彎曲振動片、振動裝置以及電子設備的製作方法

2023-12-09 16:21:26

專利名稱：彎曲振動片、振動裝置以及電子設備的製作方法
技術領域：
本發明涉及一種彎曲振動片，更涉及一種將彎曲振動片收納在外殼中的振子、振 蕩器等的振動裝置。
背景技術：
一直以來，使用壓電材料或者非壓電材料的各種類型的振子、振蕩器等的振動設 備被廣泛應用於行動電話等的通信設備、個人電腦等的信息設備、以及其他各種電子設備 中。特別是，隨著電子設備的高性能化、小型化，需要最近的振動裝置更加小型化，且具備將 CI (Crystal Impedance 晶體阻抗)值抑制在較低程度的高精度性能以及高穩定性。一般地，以彎曲振動模式進行振動的音叉型振動片，為了小型化且抑制CI值，廣 泛採用在振動臂的前後主面上形成沿長度方向的槽部，並且在該槽部的後面形成沿主面一 側的激勵電極的結構。在所述結構的音叉型振動片中，為了將基部縮短而實現小型化、並消 除振動片元件之間的CI值的誤差，而在基部的兩側部上形成切入部，從而防止從振動臂向 基部一側的振動洩漏(例如，參照專利文獻1)。該音叉型振動片在基部上通過導電性粘合劑等而被粘合在安裝面上，從而被懸臂 支承。因此，由於需要在基部上塗抹粘合劑的面積，所以在小型化方面存在局限性。此外， 因為從振動臂到基部的粘合位置的距離較短，所以即使在基部的側面上設置切入部，也無 法充分防止來自振動臂的振動洩漏。公知一種結構，即，並不通過基部來粘接並固定音叉型振動片，而是將從基部起以 與振動臂平行的方式延伸的支承臂設置成框狀，並且通過該支承臂固定並支承所述音叉型 振動片(例如，參照專利文獻幻。該音叉型振動片能夠在長度方向上縮小基部的尺寸從而 達到小型化，並且增大了從振動臂到支承臂固定位置間的距離，從而抑制振動洩漏。公開一種結構，S卩，在這種由從基部起以與振動臂平行的方式延伸的支承臂固定 並支承的音叉型振動片中，同樣在比基部的支承臂更靠近振動臂的位置處設置切入部(例 如，參照專利文獻3)。通過該切入部，可防止從振動臂經由基部在支承臂上產生振動洩漏而 導致CI值上升的情況。在先技術文獻專利文獻專利文獻1 日本特開2002-261575號公報專利文獻2 日本特開2004-297198號公報專利文獻3 日本特開2006-148857號公報

發明內容
發明所要解決的問題專利文獻3所記載的音叉型振動片，為了對振動洩漏進行抑制，優選將切入部的 深度縮小至和鄰近的振動臂的外側側邊緣相一致的程度。而且，根據專利文獻3，優選將切
3入部形成在，從連接振動臂的基部的端部到超過振動臂的臂寬長度的位置上。但是，並未提 及切入部的長度對振動洩漏的防止、即CI值的降低帶來怎樣的影響。此外，彎曲振動片能夠由如水晶基板這樣的具有蝕刻各向異性的材料構成。該情 況下，當對水晶基板進行溼蝕刻而加工振動片的外形時，將由於各向異性蝕刻的影響，隨著 水晶結晶面的不同方向，在加工部分的側面上存留被稱為鰭片的突起。特別是，由於音叉型 振動片更加小型化並且形狀更加複雜化，所以有可能在例如支承臂和基部之間的連接部分 上產生非理想形狀的鰭片，而產生應力集中導致振動不穩定，或者由於衝擊而產生破損。因此本發明旨在解決上述現有問題點的至少一部分。本發明的一個目的在於，在 由從連接振動臂的基部起延伸的支承臂固定並支承的彎曲振動片中，對基部的結構進行改 良，而防止從振動臂經由基部而向支承臂傳遞的振動洩漏，降低CI值，由此提高振動特性。