用於切割襯底的系統及方法

2024-03-05 02:53:15

專利名稱：：用於切割襯底的系統及方法
技術領域：
：本發明涉及一種襯底切割系統及方法，且更確切地說，涉及一種可防止系統的尺寸隨著系統高度的增加而增加、可更有效地切割襯底從而使得襯底切割工作以在線方式進行以減少生產時間、並可改進生產率的襯底切割系統，以及一種用於切割襯底方法。
背景技術：
：襯底包含半導體襯底和用作圖像顯示裝置的平板顯示器(flatpaneldisplays,FPD)。FPD襯底包括液晶顯示器(1iquidcrystaldisplay,LCD)襯底、等離子顯示面板(plasmadisplaypanel,PDP)襯底以及有機發光二極體(organiclightemittingdiode,OLED)襯底。LCD襯底是通過在兩片玻璃之間注入液晶而製造的。LCD村底存在缺點，例如其響應速度較慢且成本相對較高。然而，LCD襯底在解析度方面具有有利特徵，因為其是以半導體工藝製造的。因此，近年來LCD襯底作為行動電話、計算機監視器以及電視機的下一代顯示裝置而受到重視。圖1是一般LCD襯底(單位襯底)的透視圖。圖2和圖3是用以形成圖1的單位襯底的大面積原始襯底的平面圖。參看圖1到圖3,圖1的LCD襯底包括上面板8a(或彩色濾光片(colorfilter)CF)以及下面板8b(或薄膜電晶體TFT)，二者均由玻璃形成，且當在其間注入液晶時部分地相互接觸，從且組合在一起；上偏光膜(upperpolarizerfilm)及下偏光膜(lowerpolarizerfilm)(未圖示)，其分別耦合到上面板8a及下面板8b的暴露表面，並且在相應位置提供光學特性。形成有色圖像的上面板8a形成為小於下面板8b。因此，在下面板8b的上表面上存在襯墊部分P，其並不覆蓋上面板8a。作為用於控制多個單位襯底8的構件的IC驅動器和將IC驅動器連接到印刷電路板(printedcircuitboard,PCB)的柔性印刷電i各(flexibleprintedcircuit,FPC)耦合到襯墊部分P。當上面板la和下面板lb彼此組合時形成單位襯底8，如圖2和圖3所示。圖1所示的單位襯底8是通過將大面積原始襯底1切割成數個到數十個部分而形成的。單個成品是通過以模塊工藝將IC驅動器安裝在單位襯底58的襯墊部分P中製造的。因此，製造襯底的工藝包括將大面積原始襯底1切削或切割成數個到數十個部分的切割步驟。確切地說，當通過切割圖2和圖3的單個原始襯底1來製造圖1的單位襯底8時，由於單位村底8的上面板8a和下面板8b的面積彼此不同，所以在大面積原始襯底1的上面板la和下面板lb上形成切割線，沿著所述切割線切削所述上面板la和下面板lb。因此，切割線需要受到精確控制。為參考起見，大多實線(有些與虛線重疊而未顯示)指示大面積原始襯底1的上面板la被切削的位置，且虛線指示大面積原始襯底1的下面板lb被切削的位置。大面積原始襯底1的切割步驟是通過單獨系統(即，稱為切割器或切割設備的切割系統)執行的。根據支撐大面積原始襯底1的類型而定，至今已知的切割系統包括帶式傳送器型(beltconveyortype)和平臺型(stagetype)。帶式傳送器型具有生產時間較短的優點，但其因結構原因無法直接排出從大面積原始襯底1上切掉的襯底(下文中稱為偽襯底(dummysubstrate)3a-3d)。偽襯底3a-3d是指圖2和圖3中未標陰影的部分。因此，在帶式傳送器型切割系統中，大面積原始襯底1是半切割的而不是完全切割的，需執行加熱和冷卻步驟來形成破裂。接著，大面積原始襯底l被最終切割，從而形成單位襯底8。相反，根據平臺類型，在移動大面積原始襯底1時在所要部分處形成切割線，因為其不存在排出偽襯底3a-3d的問題。大面積原始襯底1沿著切割線被整齊地完全切割，從而形成單位襯底8。然而如上所述，由於大面積原始襯底1是由彼此組合的上面板la和下面板lb形成的，且形成在大面積原始襯底1的上面板la和下面板lb上以通過切割而形成單位襯底8的切割線彼此不同，所以平臺型切割系統需要一種構件，其用於將整個大面積原始襯底1轉動或翻轉180°,以切割大面積原始村底1的上面板la和下面板lb中的任何一者，接著切割另外一者。然而，在平臺型切割系統中，如上所述，需要提供與之對應的翻轉器或反轉結構，以便反轉整個大面積原始村底1，以切割大面積原始襯底l的上面板la和下面板lb中的每一者。此外，由於需要用於反轉大面積原始襯底l的最小空間，所以系統高度會增加，4吏得系統的尺寸相應增加。同時，在帶式傳送器型切割系統中，如上所述，大面積原始襯底1並未被完全切割而是半切割，且經歷加熱和冷卻步驟來形成破裂，這樣大面積原始村底1才最終被切割。因此，雖然偽襯底3a-3d需要通過附接到大面積原始襯底1而^皮連續傳遞，且在加熱和冷卻步驟之後^皮完全切割，{旦偽襯底3a-3d是在傳遞期間提前切割的。因此，單位襯底8的將用以安裝IC驅動器的襯墊部分P非常有可能在傳遞大面積原始襯底1的期間受到損壞。可通過在村底中安裝電路並將襯底切削成預定尺寸，而將用作電子部件材料的襯底用於晶片以及平板顯示器裝置的平板。襯底可為用於形成半導體晶片和用於平板顯示器裝置的平板(例如，LCD面板、PDP面板以及OLED面板)的晶片。確切地說，因為LCD襯底是通過在兩片襯底之間注入液晶來驅動的，所以將兩片襯底上下彼此組合，並接著對其進行切割並使其斷裂。在一般襯底中，在襯底表面上形成切割線，且改變形成切割線處的襯底部分的溫度以形成破裂，且襯底沿著切割線而斷裂，這樣便可獲得具有所要尺寸的半導體晶片以及平板顯示器裝置的平板。然而，當在襯底表面上形成切割線時，當切割線深度較淺時，襯底難以斷裂，且即使襯底斷裂，斷裂表面也不太整齊。為了解決所述問題，當切割頭在襯底表面上形成切割線時，使用例如伺服馬達、凸輪以及齒輪等設備以預定壓力按壓襯底表面，在此狀態下切割所述切割線，因此增加切割線深度。然而，所述設備的結構複雜，對於扭矩變化的響應變差，且難以對其進行控制，因此襯底切割的性能和質量變差。此外，在如凸輪或齒輪等機械組件中會產生外來材料及灰塵，並且需要大量機械部件，例如止動器(stopper)、彈簧及齒輪。因此，工作環境不清潔，且村底切割步驟中的精確度降級。
