具有通過液體金屬擴散器冷卻的電子裝置製造方法

2023-10-20 11:33:07

具有通過液體金屬擴散器冷卻的電子裝置製造方法
【專利摘要】本發明涉及具有通過液體金屬擴散器冷卻熱源(32)的電子裝置，該裝置包括至少一個熱源；至少一個擴散器(30)，其鑽孔有至少一個通道用於流動液體金屬，形成熱源(32)下面流過的迴路；至少一個散熱器(33)；和至少一個電磁泵(31)，用於使液體金屬(34)在所述至少一個通道中移動，這樣液體金屬吸收熱源所發出的熱，以及傳遞它由散熱器排散，其中每個擴散器包括放置在由可變形材料所製造的至少一個條帶的兩側的任一側上的由絕緣材料所製造的至少兩個板。
【專利說明】具有通過液體金屬擴散器冷卻的電子裝置
【技術領域】
[0001]本發明涉及通過液體金屬擴散器冷卻的電子裝置，例如半導體裝置。
【背景技術】
[0002]本發明的領域是電子元件，例如半導體的溫度管理。如圖1中所示，電子元件可以通過幾毫米厚的金屬板放置在冷卻裝置上。該板的目的是如同冷卻裝置所經歷的一樣，擴散所發出的熱流量，由此增加該熱流量的截面。因為溫度梯度與交換面積呈反比，所以大大地改善了總的溫度管理。在該說明書的整個剩餘部分中，術語「擴散器」用於表示這種板。圖1表示耗散源10，例如電子元件或一組封裝的元件，布置在擴散器11上，該擴散器11在熱流量到達冷卻裝置12之前擴散熱流量(箭頭表示熱流量密度Φ)。這種擴散器的厚度是最佳的，在該厚度以下，擴散不充分，這降低了冷卻裝置的性能。在該厚度以上，由它所增加的溫度阻力變得太高。如果它要效率高，擴散器必須保持為非常好的熱導體，例如它可以由銅製造。然而，銅是重的，並且這是為什麼也常常使用鋁的原因。而且，銅的熱傳導率受到限制(400W.cm-1.K—1)。因此，擴散器面積的大幅增加不會減小總的熱阻，因為熱流量將不會達到擴散器的限度。
[0003]因此，為了改善總的溫度管理，使用具有更高等效的熱傳導率的材料是有用的。一個方案包括使用非常好的熱導體的材料，諸如裝載有帶高熱傳導率顆粒(鑽石、碳等)的材料。但是目前，這種材料整合到設備中不足夠成熟，並且成本和性能與工業要求(可靠性、機械加工、所獲得的傳導率、質量)不相容。另一個常常設想的方案是使用熱管道。如圖2中所示，熱管道15包括封閉的容積16,其內壁覆蓋有液體18所飽和的毛細管網17。它通常包括三個部件，稱 為蒸發器20、冷凝器21和絕熱區域22。在蒸發器20，液體18被轉換為蒸氣23，該蒸氣23朝向冷凝器21的路線發送。冷凝後，液體通過毛細管網17被帶回到蒸發器，毛細管網17驅動熱管道。用適合的毛細管網，熱管道15可以在所有的位置工作，因此沒有重力。熱管道原理的主要優點是它在蒸發區域20 (熱源)和冷凝區域21 (冷卻源)之間產生非常低的溫度差。熱管道作為「熱短的迴路」。因為熱管道的蒸氣區域具有非常高等效的熱傳導率，它們可以用作擴散器。圖3表示這種熱管道27作為熱擴散器的運轉。接著使用術語熱擴散器或「蒸氣室」。運轉的原理與常規的熱管道相同，但是流體路徑不同，因為熱源25(蒸發器)放置在熱管道的第一面上，而冷卻源26 (冷凝器)使用整個第二面。
[0004]雙相流體類型方案(熱管道、蒸氣室)有限制。例如，在航空學應用中，最大限制性的限制包括流體的選擇、加速度的阻力、用於非常高密度的性能。所用的流體必須與航空學約束條件(火的約束條件、歐洲REACH法規等)相容。而且，這些方案的性能非常依賴於所使用的冷卻源和雙相流體的特徵。
[0005]目前，有用於電子系統的冷卻迴路的例子，其利用了通過直流電(DC)磁流體動力學類型的電磁泵所移動的導電流體(熔融鹽或液體金屬)。在說明書結尾處參考文獻【I】中所限定的冷卻迴路由此使用磁流體動力學類型的導電泵(MHDDC)用於GaIn(鎵-銦)類型的導電流體，以冷卻電子元件。泵產生了 25kPa數量級的壓力，具有0.14升.分鐘―1的流速，而施加於泵的磁場是0.9T。該系統能夠冷卻超過200W.cm_2熱流量密度。在該迴路中:
[0006]-鎵-銦的熔點高於0°C，這在熔解溫度以下的環境溫度時引起了運轉問題。因為冷卻源遠離電子元件，所以在已經加熱元件之前不可能起動裝置。
[0007]-電磁泵(高電流/低電壓)的電源是複雜的，並且效率是低的。
[0008]-用液體金屬或熔融鹽運轉的這種迴路具有高的熱性能。然而，它受限於特定的應用，因為導電流體非常昂貴(1000歐元/kg)，並且一些液體金屬，諸如鎵或鎵合金的密度比水聞6倍。
[0009]文獻【2】公開了一種擴散器，其中液體金屬，例如鎵或鎵合金，諸如鎵-銦-錫，被放入到一個或幾個半導體元件以下的擴散器中所機械加工的通道中進行循環。該液體金屬吸收半導體元件下面的熱和將該熱分布在整個保留表面上。通過整合在擴散器中的磁流體動力學的導電泵移動該流體金屬。保護材料的沉積分離了通道壁和液體金屬，以防止它們之間化學相互作用。這種擴散器具有下列缺點:它需要化學塗層以分離化學通道和液體金屬。當它固化時，沒有提供抗鎵膨脹的補救；這種膨脹可以損壞擴散器。
[0010]本發明的目的是通過公開擴散器中液體金屬的循環來克服這些缺點，該擴散器由與鎵化學相容的堆疊的幾個板製造，吸收熱源下面熱的液體金屬具有很低的溫度的溫度以及在擴散器的整個保留表面上分布熱，而整合到擴散器以下的面中的散熱器排散來自於液體金屬的熱。

【發明內容】

[0011]本發明涉及具有通過液體金屬擴散器冷卻熱耗散源的電子裝置，該裝置包括至少一個熱耗散源，其包括至少一個電子元件；至少一個擴散器，至少一個液體金屬循環通道通過它，形成在熱耗散源下面有路線的迴路，至少一個散熱器和至少一個電磁泵，後者在所述至少一個通道中移動液體金屬，這樣液體金屬吸收熱耗散源所耗散的熱，並且傳遞它由散熱器排散，其特徵在於:每個擴散器包括位於由可變形材料所製造的至少一個條杆的每側上的由絕緣電材料所製造的至少兩個板，液體金屬循環通道繞該條杆製成。
[0012]有利地，至少一個電子元件可以是半導體元件。液體金屬可以選自鎵、銦、鉍、錫，包含鎵和/或銦和/或錫的合金，鈉-鉀合金。有利地，由變形材料所製造的條杆是由膨脹的聚四氟乙烯(Teflon)、帶有封閉小室的泡沫、帶有開放小室和帶有密封塗層的泡沫，或者由實心或空心的可變形塑料所製造。電極是由塗覆有保護塗層的鑰、鎢、不鏽鋼或銅製造的。該後面的方案減少了總電壓的下降和由此電磁泵效率的下降。散熱器是帶鰭的散熱器，它可以與風扇或強制對流的液體冷卻器一起使用或者不與它們一起使用。每個電磁泵可以是磁流體動力學的導電泵((MHD DC))。它可以包括在擴散器的由電絕緣材料所製造的兩個板之間。由絕緣電材料所製造的這些板可以由陶瓷、AIN、AI203、Si3N4或SiC所製造。
[0013]有利地，擴散器在至少一個液體金屬循環通道內包括鰭，以增加與液體金屬的交換面積。
[0014]有利地，根據本發明的裝置包括電磁泵+堆疊的幾個半導體/液體金屬擴散器/散熱器兀件。
[0015] 有利地，熱管道布置在液體金屬擴散器和散熱器之間。[0016]有利地，在第一實施方式中，根據本發明的裝置包括:
[0017]-第一磁迴路，其包括由磁性材料和永磁鐵所製造的至少一個條杆；
[0018]-第一聚合物框架；
[0019]-由絕緣材料所製造的第一板，其上放置有半導體元件；
[0020]-由可變形材料所製造的條杆；
[0021]-三個電極，一個電極放置在可變形材料上；
[0022]-帶有支撐裝置的聚合物密封；
[0023]-由絕緣材料所製造的第二板；
[0024]-第二聚合物框架；
[0025]-第二磁迴路；
[0026]-散熱器；
[0027]液體金屬循環通道繞著由可變形材料所製造的條杆製成。
[0028]有利地，在第二實施方式中，根據本發明的裝置包括:
[0029]-兩個第一磁迴路，
[0030]-一個聚合物框架；
[0031]-第一陶瓷板，其上放置有半導體元件；
[0032]-由可變形材料所製造的條杆；
[0033]-電極，其中一個電極放置在可變形材料上；
[0034]-具有支撐裝置的聚合物密封；
[0035]-第二陶瓷板；
[0036]-兩個第二磁迴路；
[0037]-帶鰭的散熱器；
[0038]液體金屬循環通道繞著由可變形材料所製造的條杆製成。
[0039]有利地，在第三實施方式中，根據本發明的裝置包括:
[0040]-第一帶鰭的散熱器，
[0041]-第一聚合物框架，
[0042]-第一磁迴路，
[0043]-第一陶瓷板，其上放置有半導體元件；
[0044]-第一電極；
[0045]-由可變形材料所製造的三個第一桿；
[0046]-具有支撐裝置的第一聚合物密封；
[0047]-第二陶瓷板；
[0048]-具有支撐裝置的第二聚合物密封；
[0049]-第二電極；
[0050]-由可變形材料所製造的三個第二桿；
[0051]_第二陶瓷板；
[0052]-第二磁迴路；
[0053]-第二聚合物框架；
[0054]-第二帶鰭的散熱器；[0055]第一液體金屬循環通道繞著由可變形材料所製造的第一桿製成，第二液體金屬循環通道繞著由可變形材料所製造的第二桿製成。
[0056]根據本發明的裝置具有下列優點:
[0057]-擴散器的高傳導率排散了比熱管道可以獲得的熱流量密度更高的熱流量密度。可以設想達到約lkW/cm2的值。
[0058]-擴散器的緻密性可以使用非常小體積的液體金屬(幾毫米)。它也可以維持熱耗散源接近整個液體體積，以完全地熔化液體體積。固化後它可以重新開始。
[0059]-熔化是期望的，以使用相變降低電子元件的溫度升高的速率。因此，可以設想使用具有更高熔化溫度和不包含鎵的合金。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0060]圖1表示擴散器類型冷卻裝置的工作原理。
[0061]圖2表示熱管道的工作原理。
[0062]圖3表示用作熱擴散器的熱管道的工作原理。
[0063]圖4表示根據本發明的裝置。
[0064]圖5表示圖4中裝置中所使用的電磁泵的工作原理。
[0065]圖6A和6B分別地表示根據本發明的裝置的第一實施方式的分解圖和立體圖。
[0066]圖7示意性地表示根據圖6A和6B中所示的本發明裝置中所使用的電磁泵的工作。
[0067]圖8A和SB分別地表示根據本發明裝置的第二實施方式的分解圖和立體圖。
[0068]圖9A和9B分別地表示根據本發明裝置的第三實施方式的分解圖和立體圖。
[0069]圖11表示圖1OA中所示的根據本發明的液體金屬擴散器和圖1OB中所示的銅擴散器的比較性能。
[0070]圖12A和12B表示根據本發明裝置的變化實施方式。
[0071]圖13表示根據本發明裝置的另一個變化實施方式。
【具體實施方式】
[0072]如圖4中所示，根據本發明的裝置包括下列構件:
[0073]-熱耗散源32，其包括至少一個電子元件，例如半導體元件，
[0074]-液體金屬擴散器30，其是排散熱耗散源下面熱的液壓部件，由絕緣材料所
[0075]製造的，例如陶瓷所製造的兩個板製成，設置在可變形材料的每側上，在可變
[0076]形材料周圍製成液體金屬循環通道；
[0077]-電磁泵31,其保持液體金屬移動；
[0078]-散熱器33。
[0079]熱耗散源32放置在擴散器30的頂面上。散熱器33設置在擴散器30的底面上。附圖標記34表示在至少一個通道中液體金屬循環，其中可有添加鰭以增加交換面積。附圖標記35表不液體金屬進口，並且附圖標記36表不液體金屬出口。