本發明的另一個目的在於，在所涉及的支承結構的彎曲振動片中，在通過防止振 動洩漏而實現CI值的降低以及小型化的同時，提高耐衝擊性。此外，本發明的另一個目的在於，提供振子、振蕩器等的振動裝置、傳感器裝置、電 子設備，其通過具備消除上述現有問題點的至少一部分的彎曲振動片，從而發揮由於CI值 降低而實現的優異振動特性，並具有優異的耐衝擊性。解決課題的方法本發明的發明者們，研究了在設置有截面縮小部的情況下，截面縮小部的大小、特 別是其長度對壓電振動片的CI值減少帶來的影響，其中，所述截面縮小部被設置為，在具 有由從連接振動臂的基部延伸的支承臂來進行固定並支承的結構的彎曲振動片中，在其基 部上沿著振動臂的延伸方向，而在基部與振動臂的結合部位和基部與支承臂的結合部位之 間形成上述切入部等，從而減少截面的大小。其結果為，發現了下述情況，即，通過在振動臂 的延伸方向上的截面縮小部的長度L設為2XWKL，能夠有效地抑制從振動臂經由基部向 支承臂產生振動洩漏的情況，從而能夠穩定並減小CI值。而且，根據振動臂的長度和基部 的長度之間的關係，明確了優選為，長度L的上限設定為L < 6XW1。本發明的彎曲振動片 是根據所述理解而完成的。為了達成上述目的，本發明的彎曲振動片的特徵在於，具有基部；振動臂，其從 基部的一端部起延伸；支承臂，其與基部的相反一側的端部相連接並被配置在所述基部的 兩側，其中，所述基部具有截面縮小部，該截面縮小部在基部的兩側部上的、基部與支承臂 的結合部位和基部的一端部之間設置有切口，該截面縮小部被設置為，當在振動臂的長度 方向上的截面縮小部的長度設為L，將振動臂的臂寬設為Wl時，滿足2XW1 < 6XW1。通過以此種方式在基部上沿振動臂延伸方向設置具有預定長度L的截面縮小部， 而能夠有效地防止振動從振動臂經由基部而向支承臂洩漏，從而能夠穩定並減小CI值，由 此能夠實現振動特性的提高。在一實施例中，基部的截面縮小部通過例如在振動片的外形加工時，同時沿著該 基部的兩側部在基部與振動臂的結合部位和基部與支承臂的結合部位之間形成切口，從而 可在無需追加其他的加工工序的情況下，容易設置截面縮小部。在其他的實施例中，振動臂由從基部起平行延伸的一對振動臂組成，通過將截面 縮小部設置為，在將該一對振動臂的外側側邊之間的寬度設為W2時，截面縮小部的寬度W3 滿足W3 < W2，從而能夠有效地抑制從振動臂通過基部向支承臂一側發生振動洩漏。
此外，在其他的實施例中，支承臂具有支承臂部，其在振動臂的寬度方向上的兩 側向該振動臂的延伸方向延伸；連接部，其從基部向寬度方向延伸並與支承臂部相連接，並 且，通過倒圓的拐角部連接支承臂部和連接部，該連接部分的強度得到強化，從而能夠提高 對墜落等的耐衝擊性。而且，即使在通過溼蝕刻從水晶Z板加工出該彎曲振動片的外形的 情況下，也由於水晶結晶面的方向所產生的蝕刻率的差，而在支承臂和基部之間形成的被 稱為鰭片的突起，呈比較緩和且不易產生應力集中的形狀，因此較為理想。根據本發明，提供一種振動裝置，該振動裝置由於具有上述本發明的彎曲振動片、 和收納該彎曲振動片的外殼，減少了振動洩漏從而減小CI值，因此在振動特性以及耐衝擊 性方面較優異。在一實施例的振動裝置中，彎曲振動片的支承臂具有支承臂部，其在振動臂的寬 度方向上的兩側向該振動臂的延伸方向延伸；連接部，其從基部的與振動臂相反一側的端 部起向寬度方向延伸並與支承臂部相連接，其中，支承臂部和連接部通過倒圓的拐角部相 連接，而彎曲振動片在支承臂部的振動臂一側的部分處被固定並支承在外殼的安裝面上。 