使用噴霧法的納米複合磁體製造方法
2023-12-10 07:31:47
專利名稱：使用噴霧法的納米複合磁體製造方法
技術領域：
使用噴霧法的納米複合磁體製造方法作為不經粉碎工序而製造磁體粉末的製造方法，已知的有氣體噴霧法。在氣體噴霧法中，合金熔體通過噴嘴等在惰性氣體中進行噴霧，通過合金熔體與氣體的碰撞，使合金熔體的液滴冷卻。這樣可直接形成具有數十μm粒徑的球狀顆粒。在氣體噴霧法中，由於熔融金屬的液滴是在落下過程中凝固的，因此可得到大致為球形的粉末顆粒。氣體噴霧法製作的粉末(噴霧粉末)的形狀和粒徑適用於粘結磁體用磁粉。
在粘結磁體的製造中如果使用噴霧法，其粉末可被直接用作粘結磁體用磁體粉末，因此可省去機械粉碎工序，從而顯著降低製造成本。但是，噴霧粉末的粒徑比燒結磁體用的磁體粉末的粒徑大，因此噴霧粉末很難直接用於燒結磁體。
目前，大量用於粘結磁體的是急冷系稀土類合金磁體粉末，在粉末顆粒內分散有微細的粒徑為20～200nm左右的Nd2Fe14B系化合物相。這種微晶組織，是通過用熔融紡絲法等將具有特定組分的合金熔體急冷，製成非晶合金薄帶，然後進行結晶化熱處理得到的。
另外，具有與上述急冷磁體完全不同的金屬組織的高性能磁體的開發也正在積極進行。其中，具有代表性的有被稱作納米複合磁體(交換彈性磁體)的複合磁體。納米複合磁體具有在同一金屬組織內分散有微細的硬磁性相和軟磁性相，通過各構成相交換相互作用結合成帶磁性的構造。由於納米複合磁體的各構成相具有納米級尺寸，由各構成相的尺寸和分散性決定的微細構造在很大程度上左右著磁體的特性。
在這種納米複合磁體中，Nd2Fe14B系化合物相(硬磁性相)和α-Fe及鐵基硼化物相等軟磁性相分散在同一金屬組織內的磁體特別引人注目。以前，這種納米複合磁體也是通過用熔融紡絲法將合金熔體急冷，然後進行結晶化熱處理製成的。如果這種急冷磁體粉末能夠用氣體噴霧法製造，則不必進行粉碎，因此可以大幅度降低製造成本。
但是，用噴霧法製造上述急冷磁體粉末是非常困難的。這是由於用噴霧法的合金熔體的冷卻速度比用熔融紡織法要慢1至2個數量級，因此用噴霧法不能形成充分非晶化的合金組織。
有人對不同於上述納米複合磁體的急冷磁體，即只含有Nd2Fe14B系化合物相的急冷磁體，提出了通過添加TiC等提高合金的非晶生成能(quenchability)，使得即使用冷卻速度較慢的噴霧法也可形成非晶合金的方法。
但是，在α-Fe/R2Fe14B系納米複合磁體的情況下，則很難用噴霧法製造實用的高性能磁體。這是因為噴霧法的冷卻速度較慢，這樣，作為軟磁性相的α-Fe相將比R2Fe14B相先析出，且易成長，導致軟磁性相變得粗大，結果使各構成相間交換相互作用減弱，大幅減弱了納米磁體的磁特性。
本發明是在參考了上述各方面情況後做出的發明，它的主要目的是提供一種可用噴霧法製造具有良好磁特性的納米複合磁體粉末的方法。
在優選實施方式中，上述R2Fe14B型化合物相、硼化物相和α-Fe相，混合在同一金屬組織內。
在優選實施方式中，上述α-Fe相和硼化物相的平均結晶粒徑在1nm以上50nm以下，比上述R2Fe14B型化合物相的平均結晶粒徑小，存在於上述R2Fe14B型化合物相的晶界或亞晶界。
在優選實施方式中，上述硼化物相中含有強磁性的鐵基硼化物。
在優選實施方式中，上述鐵基硼化物中含有Fe3B和/或Fe23B6。
在優選實施方式中，平均粒徑在1μm以上100μm以下的範圍內。
在優選實施方式中，所具有的硬磁特性為矯頑力HcJ≥480kA/m、剩餘磁通密度Br≥0.6T。
本發明粘結磁體的特點是含有上述任意一種鐵基稀土類合金納米複合磁體粉末。
