一種光刻膠瓶的製作方法

2024-04-09 07:52:05

本發明涉及半導體集成電路製造領域，尤其涉及一種光刻膠瓶。

背景技術：

在半導體集成電路製造領域，光刻處於矽片加工過程的中心，常被認為是ic製造中最關鍵的步驟，成本幾乎佔到整個矽片加工成本的三分之一。光刻技術需要用到光刻膠，光刻膠是一種有機化合物，它受紫外線曝光後，在顯影溶液中的溶解度會發生變化，矽片製造中，光刻膠以液態塗在矽片表面，而後被乾燥成膠膜。光刻膠一般被放在光刻膠容器中，光刻膠容器通常是一密閉的系統，它們是不透光的，並且直接固定在矽片軌道系統上，避免暴露在空氣中。

現有的光刻膠容器分為兩類，一類是玻璃瓶，光刻膠直接裝進玻璃瓶中，長軟管插入瓶底，再通過高壓氣孔通入氮氣，將光刻膠從長軟管壓出。此類光刻膠瓶在運輸和使用過程中易碎，光刻膠流出後，特別是在工廠內會造成有毒物汙染，並且報空更換後瓶底仍有20～40ml光刻膠無法使用，被浪費掉。第二類是nowpak瓶，包括瓶身和內膽，內膽是由平面的2層長方形口袋狀pe膜加一個接口組成，裝好光刻膠放入圓柱形的瓶身中，長硬管插入瓶底，再通過高壓氣孔通入氮氣，將光刻膠從長硬管壓出。在更換光刻膠時粘有光刻膠的長硬管從空瓶中取出後，戳破新瓶的pe膜再插入新瓶中，這時會有光刻膠被殘留在pe膜上，時間長後變幹，變成微粒會掉入新瓶中形成缺陷。當光刻膠瓶報空更換後，內囊4個角會有50～70ml光刻膠殘留無法被使用到，並且當光刻膠快空時，光刻膠長管口易被內膽堵住，造成晶圓作業時噴塗不良。

因此，有必要對現有的光刻膠瓶進行優化改進，以便改善光刻膠浪費、噴塗作業不良等問題。

技術實現要素：

本發明的目的在於提供一種光刻膠瓶，以解決現有技術中存在的光刻膠浪費、光刻膠噴塗不良等問題。

為解決上述技術問題，本發明提供一種光刻膠瓶，包括外瓶和設置於外瓶內部的內囊，所述外瓶內部設置有一支撐部，所述支撐部與所述外瓶的底壁的外表面構成一銳角；所述內囊的底壁設置於所述支撐部上；所述外瓶上設置有一開口，所述開口的底壁較所述內囊的底壁更靠近所述外瓶的底壁；

可選的，所述外瓶還設置有一氣體接口，所述內囊與所述氣體接口位於所述支撐部同側；

可選的，所述內囊的頂壁與所述外瓶連接；所述內囊的底壁與所述支撐部相匹配；

可選的，所述內囊的外形與所述外瓶側壁的內表面的外形相匹配；

可選的，所述內囊的底壁上設置有內囊接口，所述內囊接口位於所述開口內；

可選的，所述內囊接口的尺寸與所述開口的尺寸相匹配；

可選的，所述內囊的材料為玻璃或pe材料；

可選的，所述外瓶材料為pe材料，並且是黑色，並且100～400nm波長光無法透過；

可選的，所述外瓶為雙層結構；

可選的，所述支撐部將所述外瓶分為相互隔絕的第一部分和第二部分，所述第二部分上設置有一通氣孔；

可選的，所述外瓶的側壁的外表面上設置有凹陷部；或者，所述外瓶的側壁的外表面和或所述外瓶的頂壁的外表面上設置有把手；或者，所述外瓶的側壁的外表面和或所述外瓶的頂壁的外表面上具有一牽引體。

在本發明提供的光刻膠瓶中，包括外瓶和設置於外瓶內部的內囊，所述外瓶內部設置有一支撐部，所述支撐部與所述外瓶的底壁的外表面構成一銳角；所述內囊的底壁設置於所述支撐部上；所述外瓶上設置有一開口，所述開口的底壁較所述內囊的底壁更靠近所述外瓶的底壁。注滿了光刻膠的內囊放置於外瓶內部的支撐部上，內囊的底壁與支撐部接觸，由於所述支撐部與所述外瓶底壁的外側面構成一銳角，即：自然狀態時，支撐部呈傾斜狀態。內囊內的光刻膠受到重力，從外瓶開口處流出，開口在內囊底壁的下方，不需要插入長軟管或長硬管，避免了換新瓶時管口壁上的光刻膠殘留在新瓶的pe膜上，變幹以後掉入新瓶中形成缺陷，並且光刻膠快耗盡時，內囊也不會堵住開口。另外，本發明中，自然狀態時，支撐部呈傾斜狀態，光刻膠是通過自身重力從低於內囊處的開口流出，瓶內的光刻膠可完全利用，避免了浪費，節約了成本。此外，所述內囊的外形可與外瓶側壁的內表面的外形相匹配，可容納更多光刻膠，所述內囊底面可設置為與支撐部匹配，使內囊底面更好的貼合支撐部，可最大限度使用完瓶內的光刻膠，避免浪費。

