一種晶體倒邊機的倒筒的製作方法

2023-10-09 01:09:44

一種晶體倒邊機的倒筒的製作方法
【專利摘要】本實用新型公開了一種定位非常方便、並可提高密封效果的晶體倒邊機的倒筒，包括：由具有球形面內腔的上、下半球體通過固定連接機構對合而成的倒筒體，上、下半球體的頂部分別設置有相互平行的夾持平臺，上、下半球體的對合面上分別設置有相互錯開的外伸出凸臺和內伸出凸臺，形成臺階狀，內伸出凸臺的外側面和外伸出凸臺的內側面為相互配合的導向錐面，內伸出凸臺的頂面與上半球體的端面上分別開設有半圓形的第一環形密封槽，該對第一環形密封槽中設置有第一密封圈，外伸出凸臺的頂面與下半球體的端面上分別開設有半圓形的第二環形密封槽，該對第二環形密封槽中設置有第二密封圈。該倒筒主要用於對晶體的研磨倒邊。
【專利說明】一種晶體倒邊機的倒筒

【技術領域】
[0001]本實用新型涉及到一種用於半導體行業的晶體倒邊機，尤其涉及到一種晶體倒邊機的倒筒。

【背景技術】
[0002]目前的晶體倒邊機的倒筒，其結構通常包括:由具有球形面內腔的上、下半球體通過安裝法蘭和相配合的固定連接件對合而成的倒筒體，所述上、下半球體的頂部分別設置有相互平行的夾持平臺，上、下半球體的端面即對合面上分別開設有半圓形的環形密封槽，環形密封槽中設置有密封圈。這種倒筒在安裝時，上、下半球體的定位非常困難，很容易錯位，從而影響到安裝精度；此外，由於上、下半球體之間只安裝了一道密封圈，密封效果較差，在長期使用過程中，經常發生研磨液滲漏的現象，影響研磨效果。
實用新型內容
[0003]本實用新型所要解決的技術問題是:提供一種定位非常方便、並可提高密封效果的晶體倒邊機的倒筒。
[0004]為解決上述技術問題，本實用新型採用的技術方案為:一種晶體倒邊機的倒筒，包括:由具有球形面內腔的上、下半球體通過固定連接機構對合而成的倒筒體，上、下半球體的頂部分別設置有相互平行的夾持平臺，上、下半球體的對合面上分別設置有相互錯開的夕卜伸出凸臺和內伸出凸臺，使得上、下球體的對合面均形成臺階狀，內伸出凸臺的外側面和外伸出凸臺的內側面為相互配合的導向錐面，內伸出凸臺的頂面與上半球體的端面上分別開設有半圓形的第一環形密封槽，該對第一環形密封槽中設置有第一密封圈，外伸出凸臺的頂面與下半球體的端面上分別開設有半圓形的第二環形密封槽，該對第二環形密封槽中設置有第二密封圈。
[0005]作為一種優選方案，在所述的晶體倒邊機的倒筒中，所述的固定連接機構包括:分別設置在上、下半球體沿口的安裝法蘭，這一對安裝法蘭上開設若干對相配合的固定通孔，這若干對固定通孔中分別穿設有固定螺栓，固定螺栓穿出固定通孔後擰設有固定螺母。
[0006]作為一種優選方案，在所述的晶體倒邊機的倒筒中，所述的固定通孔沿周向均勻布置在相應的安裝法蘭上。
[0007]作為一種優選方案，在所述的晶體倒邊機的倒筒中，所述的夾持平臺上還分別設置有定位凸臺。
[0008]本實用新型的有益效果是:由於本實用新型在上、下半球體的對合面上設置了相互錯開的外伸出凸臺和內伸出凸臺，並且，內伸出凸臺的外側面和外伸出凸臺的內側面為相互配合的導向錐面，使得上、下半球體的安裝定位非常方便，提高了上、下半球體的安裝精度；此外，由於在上、下半球體的對合面之間設置了不在同一平面上的第一密封圈和第二密封圈，而且，內、外伸出凸臺的導向錐面也起到了密封作用，從而大大提高了密封效果。另夕卜，設置在夾持平臺上的定位凸臺可使得整個倒筒的加裝定位更加精準方便。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0009]圖1是本實用新型所述晶體倒邊機的倒筒的結構示意圖。
[0010]圖2是圖1中A部分的放大結構示意圖。
[0011]圖1至圖2中的附圖標記為:1、上半球體，11、上夾持平臺，111、上定位凸臺，12、上安裝法蘭，13、外伸出凸臺，131、內外面，2、下半球體，21、下夾持平臺，211、下定位凸臺，22、下安裝法蘭，23、內伸出凸臺，231、外側面，3、第一密封圈，4、第二密封圈，5、固定螺栓，6、固定螺母。