本發明鐵基稀土類合金納米複合磁體粉末的製造方法包括下列工序用噴霧法將組成式為(Fe1-mTm)100-x-y-zQxRyTizMn(T是1種以上選自Co和Ni的元素，Q是至少1種選自B和C的元素，R是至少1種選自稀土類金屬元素和釔的元素，M是至少1種選自Nb、Zr、Mo、Ta和Hf的元素)，組成比x、y、z、m和n分別滿足10＜x≤25原子％、6≤y＜10原子％、0.1≤z≤12原子％、0≤m≤0.5、0≤n≤10原子％的合金熔體急冷，製成稀土類合金磁體粉末的工序；通過將上述磁體粉末進行熱處理，形成含有兩種以上強磁性結晶相，並且，硬磁性相的平均尺寸在10nm以上200nm以下，軟磁性相的平均尺寸在1nm以上100nm以下範圍內的組織的工序。
在優選實施方式中，在使用上述噴霧法的急冷工序中，製作含有體積比在60％以上的R2Fe14B型化合物相的急冷合金。
在優選實施方式中，上述軟磁性相含有強磁性的鐵基硼化物。
在優選實施方式中，上述鐵基硼化物含有Fe3B和/或Fe23B6。
在優選實施方式中，本發明的粘結磁體的製造方法包括用於準備由上述任意一種製造方法製造的磁體粉末的工序和用上述磁體粉末製作粘結磁體的工序。
圖2為本發明實施例的去磁曲線(磁滯曲線的第二象限部分)圖。
其中，T是1種以上選自Co和Ni的元素，Q是至少1種選自B和C的元素，R是至少1種選自稀土類金屬元素和釔的元素，M是至少1種選自Nb、Zr、Mo、Ta和Hf的元素。另外，組成比x、y、z、m和n分別滿足10＜x≤25原子％、6≤y＜10原子％、0.1≤z≤12原子％、0≤m≤0.5、0≤n≤10原子％。
在本說明書中，組成式為R2(Fe1-mTm)14Q的2-14-1型硬磁性化合物簡單標記為R2Fe14B型化合物(或R2Fe14B相)。即「R2Fe14B型化合物」或「R2Fe14B相」，是在R2Fe14B中含有一部分Fe被Co和/或Ni置換的化合物(相)、一部分B被C置換的化合物(相)的化合物(相)。另外，在「R2Fe14B型化合物」的一部分中還可含有Ti和M等添加元素。
本發明者為了實現用噴霧法製作納米複合磁體而進行了大量研究，發現在合金中加入Ti，可抑制熔體急冷過程中α-Fe相的析出和成長，由此想到本發明。
如果按照本發明，即使噴霧法冷卻速度較慢，也可使作為主相的R2Fe14B相比α-Fe相先析出，並且還可避免R2Fe14B相粗大至發生多磁疇化的尺寸(300nm)。因此，可以得到作為納米複合磁體的能夠發揮優異磁特性的磁體粉末。
儘管作為本發明對象的α-Fe/R2Fe14B系納米複合磁體具有比Fe3B/Nd2Fe14B系納米複合磁體的矯頑力高的優點，但由於B濃度為相對較低的7～10原子％左右，而Nd濃度為較高的10～12原子％左右，因此合金的非晶生成能非常低。因此，如果在不添加Ti的情況下仍可適用於噴霧法，就只能得到前述那樣具有粗大軟磁性α-Fe相的粉末，產物磁特性不好。另一方面，在Fe3B/Nd2Fe14B系納米複合磁體的情況下，還存在著由於B的濃度為相對較高的18～20原子％左右，因此非晶生成能較高，而Nd的濃度為較低的3～5原子％左右，因此矯頑力較低的問題。另外，若用噴霧法製作Fe3B/Nd2Fe14B系納米複合磁體，雖然由於非晶生成能較高可形成含有較微細組織和非晶相的粉末顆粒，但如果此後進行結晶化熱處理，本身就會伴隨著結晶化而發熱，導致結晶成長不均勻，因此不能發揮納米複合磁體的高磁特性。
另外，在本說明書中「Fe3B」還包括與「Fe3B」較難區別的「Fe3.5B」。
