厚度信息獲取裝置、方法和程序以及顯微鏡的製作方法

2023-10-17 01:47:49

專利名稱：厚度信息獲取裝置、方法和程序以及顯微鏡的製作方法
技術領域：
本發明涉及厚度信息獲取裝置、厚度信息獲取裝置所採用的厚度信息獲取方法、 用於實現厚度信息獲取方法的厚度信息獲取程序和應用厚度信息獲取裝置的顯微鏡。
背景技術：
在病理學上，諸如組織切片(tissue segment)的生物樣本被固定在一塊載玻片 上並且經受染色處理以及封入處理，以製作可以用作顯微鏡的組織製片(pr印ared tissue slide)的樣本。通常，如果用作生物樣本的組織製片的存儲周期長，則組織製片相對於顯微 鏡的可見性由於諸如生物樣本的劣化和樣本顏色退化的原因而變差。另外，在某些情況下， 顯微鏡的組織製片在通常已經製作組織製片的醫院(或其他場所)以外的場所進行顯微鏡 檢查。在這種情況下，通常通過郵寄將組織製片從醫院(或其他場所)遞送至醫院(或其 他場所)以外的場所。從而，遞送組織製片需要花費一定時間。為了解決上述問題，已經提出了用於保存生物樣本的圖像數據的裝置。對於所提 出的裝置的更多信息，建議讀者參考諸如日本專利公開第2009-175334號的文件。

發明內容
順便提及，每一生物樣本均具有厚度。因此，例如，當拍攝生物樣本的每一個厚度 方向區域的像時，基於將光聚集在生物樣本上的物鏡的被攝對象深度和生物樣本的厚度來 確定要攝像的厚度方向區域的數量。根據要攝像的厚度方向區域的數量來確定代表所拍攝的像的數據量以及攝像所 需要的攝像時間。從確定數據量的觀點以及確定攝像時間的觀點來看，期望獲取生物樣本 的厚度信息。在以下描述中，生物樣本的厚度信息也被簡稱作厚度信息。例如，通過採用下述的可能方法來實施攝像操作。首先，通過預先確定的距離間隔 在生物樣本的厚度方向上移動光學透鏡的焦點。然後，在每一焦點處，拍攝生物樣本的像， 以確定在與焦點相對應的位置處是否存在生物樣本。以這種方法，可以獲取生物樣本的厚 度{曰息。在上述方法中，作為實例，使在生物樣本上聚光的物鏡的被攝對象深度為1 μ m，並 且使要在生物樣本的厚度方向上搜索的厚度為100 μ m。在這種情況下，從100幅拍攝的像 中獲取生物樣本的厚度信息，並且檢測精度被確定為Wiym為單位。另一方面，作為另一實例，使在生物樣本上聚光的物鏡的被攝對象深度為2 μ m，並 且使要在生物樣本的厚度方向上搜索的厚度為100 μ m。在這種情況下，從50幅拍攝的像中 獲取生物樣本的厚度信息，並且檢測精度被確定為以2 μ m為單位。因此，根據上述方法，對於在生物樣本上聚光的物鏡的被攝對象深度較小的情況， 檢測精度高但是拍攝生物樣本的像的時間長。另一方面，對於在生物樣本上聚光的物鏡的 被攝對象深度較大的情況，檢測精度低但是拍攝生物樣本的像的時間短。也就是說，難以減 少檢測生物樣本的像所需要的時間並同時提高檢測精度。
專注於上述問題，本發明的發明者提出了能夠在短時期內並且以高精確度獲取生 物樣本的厚度信息的厚度信息獲取裝置，提出了該厚度信息獲取裝置所採用的厚度信息獲 取方法，並且提出了用於實現該厚度信息獲取方法的厚度信息獲取程序。本發明的發明者 還提出了應用該厚度信息獲取裝置的顯微鏡。為了解決上述問題，根據本發明的實施方式，提供了一種厚度信息獲取裝置，包 括像獲取部，配置為獲取樣本的相差像；相關性分布計算部，配置為計算相差像中的一個像關於相差像中另一個像的像素 的相關性分布；以及厚度信息獲取部，配置為根據相關性分布獲取樣本的厚度信息。