發明內容為了解決以上和/或其他問題，本發明提供一種襯底切割系統和方法，其可防止系統的尺寸隨著系統高度的增加而增加、可更有效地切割襯底從而使得襯底切割工作以在線方式進行以減少生產時間、並可改進生產率。本發明提供一種襯底切割系統和方法，其可防止襯底中用以安裝IC驅動器的襯墊部分受到損壞，從而使得襯底切割工作以在線方式進行以減少生產時間，並可改進生產率。本發明提供一種襯底切割系統和方法，其可用切割頭以預設的恆定切割壓力來切割襯底，提供優於現有技術的對扭矩變化的響應以及容易的控制，並且改進襯底切割性能。根據本發明的一方面，襯底切割系統包括多個傳送器，其形成工作線，在所述工作線中對通過組合上面板與下面板形成的原始襯底執行切割工作，並且通過與至少一個區域隔開而形成預定的隔離間隙；切割模塊，其安裝在所述隔離間隙中，並且在切割模塊的上和下表面上形成預定切割線，且通過沿著所述切割線切割原始襯底來形成多個第一單位襯底；以及偽切割模塊，其沿著工作線布置在切割模塊的後面，且切割並移除每一第一單位襯底中剩下的偽部分。通過參看附圖詳細描述本發明的優選實施例，本發明的以上及其他特徵和優點將變得更顯而易見，在圖中圖1是一般LCD襯底(單位襯底)的透視圖。圖2和圖3是用以形成圖1的單位襯底的大面積原始襯底的平面圖。圖4是根據本發明第一實施例的襯底切割設備的透視圖。圖5是圖1的襯底切割設備的平面圖。圖6說明上切割模塊區域的操作。圖7說明下切割模塊區域的操作。圖8是用於解釋根據本發明第一實施例的襯底切割方法的流程圖。圖9是根據本發明第二實施例的襯底切割設備的透視圖。圖10是圖9的村底切割設備的平面圖。圖ll說明切割模塊區域的操作。圖12說明偽切割模塊區域的操作。圖13是用於解釋根據本發明第二實施例的襯底切割方法的流程圖。圖14是根據本發明第三實施例的村底切割設備的透視圖。-圖15是圖14的襯底切割設備的平面圖。圖16說明第一切割模塊區域的操作。圖n說明第二切割模塊區域的操作。圖18是用於解釋根據本發明第三實施例的襯底切割方法的流程圖。圖19是根據本發明第四實施例的襯底切割設備的透視圖。圖20是圖19的襯底切割設備的平面圖。圖21說明第一切割模塊區域的操作。圖22說明第二切割模塊區域的操作。圖23是用於解釋根據本發明第四實施例的襯底切割方法的流程圖。圖24是根據本發明第五實施例的襯底切割系統的結構。圖25是圖24的村底切割設備的側面。圖26說明圖24的襯底切割系統的切割操作，其中切割頭在測力計(loadcell)上方移動。圖27說明圖24的襯底切割系統的切割操作，其中託架按壓測力計。圖28說明圖24的襯底切割系統的切割操作，其中切割頭切割襯底。圖29說明圖24的襯底切割系統所切割的襯底。圖30是依序繪示圖24的襯底切割系統的襯底切割方法的流程圖。圖31說明根據本發明第六實施例的襯底切割系統的結構。具體實施例方式參考用於說明本發明的優選實施例的附圖，以便獲得對本發明、本發明的優點以及實施本發明可實現的目標充分理解。下文中，將通過參看附圖解釋本發明的優選實施例來詳細描述本發明。圖中相同的附圖標記指代相同元件。為參考起見，下文所述的襯底是指平板顯示器(FPD)，其中包含液晶顯示器(liquidcrystaldisplay,LCD)、等離子顯示面板(plasmadisplaypanel,PDP)以及有機發光二極體(organiclightemittingdiode,OLED)。然而，為了便於解釋，將這些統稱為襯底。此外，如上所述，在以下描述中，圖1集中於單位村底8，而圖2集中於大面積原始襯底1。圖4是根據本發明第一實施例的襯底切割設備的透視圖。圖5是圖1的襯底切割設備的平面圖。圖6說明上切割模塊區域的操作。圖7說明下切割模塊區域的操作。圖8是用於解釋根據本發明第一實施例的襯底切割方法的流程圖。參看圖4到圖8，主要參看圖4和圖5,才艮據本發明實施例的襯底切割設備包含第一下平臺110、上平臺130以及第二下平臺160，所述平臺均提供在第一到第四工作線Wl-W4上，所述工作線沿著對大面積原始襯底1執行切割工作的方向彼此平行布置；以及分配器170、橫向傳送器175、反轉器185以及排出傳送器190,其均布置在襯底切割設備後面。襯底切割設備包含上切割模塊120，其提供在第一下平臺110上方；下切割模塊140,其提供在上平臺130下方；以及排出部分150，其提供在下切割模塊140下方，以排出從大面積原始襯底1中切掉的偽襯底3a-3d。以上元件能夠進行一系列工作，其中包含將圖2的大面積原始襯底1輸入到第一下平臺110;執行預定切割工作以形成圖1的單位襯底8;以及排出到排出傳送器190。因此，由於大面積原始襯底1可建立在線工藝(inlineprocess)，所以可減少生產時間且此外可提高生產率。並且，由於襯底切割設備無需用於反轉或翻轉整個大面積原始襯底1的結構，所以可減小系統高度，這樣便可防止系統尺寸增加。首先描述圖2的大面積原始襯底1、圖1的單位襯底8以及切割方向或平臺110、130及160的移動方向。圖2的大面積原始襯底1是用來形成圖1的單位襯底8的母體。因此，在本實施例中，圖2的大面積原始襯底1的12個陰影部分指示圖1的單位襯底8。此外，圖2中繪示的大部分實線(有些因與虛線重疊而未顯示)指示大面積原始村底1的上面板la被上切割模塊120切削的位置，且虛線指示大面積原始襯底1的下面板lb被下切割衝莫塊140切削的位置。未加陰影的剩餘部分指示被排出到排出部分150的偽襯底3a-3d。與單位襯底8—樣，大面積原始襯底1包含上面板la和下面板lb，所述上面板la和下面板lb由兩片彼此組合的玻璃製成。在作為彩色濾光片CF的上面板8a面朝上而作為薄膜電晶體TFT的下面板8b面朝下的狀態下，如圖1所示將單位襯底8最終放置在排出傳送器190上，並接著將單位襯底8排出以供後處理。然而，在切割步驟之前，通過將大面積原始襯底1反轉成與單位襯底8相反而將其輸入到第一工作線Wl。也就是說，作為TFT的上面板la面朝上，而作為CF的下面板lb面朝下。在這種狀態下，將大面積原始襯底1輸入到第一工作線W1，並執行一系列切割步驟。在本實施例中，通過切割系統將圖2的大面積原始襯底1切割成總共12個單位村底8。第一到第四工作線W卜W4相對於切割方向或平臺110、130及160的移動方向^f皮此平行地形成的方向是Y軸方向，且垂直於第一到第四工作線Wl-W4的方向是X軸方向。在形成根據本實施例的襯底切割設備的每一組成元件的結構中，第一下平臺110支撐所輸入的大面積原始村底1並耦合到第一工作線Wl,以便可沿著第一工作線Wl在Y軸方向上移動。可使用線性運動來精確地控制第一下平臺110的移動。第一下平臺110從輸入到第一工作線W1的大面積原始襯底l的下支撐所述大面積原始村底1。因此，當將大面積原始襯底1放置在第一下平臺110上時，大面積原始襯底1的下面板lb容納在第一下平臺110的上表面中且由此支撐。雖然圖中說明大面積原始襯底1將通過容納在第一下平臺110的上表面上而被支撐，但大面積原始襯底1也可通過提供在第一下平臺110的表面上的多個升降銷(liftpin)(未圖示)的操作而容納在第一下平臺110的上表面上。也就是說，當單獨的機械手(未圖示)將大面積原始襯底1裝載在第一下平臺110的上表面上時，升降銷升起以支撐大面積原始襯底1的下面板lb的下表面。接著，升降銷下降，從而將大面積原始襯底l容納在第一下平臺110的上表面上並由此支撐。