[0080]根據本發明的裝置在熱導電基質中循環是熱傳遞流體的液體金屬。該液體金屬吸收電子元件32下面的熱，具有很小的溫度升高，並且在基質的整個保持表面上分布該熱。液體金屬，諸如鎵合金或熔融鹽，諸如鈉-鉀，具有優良的物理特性。因此，鎵，其具有約28W.π-1.-1的熱傳導率，該傳導率大於水的傳導率40倍，這種鎵可以獲得非常高的對流交換係數，以及由此非常高的熱流量密度的耗散。除了它們高的熱傳導率以外，液體金屬也具有它們是良好的電導體的優點，這可以使用圖5和圖7中所示的電磁或磁流體動力學泵31,其中磁場(磁感應B)和電流I的聯合使用產生拉普拉斯(Laplace)力F,該力驅動液體金屬運動。
[0081]本發明可以驅動擴散器內液體金屬的循環，該擴散器由堆疊的至少兩個板所製造，該板由與鎵化學地相容的絕緣材料所製造，該可變形材料的條杆吸收鎵固化期間鎵的膨脹。驅動液體金屬移動的電磁泵可以整合在兩個板之間。該液體金屬吸收熱源下面的熱，具有很低的溫度升高以及在擴散器的整個保留面積上分布該熱。散熱器，其排散來自於液體金屬的熱，在擴散器的表面上被傳遞。
[0082]圖6A和6B表示根據本發明裝置的第一實施方式，包括兩個電磁泵，每個包括產生磁場的第一和第二電磁迴路，以及傳輸電流的電極。
[0083]圖6A清楚地示意了下列:
[0084]-第一磁迴路40，其包括由磁性材料41和永磁鐵42所製造的至少一個條杆；
[0085]-第一聚合物框架43；
[0086]-由絕緣材料44所製造的第一板，半導體元件52位於其上；
[0087]-由可變形材料47所製造的條杆；
[0088]-三個電極45，其中一個電極布置在可變形材料上；
[0089]-具有支撐裝置46』的聚合物密封46；
[0090]-由絕緣材料48所製造的第二板；
[0091]-第二聚合物框架49；
[0092]-第二磁迴路50;
[0093]-散熱器51;
[0094]液體金屬循環通道繞著由可變形材料52所製造的條杆製成。
[0095]在一個有利的實施方式中，根據本發明的裝置具有下列特徵:
[0096]液體金屬可以選自鎵、銦、鉍、錫，包含鎵和/或銦和/或錫的合金，鈉-鉀合金。
[0097]本發明聚合物的作用是密封擴散器和提供具有金屬強度的堆疊，框架作為根據本發明裝置的封裝。該聚合物可以是樹脂。在圖6A中所示不同構件的組裝期間，聚合物框架43,46和49的聚合物是軟的。當允許它乾燥時，然後它固化。
[0098]由可變形材料所製造的條杆可以由膨脹的聚四氟乙烯(Teflon)、帶有封閉小室的泡沫、帶有開放小室和帶有密封塗層的泡沫，或者由實心或空心的可變形塑料所製造。
[0099]有利地，由絕緣材料所製造的兩個板可以由陶瓷、AIN、AI203、Si3N4或SiC所製造，它們所有都考慮了三個下面的約束條件:與鎵的化學相容性、電絕緣和良好的熱傳導率。
[0100]製造電極的材料必須是導電材料和與鎵相容，可以是塗覆有保護塗層的鑰、鎢、不鏽鋼或銅。
[0101]用於在通道中產生磁場的永磁鐵可以由NdFeB所製造。
[0102]散熱器可以是帶鰭的散熱器，連接有風扇，帶有強制液體對流的冷卻器或者不連接它們。[0103]圖7表不電磁泵的工作。它由第一磁迴路40和第二磁迴路50和電極45形成,液體金屬循環通道繞著由可變形材料52所製造的條杆形成。箭頭58表示通過電極的電流方向。箭頭56和57給出了在兩個磁迴路40和50之間所形成的磁感應B的方向。箭頭55表示根據上述參考圖5的原理，所引起的液體金屬位移的方向。
[0104]圖8A和SB表示根據本發明裝置的第二實施方式，其對應於包括四個電磁泵的動力模式。
[0105]圖8A清楚地表示下列:
[0106]-兩個第一磁迴路60和61；
[0107]-聚合物框架62;
[0108]-第一陶瓷板63，其上放置電子迴路64或幾個電子元件65；
[0109]-由可變形材料68所製造的條杆；
[0110]-放置在可變形材料68上的電極66、66』、69、69』和電極67；