另外，根據本發明的另一實施方式，提供了一種厚度信息獲取方法，包括以下步 驟獲取樣本的相差像；計算相差像中的一個像關於相差像中另一個像的像素的相關性分布；以及根據相關性分布獲取樣本的厚度信息。此外，根據本發明的另一實施方式，提供了可通過計算機執行的厚度信息獲取程 序，以實施像獲取步驟，獲取樣本的相差像；計算步驟，計算相差像中的一個像關於相差像中另一個像的像素的相關性分布； 以及厚度信息獲取步驟，根據相關性分布獲取樣本的厚度信息。另外，根據本發明又一實施方式，提供了顯微鏡，包括鏡，用於將來自物鏡的入射光分離為通過鏡的透射側傳播的透射光和通過平面鏡 的反射側傳播的反射光；第一攝像裝置，用於拍攝通過物鏡投影在鏡的透射側或者鏡的反射側上的用作被 攝對象像的像，以使物鏡在第一攝像裝置上形成被攝對象像；成對地設置在鏡之後的鏡的反射側上的位置或者鏡的透射側上的位置處的孔徑， 由尺寸能被調整為提供大於物鏡的被攝對象深度的被攝對象深度的孔徑組成；分離透鏡，分別設置在鏡的反射側上的位置或者鏡的透射側上的位置處的孔徑之 後，用作對於通過物鏡投影在鏡的反射側或者鏡的透射側上的被攝對象像的預期成像面形 成樣本的相差像的分離透鏡；第二攝像裝置，利用預期成像面作為攝像面；像獲取部，配置為從第二攝像裝置獲取樣本的相差像；相關性分布計算部，配置為計算相差像中的一個像關於相差像中另一個像的像素 的相關性分布；以及厚度信息獲取部，配置為根據相關性分布獲取樣本的厚度信息。如上所述，計算樣本的相差像中的像關於相差像中的基準像的像素的相關性分 布，而根據相關性分布獲取樣本的厚度信息。從而，可以從一幅相差像獲取攝像範圍內的樣 本的厚度信息。另外，可以根據反映樣本厚度的相關性分布獲取樣本的厚度信息。
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如上所述，根據本發明，計算樣本的相差像中的像關於相差像中的基準像的像素 的相關性分布，而根據相關性分布獲取樣本的厚度信息。因此，可以從一幅相差像獲取攝像 範圍內的樣本的厚度信息。另外，可以根據反映樣本厚度的相關性分布獲取樣本的厚度信 息。結果，能夠在短時期內並以高精確度獲取生物樣本的厚度信息。


圖1為概略示出顯微鏡的配置的示圖；圖2為示出組織切片的被攝對象像和相差像的示圖；圖3為概略示出總控制部的功能配置的框圖；圖4為概略示出設置檢測窗口和檢測範圍的操作的示圖；圖5為概略示出組織切片的檢測面的位置的示圖；圖6A至圖6E為概略示出根據組織切片的厚度的相關性分布的多幅示圖；圖7為概略示出相關值的分布出現峰值並且相關值變為最大值的位置的二次曲 線的示圖；圖8A和圖8B為概略示出對相差像的計算結果的多幅示圖；圖9示出表示厚度信息獲取處理的進程的流程圖；以及圖10為概略示出普通立體相機的示圖。
具體實施例方式下文中，說明了本發明的實施方式。注意，將實施方式的說明劃分為以下列順序布