由此，由於彎曲振動片在長度方向上的靠近中間的位置處被支承，因此作用於該彎曲振動 片上的衝擊的相當部分，通過支承臂的連接部以及基部一側的變形而被吸收。因此，本發明 的振動設備能夠減少彎曲振動片的振動臂頂端一側的變形，並防止由於和外殼內面的接觸 所產生的破損等，從而能夠得到對墜落等的優異的耐衝擊性。此外，根據本發明，提供一種作為振蕩器而發揮功能的振動設備，所述振蕩器由於 具備上述本發明的彎曲振動片和具有使該彎曲振動片振蕩的振蕩電路的電路元件，而減少 了振動洩漏從而減小CI值，由此在振動特性以及耐衝擊性方面較優異。而且，根據本發明，提供由於具備上述本發明的彎曲振動片和具有使該彎曲振動 片振蕩的振蕩電路的電路元件，而減少了振動洩漏從而減小CI值，由此在振動特性以及耐 衝擊性方面較優異的各種電子設備。


圖1為本發明的音叉型振動片的實施例的俯視圖。圖2為表示圖1中的音叉型振動片的主要部分的局部放大圖。圖3中的(A)圖以及(B)圖分別為表示本實施示例以及現有的支承臂的連接部的 局部放大圖。圖4為表示圖1中的音叉型振動片的CI值和截面縮小部長度L之間的關係的線 圖。圖5中，(A)圖為表示改變例的音叉型振動片的主要部分的局部放大圖、(B)圖為 表示其沿V-V線的剖視圖。圖6中的(A)圖為表示其他改變例的音叉型振動片的主要部分的局部放大圖、(B) 圖為表示其沿VI-VI線的剖視圖。圖7中的㈧圖為表示另一改變例的音叉型振動片的主要部分的局部放大圖、⑶ 圖為表示其沿VII-VII線的剖視圖。圖8為搭載有圖1中的音叉型振動片的振子的縱剖視圖。圖9為表示墜落衝擊時的音叉型振動片的變形狀態的、與圖8 —樣的縱剖視圖。
符號說明L···音叉型振動片；2…基部；2adb…端部；3、4…振動臂；5、6…槽部；7、8…支承 臂；9、10…支承臂部；11、12…連接部；13、14…切口 ；15、41、51、61…截面縮小部；16,17-拐角部；18…鰭片；18a、im3…邊；19、20…第1激勵電極；21、22…第2激勵電極；23J4…引 出電極；25、26…導電性粘合劑；31…音叉型振子；32…外殼；33…底座；34…蓋體；35…貼 裝電極；42、43…槽部；44、45…薄壁部；52、53…貫穿孔；62、63…貫穿槽
具體實施例方式以下，參照附圖詳細地對本發明的理想實施例進行說明。另外，對附圖中同樣或者 類似的結構要素，標記同樣或者類似的參照符號來進行表示。圖1圖示了應用本發明的音叉型振動片的理想實施例。本實施示例的音叉型振動 片1使用壓電材料而形成，並具有基部2和一對振動臂3、4。振動臂3、4分別從基端朝向頂 端相互平行地延伸，並在該基端處與基部2的一端部加相連接。在振動臂3、4的前後主面 上，分別形成有向長度方向、即該振動臂的延長方向延伸的槽部5、6。音叉型振動片1還具有，被配置在基部2的與所述振動臂延伸方向正交的寬度方 向上的兩側，並與該基部相連接的一對支承臂7、8。支承臂7、8具有支承臂部9、10，其在 振動臂3、4的外側向該振動臂的延伸方向延伸；連接部11、12，其將所述支承臂部連接在基 部2上。連接部11、12，從基部2的與所述振動臂相反一側的端部2b附近向寬度方向兩側 延伸，並分別與對應的所述支承臂部相連接。