在本發明中，由於適當選擇了Ti和其他諸元素的含量範圍，即使用噴霧法也能得到具有微晶質(含體積比在60％以上的Nd2Fe14B的組織)的納米複合磁體粉末，因此不一定必須在此後進行結晶化熱處理。但是，為使合金組織均勻、磁體性能更優異，優選為對晶質的噴霧粉末進行熱處理。
本發明磁體粉末顆粒的組織含有兩種以上強磁性晶相，硬磁性相的平均尺寸在10nm以上200nm以下，軟磁性相的平均尺寸在1nm以上100nm以下。具體而言，具有硬磁性的R2Fe14B型化合物相均勻分散於合金中，在其晶界或亞晶界處則存在著軟磁性的硼化物相和α-Fe。α-Fe相和硼化物相的平均結晶粒徑比R2Fe14B型化合物相的平均結晶粒徑小，通常為1nm以上50nm以下。在優選實施方式中，由於有作為硼化物相的強磁性鐵基硼化物(Fe3B和/或Fe23B6)等析出，可以保持較高的磁化。
如本發明人等在特願2001-144076中所示那樣，上述硼化物相(鐵基硼化物)被認為至少部分地以薄膜狀存在於R2Fe14B型化合物晶相(主相)的晶界處。一旦實現這種組織構造，由於可以進一步增強強磁性硼化物相和主相的磁性結合(交換相互作用)，並穩固地保持強磁性硼化物相的磁化作用，所以可實現更大的矯頑力。
具有上述組織構造的本發明磁體粉末適用於粘結磁體。用於粘結磁體的粉末的平均粒徑(用掃描電子顯微鏡觀察所得的測定值)優選為1μm以上100μm以下的範圍。
噴霧法用噴霧法將具有上述組成的合金熔體製成永久磁體粉末時，可以使用氣體噴霧法、離心噴霧法、旋轉電極法、真空法或衝擊法。在使用離心噴霧法和旋轉電極法時，優選為用高壓進行噴氣以提高冷卻速度。
下面參照
圖1(a)和(b)對使用氣體噴霧法的實施方式進行說明。
圖1(a)是適用於本實施方式的氣體噴霧裝置的結構示意圖。圖示裝置具有用於儲存通過高頻加熱或電阻加熱而熔融的合金熔體1的熔化槽2，以及通過氣體噴霧形成磁粉(噴霧粉)3的噴霧室4。在放置熔化槽2的熔化室的內部和噴霧室4的內部均充滿惰性氣體(氬或氦)。
在熔化槽2的底部設有熔體用噴嘴5(噴嘴直徑0.5～3.0mm)，通過熔體用噴嘴5，合金熔體1被噴射到噴霧室2的內部。在熔體用噴嘴5的下方，設置有圖1(b)所示的環狀氣體噴嘴6，由環狀氣體噴嘴6的若干個孔向環內強力噴射冷卻氣體。結果形成許多合金熔體小滴，它們的熱量不斷被周圍的氣體吸收而急冷。急冷凝固的金屬小滴聚集在氣體噴霧裝置內的底部作為磁粉3。
當使用這種氣體噴霧裝置時，可通過控制合金熔體的粘度和噴霧氣體的能量等來調節粉末的粒度分布。
當用氣體噴霧法將非晶生成能低的合金熔體急冷凝固時，為了製作具有非晶質或微晶組織的粉末顆粒，有必要在能使粒徑達到例如20μm以下的條件下進行噴霧。這是因為形成的粉末顆粒的粒徑越小，相對於各顆粒體積的表面積的比例就越大，就能提高冷卻效果。若使用現有技術，當粒徑增大時，顆粒內部不能以充分的速度冷卻，從而形成粗大結晶組織，所以會降低磁體性能。如果發生這種情況，特別是對納米複合磁體粉末，其磁體特性將明顯下降。
而在本發明中，即使粉末粒徑較大，如20～100μm，由於粉末顆粒從外到內都能以均勻且充分的速度急冷，因此可製作磁特性優異的納米複合磁體粉末。
熱處理然後，優選為在氬氣(Ar)等惰性氣體中對上述由氣體噴霧裝置製成的磁粉進行熱處理。熱處理工序的升溫速度優選為0.08℃/秒以上15℃/秒以下，將溫度保持在500℃以上800℃以下的範圍內30秒以上60分鐘以下，然後冷卻至室溫。通過這種熱處理，即使在氣體噴霧法製作的粉末顆粒中殘留有非晶相，也可得到幾乎完全結晶的組織。
為防止合金氧化，熱處理環境氣體優選為Ar氣和N2氣等惰性氣體。也可在1.3kPa以下的真空中進行熱處理。