置的兩章。<1.實施方式〉<1.實施方式〉[1-1.顯微鏡的配置]圖1為概略示出根據本發明的實施方式的顯微鏡1的配置的示圖。如在該圖中所 示，顯微鏡1具有其上安放有組織製片PRT的平面鏡臺11。通過採用預先確定的固定技術將組織製片PRT固定在載玻片上。組織製片PRT 包括組織切片TS，該組織切片通常為諸如血的結締組織、上皮組織、或者結締組織和上皮 組織的組合。如果需要的話，組織切片TS可經受染色處理。染色處理決不限於所謂的一 般染色處理，而是還可以為被稱作特殊染色處理的染色處理(諸如基於FISH (螢光原位雜 交)或者酶標抗體方法的染色處理)。所謂的一般染色處理的典型實例為HE (蘇木精伊紅 Hematoxylin Eosin)染色處理、吉姆薩(giemsa)染色處理、以及巴氏(Papanicolaou)染色 處理。鏡臺11連接至鏡臺驅動機構12。鏡臺驅動機構12為用於在與鏡臺11的表面平 行的方向以及與鏡臺11的表面垂直的方向上驅動鏡臺11的部件。與鏡臺11的表面平行的 方向為X軸和Y軸的方向，而與鏡臺11的表面垂直的方向為ζ軸方向。順便提及，PRT(組 織製片)定位表面為鏡臺11表面的一部分。PRT(組織製片)定位表面為其上設置了組織 製片PRT的一側的表面。通常，在PRT (組織製片)定位表面上，設置了 PRT保持部。PRT保持部為用於將組織製片PRT保持在預先確定的位置處的構件。注意，在圖1的示圖中沒有 示出PRT保持部本身。在關於鏡臺11的PRT (組織製片)定位表面側相對的一側上，設置了光源13。光 源13能夠輻射用於照射經受了一般染色處理的組織切片TS的光以及用於照射經受了特殊 染色處理的組織切片TS的光，並且能夠將用於照射經受了一般染色處理的組織切片TS的 光改變為用於照射經受了特殊染色處理的組織切片TS的光或者反之亦然。在以下描述中， 將用於照射經受了一般染色處理的組織切片TS的光稱作亮視場照明光，而將用於照射經 受了特殊染色處理的組織切片TS的光稱作暗視場照明光。然而，還可提供光源13能夠僅 輻射亮視場照明光或者暗視場照明光的配置。在光源13和鏡臺11之間，設置了聚光透鏡 14。聚光透鏡14位於關於PRT (組織製片)定位表面在光傳播上遊側上的位置處。聚光透 鏡14的光軸為與PRT (組織製片)定位表面垂直並且穿過PRT (組織製片)定位表面的參 照位置的線。在以下描述中，將關於構件在光傳播上遊側上的位置稱作在構件之前的位置，而 將關於構件在光傳播下遊側上的位置稱作在構件之後的位置。因此，聚光透鏡14位於在 PRT(組織製片)定位表面之前的位置處。具有預先確定的放大倍數的物鏡15位於PRT(組織製片)定位表面之後的位置 處。物鏡15的光軸為與PRT (組織製片)定位表面垂直並且穿過PRT (組織製片)定位表 面的參照位置的線。在物鏡15之後，設置了攝像裝置16。物鏡15的主成像面用作攝像裝 置16的攝像面。顯微鏡1還包括半反射鏡17，被設置在均位於與PRT (組織製片)定位表面垂直 並且穿過PRT(組織製片)定位表面的參照位置的線上的物鏡15和攝像裝置16之間的位 置處。半反射鏡17為用於將來自物鏡15的入射光分離成為通過半反射鏡17的透射側傳 播的透射光和通過半反射鏡17的反射側傳播的反射光。將場鏡18設置在半反射鏡17之後、半反射鏡17的反射側的位置處。場鏡18為 用於將通過物鏡15投影在半反射鏡17的反射側上的被攝對象像轉遞至位於場鏡18之後 的構件的透鏡。在以下描述中，將通過物鏡15投影在半反射鏡17的反射側上的被攝對象 像稱作預期成像。由於物鏡15通過半反射鏡17將被攝對象的光聚焦在場鏡18上，所以避 免了視場周圍亮度的減小。將光闌掩模19設置在場鏡18之後。光闌掩模19具有設置在與場鏡18的光軸垂 直的表面上的一對孔徑19A和19B。孔徑19A和19B的位置關於光軸對稱，該光軸還用作孔 徑19A和19B的位置之間的邊界。