在基部2的兩側部上，以左右對稱的方式分別形成有切口 13、14。如圖2所示，切 口 13、14被設置在，從連接有所述振動臂的端部加少許下側的位置起到連接有所述支承臂 的連接部11、12的位置。通過這些切口，從而沿著所述振動臂的延伸方向，在基部2中的作 為與該振動臂的結合部位的端部加和作為與所述支承臂的結合部位的端部2b之間，設置 有減少了截面大小的截面縮小部15。截面縮小部15被設置為，其在長度方向即所述振動臂的延伸方向上的長度L相對 於所述振動臂的臂寬度W1，滿足2XW1彡L彡6XW1。此外，截面縮小部15的寬度W3被設 定為，相對於兩振動臂3、4的外側的側邊之間的寬度W2，滿足W3 < W2。通過以此種方式設 置截面縮小部15，從而能夠有效地抑制從所述振動臂經由基部2在所述支承臂一側產生振 動洩漏。各個支承臂7、8中的分別連接支承臂部9、10和連接部11、12的拐角部16、17分 別被倒圓。當由所述支承臂部支承音叉型振動片1時，所述支承臂部和連接部之間的連接 部分易產生應力集中。通過對拐角部16、17進行倒圓，使其寬度逐漸擴大，從而使所述連接 部分的強度增大，而不是從各個支承臂部9、10朝向連接部11、12將這些內側側邊彎曲成直 角或者銳角。由此，能夠提高音叉型振動片1的耐衝擊性，從而即使受到墜落等的衝擊也不 易折損或者破損。本實施例的音叉型振動片1，能夠以上文所述的方式，通過水晶、鉭酸鋰、鈮酸鋰等 的壓電材料，並使用公知的光蝕刻技術而形成所需的外形形狀。特別是，在由水晶形成的情 況下，通常使用以水晶結晶軸的Z軸(光學軸)為中心，沿順時針方向旋轉0°至5°範圍 並切割而成的水晶Z板，並將其Y軸(機械軸)定向在所述振動臂的長度方向上。
在由溼蝕刻從水晶Z板加工成音叉型振動片1的情況下，即使準備與所述壓電振 動片的所需外形形狀相匹配的、光刻法的曝光用掩膜，有時也由於水晶結晶面的方向而產 生的蝕刻率的差，導致在音叉型振動片1的邊緣存留被稱為鰭片的突起，由此無法得到所 需的外形形狀。圖3 (A)圖示了在對拐角部16進行了倒圓的支承臂7和基部2之間形成的 鰭片18。鰭片18具有，對應於水晶結晶面的方向而朝向不同的方向，以比較緩和的鈍角α 相交差的兩邊18a、18b。圖3(B)圖示了支承臂V的支承臂部9』和連接部11』，通過未倒圓的拐角部16』 而以大概直角的方式相連接的情況。此時，在支承臂7』和基部2之間形成的鰭片18』具有， 以接近90°的角度β相交差的兩邊18a』、18b』。因此，在圖3(B)的情況下，在鰭片18』的 兩邊18a』、18b』相交差的部分處容易產生應力集中，從而存在由於墜落等的衝擊而破損的 危險。與此相對，在本實施例中，在鰭片18的兩邊18a、18b相交差的部分處不易產生應力 集中，從而可發揮優異的耐衝擊性。如圖1所示，在振動臂3、4的前後主面中，於槽部5、6的內面上形成有第1激勵電 極19、20，於所述振動臂的側面上形成有第2激勵電極21、22。一側所述振動臂的第1激勵 電極19以及第2激勵電極21，分別和另一側振動臂的第2激勵電極22以及第1激勵電極 20相互交叉配線而連接在一起。在支承臂7、8的表面上分別形成有引出電極23、24，其中 一個引出電極23和第1激勵電極20以及第2激勵電極21，而另一個引出電極M和第1激 勵電極19以及第2激勵電極22，分別通過基部2上的配線而相連接。