另外，若在原料合金中添加碳，就可提高磁體粉末的耐氧化性。在添加了充分的碳的情況下，對噴霧粉末的熱處理也可在大氣下進行。另外，本實施方式中的磁體粉末，在通過噴霧進行結晶的階段已形成球狀，之後不必進行機械粉碎處理，因此粉末的每單位重量的表面積與已知的經機械粉碎的粉末相比非常小。因此，它的優點是，在熱處理和其它工序中，即使與大氣接觸也不容易被氧化。
用上述磁體粉末製作粘結磁體時，用環氧樹脂和尼龍樹脂等與磁體粉末混合，成型為預想形狀。此時，本發明磁體粉末也可與其它種類的磁粉混合，如納米複合磁體以外的急冷合金系磁體粉末、Sm-T-N系磁體粉末和/或硬鐵氧體磁體粉末等。
合金組成的限定理由Q可以全部由B(硼)構成，也可以由B和C(碳)構成。如果Q的組成比x低於10原子％，由於非晶生成能過低，在氣體噴霧法的冷卻速度(102℃/秒～104℃/秒左右)下，就會很難形成微細的結晶組織。另外，如果Q的組成比x超過25原子％，在構成相中具有最高飽和磁化的α-Fe的存在比例將過分減少，最終導致剩餘磁通密度Br降低。因此，Q的組成比x的範圍優選為10＜x≤25原子％。更優選為10＜x≤20原子％以下，進一步優選為13≤x≤18原子％。
由於C可使急冷凝固合金中的金屬組織的晶粒細化，因此在使用氣體噴霧法這樣的熔體冷卻速度較慢的方法時起著重要的作用。另外，通過添加C，能夠抑制TiB2的析出，並能夠降低合金熔體的起始凝固溫度，因此可以降低熔體噴出溫度。一旦熔體噴出溫度降低，就能夠縮短熔化時間，因此可提高冷卻速度。但是，如果C原子相對於Q的總量的比例超過0.5，就會顯著生成α-Fe相，使構成相產生變化，從而導致磁特性下降。C原子相對於Q的總量的比例應在0.01以上0.5以下，更優選為0.05以上0.3以下，進一步優選為0.08以上0.20以下。
R是1種以上選自稀土類元素和釔的元素。R是為顯示永磁體特性所必需的硬磁性相R2Fe14B所必須的元素，優選Pr或Nd作為必須元素，一部分必須元素也可以用Dy和/或Tb置換。如果R的組成比y不到整體的6原子％，則具有矯頑力所必需的R2Fe14B型結晶構造的化合物相不能充分析出，從而不能得到480kA/m以上的矯頑力HcJ。另外，若R的組成比y在10原子％以上，則使具有強磁性的鐵基硼化物和α-Fe的含量降低。因此，稀土類元素R的組成比y的優選範圍是6≤y＜10原子％。更優選的範圍是7≤y≤9原子％，進一步優選的範圍是7.5≤y≤8.5原子％。
Ti是本發明納米複合磁體必不可少的元素。添加Ti可獲得高的硬磁特性，改善去磁曲線的矩形性，因此可導致最大磁能積(BH)max的增大。
如果不添加Ti，易於發生α-Fe比R2Fe14B先析出、成長的情況，這樣，在對噴霧合金進行結晶化熱處理完成後，軟磁性的α-Fe相變得很粗大。
反之，如果添加Ti，從動力學角度考慮，由於α-Fe相的析出和成長較慢，需要一定時間，因此在α-Fe相析出和成長完畢之前，R2Fe14B相就已經開始析出和成長了。這樣，在α-Fe相變粗大之前，R2Fe14B相已成長為均勻分散的狀態。
另外，Ti對B的親和力較強，易於濃縮在鐵基硼化物中。這樣，通過Ti和B在鐵基硼化物內的強有力的結合，能夠使鐵基硼化物穩定。
另外，通過添加Ti可使合金熔體的粘度下降至5×10-6m2/秒以下，得到適合噴霧法的熔體粘度。
如果Ti的組成比超過12原子％，就會明顯地抑制α-Fe的生成，因此導致剩餘磁通密度Br下降。另一方面，如果Ti的組成比在0.1原子％以下，矯頑力所必需的R2Fe14B相就不能充分析出，即使析出也不能得到均勻的微細組織，也就不能獲得高的矯頑力。因此，優選範圍是0.1≤z≤12原子％，更優選範圍是1≤z≤7原子％。
