外周邊緣沿軸向上升的圓筒狀的筒體部173;
以及從該筒體部173的上端向外周側擴展的凸緣部175，形成杯狀，底壁171 的中間部分在把移動體160的圓筒部163蓋住的狀態下，從它們的上下方向用 止動螺絲178及帽蓋179固定。另外，隔膜170的凸緣部175的外周邊緣形成 厚壁部，利用該厚壁部確保液密性，另外，該厚壁部起到作為定位部的功能。 厚壁部在流通路徑構成板77的貫通孔21的周圍，固定在基座板76與流通路 徑構成板77之間。這樣，隔膜170規定泵室2的下表面，而且在泵室2的周 圍確保基座板76與流通路徑構成板77之間的液密性。
隔膜170的筒體部173處於彎折成截面為U字形的狀態，彎折部分172的 形狀因移動體160的位置而變化。在由移動體160的圓筒部163的外周面形成 的第1壁面168、與從基座板76延伸的凸起769的內周面形成的第2壁面768 之間構成的環狀空間內，配置隔膜170的截面U字形的彎折部分172。因而， 在圖9A、 9B所示的狀態下，以及在向這些圖所示的狀態轉移的途中的狀態的 任一狀態下，隔膜170的彎折部分172也都是維持保持在環狀空間內的狀態不 變、而沿第1壁面168及第2壁面768展開或巻起那樣進行變形。
另外，如圖8、圖9A、及圖10A 圖IOC所示，在杯狀構件130的底壁133， 在圓周方向的遍及270。的角度範圍內形成1條槽136，另外從移動體160的 底面向下方形成突起166。這裡，移動體160不繞軸線旋轉，但沿軸向移動， 與此相反，旋轉體103繞軸線旋轉，但不沿軸向移動。因而，突起166及槽136 起到作為規定旋轉體103及移動體160的停止位置的止擋的功能。即，槽136 的深度在圓周方向中變化，若移動體160向軸線下方移動，則突起166嵌入在 槽136內，同時因旋轉體103的旋轉而使槽136的端部與突起166接觸。其結 果，阻止旋轉體103的旋轉，規定了旋轉體103及移動體160的停止位置、即 隔膜170的內部容積的最大膨脹位置。
(泵驅動機構的動作)
在這樣構成的泵驅動機構13中，若對定子120的線圈121供電，則杯狀 構件130旋轉，該旋轉通過變換機構140向移動體160傳遞。因而，移動體160 沿軸向進行往復直線運動。其結果，由於隔膜170隨移動體160的移動而變形， 使泵室2膨脹或收縮，因此在泵室2內，進行從流入路徑3a及3b的液體流入、 及向流出路徑4a 4f的液體流出。其間，隔膜170的彎折部分172維持保持 在環狀空間內的狀態不變，而沿第1壁面168及第2壁面768展開或巻起那樣 進行變形，不發生強制性的滑動。而且，隔膜170即使從泵室2的流體受到壓 力，也由於內外側都被規定在環狀空間內，因此不變形。再有，移動體160的 下方位置被利用杯狀構件130的槽136及移動體160的突起166所構成的止擋 所規定。這樣，隨著杯狀構件130的旋轉，隔膜170高精度地位移。另外，在 驅動裝置105中，在步進電動機向一個方向旋轉時，使隔膜170沿著泵室2的 內部容積增加的方向位移，在步進電動機向另一個方向旋轉時，使隔膜170沿
著泵室2的內部容積減少的方向位移。
如上所述，在泵驅動機構13中，將利用步進電動機機構產生的旋轉體103 的旋轉，通過利用由陽螺紋167及陰螺紋137構成的動力傳遞機構141的變換 機構140，向移動體160傳遞，使固定了隔膜170的移動體160進行往復直線 運動。因此，由於使用所必需的最低限度的構件從驅動裝置105到隔膜170傳 遞動力，因此能夠力圖實現泵驅動機構13的小型化、薄型化及低成本。另外， 通過減小動力傳遞機構141的陽螺紋167及陰螺紋137的導入角，或者增加驅 動側的定子的極齒，能夠進行移動體160的微小進給。因而，由於能夠精密控 制泵室2的容積，所以能夠以高精度進行定量排出。
再有，隔膜170的彎折部分172維持保持在環狀空間內的狀態不變，而沿 第1壁面168及第2壁面768展開或巻起那樣進行變形，不發生強制性的滑動。 因而，不產生無謂的載荷，而且，隔膜170的壽命長。另外，隔膜170即使從 泵室2的流體受到壓力，也不變形。因此，根據泵驅動機構13，能夠以高精度 進行定量排出，而且，可靠性也高。