音叉型振動片1在各支承臂部9、10的頂端附近、即所述振動臂一側的部分處，例 如使用導電性粘合劑25 J6而被固定並支承在外殼等的安裝面上。當從外部通過引出電極 23J4而向音叉型振動片1施加預定的電流時，振動臂3、4將以預定的頻率向相互接近或背 離的方向彎曲振動。在本實施例中，通過在基部2的端部加和端部2b之間設置上述大小 的截面縮小部15，從而能夠有效地抑制從彎曲振動的所述振動臂經由基部2而在支承臂7、 8一側上產生振動洩漏的現象。對於圖1中的音叉型振動片1，在使截面縮小部15的長度L變化的同時，進行了對 其CI值的評價實驗。在此，將音叉型振動片1的全長設為2300 μ m、振動臂3、4的臂寬Wl 設為100 μ m、其臂長設為1600 μ m、基部2的寬度設為250 μ m、其長度設為700 μ m、所述支 承臂的連接部11、12的寬度設為140 μ m,並使所述截面縮小部的長度L以100 μ m的間隔從 100 μ m變化至600 μ m。圖4圖示了該評價試驗的結果。從該圖可知，音叉型振動片1的CI值，在長度L = 200 μ m處急劇下降且此後變得 穩定並大致固定。以此種方式，在本實施例中，相對於臂寬度Wl = ΙΟΟμπι，能夠在截面縮小 部15的長度L彡200 μ m的範圍內減小CI值。因此，根據本發明，能夠確認以下內容，即， 通過將截面縮小部15設置為滿足2XW1 ( L，從而能夠有效地防止從基部2向支承臂7、8 的振動洩漏。當截面縮小部15的長度L過長時，音叉型振動片1的全長將增大而有悖於小型化 的目的。而且，當受到墜落衝擊時，連接部11、12的應力容易集中，而有可能造成破損。因 此，優選為，將長度L的上限設定為，L < 600μπι = 6XW1。此外，在基部2的兩側部上，能 夠在比切口 13、14的位置更靠端部加一側存留至少長度為ΙΟΟμπι左右的、寬於截面縮小 部15的部分。可認為，該寬幅部分有效地起到防止振動洩漏的作用。
此外，在本實施例中，如圖2所示，在基部2的端部加一側存留的所述寬幅部分被 設置為，比兩個振動臂3、4的外側的側邊更向寬度方向突出。在其他的實施例中，能夠使所 述寬幅部分的兩側部和振動臂3、4的外側的側邊相一致，從而設置為和所述振動臂的外側 側邊之間的寬度W2 —樣的寬度。在任何情況下，通過將截面縮小部15的寬度W3設定為， 小于振動臂3、4的外側的側邊之間的寬度W2，均能夠有效地抑制從基部2向所述支承臂一 側的振動洩漏。此外，在其他的實施例中，能夠使用非壓電材料形成音叉型振動片1。例如，對於下 述振子，也能夠同樣應用本發明，所述振子具有，由矽等的非壓電材料形成音叉型振動片， 且在其表面上形成用於使該振動片振動的驅動部的氧化鋅(ZnO)、氮化鋁(AlN)等壓電薄 膜的結構。基部2的所述截面縮小部，能夠通過圖1中的切口 13、14以外的各種方式進行設 置。在圖5(A)、(B)所示的改變例中，截面縮小部41被設置為，沿著基部2的兩側部在作為 與振動臂3、4的結合部位的端部加和作為與支承臂9、10的結合部位的端部2b之間，從前 後兩面凹陷設置槽部42、43，從而形成薄壁部44、45。所述槽部，能夠通過例如溼蝕刻進行 加工。在本實施例中，槽部42、43分別和圖1中的切口 13、14在平面上以相同的位置以及 尺寸而形成。在其他的實施例中，能夠將這些槽部形成為和本實施例不同的尺寸或者形狀。