調節孔徑19A和19B的尺寸以使分離透鏡20A和20B的 被攝對象深度大於物鏡15的被攝對象深度。光闌掩模19的孔徑19A和19B將來自場鏡18的入射被攝對象光束分為兩分離光 束。分離光束在被攝對象光束的成像面處彼此相交，以使在成像面以前的兩分離光束的位 置之間的關係與在成像面以後的兩分離光束的位置之間的關係相反。將分離透鏡20A和20B各自分別設置在形成了如上所述的孔徑對的孔徑19A和 19B之後。分離透鏡20A和20B偏移分別通過孔徑19A和19B輸出的分離光束，以形成通過 場鏡18傳遞的預期成像的一組被攝對象像。在以下描述中，通過場鏡18傳遞的預期成像 的該組被攝對象像被稱作相差像。
注意，如果分離透鏡20A和20B越過場鏡18的直徑漸暈邊界(口徑蝕)，則會丟失 部分分離光束。為了防止丟失部分分離光束，朝向場鏡18的中心移動分離透鏡20A和20B， 以使分離透鏡20A和20B沒有越過場鏡18的直徑漸暈邊界。攝像裝置21不是線傳感器(line sensor)。相反，攝像裝置21為利用通過場鏡 18傳遞的被攝對象像的預期成像面作為攝像面的面傳感器(areasensor)。圖2為示出用作被攝對象的組織切片的被攝對象像和相差像的示圖。作為攝像操 作的結果，被攝對象像為設置在物鏡15的主成像面上的攝像裝置16上所形成的亮視場像。 另一方面，作為攝像操作的結果，相差像為設置在物鏡15的預期成像面上的攝像裝置21上 所形成的像。此外，如從圖2中顯而易見地，在主成像面(用作攝像裝置16的攝像面)上 形成的亮視場像還被分離透鏡20A和20B在預期成像面(用作攝像裝置21的攝像面)上 形成為相差像。包括在顯微鏡1中的控制系統具有為鏡臺驅動機構12設置的鏡臺驅動控制部 31、為光源13設置的照明控制部32、為攝像裝置16設置的攝像控制部33、以及為攝像裝置 21設置的相差像攝像控制部34。鏡臺驅動控制部31、照明控制部32、攝像控制部33、以及 相差像攝像控制部34通過數據通信路徑彼此連接。在控制系統中，鏡臺驅動控制部31、照明控制部32、攝像控制部33、以及相差像攝 像控制部34的每個均為包括CPU(中央處理單元)、R0M(只讀存儲器)、用作CPU的工作存 儲器的RAM(隨機存儲器)以及處理電路的計算機。鏡臺驅動控制部31為用於驅動和控制鏡臺驅動機構12的部件。根據鏡臺驅動控 制部31執行的驅動和控制操作，鏡臺驅動機構12在掃描操作中在鏡臺表面方向上移動鏡 臺11，以將固定在組織製片PRT上的組織切片TS移動至聚光透鏡14聚焦光源13所發出的 光的位置。在本發明的說明書中，鏡臺表面方向還被稱作X軸和Y軸的方向。另外，鏡臺驅動控制部31還驅動並且控制鏡臺驅動機構12，以在除鏡臺表面方向 以外的方向上移動鏡臺11。詳細來說，根據鏡臺驅動控制部31執行的驅動和控制操作，鏡 臺驅動機構12在與鏡臺11的表面垂直的方向上移動鏡臺11，以將固定在組織製片PRT上 的組織切片TS (該組織切片TS如上所述位於聚光透鏡14聚焦光源13所發出的光的位置 處)的一部分移動至與物鏡15的焦點一致的位置。在本發明的說明書中，與鏡臺11的表 面垂直的方向還被稱作Z軸方向，並且Z軸方向為組織切片TS的厚度方向。照明控制部32為用於根據用於獲取亮視場像的模式或者用於獲取暗視場像的模 式在光源13中設置參數的部件，以使光源13將照明光以這種模式輻射至聚光透鏡14。在 以下描述中，用於獲取亮視場像的模式被稱作亮視場模式，而用於獲取暗視場像的模式被 稱作暗視場模式。