當大面積原始襯底1容納在第一下平臺110的上表面上並由此支撐時，容納在第一下平臺110的上表面上並由此支撐的大面積原始襯底1被第一下平臺110的上表面上的單獨真空線吸附。因此，大面積原始襯底1固定在固定的位置，而不會在第一下平臺110的上表面上任意移動。相反，當從第一下平臺110的上表面中排出大面積原始襯底1時，升降銷升起，以10將大面積原始襯底1提升到預定高度。由於升降銷的結構和操作不但適用於第一下平臺110，而且同樣地適用於第二下平臺160和上平臺130，所以將省略對其進行進一步描述。然而，將在相應部分中更詳細地描述對大面積原始襯底1的吸附(absorption)操作。上切割模塊120提供在第一下平臺110的上部區域中，並通過在由第一下平臺110支撐的大面積原始襯底1的上表面la上形成預定的上切割線來切割大面積原始村底l(請參看圖6)。上切割模塊120包括上橫杆(uppercrossbar)121，其沿著垂直於第一工作線Wl的長度方向的方向，固定在定位第一下平臺110的區域中；以及多個上切割器123，其耦合到上橫杆121—側。雖然第一下平臺IIO在Y軸方向上在第一工作線W1上移動，但上橫杆121固定在相應位置處且只有耦合到上橫杆121的上切割器123可移動。進一步在上橫杆121的另一側提供觀察切割線的上部線觀察部分125。可通過基於由上部線觀察部分125觀察到的圖像的控制來確定上切割器123在上橫杆121上的位置。上切割器123包含上固持器123a,其耦合到上橫杆121;以及上切具123b，其在大面積原始襯底1的上面板la上形成上切割線，所述大面積原始襯底1通過由第一下平臺110支撐而移動。上固持器123a能夠在上橫杆121上相對移動。因此，當在圖2的大面積原始襯底1的上面板la上形成上切割線以切削與上面板la的厚度一樣厚的大面積原始襯底1時，隨著第一下平臺110相對於固定於某一位置的上切割器123的移動而執行Y軸方向上的切割工作。當第一下平臺固定時，隨著上切割器123在X軸方向上在上橫杆121上移動時，執行X軸方向上的切割工作。因此，用上述方法對大面積原始襯底1的上面板la執行切割工作。如圖6所示，即使在對大面積原始襯底1的上面板la執行切割工作且在上面板la中產生偽襯底3a和端部偽襯底3b時，由於大面積原始襯底1由第一下平臺110支撐，所以偽襯底3a和端部偽襯底3b無法從大面積原始襯底1中分離。通過稍後描述的下切割模塊14Q的才喿作，將偽襯底3a和3b與從下面板lb產生的偽襯底3c和端部偽襯底3d—起從大面積原始襯底1中分離。上平臺130通過從上方吸附大面積原始襯底1而支撐大面積原始襯底1,其中已使用上切割模塊120完成了對大面積原始襯底1的上面板la的切割工作。也就是說，與第一下平臺110不同，上平臺130吸附大面積原始襯底l的上面板la,以提升大面積原始襯底l。因此，上平臺130布置成高於第一下平臺no，且設計成能夠相對於第一下平臺iio相對移動。為了使上平臺130吸附和提升大面積原始襯底1的上面板la，上平臺130像第一下平臺IIO—樣包含多個升降銷(未圖示)。然而，與第一下平臺110不同，優選在提供於上平臺130中的每一升降銷中形成用以吸附大面積原始襯底1的真空線(未圖示)。因此，當第一下平臺110的升降銷被升高以將大面積原始襯底1從第一下平臺IIO提升到預定高度時，在第一下平臺IIO上方移動的上平臺130的升降銷被降低，以接觸大面積原始襯底l的上面板la的上表面。當通過真空線(vacuumline)形成真空時，大面積原始襯底1#1吸附。當大面積原始襯底l被吸附時，上平臺130的升降銷會被升高，使得大面積原始襯底1的上面板la可接觸上平臺130的下表面並由此支撐。除了升降銷和真空線的結構之外，可使用電極靜電卡盤(electrodestaticchuck)來代替上平臺130,所述電極靜電卡盤使用電摩擦來吸附大面積原始襯底1。在將大面積原始襯底1從第一下平臺110移動到上平臺130的過程中，上平臺130朝第一下平臺IIO移動，或者第一下平臺IIO朝上平臺130移動。下切割模塊140通過在由上平臺130所吸附的大面積原始襯底1的下面板lb上形成預定上切割線來切割大面積原始襯底1(請參看圖7)。下切割模塊140包含下橫杆141，其沿著垂直於第二工作線W2的長度方向的方向，固定在定位上平臺130的區域中；以及多個下切割器143，其耦合到下橫杆141一側。雖然上平臺130在Y軸方向上在第二工作線W2上移動，但下橫杆141固定在相應位置且只有耦合到下橫杆141的下切割器143可移動。進一步在下橫杆141的另一側提供觀察下切割線的下部線觀察部分145。可通過基於由下部線觀察部分145觀察到的圖像的控制來確定下切割器143在下橫杆141上的位置。下切割器143包含下固持器143a,其耦合到下橫杆141;以及下切具143b，其在大面積原始襯底1的下面板lb上形成下切割線，所述大面積原始襯底1通過由上平臺130支撐而移動。下固持器143a能夠在下橫杆141上相對移動。因此，當在圖2的大面積原始襯底1的下面板lb上形成下切割線以切削與下面板lb的厚度一樣厚的大面積原始襯底1時，隨著上平臺130相對於固定於某一位置的下切割器143的移動而執4於Y軸方向上的切割工作。當上平臺130固定時，隨著下切割器143在X軸方向上在下橫杆141上移動時，執行X軸方向上的切割工作。因此，用上述方法對大面積原始襯底1的下面板lb執行切割工作。12如圖7所示，當下切割模塊140切割與下面板lb的厚度一樣厚的大面積原始襯底1的下面板lb時，在下面板lb中產生偽襯底3c和端部偽村底3d,其中偽襯底3c部分地覆蓋形成於上面板la上的偽襯底3a,且端部偽襯底3d覆蓋形成於上面板la上的端部偽襯底3b。這些偽襯底3a-3d通過自身重量或單獨的移除單位而下落。提供排出部分150以幫助偽襯底3a-3d下落排出到一個區域而不會散落。在下切割模塊140的下部區域中提供排出部分150，以便排出從大面積原始襯底1中切掉的偽襯底3a-3d。排出部分15G具有漏鬥形狀(ho卯ershape),使得入口較大，且排出部分150的容積朝末端部分逐漸減小。當大面積原始襯底1在上切割模塊120的區域中經受加工時，排出部分150無需移動接近下切割模塊140的下部區域。因此，排出部分150優選能夠在相應位置靠近下切割模塊140或從下切割模塊140處縮回。可通過圓柱體或馬達與滾珠螺杆(ballscrew)的組合而容易地實施此種結構。此外，由於切掉的偽襯底3a_3d均具有預定長度和面積，所以為了通過碾碎成細小粉末而重複使用，排出部分150進一步包含斷裂部分152,其使偽襯底3a-3d斷裂。第二下平臺160支撐單位襯底8，單位襯底8是通過逐個使用上切割模塊120和下切割;漠塊140來切割大面積原始^J"底1而形成的。第二下平臺160還能夠在第三工作線W3上在Y軸方向上移動，第三工作線W3與第一工作線W1形成相同的軸線。