在圖6(A)、(B)所示的其他改變例中，截面縮小部51被設置為，沿著基部2的兩側 部在端部加和端部2b之間，以大致固定間隔連續地形成多個圓形的貫穿孔52、53。所述貫 穿孔，能夠通過例如溼蝕刻、離子束蝕刻等幹蝕刻、雷射照射等進行加工。本實施例中的貫 穿孔52、53形成為，分別位於圖中點劃線所示的、與圖1中的切口 13、14對應的區域內。在 其他的實施例中，能夠將這些貫穿孔設置為，在寬度方向上從切口 13、14的區域露出、或者 在平面上相鄰的貫穿孔彼此間部分重合。此外，還能夠通過多個有底孔來取代所述貫穿孔， 而形成所述截面縮小部。在圖7 (A)、(B)所示另一改變例中，截面縮小部61被設置成，沿著基部2的兩側部 在端部加和端部2b之間延伸的貫穿槽62、63。所述貫穿槽能夠通過例如溼蝕刻、離子束蝕 刻等的幹蝕刻等進行加工。本實施例的貫穿槽62、63形成為，分別位於圖中點劃線所示的、 與圖1中的切口 13、14對應的區域內。在其他的實施例中，能夠將這些貫穿槽設置為，在寬 度方向上從切口 13、14的區域露出。在上述各實施例中，為了設置所述截面縮小部，而在基部2的兩側部以左右對稱 的方式形成切口或者槽部、貫穿孔或者貫穿槽。但是，只要沿所述振動臂的延伸方向，在作 為與所述振動臂的結合部位的端部加和作為與所述支承臂的結合部位的端部2b之間，使 基部的截面減少，也可以為非左右對稱的結構。圖8圖示了搭載有圖1中的音叉型振動片1的振子的實施例。本實施例的音叉型 振子31為了收納音叉型振動片1而具有表面封裝型的外殼32。外殼32具有例如由陶瓷 薄板層疊結構組成的矩形箱狀的底座33，和由玻璃等組成的矩形平板形狀的蓋體34。底座33在其內部的空置的底面中，與音叉型振動片1中的、靠近上述支承臂部9、 10的頂端的部分對應的位置處，設置有貼裝電極35。通過使所述各支承臂與對應的貼裝電 極35匹配並通過導電性粘合劑沈粘合，從而音叉型振動片1被電連接且機械性固定支承 在底座33的內部。將蓋體34氣密地接合在底座33的上端，從而使所述音叉型振動片以氣密狀態被封裝在外殼32內部。圖9圖示了在向下的衝擊作用於音叉型振子31的情況下，產生在音叉型振動片1 上的變形。通過將支承臂8(7)固定在頂端附近即所述振動臂的頂端一側而不是基部2 — 側，從而音叉型振動片1在長度方向上的靠近中間的位置處被支承。因此，音叉型振動片1 的支承臂8(7)以導電性粘合劑沈^幻的固定位置為支點，使連接部12(11) —側向下彎 曲。與此同時，以所述連接部以及基部2—側為支點，振動臂4C3)向下彎曲。以此種方式， 由於作用於音叉型振動片1上的衝擊的相當部分通過所述連接部以及基部2—側的變形而 被吸收，因此能夠防止振動臂4 C3)的頂端大幅彎曲而與外殼32的內表面接觸，導致破損等 的情況。但是，如果截面縮小部15的長度L過長，則在衝擊從外部作用於音叉型振動片1 上時，所述支承臂的連接部11、12 —側以及/或者所述振動臂的彎曲增大，而導致更大的應 力集中在所述連接部上。為了防止該情況，需要恰當地選擇所述截面縮小部的長度L。根據 本發明，如上文所述，優選將長度L的上限設定為L < 600μπι = 6XW1。由此，音叉型振動 片31可發揮對墜落等衝擊的優異的耐衝擊性。本發明並不限定於上述實施示例，而是能夠在其技術性範圍內添加並實施各種改 變或者變更。例如，本發明對於具有從基部延伸的振動臂的陀螺儀元件等、具有從基部延伸 的振動臂的其他各種彎曲振動片，也同樣能夠適用。此外，本發明的彎曲振動片能夠搭載於 上述實施例以外的各種結構的組件上，例如能夠應用於與具有振蕩電路的電路元件組合的 振蕩器等、振子以外的各種振動裝置中。而且，本發明的彎曲振動片通過和具有振蕩電路的 電路元件組合，從而作為計時裝置而被廣泛應用於數字行動電話、個人電腦、電子表、錄像 機、電視機等的電子設備中，並且能夠對這些電子設備的動作特性的提高等做出貢獻。