再有另外，由於旋轉體103對泵裝置本體7通過軸承球182支持，能夠繞 軸線旋轉，因此滑動損耗小，而且，旋轉體103被穩定保持在軸向，所以軸向 的推力穩定。故而，能夠力圖實現驅動裝置105的小型化，提高耐久性，提高 排出性能。
另外，作為變換機構140的動力傳遞機構141，是利用了螺紋，但也可以 利用凸輪槽。再有，作為位移構件，是採用了杯狀的隔膜，但也可以採用其它 形狀的隔膜、或具有O形環的活塞。
另外，吸入口及排出口的個數也可以是上述以外的個數。再有另外，封閉 上面的封閉片78、以及連接前述管子的上板79是由其它構件形成，但也可以 是沒有上板79的管子而對封閉片78僅開有流出孔、並通過密封構件連接那樣 構成。
(主動閥的構成)
圖12及圖13分別為從斜上方來看將作為混合泵裝置1A的主動閥5a、 5b、 6a 6f使用的閥的主要部分沿軸向切斷的部分時的說明圖、以及該閥的磁力線 的說明圖。
如這些圖所示，主動閥5a、5b(以下，稱為主動閥5)、以及主動閥6a 6f (以 下，稱為主動閥6)在基座板76的孔57、 67a 67h內具有直線執行器201，該 直線執行器201具有圓筒狀的固定體203;以及配置在該固定體203的內側 的近似圓柱狀的可動體205。固定體203具有巻繞在線圈架231上呈環狀的 線圈233;以及從線圈233的外周面繞到線圈233的軸向的兩側、並且一個前 端部236a與另一個前端部236b在線圈233的內周側通過縫隙237在軸向相對 的固定體側軛鐵235。可動體205具有圓板狀的第1可動體側軛鐵251;以 及對該第1可動體側軛鐵251在軸向兩側層疊的一對磁鐵253a及253b。作為 一對磁鐵253a及253b，可以採用Nd-Fe-B系列或Sm-Co系列的稀土類磁鐵、 或樹脂磁鐵。另外，在可動體205中，對一對磁鐵253a及253b的各磁鐵，在 與第1可動體側軛鐵251相反側的端面，層疊第2可動體側軛鐵255a及255b。
一對磁鐵253a及253b都沿軸向磁化，使同極性面向第l可動體側軛鐵251 的一方。 一對磁鐵253a及253b的各磁鐵，是作為使N極面向第1可動體側軛 鐵251的一方、而使S極面向軸向的外側的磁鐵進行說明的，但關於磁化方向， 也可以反過來。
第l可動體側軛鐵251的外周面，從一對磁鐵253a及253b的外周面向外 周側突出。另外，第2可動體側軛鐵255a及255b的外周面，也從一對磁鐵253a 及253b的外周面向外周側突出。
在第1可動體側軛鐵251的軸向的兩端面形成凹下部分，將一對磁鐵253a 及253b分別對這些凹下部分嵌入，用粘接劑等固定。另外，關於第l可動體 側軛鐵251、 一對磁鐵253a及253b、和第2可動體側軛鐵255a及255b的固 定，只要採用粘接、壓入、或並用粘接壓入而形成一體化的構成即可。
在固定體203的軸向的兩側的開口部固定軸承板271a及271b(軸承構件)， 從第2可動體側軛鐵255a及255b向軸向的兩側突出的支承軸257a及257b， 都插入軸承板271a及271b的孔中，能自由滑動。這樣，可動體205以沿軸線 能夠往復移動的狀態支持在固定體203上。在該狀態下，可動體205的外周面 與固定體203的內周面通過規定的間隙相對，而且固定體側軛鐵235的前端部 236a與236b彼此之間，在第1可動體側軛鐵251的外周面與線圈233的內周 面的間隙內處於沿軸向相對的狀態。另外，在可動體205與固定體側軛鐵235
之間確保有間隙。另外，為了第2可動體側軛鐵255a及255b與支承軸257a 及257b的固定，只要採用粘接、壓入、或並用粘接壓入而形成一體化的構成 即可。
在這樣構成的直線執行器201中，在面向圖紙的右側電流從裡側向外側流 過線圈233、而在面向圖紙的左側電流從外側向裡側流過線圈233的期間，磁 力線如圖13所示那樣表示。因而，可動體205首先如用箭頭A所示，根據洛 侖茲力，在軸向受到推力而移動。與此相反，若使對線圈233的通電方向反向， 則可動體205如用箭頭B所示，沿軸線下降。
在直線執行器201中，用磁力推進可動體205，同時在軸線的一側，在軸 承板271a與第2可動體側軛鐵255a之間，配置作為靠緊構件的截錐形的螺旋 彈簧291。因而，在可動體205下降時， 一面使壓縮彈簧變形， 一側移動，在 可動體205上升時，壓縮彈簧的形狀復原力起到輔助作用，以高速移動。
