藥液處理裝置的製作方法

2023-10-05 05:11:29

專利名稱：藥液處理裝置的製作方法
技術領域：
本發明關於一種藥液處理裝置。即，關於一種用於基板的制 造工序中、並且利用藥液對基板材料進行表面處理的藥液處理裝置。
背景技術：
一直以來，用於電子機器的電路基板的小型輕量化、超薄化、 撓性化的進展很顯著，形成的電路的微細化、高密度化也很顯著。並且，在這種基板的製造工序中被採用藥液處理裝置，利用 噴射的藥液對基板材料進行表面處理。例如，噴射顯影液、蝕刻 液、剝離液等'藥液，由此進行顯影、蝕刻、剝離等表面處理。在這種現有例的藥液處理裝置中，基板材料通過輸送機的搬 送滾筒搬送，同時從噴嘴噴射藥液，由此依次進行顯影、蝕刻、 剝離等表面處理，形成電路、製造基板。然後， 一般的在大氣中 空中配設輸送機、噴嘴，在大氣中 空中利用噴射的藥液對基 板材料進行表面處理。對此，也正在開發將輸送機、噴嘴配設在藥液中而進行表面 處理的藥液處理裝置。即，將輸送機、噴嘴配設在充滿藥液的液 槽中，由此也出現了利用液中噴射的藥液對基板材料進行表面處 理的藥液處理裝置。作為這種藥液處理裝置，例如，可以列舉下述專利文獻1、 2 中所示的裝置。專利文獻1是關於空中噴射處理方式的裝置，專 利文獻2是關於液中噴射處理方式的裝置。 [專利文獻1]日本特開2002-68435號公報 [專利文獻2]日本特開平10-079565號7>救 發明內容關於這樣的現有例子，存在以下問題。第1，關於空中噴射處理方式的藥液處理裝置，存在以下問題。 即，噴射的藥液在與前後搬送方向垂直的左右橫向上流動的同時， 對基板材料表面進行表面處理，然後從左右兩側邊流下。不過， 並不是所有藥液都按照預期在左右的橫向上流動，另外，容易在 前後搬送方向上形成紊流而流動，在中央部形成儲液而滯留。並且，如果發生這種紊流和儲液，會妨礙藥液的更新，會產 生表面處理的遲緩 過多或過少 不均勻，對形成均勻的電路產 生障礙，對提高電絡的微細化、高密度化的基板形成很大的問題。另外，這種基板材料的超薄化顯著，易折且柔軟，但是由於 噴射壓力或重量與藥液一起噴射到這種基板材料上，所以存在基 板材料大多無法被輸送機穩定搬送的問題。由於噴射的藥液的壓 力或重量，會使搬送的基板材料經常發生變形、彎曲、折斷、皺 褶、巻縮、落下等事故。第2，關於液中嘖射處理方式的藥液處理裝置，存在以下問題。 該藥液處理裝置是為了解決上述第1問題點而發明的裝置，即， 為了解決空中噴射處理方式的藥液處理裝置的問題點。但是，對 於在液中輸送機上下的連續滾筒群或滾輪群夾持搬送的基板材 料，則存在其電路形成面與連續滾筒或滾輪接觸而受損的問題。本發明的藥液處理裝置是鑑於這樣的實際問題，為解決上述 現有例的課題而設立的。並且，本發明的目的在於提供一種藥液 處理裝置，第1，解決噴射的藥液導致的紊流、儲液、變形情況； 第2，在搬送中不存在電路形成面受損的問題。