為了將形成於上平臺130上的單位襯底8移動到第二下平臺160，第二下平臺160朝上平臺130移動，或者上平臺130朝第二下平臺160移動。然而，參看附圖，由於分配器170安裝在第二下平臺160上方，所以當上平臺130朝第二下平臺160移動時，分配器170對上平臺130進行檢查，使得上平臺130的移動受到限制。因此，在本實施例中，第二下平臺160通過沿著第三工作線W3朝上平臺130移動而接納單位襯底8。分配器170耦合到第三工作線W3的上部分，也就是說，耦合到與第二工作線W2形成相同軸線的第四工作線W4，且沿著第四工作線W4移動，以將完成了切割工作的單位襯底8逐個分配到橫向傳送器175。也就是說，由於通過切割大面積原始襯底1而形成的單位襯底8在後處理中是個別管理的，所以分配器170逐個將每一單位襯底8移動到橫向傳送器175。分配器170包含移動杆171，其耦合到第四工作線W4，並且可在Y軸方向上沿著第四工作線W4移動；以及多個分配頭172，其不僅耦合到移動杆171並可沿著移動杆171移動，而且還在相對於移動杆171相對旋轉的同時吸附或抓取單位襯底8，以將單位襯底8移動到橫向傳送器175。如上所述，由於單位襯底8是逐個管理的，所以當根據本實施例在切13割系統中提供一個橫向傳送器175時，在移動杆171中提供一個分配頭172便足夠了。然而，由於在本實施例中為了改進生產率而提供兩個橫向傳送器，則在移動杆171處提供兩個分配頭172。可根據設計而改變其數目。同時，由於在大面積原始襯底l的作為TFT的上面板la面朝上而作為CF的下面板lb面朝下的狀態下，在第一到第四工作線Wl-W4上執行切割工作，所以通過分配器170分配並放置在橫向傳送器175上的單位襯底8的作為CF的上面々反8a面朝下而作為TFT的下面板8b面朝上。然而，為了進行工藝管理，最終製造出的單位襯底8的作為CF的上面板8a面朝上，而作為TFT的下面板8b面朝下。為此目的，在橫向傳送器1"的後面提供反轉器185，其反轉每一單位襯底8的上表面和下表面。反轉器185包含反轉軸186和一對反轉傳送器187，所述反轉傳送器能夠圍繞反轉軸186反轉並吸附每一單位襯底8的上表面和下表面，使得單位襯底8可插入其中。因此，在單位襯底8插入反轉傳送器187之間後，反轉傳送器187圍繞反轉軸186反轉180°，使得每一單位襯底8的上表面和下表面的位置可容易地反轉。也就是說，按照需要，將單位襯底8布置成作為CF的上面板8a面朝上而作為TFT的下面板8b面朝下。在反轉器185後面提供排出傳送器190，其中將上表面和下表面已經過反轉器185反轉的最終單位襯底8裝載在上面且被排出以供後處理。排出傳送器190與橫向傳送器175以相同數目且在相同的軸線上提供。下文將參看圖4、5和8簡單描述使用以上述方式配置的襯底切割系統將大面積原始村底1切割成單位襯底8的方法。首先，將大面積原始襯底1輸入到第一工作線W1(S111)並將其放置在第一下平臺110的上表面上。第一下平臺110的升降銷升起以接納大面積原始襯底1,然後下降以使得大面積原始襯底1可被容納在第一下平臺110的上表面上。當大面積原始襯底1容納在第一下平臺110的上表面上時，上切割模塊120和第一下平臺110會被驅動，且對大面積原始村底1的上面板la執行切割工作(S112)。也就是說，當第一下平臺110相當於固定的上切割器U3移動的同時，執行Y軸方向上的切割工作。當上切割器123在第一下平臺110固定的狀態下在上橫杆121上在X軸方向上移動的同時，執行X軸方向上的切割工作。當對大面積原始襯底1的上面板la的切割工作完成時，上平臺130沿著第二工作線W2移動，且布置在第一下平臺110上方。當第一下平臺110的升降銷^皮升高，以將大面積原始襯底1從第一下平臺110提升到預定高度時，移動到第一下平臺110的上平臺130的升降銷降低，以接觸大面積原始襯底1的上面板la。因此，通過真空線形成真空以吸附大面積原始襯底1。當大面積原始襯底1被吸附時，再次升高上平臺130的升降銷，使得大面積原始襯底1的上面板la可接觸上平臺130的下表面。從上方吸附大面積原始襯底l的上平臺130根據第二工作線W2返回到原始位置。當大面積原始襯底1被上平臺130吸附時，下切割模塊140和上平臺130會被驅動，以便對大面積原始襯底1的下面板lb執行切割工作(S113)。也就是說，當上平臺130相對於固定的下切割器143移動的同時，會執行Y軸方向上的切割工作。當下切割器143在上平臺130固定的狀態下在下橫杆141上移動的同時，執行X軸方向上的切割工作。從大面積原始襯底1中分離的偽襯底3a-3d下落並通過排出部分150排出。接下來，第二下平臺160沿著第三工作線W3在上平臺130下方移動，並接納與上平臺130分離的單位襯底8，且返回到原始位置。在返回到原始位置後，由沿著第四工作線W4移動的分配器170放置在第二下平臺160上的單位襯底8被逐個分配到橫向傳送器175(S114)。接著，將放置在橫向傳送器175上的每一單位襯底8插入反轉傳送器187之間。當反轉傳送器187圍繞反轉軸186反轉180°時，每一單位襯底8的上表面和下表面的位置改變(S115)。因此，上表面和下表面位置已經過反轉器185反轉的單位襯底8可通過裝載在排出傳送器190上而被排出以供後處理(S116)。根據本實施例，由於無需用以反轉或翻轉整個大面積原始襯底1的結構，所以可防止尺寸因系統高度的增加而增加。此外，可更有效地切割大面積原始襯底1，對大面積原始襯底1的切割工作可以在線方式進行使得可減少生產時間，並可進一步改進生產率。圖9是根據本發明第二實施例的襯底切割設備的透視圖。圖IO是圖9的襯底切割設備的平面圖。圖11說明切割模塊區域的操作。圖12說明偽切割模塊區域的操作。圖13是用於解釋根據本發明第二實施例的襯底切割方法的流程圖。參看圖9到圖13,主要參看圖9和圖10,根據本發明的襯底切割設備包含多個帶式傳送器(beltconveyor)210a-210d,其形成用以對大面積原始襯底l執行切割工作的工作線；以及切割模塊220、斷裂模塊260以及偽切削模塊265，其均沿帶式傳送器210a-210d的工作線依次布置。襯底切割設備進一步包含一對排出部分250a和250b,其定位在帶式傳送器210a-210d的預定下部區域處；分配器270，其提供在偽切削模塊265的後面；橫向傳送器275;反轉器285;以及排出傳送器290。藉助上述結構對輸入到工作線的圖2的大面積原始村底1執行預定切割工作。因此，形成圖1的單位襯底8(下文中稱為第二單位襯底)並將其排出到排出傳送器290。15因此，由於可對大面積原始襯底1建立在線工作，所以可減少生產時間，且可進一步提高生產率。