附圖說明

圖1是實施例提供的第一種光刻膠瓶的示意圖；

圖2是實施例提供的光刻膠瓶內囊的示意圖；

圖3是實施例提供的第二種光刻膠瓶的示意圖；

圖4是實施例提供的第三種光刻膠瓶的示意圖；

圖5是實施例提供的第四種光刻膠瓶的示意圖；

圖6是實施例提供的第五種光刻膠瓶的示意圖；

圖1中，1-外瓶，11-開口，12-氣體接口，2-內囊，21-內囊接口，3支撐部；

圖2中，22-內囊的頂壁，23-內囊的底壁；

圖3中，13-通氣孔，14外瓶第一部分，15外瓶第二部分；

圖4中，16-牽引體；

圖5中，17-把手；

圖6中，18-凹陷部。

具體實施方式

以下結合附圖和具體實施例對本發明提出的光刻膠瓶作進一步詳細說明。根據下面說明和權利要求書，本發明的優點和特徵將更清楚。需說明的是，附圖均採用非常簡化的形式且均使用非精準的比例，僅用以方便、明晰地輔助說明本發明實施例的目的。

參閱圖1，圖1為本實施例提供的光刻膠瓶的示意圖，本實施例提供了一種光刻膠瓶，包括外瓶1和設置於外瓶內部的內囊2，所述外瓶1內部設置有一支撐部3，所述支撐部3與所述外瓶底壁的外側面構成一銳角；所述內囊2的底壁設置於所述支撐部3上；所述外瓶1上還設置有一開口11，所述開口的底壁較所述內囊的底壁更靠近所述外瓶的底壁。由此可知，自然狀態時，支撐部3呈傾斜狀態，裝滿光刻膠的內囊2的底壁放置於傾斜的支撐部3上，本領域操作人員在使用時，將光刻膠瓶放置在機臺上，機臺上的凸起結構通過所述開口11刺破內囊2，內囊2中的光刻膠收到自身的重力，從開口處流出，進行後續的塗覆工作。本發明提供的光刻膠瓶未使用長軟管和長硬管，更換新瓶時，不會有殘留的幹成膠膜的光刻膠被帶入新瓶中，形成缺陷。並且，光刻膠瓶在工作狀態時，支撐內囊2的支撐部3呈傾斜狀，開口11的底壁與所述外瓶底壁的距離小於所述內囊2的底壁與所述外瓶底壁的距離，光刻膠依靠自身重力從開口11處流出。可以理解的是，瓶內的光刻膠可以完全使用完後再更換新瓶，避免了光刻膠的浪費。

所述外瓶設置有一氣體接口12，所述內囊2與所述氣體接口12位於所述支撐部3同側。即，所述內囊2位於支撐部3和外瓶頂壁之間，所述氣體接口12距離外瓶底壁的距離大於支撐部3的最低端距離外瓶底壁的距離。氣體接口12與外瓶1底壁的距離在氣體接口12處通入不與光刻膠發生反應的高壓氣體，如氮氣、惰性氣體等，工作人員可以通過控制氣體的壓強從而控制光刻膠的流速，提高光刻的質量。光刻膠不僅受到自身的重力，也受到氣體的壓力，可以更完全的從內囊中流出，瓶內殘留的光刻膠更少。

當然，內囊2設置於支撐部3上，參閱圖2，所述內囊2包括內囊的頂壁22和內囊的底壁23，內囊的底壁23與支撐部3貼合。為了避免內囊2和外瓶1發生相對運動，內囊的頂壁22可連接在外瓶側壁的內表面上，連接的方式可以是膠接、卡扣等，不限於此。自然狀態時，所述內囊的底壁23呈傾斜狀，內囊的底壁23的傾斜狀態與支撐體3相匹配，可以使內囊的底壁23與支撐體3密切貼合，內囊2內的光刻膠能更好的受到重力作用。