解決該問題的本發明的技術手段如下所述。首先，關於技術 方案1如下所述。技術方案1的藥液處理裝置，是用於基板的製造工序中，利 用藥液對基板材料進行表面處理的裝置，其具有液槽，該液槽 盛滿該藥液；輸送機，該輸送機配設在該液槽內並4般送基板材料； 噴嘴，該噴嘴配設在該液槽內並對該基板材料噴射該藥液。而且， 其特徵在於，該輸送機具備以不接觸電路形成面的方式運送該基 板材料的夾持滾筒群，該夾持滾筒由夾持、運送該基板材料的兩 側端面的驅動滾筒構成。關於技術方案2如下所述。技術方案2的藥液處理裝置，在 技術方案1中，夾持、運送該基板材料且成對的其中一邊的該夾 持滾筒，例如由硬質橡膠製的軟質材料構成；另一邊的該夾持滾 筒，例如由金屬制的硬質材料構成，並在外周面形成槽。而且， 其特徵在於，在兩個該夾持滾筒之間，壓接、挾持該基板材料， 並且不會發生滑動、彎曲地運送。關於技術方案3如下所述。技術方案3的藥液處理裝置，在 技術方案1中，該藥液處理裝置用於基板的製造工序中的顯影工 序、蝕刻工序、或剝離工序中，該藥液由顯影液、蝕刻液、或剝 離液構成。而且，其特徵在於，該基板材料特徵在於由橈性基板 材料、其它的超薄材料構成。關於技術方案4如下所述。技術方案4的藥液處理裝置，在 技術方案1中，該輸送機水平搬送該基板材料。而且，其特徵在 於，該夾持滾筒在上下成對的同時配置於左右，分別從上下夾持、 運送該基板材料的左右兩側端面。由於本發明由這樣的手段構成，所以作用如下所述。(1)此藥液處理裝置用於基板的製造工序中，對基板材料進行 藥液處理。(2) 例如，在顯影工序、蝕刻工序、或剝離工序中，用輸送機 搬送基板材料的同時，從噴嘴噴射藥液進行表面處理。(3) 然後，在利用與噴射的藥液相同的藥液盛滿的液槽中，配 設輸送機和噴嘴。(4) 因此，噴射的藥液在液中直線前進，對基板材料的電路形 成面進行表面處理，然後，不流過基板材料表面而被反射，且被 收進液槽的藥液中。(5) 在此藥液處理裝置中，藥液不會在基板材料表面流動，不 會發生藥液的紊流、儲液、滯留等。另外，也不會發生由於噴射 的藥液的壓力或重量導致的基板材料的變形、彎曲、折斷、皺褶、 巻縮、落下等。(6) 在此藥液處理裝置中，輸送機的夾持滾筒夾持、運送基板 材料的兩側端面。(7) 因此，不會擔心液中搬送的基板材料的電路形成面造成損 傷。即，夾持滾筒夾持、運送基板材料的兩側端面，且不接觸基 板材料的電絡形成面。(8) 此外，夾持滾筒和基板材料的兩側端面由於存在藥液而滑 動且易滑，基板材料也會有發生彎曲的問題。作為夾持滾筒，如 果結合採用硬質橡膠滾筒和附有槽的金屬滾筒，則能以強大摩擦 力和止動力，來確實防止這些問題。(9) 因此，該藥液處理裝置發揮以下的效果。第1，本發明的藥液處理裝置，因為通過液中噴射處理方式構 成，所以解決了由於噴射的藥液導致的紊流、儲液、變形等情況。即，此藥液處理裝置因為以液中噴射的藥液對基板材料進行 表面處理，所以與如空中噴射處理方式的前述的該現有例那樣不 同，換言之，與如該現有例那樣的夾持滾筒的接觸搬送不同，沒 射的藥液的紊流、儲液、滯留 等。從而，消除表面處理的遲緩、過多或過少、不均勻，並實現 形成均勻的電路。另外，也能迴避由於空中噴射的藥液的壓力或 重量導致的基板材料的變形、彎曲、折斷、皺褶、巻縮、落下等 情況。笫2，此藥液處理裝置，因為通過液中噴射處理方式構成，但 是不存在對液中搬送的基板材料的電路形成面造成損傷的問題。即，此藥液處理裝置的輸送機中，夾持滾筒因為夾持基板材 料的兩側端面而運送，所以與如前述液中噴射處理方式的該^L有 例那樣不同，換言之，與類似這種現有例的夾持滾筒的接觸搬送 不同，不會對基板材料的電路形成面造成損傷。另外，關於夾持 滾筒，在成對的其中一邊為硬質橡膠製、另一邊為附帶槽的金屬 制的情況下，也能確實防止基板材料的滑動和彎曲等，進而防止 搬運損壞像這樣全部解決這種現有例中存在的問題等，本發明發揮效 果顯著。