確切地說，根據依據本實施例的襯底切割系統，可防止第二單位襯底8中將安裝IC驅動器的襯墊部分P(請參看圖1)受到損壞，以及可將大面積原始襯底1切削成數個到數十個第二單位襯底8。下面將首先描述圖2的大面積原始襯底1、圖1的第二單位襯底8以及切割方向或帶式傳送器210a-210d的移動方向。圖2的大面積原始襯底1是用來形成圖1的第二單位襯底8的母體。因此，在本實施例中，圖2的大面積原始襯底1的12個陰影部分個別地指示圖1的第二單位襯底8。此外，圖2中繪示的大部分實線(有些因與虛線重疊而未顯示)指示大面積原始襯底1的上面板la被上切割模塊230切剖的位置，而虛線指示大面積原始襯底1的下面板lb被下切割模塊240切削的位置。未加陰影的剩餘部分指示被排出到排出部分250的偽襯底3a-3d。為參考起見，圖12的部分3e指示偽襯底，但切割的工作位置或方法與其他偽襯底3a-3d的不同。因此，將部分3e稱為偽部分以便與其他偽襯底3a-3d區分開來，並且以不同的方式參考。偽部分指示從形成第一單位襯底8，的CF的面板一側移除，以形成將安裝IC驅動器的襯墊部分P的彩色濾光片(CF)偽玻璃。與第二單位襯底8—樣，大面積原始襯底1包含上面板la和下面板lb，所述面板由兩片玻璃形成。在作為CF的上面板8a面朝上而作為TFT的下面板8b面朝下後，將最終放置在排出傳送器290上的第二單位襯底8排出以供後處理。然而，在切割工藝之前，在將大面積原始村底1反轉成與第二單位襯底8相反的狀態下，將其輸入到形成工作線的帶式傳送器210a-210d。也就是說，在作為TFT的上面板la面朝上而作為CF的下面板lb面朝下的狀態下，將大面積原始襯底1輸入以進行一系列切割工作。在本實施例中，將圖2的單個大面積原始襯底1通過切割系統切削成總共12個第二單位村底8。此處，關於切割方向或帶式傳送器210a-210d的移動方向，將帶式傳送器210a-210d排列的方向稱為Y軸方向，而將垂直於Y軸方向的方向稱為X軸方向。下面依次描述襯底切割設備的各個元件。帶式傳送器210a-210d為形成大面積原始襯底1的切割工作線的部分。由於大面積原始襯底1可在不受損壞的情況下傳遞，所以帶式傳送器210a-210d優於平臺。在位置方面，帶式傳送器210a-210d在Y軸方向上分成第一到第四帶式傳送器210a-210d，其中將大面積原始襯底1輸入並將其作為多個第二單位襯底8排出。因此，在第一到第四帶式傳送器210a-210d之間形成多個預定隔離間隙212a-212c。雖然在隔離間隙212a和212c中並未提供任何特定結構，但在隔離間隙212b中提供切割模塊220。第一到第四帶式傳送器210a-210d在其位置處在Y軸的正(+)或負(-)方向上旋轉，以在相應方向上傳遞容納在其上表面上的大面積原始襯底1或第二單位襯底8以執行工作。使用線性運動來精確地控制第一到第四帶式傳送器210a-210d的移動。在第二帶式傳送器210b與第三帶式傳送器210c之間的隔離間隙212b中安裝切割模塊220，以在大面積原始襯底1的上面板la和下面板lb二者上形成上切割線和下切割線。形成於大面積原始襯底1的上面板la和下面板lb上的上切割線和下切割線形成與圖11中繪示的一樣的線。切割模塊220包含上切割模塊230，其在隔離間隙212b中提供在第二帶式傳送器210b和第三帶式傳送器210c上方，並在大面積原始村底1的上面板la上形成上切割線；和下切割模塊240，其在隔離間隙212b中提供在第二帶式傳送器210b和第三帶式傳送器210c下方，並在大面積原始襯底1的下面板lb上形成下切割線。上切割模塊230包含上橫杆231，其在垂直於工作線的長度方向(Y軸方向)的方向(X軸方向)上固定地提供；以及多個上切割器233，其耦合上橫杆231—側。雖然位於上切割模塊230附近的第二帶式傳送器210b和第三帶式傳送器210c在Y軸方向上移動時，但上橫杆231固定在相應位置處，且只有耦合到上橫杆231的上切割器233才可在X軸方向上移動。進一步在上橫杆231的另一側提供觀察上切割線的上部線觀察部分(未圖示)。可通過基於由上部線觀察部分觀察到的圖像的控制來確定上切割器233在上橫杆231上的位置。上切割器233包含上固持器233a,其耦合到上橫杆231;以及上切具233b，其在大面積原始襯底l的上面板la上形成上切割線，所述大面積原始襯底1通過由第二帶式傳送器210b和第三帶式傳送器noc支撐而移動。上固持器233a耦合成能夠在上橫杆231上相對移動。因此，為了在圖2的大面積原始襯底1的上面板la上形成上切割線，當第二帶式傳送器210b和第三帶式傳送器210c相對於固定的上切割器233而移動的同時，執行Y軸方向上的切割線形成工作。當第二帶式傳送器210b和第三帶式傳送器210c固定時，隨著上切割器233在X軸方向上在上橫杆231上移動時，執行X軸方向上的切割線形成工作。以此方法，可在大面積原始襯底1的上面板la上形成切割線。下切割模塊240的結構與上切割模塊230的結構幾乎相同。也就是說，下切割模塊204包含在垂直於工作線的長度方向的方向上固定的下橫杆241，以及耦合到下橫杆241—側的多個下切割器243。雖然位於下切割模塊240附近的第二帶式傳送器210b和第三帶式傳送17器210c可在Y軸方向上移動，但下橫杆241固定在相應位置處，且只有耦合到下橫杆241的下切割器243才可在X軸方向上移動。進一步在下橫杆241的另一側提供觀察下切割線的下線觀察部分(未圖示)。可通過基於由下線觀察部分觀察到的圖像的控制來確定下切割器243在下橫杆241上的位置。下切割器243包含下固持器243a,其耦合到下橫杆241;以及下切具243b，其在大面積原始襯底1的下面板lb上形成下切割線，所述大面積原始村底1通過由第二帶式傳送器210b和第三帶式傳送器210c支撐而移動。下固持器243a耦合成能夠在下橫杆241上相對移動。因此，為了在圖2的大面積原始襯底1的下面板lb上形成下切割線，當第二帶式傳送器210b和第三帶式傳送器210c相對於固定的下切割器243而移動的同時，執行Y軸方向上的切割線形成工作。當第二帶式傳送器210b和第三帶式傳送器210c固定時，隨著下切割器243在X軸方向上在下橫杆241上移動時，執行X軸方向上的切割線形成工作。以此方法，可在大面積原始襯底1的下面板lb上形成切割線。此處，如上所述，分別形成於大面積原始襯底l的上面板la和下面板lb上的上切割線和下切割線形成相同軸線(請參看圖11)。為此目的，上橫杆231和下橫杆241通過預定的連接部分225;波此連接，且因此上切割器233和下切割器243—起被驅動。即使在通過切割模塊220在大面積原始襯底1的上面板la和下面板lb上形成上切割線和下切割線時，大面積原始襯底1仍未^C切削。為了沿著切割線切削大面積原始村底1以形成第二單位襯底8，需要用以切削大面積原始襯底1的單位。