參數通常包括用於指定照明光的強度的參數和用於選擇光源13的類型 的參數。注意，通常，在亮視場模式中光源13所輻射的照明光為可見光。另一方面，在暗視 場模式中光源13所輻射的照明光通常為包含具有激發特殊染色處理中使用的螢光標記的 波長的分量的光。另外，在暗視場模式中，螢光標記的背景部分被刪掉。聚光透鏡14將光源13輻射至聚光透鏡14的照明光聚焦在鏡臺11上的PRT (組織 製片)定位表面的參照位置上。也就是說，固定在組織製片PRT上的組織切片TS包括聚光 透鏡14在其上聚焦光源13所輻射的照明光的聚光部分。在物鏡15的成像面上形成固定在組織製片PRT上的組織切片TS的聚光部分的放大像。物鏡15通過固定在組織製片PRT 上的組織切片TS的聚光部分的放大像來在攝像裝置16的攝像面上形成被攝對象像。同時， 半反射鏡17還經由場鏡18和光闌掩模19將被攝對象像反射至分離透鏡20A和20B。分離 透鏡20A和20B通過半反射鏡17所反射的被攝對象像來在攝像裝置21的攝像面上形成相 差像。如上所述地，攝像裝置21的攝像面被稱作預期成像面。攝像控制部33為用於根據亮視場模式或者暗視場模式在攝像裝置16中設置參數 並且用於獲取形成在攝像裝置16的攝像面上的被攝對象像的數據的部件。參數通常包括 用於指定開始曝光操作的定時的參數和用於指定結束曝光操作的定時的參數。相差像攝像控制部34為用於根據亮視場模式或者暗視場模式在攝像裝置21中設 置參數和用於獲取形成在攝像裝置21的攝像面上的相差像的數據的部件。參數通常包括 用於指定開始曝光操作的定時的參數和用於指定結束曝光操作的定時的參數。順便提及，顯微鏡1應用用於執行顯微鏡1的總控制的控制部30。這是在以下描 述中該控制部還被稱作總控制部30的原因。通過數據通信路徑將總控制部30連接至鏡臺 驅動控制部31、照明控制部32、攝像控制部33、以及相差像攝像控制部34。總控制部30為 應用CPU、ROM、RAM、處理電路以及HDD (硬碟驅動器)的計算機。使總控制部30處於等待開始亮視場模式或者暗視場模式的指令的狀態。當總控 制部30接收到這種開始指令時，總控制部30向鏡臺驅動控制部31、照明控制部32、攝像控 制部33、以及相差像攝像控制部34提供在指令所指定的模式中執行的開始控制的命令。每當鏡臺驅動機構12在與鏡臺11的表面垂直的方向上移動鏡臺11以將固定至 組織製片PRT的組織切片TS的一部分移動至與物鏡15的焦點一致的位置處時，總控制部 30將攝像裝置16所獲取的數據作為組織切片TS的一部分的放大像的數據存儲在存儲介質 中。然後，使總控制部30處於等待顯示指令的狀態。當總控制部30接收到顯示指令 時，總控制部30讀出顯示指令所指定的放大像的數據並且將該數據傳輸至顯示指令的發 送源。如上所述，顯微鏡1將固定在組織製片PRT上的組織切片TS的放大像的數據存儲 在存儲介質中作為檢測狀態的像，使得與存儲組織製片PRT本身的配置相比較，顯微鏡1能 夠將組織製片PRT的組織切片TS上的信息存儲很長時期，在該很長時期內，用作樣本的組 織製片PRT的位置可能改變和/或諸如染色狀態的樣本狀態可能劣化。[1-2.厚度信息獲取處理]應用在總控制部30中的HDD已經存儲了厚度信息獲取程序。厚度信息獲取程序 為要通過應用在總控制部30中的CPU來執行的程序，以獲取組織切片TS的厚度信息。當總控制部30接收到執行厚度信息獲取程序的命令時，總控制部30將程序從HDD 加載至也應用在總控制部30中的RAM，並且通過執行該程序來進行厚度信息獲取處理。