圖1關於本發明的藥液處理裝置，用於說明實施發明的最佳 形態，為全體的側剖面圖。圖2用於說明實施同發明的最佳形態，為主要部分的正剖面圖。
具體實施方式
以下，根據用於實施圖面所表示的發明的最佳形態，進行詳 細說明本發明的藥液處理裝置。圖1、圖2提供實施本發明的最佳形態的說明。圖1是全體的 側剖面圖，圖2是主要部分的正剖面圖。
本發明的藥液處理裝置1用於基板的製造工序中。因而，首 先就基板進行說明。用於電子設備的印刷配線基板等的電路基板的小型輕量化、 超薄化、微細電路化、高密度電路化、多層化等進展顯著。關於 電路基板的軟硬，與更早的現有的硬固基板等硬性基板相比，撓 性基板的其它超薄且柔軟的軟性基板的進展、增加很顯著，半導 體零件與電路組合成一體的半導體封裝基板的普及也急速發展。因此，作為最近的基板要求度，超薄化、微細化至板厚為50pm 25nm左右、電路寬度L和電路之間的空間S為20pm 30jxm左右。而且，這種基4反通過例如以下的製造工序而製造。即，在由 覆銅層壓板形成的基板材料A的外表面上，—塗布或者貼上光敏 性抗蝕劑之後，—以電路的負片遮擋並將之曝光後，—通過顯影 溶解除去電路形成部分以外的抗蝕劑，—通過蝕刻溶解除去電路 形成部分之外的銅箔之後，4通過剝膜除去電路形成部分的抗蝕 劑，—用銅箔在基板材料A的外表面上形成電路，—由此，製造 基板。基板是這樣形成的。然後，藥液處理裝置1用於這種基板的製造工序中，且利用 藥液B對基板材料A進行表面處理。關於這種藥液處理裝置，將 進一步詳述。在基板的製造工序中，例如顯影工序、蝕刻工序、或者剝離 工序中，此藥液處理裝置1用於作為顯影裝置、蝕刻裝置或者剝 離裝置。然後，在其處理室2內，從噴嘴4對輸送機3搬送的基 板材料A，進行噴射例如顯影液、蝕刻液、剝離液等藥液B，由此 對基;f反材料A進^f亍藥液處理、表面處理。
作為顯影液，使用碳酸鈉溶液、其它的鹼性溶液；作為蝕刻 液，使用氯化銅(I)溶液、氯化鐵(l)溶液、其它的酸性溶液、腐蝕液；作為剝離液，使用氬氧化鈉溶液、氬氧化鉀溶液、其它的 鹼'f生溶液。並且，在藥液處理裝置1的處理室2內，具有液槽5、輸送機 3、嘖嘴4、貯槽6等。首先，液槽5盛滿藥液B。即，液槽5形成在處理室2的上 部，並使用兼作為輸送機框架的框架劃分壁7而形成，且盛滿與 從噴嘴4噴射的藥液B相同的藥液B。輸送機3配設在液槽5的藥液B內，在搬送方向C上搬送基 板材料A，如後所詳述的那樣，具備運送基板材料A的多個夾持 滾筒8、 9群。多個噴嘴4酉'己設在液槽5的藥液B內，且面對位於 搬送的基板材料A，對基板材料A噴射藥液B。藥液B從處理室2下部的貯槽6，通過泵10和配設管線11， 壓送到各噴嘴4，由此朝向基板材料A噴射。然後，噴射後從基 4反4才料A反射、反彈回來的藥液B 4皮液槽5中的藥液B吸進、同 化，其結果，從液槽5溢出的藥液B回收到下部的貯槽6。回收 到貯槽6的藥液B被儲存，然後，再被壓送到各噴嘴4而循環使 用。