在這樣構成的直線執行器201中，在一個支承軸257b的端部，連接閥室 270(凹下部分68a 68h)中配置的隔膜閥260的中間部分。在隔膜260的外周 側，形成液密性及起到作為定位功能的環狀厚壁部261，在隔膜260中，包含 該環狀厚壁部261的外周側被夾在基座板76與流通路徑構成板77之間，確保 液密性。
位移構件不限於隔膜260，也可以使用波紋管閥、或其它的閥體。另外， 支承軸257a及257b與位移構件可以是將分開的構件結合而構成的，支承軸 257a及257b與位移構件也可以是形成為一體而構成的。
如上所述，在可動體205中， 一對磁鐵253a及253b的各磁鐵使同極性相 對，磁的相斥力起作用，但由於在磁鐵253a與253b之間配置第l可動體側軛 鐵251，因此能夠以同極性相對的狀態固定一對磁鐵253a及253b。
另外，在可動體205中，由於一對磁鐵253a及253b的各磁鐵使同極性面 向第1可動體側軛鐵251，因此從第1可動體側軛鐵251產生徑向強的磁通。 因而，若使第1可動體側軛鐵251與線圈233的周面彼此之間相對，則能夠對 可動體205賦予大的推力。
再有，由於只要沿軸向磁化磁鐵253a及253b即可，因此與沿徑向磁化磁 鐵253a及253b的情況不同，即使在小型化的情況下也容易磁化，適於批量生
產。
而且，由於第1可動體側軛鐵251的外周面從一對磁鐵253a及253b的外 周面向外周側突出，因此即使在設置固定體側軛鐵235的情況下，對可動體205 也能夠減小作用於與軸向垂直的方向的磁吸力。同樣，由於第2可動體側軛鐵 255a及255b的外周面從一對磁鐵253a及253b的外周面向外周側突出，因此 即使在設置固定體側軛鐵235的情況下，對可動體205也能夠減小作用於與軸 向垂直的方向的磁吸力。因而，具有容易進行組裝作業、而且可動體205不容 易傾斜的優點。
另外，由於將磁鐵253a及253b配置在線圈233的外周側，因此與將磁鐵 253a及253b比線圈233配置在外側的情況相比，由於磁鐵253a及253b可以 比較小，因此能夠廉價構成主動閥5及6。另外，由於將線圈233配置在外側， 因此僅用固定側軛鐵就能夠將磁路閉合。
再有，在固定體203中，由於在軸向開口的開口部保持軸承板271a及271b， 而該軸承板271a及271b支持支承軸257a及257b，能夠沿軸向移動，因此不 需要另外配置軸承構件。另外，由於能夠以固定體203為基準來固定軸承板271a 及271b，因此具有支承軸257a及257b不傾斜的優點。 [混合泵裝置的用途]
採用本發明的混合泵裝置，例如能夠用於從甲醇直接取出質子、從而進行 發電的直接甲醇型燃料電池(以下，稱為DMFC: Direct Methanol Fuel Cell)。 這樣的DMFC具有有起電部(電池單元)的起電裝置；以及將甲醇水溶液進行
壓送的送液泵，電池單元具有有陽極集電體及陽極催化劑層的陽極(燃料極)； 有陰極集電體及陰極催化劑層的陰極(空氣極)；以及配置在陽極與陰極之間的 電解質膜。利用送液泵對陽極供給甲醇水溶液，利用送氣泵或風機對陰極供給空氣。
因而，作為送液泵，若使用採用本發明的混合泵裝置，則能夠將甲醇和水、 甲醇和甲醇水溶液、甲醇水溶液和水、或甲醇水溶液彼此之間適當混合，對電 池單元供給將甲醇濃度進行了調整的甲醇水溶液。另外，在DMFC的起電部即
電池單元的陽極中，甲醇氧化的活性低，伴有電壓損失。另外，在陰極中也有 電壓損失。因此，從1個電池單元取出的輸出極低，所以為了得到規定的輸出，
在DMFC中使用多個電池單元。在這種情況下，若使用採用本發明的混合泵裝 置1A，則也能夠對各電池單元供給將甲醇濃度進行了調整的甲醇水溶液。
另外，採用本發明的混合泵裝置的用途不限於燃料電池，例如可以用作為 調合多種藥液來調合複合藥用的泵。再有，也可以用作為冰箱的製冰泵，用於 從流出路徑對每種製冰組排出色、香、味不同的果汁飲料液。 [其它的實施形態]