[0111]-具有支撐裝置70』的聚合物密封70 ；
[0112]-第二陶瓷板71;
[0113]-兩個第二磁迴路72、73;
[0114]-帶鰭的散熱器74;
[0115]液體金屬循環通道繞著由可變形材料68所製造的條杆製成。
[0116]圖9A和9B表示根據本發明裝置的第三實施方式，其對應於具有兩個疊置液體金屬循環通道的模式。
[0117]圖9A清楚地表示下列:
[0118]-第一帶鰭的散熱器80;
[0119]-第一聚合物框架81;
[0120]-第一磁迴路82;
[0121]-第一陶瓷板83，半導體元件84放置在其上；
[0122]-第一電極85;
[0123]-由可變形材料94所製造的三個第一桿；
[0124]-第一聚合物密封86，具有支撐裝置87;
[0125]-第二陶瓷板88，
[0126]-第二聚合物密封90，具有支撐裝置91;
[0127]-第二電極92;
[0128]-由可變形材料93所製造的三個第二桿；
[0129]-第二陶瓷板95；
[0130]-第二磁迴路96;
[0131 ]-第二聚合物框架97 ；
[0132]-第二帶鰭的散熱器98；
[0133]第一液體金屬循環通道繞著由可變形材料92所製造的第一條杆製成，第二液體金屬循環通道繞著由可變形材料93所製造的第二條杆製成。
[0134]為了證實上述擴散器的優點，它的性能可以與具有相同體積的實心銅塊的性能進行比較。在兩種類型的擴散器中，施加到相對於電子元件的表面上的交換係數的值是相同的，h = 20000W.H1-1r10圖1OA因此表示根據本發明的液體金屬擴散器30 (看圖4)，並且圖1OB表示由銅塊所製成的擴散器。在後面的情況下，耗散源105是在擴散器106的中心，因為這種結構給了最低可能的熱阻。圖11表示這兩種類型擴散器的熱阻Rth根據液體金屬流量的變化。實心銅擴散器的熱阻是恆定的，並且等於值0.16K.W-1，另一方面液體金屬擴散器的熱阻對於1.51/分鐘的流量是0.09K.W-1，其是45%的降低。
[0135]變化實施方式
[0136]本發明可以用在不同的領域，諸如微電子學、特別地用於微處理器的冷卻，功率電子學、用於冷卻半導體元件，光電子元件、用於冷卻LEDs，或者用於太陽能，用於濃差光電池。
[0137]圖12A和12B表示根據本發明裝置的變化實施方式，使用垂直安裝的幾個半導體元件101製造的堆疊(3D電源模塊)/液體金屬擴散器102/散熱器103，每個連接電磁泵100。
[0138]在圖13中所示的另一個變化實施方式中，熱管道110可以添加在液體金屬擴散器111和散熱器112之間，以使擴散器溫度均勻和進一步增加其性能。在這種情況下，擴散器內液體金屬的相變更好。而且，耗散源113，其是半導體元件，與熱管道之間液體金屬擴散器的引入減小了熱管道所經歷的熱密度，由此使其遠離其工作限制(特別地毛細限制和沸騰限制)。
[0139]在一個變化的實施方式中，擴散器在液體金屬循環通道中具有鰭，以增加與液體金屬的交換面積，例如，如圖1OA和12A中所示。
[0140]參考文獻:
[0141][l]Miner, A.&Ghoshal, U.，2004.使用液體金屬冷卻劑的高功率密度微裝置的冷卻，Applied Physics Letters, 85 (3), 506。
[0142][2]US2009/0279257。
【權利要求】
1.具有通過液體金屬擴散器冷卻熱耗散源的電子裝置，該裝置包括至少一個熱耗散源(32)，其包括至少一個電子元件；至少一個擴散器(30)，至少一個液體金屬循環通道通過它，形成在熱耗散源(32)下面有路線的迴路，至少一個散熱器(33)和至少一個電磁泵(31)，後者在所述至少一個通道中移動液體金屬(34)，這樣液體金屬吸收熱耗散源所耗散的熱，並且傳遞它由散熱器排散，其特徵在於:每個擴散器包括位於由可變形材料所製造的至少一個條杆的每側上的由絕緣材料所製造的至少兩個板，液體循環通道繞著該條杆製成。