此外，作為噴嘴4，可以使用實心圓錐噴嘴等各種類型的噴嘴， 也可使用狹縫噴嘴。此外，圖示的嘖嘴4朝向基板材料A的內外 兩面互相面對而配設，但是也考慮到了基板材料A在電路形成面 E只有單面的單面基板的情況下，僅朝向此單面而配設成互相面對 的情況。藥液處理裝置1以此方式形成。以下，進一步詳述關於藥液處理裝置1的輸送機3。輸送4幾3具備多個夾持滾筒8、 9群。並且，作為搬送滾筒的夾持滾筒8、 9 群在液槽5內，在上下等分別成對的同時，沿著搬送方向C，在 前後相互之間分別在前後隔著間隔的同時多個列設。此外，圖示例的輸送機3成水平搬送基板材料A，其夾持滾 筒8、 9分別上下成對配設，基板材料A在液槽5中水平搬送。不 過，並非被限定於這種水平搬送方式，垂直搬送方式或傾斜搬送 方式的輸送4幾3也可以。即，將此夾持滾筒8、 9分別左右成對配 設、或傾斜成對配設，因而也有可能是將基板材料A進行垂直搬 送或傾斜搬送的方式。輸送4幾3大致上以此方式形成。接著，說明關於輸送機3的夾持滾筒8、 9。夾持滾筒8、 9 由夾持並運送基板材料A的兩側端面D的驅動滾筒形成。進一步詳述關於這種夾持滾筒8、 9。首先，夾持滾筒8、 9 系由轉動驅動的驅動滾筒形成，並通過軸12、 13、傳達齒輪14、 15、 16、驅動齒輪17、驅動軸18等，而連接到發動機等的驅動機 構(未圖標)。圖中標號19是按壓調整部、標號20是位準調整部，兩者分 別用來調整上位的軸12、且上位的夾持滾筒8的上下位置、以及 下位的軸13、且下位的夾持滾筒9的上下位置。即，通過兩者， 能夠限制且調整上下成對的上位的夾持滾筒8與下位的夾持滾筒 9之間的細微上下間隔。換言之，以上位的控制調整部19調整上 位的軸12的高度位置，以下位的位準調整部20調整下位的軸13 的高度位置，由此，能夠限制且調整滾筒之間的上下間隔。並且，因為圖示的輸送機3水平搬送基板材料A，所以其夾 持滾筒8、 9在上下成對的同時左右配設，分別從上下夾持基板材 料A的左右兩側端面D並搬送。
另外，基板材料A由中央部的電絡形成面E、其外周緣的前 後端或左右兩側端面D構成，前後端或兩側端面D也糹皮稱作^故耳 部，並成為非電路形成面。然後，在圖示例中，為了從上下夾持 並搬送如這樣的基板材料A的左右兩側端面D，左右配設夾持滾 筒8、 9。另外，在圖2所示例子中，以此方式夾持並搬送基板材料A 的成對的一邊的夾持滾筒8由例如硬質橡膠製的軟質材料構成， 另一邊的夾持滾筒9由例如金屬制的硬質材料構成，且在外周面 形成槽21。然後，在如這樣的兩個夾持滾筒8、 9之間，能夠壓接 並挾持基板材料A的兩側端面D，且不會造成滑動、彎曲地進行 搬送。即，在圖示例中，上下成對的上位的夾持滾筒8由硬質橡膠 滾筒F構成，下位的夾持滾筒9由附有槽21的金屬滾筒G構成。 槽21形成於外周面，雖然在圖示例中以外周縱槽形成，但是可以 是其它各種槽形狀，例如也可以為橫槽、傾斜槽、彎曲槽、分散 槽等。並且，通過如這樣上下的例如硬質橡膠滾筒F制的軟質材 料和附有槽21的例如金屬滾筒G制的硬質材料的組合，基板材料 A的兩側端面D從上下以強大摩擦力和止動力壓接並挾持。此外，夾入基板材料A的兩側端面D的夾持滾筒8、 9間的 間隔、在圖示例中上位的左右的夾持滾筒8之間的左右間隔、以 及下位的左右的夾持滾筒9之間的左右間隔，優選為事先對應基 板材料A的左右尺寸而可變動。