在上述的實施形態中，是以使用隔膜170作為位移構件17的例子為中心 進行說明的，但也可以將本發明適用於使用柱塞作為位移構件的類型的混合泵 裝置。另外，在上述的實施形態中，是構成多個流出路徑的例子，但也可以將 本發明適用於流出路徑為l個的混合泵裝置。
另外，在上述的實施形態中，是將本發明適用於混合泵裝置，但也可以將 本發明適用於排出l種液體的定量泵。
權利要求
1.一種泵裝置的驅動方法，其特徵在於，包含以下過程在關閉泵室的排出口而打開其吸入口的狀態下、使規定泵室的內周面的一部分的位移構件向該泵室的內部容積增加的方向位移、從而從該泵室的吸入口吸入流體的吸入過程；在打開所述排出口而關閉所述吸入口的狀態下、使所述位移構件向所述泵室的內部容積減少的方向位移、從而從該泵室的排出口排出流體的排出過程；以及在將所述泵室的所述吸入口及所述排出口都關閉的狀態下、使所述位移構件位移的校正過程，按照所述吸入過程、所述校正過程及所述排出過程的順序，或者按照所述排出過程、所述校正過程及所述吸入過程的順序，進行這些過程的各過程。
2. 如權利要求1所述的泵裝置的驅動方法，其特徵在於， 將所述校正過程夾在當中地交替進行所述吸入過程及所述排出過程。
3. 如權利要求1所述的泵裝置的驅動方法，其特徵在於， 在所述吸入過程與所述排出過程之間進行的所述校正過程中，使所述位移構件沿著使所述泵室的內部容積減少的方向位移，在所述排出過程與所述吸入過程之間進行的所述校正過程中，使所述位移 構件沿著使所述泵室的內部容積增加的方向位移。
4. 如權利要求1所述的泵裝置的驅動方法，其特徵在於， 在所述吸入過程與所述排出過程之間進行的所述校正過程中，使所述位移構件位移，以便消除所述泵室的內壓、與和所述排出口連通的流體排出側流通 路徑的壓力之差，在所述排出過程與所述吸入過程之間進行的所述校正過程中，使所述位移 構件位移，以便消除所述泵室的內壓、與和所述吸入口連通的流體吸入側流通 路徑的壓力之差。
5. 如權利要求4所述的泵裝置的驅動方法，其特徵在於， 在所述吸入過程與所述排出過程之間進行的所述校正過程中，監視所述泵 室的內壓、與和所述排出口連通的流體排出側流通路徑的壓力之差，並根據該 監視結果，使所述位移構件位移，在所述排出過程與所述吸入過程之間進行的所述校正過程中，監視所述泵 室的內壓、與和所述吸入口連通的流體吸入側流通路徑的壓力之差，並根據該 監視結果，使所述位移構件位移。
6. 如權利要求4所述的泵裝置的驅動方法，其特徵在於， 在所述校正過程中，根據預先設定的條件使所述位移構件位移。
7. 如權利要求1所述的泵裝置的驅動方法，其特徵在於，對所述泵室預先形成多個所述吸入口， 在所述吸入過程中，依次打開關閉狀態的多個所述吸入口，重複吸入流體 的吸入動作，在所述泵室內形成不同種類的流體以預先規定的比例混合的混合流體。
8. 如權利要求7所述的泵裝置的驅動方法，其特徵在於， 在將混合比最低的流體吸入所述泵室之前，將混合比高於該流體的流體的至少一部分吸入所述泵室。
9. 如權利要求1所述的泵裝置的驅動方法，其特徵在於， 對所述泵室預先形成多個所述排出口 ，在所述排出過程中，依次打開關閉狀態的多個所述排出口，排出流體。
10. 如權利要求1至9中的任一項所述的泵裝置的驅動方法，其特徵在於， 所述位移構件是隔膜。
全文摘要
混合泵(1)在從吸入過程向排出過程切換時，進行使位移構件(17)沿著使泵室(2)的內部容積減少的方向位移的校正過程，在從排出過程向吸入過程切換時，進行使位移構件(17)沿著使泵室(2)的內部容積增加的方向位移的校正過程。在校正過程中，關閉泵室(2)的吸入口(30a、30b)及排出口(40a、40b)，使位移構件(17)位移，使密閉狀態的泵室(2)的內部容積增加或減少。能夠消除因位移構件(17)的驅動系統的齒隙而引起的不穩定性，能夠消除泵室(2)內、與流體吸入側或流體排出側之間的壓力差。這樣，能夠消除或抑制在吸入過程及排出過程的切換時的流體吸入量或流體排出量的誤差。
文檔編號F04B13/00GK101356370SQ20078000128
公開日2009年1月28日 申請日期2007年2月9日 優先權日2006年2月13日
發明者村松健次, 橫澤滿雄 申請人:日本電產三協株式會社;松下電器產業株式會社