2.根據權利要求1的裝置，其中至少電子元件是半導體元件。
3.根據權利要求1的裝置，其中液體金屬選自鎵、銦、鉍、錫，包含鎵和/或銦和/或錫的合金，鈉-鉀合金。
4.根據權利要求1的裝置，其中由變形材料所製造的每個條杆是由膨脹的聚四氟乙烯、帶有封閉小室的泡沫、帶有開放小室和帶有密封塗層的泡沫，或者由實心或空心的可變形塑料所製造。
5.根據權利要求1的裝置，其中散熱器是帶鰭的散熱器，其可以與風扇或強制對流液體冷卻器一起使用，或者不 與它們一起使用。
6.根據權利要求1的裝置，其中每個電磁泵是磁流體動力學導電泵。
7.根據權利要求1的裝置，其中由絕緣電材料所製造的板是由陶瓷、AIN、AI203、Si3N4或SiC所製造。
8.根據權利要求1的裝置，其中每個電磁泵包括在由絕緣材料所製造的擴散器的兩個板之間。
9.根據權利要求1的裝置，其中擴散器在至少一個液體金屬循環通道內部包括鰭，以增加與液體金屬的交換面積。
10.根據權利要求2的裝置，包括電磁泵(100)+堆疊的幾個半導體(101)/液體金屬擴散器(102)/散熱器(103)元件。
11.根據前述權利要求中任一權利要求的裝置，其中熱管道(110)布置在液體金屬擴散器(111)和散熱器(112)之間。
12.根據權利要求1的裝置，包括: -第一磁迴路(40)，其包括由磁性材料(41)和永磁鐵(42)所製造的至少一個條杆； -第一聚合物框架(43)； -由絕緣材料(44)所製造的第一板，半導體元件(52)放置在其上； -可變形材料(47)所製造的條杆； -三個電極(45)，一個電極放置在由可變形材料所製造的條杆上； -具有支撐裝置(46』 )的聚合物密封(46)； -由絕緣材料(48)所製造的第二板； -第二聚合物框架(49)； -第二磁迴路(50)； -散熱器(51)； 液體金屬循環通道繞著由可變形材料所製造的條杆製成。
13.根據權利要求1的裝置，包括:-兩個第一磁迴路(60)和(61), -一個聚合物框架(62)； -第一陶瓷板(63)，其上放置有幾個半導體元件(65)； -由可變形材料(68)所製造的條杆； -電極(66、66』、69、69』 )，其中一個電極(67)放置在可變形材料(68)上； -具有支撐裝置(70』 )的聚合物密封(70)； -第二陶瓷板(71)； -兩個第二磁迴路(72和73)； -帶鰭的散熱器(74)； 液體金屬循環通道繞著由可變形材料所製造的條杆製成。
14.根據權利要求1的裝置，包括: -第一帶鰭的散 熱器(80)， -第一聚合物框架(81)， -第一磁迴路(82), -第一陶瓷板(83)，其上放置有半導體元件(84)； -第一電極(85)； -由可變形材料(94)所製造的三個第一桿； -具有支撐裝置(87)的第一聚合物密封(86)； -第二陶瓷板(88)； -具有支撐裝置(91)的第二聚合物密封(90)； -第二電極(92)； -由可變形材料(93)所製造的三個第二桿； -第二陶瓷板(95)； -第二磁迴路(96)； -第二聚合物框架(97)； -第二帶鰭的散熱器(98)； 第一液體金屬循環通道繞著由可變形材料所製造的第一桿製成，第二液體金屬循環通道繞著由可變形材料所製造的第二桿製成。
15.根據權利要求12、13或14中任一權利要求的裝置，其中電極由塗覆有保護塗層的鑰、鎢、不鏽鋼或銅製造的。
【文檔編號】H01L23/473GK103999214SQ201280061001
【公開日】2014年8月20日 申請日期:2012年12月11日 優先權日:2011年12月13日
【發明者】傑克斯·薩拉特, 伊萬·阿萬納斯, 裡格斯·伯納德·阿爾伯特·莫瑞特, 曼蘇爾·塔克 申請人:伊斯帕諾-絮扎公司, 格勒諾布爾工程學院, 國家科學研究中心