斷裂模塊260沿著工作線布置在切割模塊220後面，且沿著切割線切削大面積原始襯底1以形成第二單位襯底。斷裂^f莫塊260包含一對第一軌道部分261，其在Y軸方向上在第三帶式傳送器210c兩側以一定長度布置；以及可移動加熱/冷卻部分262，其耦合到第一軌道部分261,以便能夠沿著第一軌道部分261移動。可移動加熱/冷卻部分262在沿著第一軌道部分261移動的同時，通過加熱和冷卻位於第一軌道部分261之間的大面積原始襯底1而沿著切割線切削大面積原始村底l，其中已在上面板la和下面板lb二者上形成切割線。為參考起見，為了沿著切割線切削大面積原始襯底1，以向切割線區域施加壓力或者加熱已形成切割線的部分然後迅速冷卻所述部分的方法，使用易碎材料的熱應力來切削大面積原始襯底1。因此，需要一個用於向大面積原始襯底1施加壓力或者加熱和冷卻大面積原始襯底1的單位。在本實施例中，斷裂模塊260用於所述目的。確切地說，在本實施例中，可移動加熱/冷卻部分262以加熱和冷卻大面積原始襯底l的方法，使用易碎材料的熱應力來切削大面積原始襯底1。然而，可替代地使用前一種按壓方法。在此情況下，可在斷裂模塊260中安裝壓縮空氣注入部分而代替可移動加熱/冷卻部分262。即使在通過切割^f莫塊220在大面積原始襯底1上形成切割線且通過斷裂模塊260將大面積原始襯底1切削成多個第一單位襯底8，時，仍未獲得圖8中所示的最終第二單位襯底8。也就是"i兌，如上所述，為了獲得最終第二單位襯底8,由於作為TFT的上面板8a形成為小於作為用以形成襯墊部分P的CF的下面板8b，所以需要切削上面板8a中稱為偽部分3e的部分。由於無法通過切割模塊220或斷裂模塊260來切削或移除偽部分3e，所以需要用偽切割模塊265來移除偽部分3e。偽切割模塊265用於已經切削並分成多塊的每一第一單位襯底8，。然而，由於在作為TFT的上面板la面朝上而作為CF的下面板lb面朝下的狀態下輸入大面積原始襯底1，因此形成第一單位襯底8，。第一單位襯底8，在使得形成CF的面板均面朝下的狀態下朝偽切割模塊265行進。因此，通過偽切割模塊265對偽部分3e執行的切割和移除工作是從下側向上側執行的。偽切割;漠塊265包含真空臺(vacuumtable)266，其為從下支撐第一單位襯底8，的單元平臺(cellstage);偽切割器267，其從由真空臺266支撐的第一單位襯底8，的下切割偽部分3e;以及支撐滾筒(supportroller)268,其相對於第一單位襯底8，布置在偽切割器267的相反側，且支撐第一單位襯底8'。與上述上切割器233和下切割器243不同，認為偽切割器267具有一系列結構，所述結構能夠形成切割線以切削偽部分3e，並且向所述部分施加壓力或者加熱和迅速冷卻所述部分。在本實施例中，提供真空臺266作為單元平臺。然而，可替代地使用能夠支撐第一單位襯底8，的任何支撐單位。真空臺266是用以使用真空來支撐容納於上表面上的第一單位襯底8，。可以真空方法之外的方法來支撐第一單位襯底8，。此外，可將真空臺266分成兩個部分，並且真空臺可在相應位置處在Y軸方向或X軸方向上移動。通過分配器270來執行將第一單位襯底8'移動到真空臺266的工作。也就是說，分配器270將通過斷裂模塊260而從大面積原始襯底1中形成的第一單位襯底8'分配到真空臺266。分配器270包含一對第二軌道部分271,其在第四帶式傳送器210d兩側以一定長度布置；可移動杆272，其耦合到第二軌道部分271，以能夠沿著第二軌道部分271移動；以及分配頭273,其能夠沿著可移動杆272移動且耦合到可移動杆272，能夠相對於可移動杆272相對旋轉，並吸附已完成切割工作的第一單位襯底8'。如上所述，當真空臺266自身可旋轉時，容納於其上表面上的第一單位村底8，可根據真空臺266的旋轉而旋轉。然而，當真空臺266固定時，可通過分配頭273在真空臺266上改變第一單位襯底8，的方向。通過斷裂模塊260切削的偽襯底3a-3d和通過偽切割模塊265切削的偽部分3e由於自身重量或單獨的移除單位而下落。提供排出部分250a和250b，使得偽村底3a-3d和偽部分3e在一個位置排出而不會散落。在本實施例中，分別在斷裂模塊260和偽切割模塊265下方提供排出部分250a和250b，且排出在相應位置處下落的偽襯底3a-3d和偽部分3e。為了防止偽襯底3a-3d和偽部分3e散落，排出部分250a和250b具有漏鬥形狀，使得入口較大，且其容積朝末端部分逐漸減小。為效率起見，排出部分250a和250b提供為能夠靠近斷裂模塊260和偽切割模塊265和從二者處縮回。可通過圓柱體或馬達與滾珠螺杆的組合而容易地實施此種結構。由於被切掉的偽襯底3a-3d和偽部分3e全部具有恆定長度和尺寸，所以為了通過斷裂成小塊而重複使用，可在排出部分250a和250b中進一步提供碾碎部分(crushingportion)252a和252b,其用於碾碎偽襯底3a-3d和偽部分3e。沿著工作線在真空臺266後面提供橫向傳送器275。在橫向傳送器275上方安裝襯底傳遞部分280。襯底傳遞部分280耦合到第三軌道部分281，並沿著第三軌道部分281的長度方向移動。由於通過從大面積原始襯底1中切削而最終形成的第二單位襯底8在後處理中是逐個個別管理的，所以襯底傳遞部分280沿著第三軌道部分281移動，且將最終的偽部分3e已切削的第二單位襯底8從真空臺266移動到橫向傳送器275。當在本實施例中在切割系統中提供單個橫向傳送器275時，只在第三軌道部分281中提供一個襯底傳遞部分280。然而，在本實施例中，為了提高生產率，可提供兩個橫向傳送器275，使得在第三軌道部分281中提供兩個村底傳遞部分280。可根據設計來調整這些數目。由於對大面積原始襯底1的切割工作是在作為TFT的上面板la面朝上而作為CF的下面板lb面朝下的狀態下執行的，所以最終放置在橫向傳送器275上的第二單位襯底8布置成使得作為CF的上面板8a面朝下而作為TFT的下面板8b面朝上。然而，為了工藝管理起見，圖1所示的最終製造出的第二單位襯底8的作為CF的上面板8a面朝上，而作為TFT的下面板8b面朝下。為此目的，20在橫向傳送器275的後面進一步提供反轉器"5,其反轉第二單位襯底8的上煩'j和下j則。反轉器285包含反轉軸286和一對反轉傳送器287,所述反轉傳送器287能夠圍繞反轉軸286反轉並吸附第二單位襯底8的上表面和下表面，使得第二單位襯底8可插入其中。因此，當放置在橫向傳送器2"上的第二單位村底8插入反轉傳送器287之間且接著反轉傳送器287圍繞反轉軸反轉180。時，第二單位襯底8的上側和下側可容易地改變。也就是說，按照需要，將第二單位襯底8布置成作為CF的上面板8a面朝上而作為TFT的下面板8b面朝下。在反轉器285後面提供排出傳送器290,其排出上側和下側已使用反轉器285反轉且裝載在上面的第二單位襯底8以供後處理。