元素M是可提高合金非晶生成能的元素。添加M可提高合金的非晶生成能，並能在合金熔體的冷卻過程中抑制結晶相的成長。這樣，通過此後的熱處理，就能得到具有良好去磁曲線矩形性的磁體。另外，通過添加M還可提高本徵矯頑力。
如果M的組成比超過10原子％，在α-Fe析出的較高的溫度區域，各構成相的顆粒會顯著成長，各構成相的交換結合減弱，這樣將導致去磁曲線的矩形性大幅降低。因此，M元素的組成比n優選為0≤n≤10原子％，更優選為0.5≤n≤8原子％，進一步優選為1≤n≤6原子％。另外，除M以外，作為使金屬組織微細化的元素，還可添加Al、Si、Mn、Cu、Ga、Ag、Pt、Au和/或Pb。
除上述元素之外其餘為Fe。即使用Co、Ni的一種或兩種過渡金屬元素T置換一部分Fe仍然可得到所期望的硬磁特性。但是，T對Fe的置換量m若超過50％，則不能得到較高的剩餘磁通密度Br，因此置換量m優選在50％以下(0≤m≤0.5)。更優選的置換量m在40％以下。另外，用Co置換一部分Fe可提高硬磁特性，而且，由於還能提高R2Fe14B相的居裡溫度，所以還能提高耐熱性。
製造方法當使用噴霧法將具有上述組成的合金熔體製成永磁體粉末時，可以使用氣體噴霧法、離心噴霧法、旋轉電極法、真空法或衝擊法。
當使用氣體噴霧法時，例如，可以使用噴嘴直徑在0.5～3.0mm以下的噴嘴在惰性氣體中進行熔體噴霧。此時，使用高速惰性氣體流對熔體噴霧。此時氣體的壓力，例如，設定在0.1MPa～7MPa的範圍內。在氣體噴霧法中，通過控制合金熔體的粘度和噴霧氣體的能量等可調節粉末粒度的分布。
在使用氣體噴霧法對非晶生成能低的合金熔體急冷、凝固的情況下製作具有非晶質或微晶組織的粉末顆粒時，有必要在能使粒徑為20μm以下的條件下進行噴霧。這是由於形成粉末顆粒的粒徑越小，相對於各顆粒體積的表面積的比例就越大，冷卻效果就越好。如果按照現有技術，如果粒徑越大，則越不能以充分的速度使顆粒內部冷卻，結果形成粗大的結晶組織，最終導致磁特性下降。如果發生了這種現象，特別是在納米複合磁體粉末的情況下，最終將導致磁體特性明顯下降。
而在本發明的情況下，即使粉末粒徑較大，如20～100μm，由於粉末顆粒從外到內都能以均勻且充分的速度冷卻，因此可製作具有優異磁特性的納米複合磁體粉末。
實施例具有表1所示組成的各試樣(No.1～4)的製造方法是稱量總量為1kg的純度在99.5％以上的Nd、Pr、Fe、Co、B、C、Ti、Nb、Zr、Si和Cu材料，在下述條件下進行氣體噴霧，製造平均粒徑為50μm左右的粉末，然後，按粒度大小分級，得到粒徑在63μm以下的粉末。
使用氣體氬氣(Ar)氣體壓力40kgf/cm2(＝3.92MPa)噴霧溫度1400℃熔體供給速度2.0千克/分鐘表1
在表1中，例如「R」所示欄的「Nd7.8+Pr0.6」表示添加7.8原子％的Nd和0.6原子％的Pr；「Q」所示欄的「B12+C1」表示添加12原子％的B(硼)和1原子％的C(碳)。
然後，將噴霧粉末在Ar氣環境下，保持在表1所示熱處理溫度下5分鐘，然後，冷卻至室溫。用VSM(振動型磁化率測定裝置)測定熱處理後的噴霧粉末的磁特性。粒徑在25μm以下粉末的測定結果如表2所示。熱處理後的噴霧粉末的去磁曲線如圖1所示。
表2
這樣，按照本實施例可製得具有矯頑力HcJ≥480kA/m、剩餘磁通密度Br≥0.6T的硬磁特性的納米複合磁體粉末。
本發明雖然使用比熔融紡絲法等急冷法冷卻速度慢的噴霧法，但通過合金組成的最優化和添加Ti，能夠使R2Fe14B相先於α-Fe相析出，從而製成具有可顯示納米複合磁體優異磁特性的微細組織的磁體粉末。另外，由於本發明可通過噴霧法直接形成合金磁體的球狀顆粒，因此無需粉碎工序，這樣就能大幅降低磁體的製造成本。