即，為了對應搬送的基板材料A 的左右尺寸，換言之，為了對應其兩側端面D的位置，以使夾持 滾筒8、 9分別事先左右移動，則能夠容易應用於各種尺寸的基板 材料A。夾持滾筒8、 9以此方式構成。 本發明的藥液處理裝置1以上述所說明的方式構成。因而， 如以下作用。(1) 此藥液處理裝置1，用於基板的製造工序中，利用藥液B 對基板材料A進行表面處理。例如，用於橈性基板、其它的軟性 基板的製造工序中，因而，利用藥液B對超薄且柔軟的基板材料A進行表面處理。(2) 即，藥液處理裝置1，在基板的製造工序的核心的例如顯影工序、蝕刻工序、或者剝離工序中，作為顯影裝置、蝕刻裝置或者剝離裝置而使用。然後，用輸送機3搬送基板材料A，並且 從噴嘴4噴射顯影液、蝕刻液、或者剝離液等藥液B，由此對基 板材料A進行用於形成電路的表面處理。(3) 那麼，此藥液處理裝置1具備盛滿與噴射的藥液B相同 的藥液B的液槽5，在藥槽5的藥液B中，配設有輸送4幾3和噴 嘴4。並且，通過從噴嘴4液中噴射的藥液B，對基板材料A進行 表面處理。(4) 即，從噴嘴4噴射的藥液B受到液槽5中的周圍的藥液B 的抵抗而被限制，由此在液槽5的藥液B中不會擴散而是前進直 行，直射基板材料A的電路形成面E並進行表面處理。然後，此藥液B受到液槽5中的周圍的藥液B的抵抗而被限 制，由此不會在基板材料A的電路形成面E流動，而是乂人電路形 成面E反射，彈回至液槽5中的藥液B，被液槽5中的藥液B所 吸進、同化。(5) 在此藥液處理裝置1中，因為藥液B以這樣的方式液中 噴射，所以噴射的藥液B不會在基板材料A的電路形成面E流動， 所以在噴射的藥液B的基板材料A的電絡形成面E上，不會發生 形成的紊流、儲液、滯留等。藥液B對應於基板材料A隨時更新。
另夕卜，因為液中噴射藥液B，所以也不會發生由噴射的藥液B的壓力或重量導致的基板材料A的變形、彎曲、折斷、皺褶、巻縮、落下等。(6) 那麼，在此藥液處理裝置1中，輸送4幾3配設在液槽5 的藥液B中，且輸送機3具備夾持滾筒8、 9群。並且，夾持滾筒 8、 9夾持作為基板材料A的非電路形成面的兩側端面D，在搬送 方向C上運送基板材料A。(7) 此藥液處理裝置1的輸送機3，具備這樣的搬送用的夾持 滾筒8、 9，由此幾乎不會有基板材料A的電路形成面E被損傷的 問題。即，因為夾持滾筒8、 9夾持並運送基板材料A的電路形成 面E以外的兩側端面D，所以基;f反材料A的電路形成面E不可能 在搬送途中受到損傷。(8) 此外，關於輸送機3的夾持滾筒8、 9，在用以夾持、運 送基41材料A的'兩側端面D的上下成對的其中 一 邊為-更質橡膠滾 筒F，另一邊為附有槽21的金屬滾筒G的情況下，如下所述。即，這種藥液B(例如，顯影液和剝離液等鹼性溶液)非常粘滑， 在這種藥液B中，成對的夾持滾筒8、 9與被其所夾持的基板材料 A的兩側端面D，由於這種藥液B的存在，變得滑溜而容易滑動， 由此基板材料A不沿搬送方向C搬送，也存在彎曲的問題。對此，將例如硬質橡膠滾筒F制的軟質材料、和附有槽21的 例如金屬滾筒G制的硬質材料進行組合時，確實地防止這種滑動、 滑行、彎曲等。不管藥液B的存在，通過這種組合的夾持滾筒8 之間的強大摩擦力與止動力，壓接並挾持基板材料A的兩側端面 D而運送。