排出傳送器290與橫向傳送器275以相同數目且在相同的軸線上提供。下文將參看圖9、圖10和圖13簡單描述使用以上述方式配置的襯底切割系統將大面積原始襯底1切割成多個第二單位襯底8的方法。首先，當將大面積原始襯底1輸入到第一帶式傳送器210a(S211)時，大面積原始襯底1因第一帶式傳送器210a的移動而朝第二帶式傳送器210b和第三帶式傳送器H0c行進。接著，通過位於第二帶式傳送器210b和第三帶式傳送器HOC間的隔離間隙2Hb中的切割模塊220與第二和第三帶式傳送器210b和210c之間的相互作用，在大面積原始襯底1的上面板la和下面板lb上形成上切割線和下切割線(S212)。也就是說，當第二帶式傳送器nOb和第三帶式傳送器210c相對於固定的上切割器233和下切割器243移動時，執行在Y軸方向上的對大面積原始襯底1的上面板la和下面板lb中每一者的切割線形成工作。當在第二帶式傳送器210b和第三帶式傳送器210c固定的狀態下，上切割器233和下切割器2"在上橫杆231和下橫杆241上在X軸方向上移動時，執行X軸方向的切割線形成工作。以此方法，分別在大面積原始村底1的上面板la和下面板lb上形成上切割線和下切割線。所述上切割線和下切割線形成在相同軸線上。當在大面積原始襯底1上形成切割線時，大面積原始村底1沿著第四帶式傳送器210d朝斷裂模塊260移動。當大面積原始襯底1到達斷裂模塊260時，沿著第一軌道部分261移動的可移動加熱/冷卻部分262以使用沿著第一軌道部分261移動的可移動加熱/冷卻部分262加熱和冷卻大面積原始襯底1的方法用易碎材料的熱應力來切削大面積原始襯底1(S213)。接著，沿著切割線切削大面積原始襯底1，從而形成多個第一單位村底8，。偽襯底3a-3d通過排出部分250a排出。接下來，通過驅動分配器270以固定位置而將第一單位襯底8，逐個分21配到真空臺266。當操作偽切割模塊265時，切削並移除形成於第一單位襯底8，的偽部分3e(S214)。也就是^L，當支撐滾筒268支撐第一單位襯底8，的上表面時，通過定位在其下方的偽切割器267來切削偽部分3e。切削的偽部分3e通過排出部分250b排出。接著，襯底傳遞部分280將具有經切割的偽部分3e的第二單位襯底8(即，圖1所示的第二單位襯底8)逐個傳遞到橫向傳送器275。放置在橫向傳送器275上的第二單位襯底8插入反轉傳送器287之間。反轉傳送器287圍繞反轉軸286反轉180。，使得第二單位襯底8的上表面和下表面的位置改變(S215)。上表面和下表面已經過反轉器285反轉的最終第二單位襯底8在裝載於排出傳送器290上的狀態下排出以供後處理(S216)。根據本實施例，可防止第二單位襯底8中將安裝IC驅動器的襯墊部分P受到損壞。此外，由於可使對大面積原始襯底1的切割工作以在線形式進行，所以使得生產時間可減少，且可進一步提高生產率。圖14是根據本發明第三實施例的襯底切割設備的透視圖。圖15是圖l4的襯底切割設備的平面圖。圖16說明第一切割模塊區域的操作。圖17說明第二切割模塊區域的操作。圖18是用於解釋根據本發明第三實施例的襯底切割方法的流程圖。參看圖14到圖18，主要參看圖14和圖15，根據本實施例的村底切割設備包含多個帶式傳送器310a-310g,其形成對大面積原始襯底1執行切割工作的工作線；以及第一切割模塊320、傳遞部分340及第二切割模塊350，其均沿著帶式傳送器310a-310g依次布置。此外，襯底切割設備進一步包含排出部分370a和370b,其定位在第一切割模塊320和第二切割模塊350下方；以及分配器380、橫向傳送器384、反轉器385及排出傳送器390，其均提供在第二切割模塊350的後面。在以上結構中，執行以下一系列工作將輸入到工作線的圖3的大面積原始村底1通過第一切割模塊3W切削成圖3的中間襯底5，通過第二切割模塊350切割成圖1的單位襯底8，以及排出到排出傳送器390。因此，由於可建立大面積原始襯底1的在線工藝，所以可減少生產時間且可進一步提高生產率。確切地說，根據本實施例的襯底切割系統，在防止單位襯底8中將安裝IC驅動器的圖1的襯墊部分P受到損壞的同時，可將大面積原始襯底1切割成數個到數十個單位襯底8。首先描述圖3的大面積原始襯底1和中間襯底5、圖1的單位襯底8以及切割方向或帶式傳送器310a-310g的移動方向。圖3的大面積原始襯底1是用來形成圖1的單位襯底8的母體。因此，在本實施例中，圖3的大面積原始襯底1中的12個陰影部分逐個指示圖1的單位襯底8。此外，如上所述，將尚未切割成圖3中的單位襯底8的狀態下的在Y軸方向上排列的一組四個單位的單位襯底8稱為中間襯底5。參看圖3，單位襯底8的總數是十二個，中間襯底5的數目是三個，且未標上陰影的其他部分指示排出到排出部分370a和370b的偽襯底3a-3d。為參考起見，進一步存在與偽襯底3a-3d—起切掉的端部偽部分，此處為便於解釋而省略其附圖標記。大面積原始村底1與單位襯底8—樣包含由兩片玻璃形成的上面板la和下面板lb。最終放置在排出傳送器390上的單位襯底8配置成使得作為CF的上面板8a面朝上而作為TFT的下面板8b面朝下，如圖1所示，且隨後被排出以供後處理。然而，在切割工藝之前，在將大面積原始襯底1反轉成與單位襯底8相反的狀態下，將其輸入到形成工作線的帶式傳送器310a-310g。也就是說，大面積原始襯底1在作為TFT的上面板la面朝上而作為CF的下面板lb面朝下的狀態下輸入以進行一系列切割工作。此外，將中間襯底5與大面積原始襯底1一樣布置。在本實施例中，圖3的大面積原始襯底1通過切割系統切割成三個單位的中間襯底5，並再次切割成十二個單位的單位襯底8。此處，關於切割方向或帶式傳送器310a-310g的移動方向，帶式傳送器310a-310g的排列方向為Y軸方向，且垂直於Y軸方向的方向為X軸方向。下面將依次描述根據本實施例的襯底切割設備的結構。首先，帶式傳送器310a-310g形成大面積原始襯底1的切割工作線。由於大面積原始襯底l、中間襯底5及單位襯底8可在不受損壞的情況下傳遞，所以帶式傳送器310a-310g優於平臺。使用線性運動來精確地控制帶式傳送器310a-310g的移動。在位置方面，將帶式傳送器310a-310g分成第一到第七個帶式傳送器310a-310g。第一帶式傳送器310a是起初裝載大面積原始襯底1的部分。第二帶式傳送器310b和第三帶式傳送器310c是用於使用第一切割模塊320將大面積原始襯底1切割成中間襯底5的部分。第四帶式傳送器310d和第五帶式傳送器310e是逐個布置並傳遞中間襯底5的部分。第六帶式傳送器310f和第七帶式傳送器310g是通過第二切割;漠塊35與第四和第五帶式傳送器310d和310e之間的相互作用而將中間襯底5切割成單位襯底8的部分。在第一到第七帶式傳送器310a-310g之間形成預定的隔離間隙。