在總控制部30執行厚度信息獲取程序的同時，總控制部30具有作為圖3的框圖 中所示的相差像獲取部41、相關性分布計算部42以及厚度信息獲取部43的功能。相差像獲取部41為用於驅動鏡臺驅動控制部31的部件。如之前所述地，鏡臺驅 動控制部31為用於驅動和控制鏡臺驅動機構12的部件。根據鏡臺驅動控制部31所執行 的驅動和控制操作，鏡臺驅動機構12在掃描操作中在鏡臺表面方向上移動鏡臺11，以將固定在組織製片PRT上的組織切片TS的一部分移動至聚光透鏡14聚焦光源13所發出的光 的位置處。在本發明的說明書中，鏡臺表面方向也被稱作X軸和Y軸的方向。另外，此外， 也如之前所述地，鏡臺驅動控制部31還驅動和控制鏡臺驅動機構12，以在除鏡臺表面方向 以外的方向上移動鏡臺11。具體來說，根據鏡臺驅動控制部31所執行的驅動和控制操作， 鏡臺驅動機構12在與鏡臺11的表面垂直的方向上移動鏡臺11，以將固定在組織製片PRT 上的組織切片TS (如上所述，該組織切片TS位於聚光透鏡14聚焦光源13所發出的光的位 置處)的一部分移動至與物鏡15的焦點一致的位置。在本發明的說明書中，與鏡臺11的 表面垂直的方向還被稱作Z軸方向，並且Z軸方向為組織切片TS的厚度方向。另外，相差像獲取部41還驅動照明控制部32。如之前所述地，照明控制部32為用 於根據亮視場模式或者暗視場模式在光源13中設置參數的部件，以使光源13在該模式下 將照明光輻射至聚光透鏡14。除此以外，相差像獲取部41還驅動相差像攝像控制部34。如之前所述地，相差像 攝像控制部34為用於根據亮視場模式或者暗視場模式在攝像裝置21中設置參數並且用於 從固定在組織製片PRT上的組織切片TS的一部分的放大像獲取已形成在攝像裝置21的攝 像面上的相差像的數據的部件。在顯微鏡1中，以分離透鏡20A和20B中的每一個的被攝對象深度具有充分大於 固定在組織製片PRT上的組織切片TS的厚度的值的方式來設置孔徑19A和19B。因此，相 差像獲取部41獲取組織切片TS的一部分的全部厚度方向的在聚焦狀態下形成的相差像。相差像包括在下文中被稱作基準像SG的像。基準像SG為將被用作基準的像。圖 4為概略示出設定檢測窗口和檢測範圍的操作的示圖，如圖4所示，相關性分布計算部42在 基準像SG上順序選擇像素作為各個引起注意的像素。在以下描述中，各個引起注意的像素 均被稱作關注像素NP。相關性分布計算部42設定具有預先確定的寬度WX和高度WY的比較窗口 CW，以選 取在計算像素組的亮度平均值中使用的該像素組。該像素組具有與選擇的關注像素NP的 位置一致的中心。也就是說，亮度平均值為關注像素NP和圍繞關注像素NP的像素的亮度 級別的平均值。然後，相關性分布計算部42在X軸的方向上設置預先確定的搜索範圍D。搜索範 圍D具有與比較像CG上的像素CP的位置一致的中心。比較像CG上的像素CP的位置對應 於基準像SG上的關注像素NP的位置。在以下描述中，比較像CG上的像素CP被稱作比較 像素CP。順便提及，搜索範圍D為用於檢測比較像CG上的像素和基準像SG上的關注像素 NP之間的生成視差的範圍。假設生成視差具有不大於100 μ m的最大值。如果視差以5μπι/ 像素被檢出，則相關性分布計算部42在X軸方向上設置具有+20個像素的尺寸的搜索範 圍。該搜索範圍具有與比較像素CP的位置一致的中心。相關性分布計算部42根據下文中給出的用於計算標準化相關值的等式(1)計算 在搜索範圍D內的每個像素關於關注像素NP的相關值C (X，y，ζ)。