權利要求
1.一種鐵基稀土類合金納米複合磁體粉末，其特徵是組成式為(Fe1-mTm)100-x-y-zQxRyTizMn(T是選自Co和Ni的1種以上的元素，Q是至少1種選自B和C的元素，R是至少1種選自稀土類金屬元素和釔的元素，M是至少1種選自Nb、Zr、Mo、Ta和Hf的元素)，組成比x、y、z、m和n分別滿足10＜x≤25 原子％6≤y＜10 原子％0.1≤z≤12 原子％0≤m≤0.50≤n≤10 原子％用噴霧法製作，並且含有兩種以上的強磁性晶相，硬磁性相的平均尺寸在10nm以上200nm以下，軟磁性相的平均尺寸在1nm以上100nm以下。
2.如權利要求1所述的鐵基稀土類合金納米複合磁體粉末，其特徵是R2Fe14B型化合物相、硼化物相和α-Fe相，混合在同一金屬組織內。
3.如權利要求2所述的鐵基稀土類合金納米複合磁體粉末，其特徵是所述α-Fe相和硼化物相的平均粒徑在1nm以上50nm以下，小於所述R2Fe14B型化合物相的平均粒徑，且存在於所述R2Fe14B型化合物相的晶界或亞晶界處。
4.如權利要求3所述的鐵基稀土類合金納米複合磁體粉末，其特徵是所述硼化物相包括強磁性鐵基硼化物。
5.如權利要求4所述的鐵基稀土類合金納米複合磁體粉末，其特徵是所述鐵基硼化物含有Fe3B和/或Fe23B6。
6.如權利要求1至5任一項所述的鐵基稀土類合金納米複合磁體粉末，其特徵是平均粒徑在1μm以上100μm以下的範圍內。
7.如權利要求1至6任一項所述的鐵基稀土類合金納米複合磁體粉末，其特徵是具有矯頑力HcJ≥480kA/m、剩餘磁通密度Br≥0.6T的硬磁特性。
8.含有權利要求1至7所述的任意一種鐵基稀土類合金納米複合磁體粉末的粘結磁體。
9.一種鐵基稀土類合金納米複合磁體粉末的製造方法，其特徵是包括用噴霧法將組成式為(Fe1-mTm)100-x-y-zQxRyTizMn(T是選自Co和Ni中的1種以上元素，Q是至少1種選自B和C的元素，R是至少1種選自稀土類金屬元素和釔的元素，M是至少1種選自Nb、Zr、Mo、Ta和Hf的元素)、組成比x、y、z、m和n分別滿足10＜x≤25原子％、6≤y＜10原子％、0.1≤z≤12原子％、0≤m≤0.5％、0≤n≤10原子％的合金熔體急冷，製作稀土類合金磁體粉末的工序；和將所述磁體粉末進行熱處理，形成含有兩種以上的強磁性結晶相，並且硬磁性相的平均尺寸在10nm以上200nm以下，軟磁性相的平均尺寸在1nm以上100nm以下範圍內的組織的工序。
10.如權利要求9所述的鐵基稀土類合金納米複合磁體粉末的製造方法，其特徵是在用所述噴霧法進行急冷的工序中，製成含有體積比在60％以上的R2Fe14B型化合物相的急冷合金。
11.如權利要求9或10所述的鐵基稀土類合金納米複合磁體粉末的製造方法，其特徵是所述軟磁性相中含有強磁性鐵基硼化物。
12.如權利要求11所述的鐵基稀土類合金納米複合磁體粉末的製造方法，其特徵是所述鐵基硼化物中含有Fe3B和/或Fe23B6。
13.一種粘結磁體的製造方法，其特徵是包括準備用權利要求9至12中的任意一種製造方法製造的鐵基稀土類合金納米複合磁體粉末的工序；和用所述磁體粉末製造粘結磁體的工序。
全文摘要
通過用噴霧法將組成式為:(Fe
文檔編號H01L25/18GK1465076SQ02802628
公開日2003年12月31日 申請日期2002年7月19日 優先權日2001年7月31日
發明者三次敏夫, 金清裕和, 廣澤哲 申請人:住友特殊金屬株式會社