權利要求
1.一種彎曲振動片，其特徵在於，具有 振動臂，其從基端朝向頂端延伸；基部，其在所述基端處與所述振動臂相連接；支承臂，其被配置在所述基部的、與所述振動臂的延伸方向正交的寬度方向上的兩側， 並與該基部相連接；其中，所述基部具有截面縮小部，該截面縮小部沿著所述振動臂的延伸方向而被設置 在所述基部與所述振動臂的結合部位、和所述基部與所述支承臂的結合部位之間，並且，所述截面縮小部被設置為，當所述截面縮小部在所述振動臂的延伸方向上的長 度為L、所述振動臂的臂寬度為Wl時，滿足2XW1彡L彡6XW1。
2.如權利要求1所述的彎曲振動片，其特徵在於，所述截面縮小部被設置為，沿著所述基部的兩側部，在所述基部與所述振動臂的結合 部位、和所述基部與所述支承臂的結合部位之間形成切口。
3.如權利要求2所述的彎曲振動片，其特徵在於，所述振動臂由從所述基部起平行延伸的一對振動臂組成，並且，所述截面縮小部被設置為，當所述一對振動臂的外側的側邊之間的寬度為W2，所 述截面縮小部的寬度為W3時，滿足W3 < W2。
4.如權利要求1至3中任意一項所述的彎曲振動片，其特徵在於，所述支承臂具有支承臂部，其在所述振動臂的寬度方向上的兩側向所述振動臂的延 伸方向延伸；連接部，其從所述基部向寬度方向延伸並與所述支承臂部相連接， 其中，所述支承臂部和所述連接部通過倒圓的拐角部相連接。
5.一種振動裝置，其特徵在於，具有如權利要求1至4中任意一項所述的彎曲振動片； 外殼，其用於收納所述彎曲振動片。
6.一種振動裝置，其特徵在於，具有 如權利要求4所述的彎曲振動片； 外殼，其用於收納所述彎曲振動片；其中，所述彎曲振動片在所述支承臂部的所述振動臂一側的部分處，被固定並支承在 所述外殼的安裝面上。
7.一種振動裝置，其特徵在於，具有如權利要求1至4中任意一項所述的彎曲振動片； 電路元件，其具有使所述彎曲振動片振蕩的振蕩電路。
8.一種電子設備，其特徵在於，具有如權利要求1至4中任意一項所述的彎曲振動片； 電路元件，其具有使所述彎曲振動片振蕩的振蕩電路。
全文摘要
本發明涉及彎曲振動片、振動裝置以及電子設備，提供防止從振動臂向支承臂的振動洩漏從而提高耐衝擊性的彎曲振動片的支承結構。音叉型振動片具有一對振動臂，其將各基端連接在基部上並延伸；支承臂，與基部相連接並被配置在其寬度方向兩側。基部具有由沿著兩側部在與振動臂的結合部位、和與支承臂的結合部位之間的切口而形成的截面縮小部。相對于振動臂的臂寬度W1，截面縮小部長度L設定為2×W1≤L≤6×W1，相對于振動臂的外側側邊之間的寬度W2，其寬度W3設定為W3＜W2。支承臂中，在振動臂的兩側平行延伸的支承臂部、和將這些支承臂部連接在基部上的連接部通過倒圓的拐角部相連接。
文檔編號H03H9/21GK102111120SQ20101062026
公開日2011年6月29日 申請日期2010年12月22日 優先權日2009年12月25日
發明者山田祥之, 棚谷英雄 申請人:精工愛普生株式會社