在此，將本發明與最近的這種現有例子比較，並描述關於搬 送系統相關的技術上的根本不同點。 在本發明的藥液處理裝置1的輸送機3中，如以上所說明的 那樣，在搬送易折且柔軟的超薄材料等基板材料A的時候，夾持滾筒8、 9採用了一種搬送系統，該搬送系統系從上下等夾持、搬 送基板材料A的非電路形成面的左右等的兩側端面D。對於基板 材料A中央部的電路形成面，成完全不接觸狀態。對此，在最近的這種現有例子中，由搬送系統形成，該搬送 系統形成為在搬送易折且柔軟的超薄材料等基板材料A的時候， 在其中央附近，沿前後的搬送方向C將非電路形成面設定為線狀， 並通過上下的滾輪等形成的夾持滾筒，夾持、保持如那樣設定為 線狀的非電路形成面而搬送。如這樣，在本發明中，相對於以左右2點支持來運送基板材 料A，在最近的這種現有例子中，以中央的1點支持、或者是包 括中央的3點支持、代表性地以中央附近的3點支持的方式運送 基板材料A.，與搬送系統相關的技術思想根本上完全不同。顯不同，在本發明中，具備以下主要優點不需要特意在中央設 定非電路形成面，中央部可以作為電路形成面全部使用，基板材 料的電絡形成在面積上也有效率等。
權利要求
1.一種藥液處理裝置，其用於基板的製造工序中，利用藥液對基板材料進行表面處理，該藥液處理裝置具有液槽，該液槽盛滿該藥液；輸送機，該輸送機配設在該液槽內並搬送該基板材料；噴嘴，該噴嘴配設在該液槽內並對該基板材料噴射該藥液，其特徵在於，該輸送機具備以不接觸電路形成面的方式運送該基板材料的夾持滾筒群，該夾持滾筒由夾持、運送該基板材料的兩側端面的驅動滾筒構成。
2. 根據權利要求1所述的藥液處理裝置，其中，夾持、運送 該基板材料且成對的其中一邊的該夾持滾筒，由軟質材料構成； 另一邊的該夾持滾筒由硬質材料構成，並在外周面形成槽，其特徵在於，在這樣的兩個該夾持滾筒之間，壓接、換持 該基板材料，並且不會發生滑動、彎曲地運送。
3. 根據權利要求1所述的藥液處理裝置，該藥液處理裝置用 於基板的製造工序的顯影工序、蝕刻工序、或者剝離工序中， 該藥液由顯影液、蝕刻液、或剝離液組成，其特4正在於，該基 板材料由橈性基板材料、其它的超薄材料構成。
4. 根據權利要求1所述的藥液處理裝置，該輸送機水平搬送 該基板材料，其特徵在於，該夾持滾筒上下成對且配置於左右， 分別從上下夾持、運送該基板材料的左右兩側端面。
全文摘要
本發明涉及一種藥液處理裝置，第1，解決噴射的藥液導致的紊流、儲液、變形問題，第2，防止在液中的上浮、鼓動、變形等的搬送損壞，也不會對電路形成面造成損傷。該藥液處理裝置用於基板的製造工序中，利用藥液對基板材料進行表面處理。並且具有液槽，該液槽盛滿該藥液；輸送機，該輸送機配設在該液槽內並搬送該基板材料；噴嘴，該噴嘴配設在該液槽內並對該基板材料噴射該藥液。該輸送機具備運送該基板材料的夾持滾筒群，這些夾持滾筒由夾持並運送該基板材料的兩側端面的驅動滾筒構成，例如夾持並運送的一邊的滾筒由軟質材料構成；另一邊的夾持滾筒由在外周面形成有槽的硬質材料所構成。
文檔編號H05K3/06GK101155479SQ200710154150
公開日2008年4月2日 申請日期2007年9月19日 優先權日2006年9月28日
發明者新山喜三郎, 菅原清司 申請人:東京化工機株式會社