【具體實施方式】
[0012]下面結合附圖，詳細描述本實用新型所述的一種晶體倒邊機的倒筒的具體實施方案:
[0013]如圖1所示，本實用新型所述的一種晶體倒邊機的倒筒，包括:由具有球形面內腔的上、下半球體I和2通過作為固定連接機構的上、下安裝法蘭12和22以及若干對固定螺栓5和固定螺母6對合而成的倒筒體，其中，上安裝法蘭12安裝在上半球體I的沿口，下安裝法蘭22安裝在下半球體2的沿口，上、下安裝法蘭12和22上沿著周向均勻開設有若干對相互對應貫通的固定通孔，每對固定通孔中穿設有固定螺栓5，固定螺栓5穿出固定通孔後，擰設有固定螺母6 ;所述上半球體I的頂部設置有上夾持平臺11，所述下半球體2的頂部設置有與上夾持平臺11相平行的下夾持平臺21，所述上、下半球體I和2的對合面上分別設置有相互錯開的外伸出凸臺13和內伸出凸臺23，使得上、下球體I和2的對合面均形成臺階狀，內伸出凸臺23的外側面231和外伸出凸臺13的內側面131為相互配合的導向錐面，內伸出凸臺23的頂面與上半球體I的端面上分別開設有半圓形的第一環形密封槽，該對第一環形密封槽中設置有第一密封圈3，外伸出凸臺13的頂面與下半球體2的端面上分別開設有半圓形的第二環形密封槽，該對第二環形密封槽中設置有第二密封圈4 ;在本實施例中，所述的上夾持平臺11上設置有上定位凸臺111，所述的下夾持平臺21上設置有下定位凸臺211。
[0014]本實用新型的安裝非常方便，只需將上、下半球體I和2對合在一起，然後通過若干對由固定螺栓5和固定螺母6組成的固定連接件固定在一起。
[0015]綜上所述，僅為本實用新型的較佳實施例而已，並非用來限定本實用新型實施的範圍，凡依本實用新型權利要求範圍所述的形狀、構造、特徵及精神所作的均等變化與修飾，均應包括在本實用新型的權利要求範圍內。
【權利要求】
1.一種晶體倒邊機的倒筒，包括:由具有球形面內腔的上、下半球體通過固定連接機構對合而成的倒筒體，上、下半球體的頂部分別設置有相互平行的夾持平臺，其特徵在於:所述上、下半球體的對合面上分別設置有相互錯開的外伸出凸臺和內伸出凸臺，使得上、下球體的對合面均形成臺階狀，內伸出凸臺的外側面和外伸出凸臺的內側面為相互配合的導向錐面，內伸出凸臺的頂面與上半球體的端面上分別開設有半圓形的第一環形密封槽，該對第一環形密封槽中設置有第一密封圈，外伸出凸臺的頂面與下半球體的端面上分別開設有半圓形的第二環形密封槽，該對第二環形密封槽中設置有第二密封圈。
2.如權利要求1所述的晶體倒邊機的倒筒，其特徵在於，所述的固定連接機構包括:分別設置在上、下半球體沿口的安裝法蘭，這一對安裝法蘭上開設若干對相配合的固定通孔，這若干對固定通孔中分別穿設有固定螺栓，固定螺栓穿出固定通孔後擰設有固定螺母。
3.如權利要求2所述的晶體倒邊機的倒筒，其特徵在於，所述的固定通孔沿周向均勻布置在相應的安裝法蘭上。
4.如權利要求1、2或3所述的晶體倒邊機的倒筒，其特徵在於，所述的夾持平臺上還分別設置有定位凸臺。
【文檔編號】H01L21/67GK204144226SQ201420577827
【公開日】2015年2月4日 申請日期:2014年10月8日 優先權日:2014年10月8日
【發明者】戚林 申請人:江蘇中科晶元信息材料有限公司