優選的，為了容納更多的光刻膠，有效的利用外瓶的空間，內囊的外形與外瓶側壁的內表面的外形可以相匹配，所述外瓶側壁的內表面優選為圓柱型，所述內囊的外形也可設置為底壁呈傾斜狀的圓柱型。

所述內囊2的底壁設置有內囊接口21，內囊接口21位於開口11內。優選的，外瓶開口11位於支撐體3最低端處，內囊接口21位於內囊底壁最低端與內囊側壁的交界處，內囊接口21放置於外瓶開口11內，便於光刻膠流出。可以認識到，所述內囊接口尺寸應該與外瓶開口相匹配，或者略小於外瓶開口的尺寸。

為了防止運輸或搬運過程中光刻膠瓶破碎，造成汙染，所述外瓶宜使用pe材料。內囊被外瓶支撐和保護，可以使用玻璃等硬性材料，也可使用pe膜等軟性材料。本領域技術人員應該意識到，若使用硬性材料，高壓氣體應通入內囊內部，並且高壓氣體不能與光刻膠發生反應，如氮氣或惰性氣體；若使用軟性材料，高壓氣體可通入外瓶和內囊之間，氣體可以為潔淨的空氣、氮氣或惰性氣體。優選的，所述外瓶的顏色為黑色，並且100～400nm波長光無法透過，以防止在運輸過程中光刻膠失效。

光刻膠的粘附性直接影響光刻的質量，優選的，可將外瓶設置成為雙層的結構，防止水蒸氣進入內囊。

所述支撐部3可以由與外瓶相同的材料製成，從而可以更好的匹配、貼合外瓶，進而可以起到更好的穩定支撐所述內囊2的作用，製造外瓶更加方便簡單。但應該認識到，支撐部的作用是支撐，當然也可以採用另外的材料。參閱圖3，為了有更好的支撐作用，延長外瓶的壽命，支撐部可以將外瓶的上下兩部分完全隔開，無法進行氣體交換。支撐部3將外瓶分為第一部分14和第二部分15，兩部分之間無法進行氣體交換，即第二部分15內封閉了一部分氣體，為了防止密閉氣體熱脹冷縮，使外瓶1或支撐體產生形變，可在外瓶的第二部分處開一個通氣孔13。通氣孔13的形狀可以是圓形、方形等，尺寸可根據外瓶的尺寸調整，本發明不做限制。當然，為了節約材料，降低成本，支撐部也可由幾根支撐架組成。支撐部與外瓶的連接方式為膠接，或者在外瓶側壁的內表面設置卡槽，或者在製造外瓶時一併成型等等，不限於此。

參閱圖4和圖5，光刻膠瓶為一圓柱體結構，所述外瓶的尺寸可根據實際要容納的光刻膠變化。為了便於固定和拿取，可以在所述外瓶的側壁的外表面和或所述外瓶的頂壁的外表面上設置如圖4所示的牽引體16，所述牽引體16可以是絲、繩、帶、彈簧或鏈條；也可以在所述外瓶的側壁的外表面和或所述外瓶的頂壁的外表面上設置如圖5所示的把手17，所述把手的材料與外瓶一致，也可以選擇更加牢固的材料。再或者，如圖6所示，可以在所述外瓶的外側壁上設置凹陷部18，以便於通過凹陷部18手持光刻膠瓶。

綜上，在本發明實施例提供的光刻膠瓶中，具有如下優點：自然狀態時，所述支撐部呈傾斜狀態，所述外囊的底壁放置於所述支撐部上，所述開口的底壁較所述內囊的底壁更靠近所述外瓶的底壁，光刻膠裝入內囊裡，光刻膠自身的重力通過開口流出。由於開口的底壁在內囊的底壁下方，光刻膠瓶內的光刻膠可以完全被利用，避免了光刻膠的浪費。並且，由於沒有使用長管，不會存在光刻膠快用盡時內囊堵住長管的情況。更換新瓶時，工作人員可直接取下機臺上已使用完的光刻膠瓶，換上新瓶，相較於現有技術中拔出舊瓶中的長管插入新瓶，更容易操作，也不會有殘餘的膠膜掉入新瓶中形成缺陷。此外，可以在外瓶上增加一氣體接口，通入高壓氣體，使光刻膠的流速可控。並且可通過調整內囊的外形儘可能容納更多的光刻膠，提高外瓶空間的利用性。

上述僅為本發明的優選實施例而已，並不對本發明起到任何限制作用。任何所屬技術領域的技術人員，在不脫離本發明的技術方案的範圍內，對本發明揭露的技術方案和技術內容做任何形式的等同替換或修改等變動，均屬未脫離本發明的技術方案的內容，仍屬於本發明的保護範圍之內。