權利要求
1.一種厚度信息獲取裝置，包括 像獲取部，被配置為獲取樣本的相差像；相關性分布計算部，被配置為計算所述相差像中的一個像關於所述相差像中另一個像 的像素的相關性分布；以及厚度信息獲取部，被配置為根據所述相關性分布獲取所述樣本的厚度信息。
2.根據權利要求1所述的厚度信息獲取裝置，其中，所述厚度信息獲取部計算所述相 關性分布示出最大相關性的位置處的曲率，並且根據所述曲率的大小獲取所述樣本的所述 厚度信息。
3.根據權利要求1所述的厚度信息獲取裝置，其中，所述厚度信息獲取部計算所述相關性分布示出最大相關性的峰值位置之前的在前位置處的曲率以及在所 述峰值位置之後的在後位置處的曲率；以及分別根據針對所述在前位置算出的曲率獲取所述在前位置的所述樣本的厚度信息，根 據針對所述在後位置算出的曲率獲取所述在後位置的所述樣本的厚度信息。
4.根據權利要求1所述的厚度信息獲取裝置，其中，所述相差像包括生物樣本的像。
5.一種厚度信息獲取方法，包括以下步驟 獲取樣本的相差像；計算所述相差像中的一個像關於所述相差像中另一個像的像素的相關性分布；以及 根據所述相關性分布獲取所述樣本的厚度信息。
6.一種通過計算機執行的厚度信息獲取程序，以實施 像獲取步驟，獲取樣本的相差像；相關性分布計算步驟，計算所述相差像中的一個像關於所述相差像中另一個像的像素 的相關性分布；以及厚度信息獲取步驟，根據所述相關性分布獲取所述樣本的厚度信息。
7.一種顯微鏡，包括鏡，用於將來自物鏡的入射光分離為通過所述鏡的透射側傳播的透射光和通過所述鏡 的反射側傳播的反射光；第一攝像裝置，用於拍攝通過所述物鏡投影在所述鏡的透射側上或者所述鏡的反射側 上的用作被攝對象像的像，以使所述物鏡在所述第一攝像裝置上形成所述被攝對象像；成對地設置在所述鏡之後的所述鏡的反射側上的位置或者所述鏡的透射側上的位置 處的孔徑，由尺寸能被調整為提供大於所述物鏡的被攝對象深度的被攝對象深度的孔徑組 成；分離透鏡，分別設置在所述鏡的反射側上的位置或者所述鏡的透射側上的位置處的所 述孔徑之後，用作對於通過所述物鏡投影在所述鏡的反射側或者所述鏡的透射側上的所述 被攝對象像的預期成像面形成樣本的相差像的分離透鏡； 第二攝像裝置，利用所述預期成像面作為攝像面； 像獲取部，被配置為從所述第二攝像裝置獲取所述樣本的所述相差像； 相關性分布計算部，被配置為計算所述相差像中的一個像關於所述相差像中另一個像 的像素的相關性分布；以及厚度信息獲取部，被配置為根據所述相關性分布獲取所述樣本的厚度信息。
8. 一種厚度信息獲取裝置，包括 像獲取設備，用於獲取樣本的相差像；相關性分布計算設備，用於計算所述相差像中的一個像關於所述相差像中另一個像的 像素的相關性分布；以及厚度信息獲取設備，用於根據所述相關性分布獲取所述樣本的厚度信息。
全文摘要
本發明涉及厚度信息獲取裝置、方法和程序以及顯微鏡，該厚度信息獲取裝置包括配置為獲取樣本的相差像的像獲取部；配置為計算相差像中的一個像關於相差像中另一個像的像素的相關性分布的相關性分布計算部；以及配置為根據相關性分布獲取樣本的厚度信息的厚度信息獲取部。
文檔編號G01B11/06GK102109329SQ20101059311
公開日2011年6月29日 申請日期2010年12月16日 優先權日2009年12月25日
發明者山本隆司 申請人:索尼公司