隔離間隙用於在相應位置執行切割工作，或者促進襯底l、5和8移動。在本實施例中，如圖3所示形成多個隔離間隙。第二帶式傳送器310b與第三帶式傳送器310c之間的定位第一切割模塊320的隔離間隙稱為第一隔離間隙312a，且第四帶式傳送器310d與第五帶式傳送器310e之間的以及第六帶23式傳送器310f與第七帶式傳送器310g之間的定位第二切割模塊350的隔離間隙稱為第二隔離間隙312b。在本實施例中，帶式傳送器310a-310g在相應位置處停止或者在如箭頭所示的Y軸的正(+)方向上驅動。雖然帶式傳送器310a-310g在與箭頭所示的方向相反的Y軸方向的負(-)方向上驅動並且與第一切割模塊320和第二切割模塊350相互作用，但此處將不再對其進行描述。第一切割;漠塊320具有將大面積原始村底1切割成中間襯底5的結構並且安裝在第一隔離間隙312a中。第一切割模塊320包含第一切割部分321(請參看圖10)，其位於第一隔離間隙312a中，其在大面積原始襯底1的上表面和下表面上沿著X軸方向形成切割線；以及第一斷裂部分323，其安裝在第一切割部分321前面且通過加熱和冷卻大面積原始襯底1而沿著X軸方向上的切割線切割大面積原始襯底1以形成多個中間襯底5。第一切割部分321包含第一上切割部分325，其提供在第一隔離間隙312a中，在第二帶式傳送器312b與第三帶式傳送器312c上方，且在大面積原始襯底1的上面板la中在X軸方向上形成上切割線；以及第一下切割部分328,其提供在第一隔離間隙中，在第二帶式傳送器312b與第三帶式傳送器312c下方，且在大面積原始襯底1的下面板lb上在X軸方向上形成下切割線。首先，第一上切割部分325包含第一上橫杆326，其固定在垂直於工作線的長度方向的方向上；以及多個第一上切割器327，其耦合到第一上橫杆326—側。雖然位於第一上切割部分325附近的第二帶式傳送器310b和第三帶式傳送器310c可在Y軸方向上移動，但第一上橫杆326固定在相應位置處，且只有耦合到第一上橫杆326的第一上切割器327在X軸方向上移動。進一步在第一上橫杆326另一側處提供第一上部線觀察部分(未圖示)，其觀察X軸方向上的上切割線。可通過基於由第一上部線觀察部分觀察到的圖像的控制來確定第一上切割器327在第一上橫杆326上的位置。第一上切割器327包含第一上固持器327a,其耦合到第一上橫杆326;以及第一上切具327b，其在大面積原始村底1的上面板la上在X軸方向上形成上切割線，所述大面積原始襯底1通過由第二帶式傳送器310b和第三帶式傳送器310c支撐而移動。第一上固持器327a耦合成能夠在第一上橫杆326上相對移動。接下來，第一下切割部分328包含第一下橫杆329，其在垂直於工作線的長度方向的方向上固定；以及多個第一下切割器330，其耦合到第一下橫杆329—側。雖然位於第一下切割部分328附近的第二帶式傳送器310b和第三帶式傳送器310c可在Y軸方向上移動，但第一下4黃杆329固定在相應位置處，且只有耦合到第一下橫杆329的第一下切割器330在X軸方向上移動。進一步在第一下橫杆329的另一側提供觀察X軸方向上的下切割線的第一下部線觀察部分(未圖示)。可通過基於由第一下部線觀察部分觀察到的圖像的控制來確定第一下切割器330在第一下橫杆329上的位置。第一下切割器330包含第一下固持器330a，其耦合到第一下橫杆329;以及第一下切具330b，其在大面積原始襯底1的下面板lb上在X軸方向上形成下切割線，所述大面積原始襯底1通過由第二帶式傳送器310b和第三帶式傳送器310c支撐而移動。第一下固持器330a耦合成能夠在第一下橫杆329上相對移動。當基於第一切割部分321的操作而如圖14所示在大面積原始襯底1的上面板la和下面板lb上形成X軸方向上的上切割線和下切割線時，所述工作是在第二帶式傳送器310b和第三帶式傳送器310c在X軸方向上相對於固定在第一上橫杆326和第一下橫杆329上的第一上切割器327和第一下切割器330移動時執行的。第一上橫杆326和第一下橫杆329通過第一連接部分335彼此連接。需要一沿著切割線切割大面積原始村底1以形成三個單位的中間襯底5的單位。在本實施例中，第一斷裂部分323充當所述單位。第一斷裂部分323可定位於第一切割部分321後面。然而，在本實施例中，第一斷裂部分323位於第一切割部分321前面。第一斷裂部分323通過以下方式切割大面積原始襯底1:在將由第一切割部分321在上面板la和下面板lb上形成X軸方向上的上切割線和下切割線的位置處加熱大面積原始襯底1,並且一旦沿著相應的切割線形成切割線便注入冷空氣。為參考起見，為了沿著切割線切割大面積原始襯底1，以向切割線區域施加壓力或者加熱形成切割線的部分然後迅速冷卻所述部分的方法，使用易碎材料的熱應力來切割大面積原始村底1。因此，需要一用於向大面積原始襯底1施加壓力或者加熱和冷卻大面積原始襯底1的單位。在本實施例中，第一斷裂部分323充當所述單位。雖然在本實施例中，第一斷裂部分323以加熱和冷卻大面積原始襯底1的方法，使用易碎材料的熱應力來切割大面積原始襯底1，但可使用施加壓力的方法。在此情況下，可安裝壓縮空氣注入部分來替代第一斷裂部分323。因此，可基於如圖16中所示而執行的第一切割部分321與第一斷裂部分323之間的相互作用，而將行進到第一切割it塊320的大面積原始襯底1切割成三個單位的中間襯底5。在此過程中，會產生偽襯底3a和3b以及端部偽部分，其會下落並排出到排出部分370a,如下文所述。通過第一切割模塊320切割的三個單位的中間襯底5位於第三帶式傳送器310c上，並且逐個傳遞到第三帶式傳送器後面的第四帶式傳送器310d和第五帶式傳送器310e。因此，在本實施例中，傳遞部分340將位於第三帶式傳送器310c上的三個單位的中間村底5逐個傳遞到第四帶式傳送器310d和第五帶式傳送器310e。傳遞部分340包含一對第一軌道部分341，其在第四帶式傳送器310d和第五帶式傳送器310e兩側在Y軸方向上以一定長度布置，所述第四帶式傳送器310d和第五帶式傳送器310e彼此分離且傳遞中間襯底5;可移動杆343，其兩個端部耦合到每一第一軌道部分341且能夠在Y軸方向上移動；以及抓取頭(griphead)345,其耦合到可移動杆343。抓取頭345耦合到可移動杆343，且不但可向可移動杆343旋轉，而且可在可移動杆343的長度方向上移動。抓取頭345逐個抓取第三帶式傳送器310c上的中間襯底5並改變方向，且接著將中間襯底5移動到第四帶式傳送器310d和第五帶式傳送器310e。第二切割模塊350具有用以將中間襯底5切割成單位襯底8的結構，且安裝在位於傳遞部分340後面的第二隔離間隙312b中。第二切割;f莫塊350的結構與第一切割模塊320的結構實質上相同，以下將進行描述。第二切割模塊350包含第二切割部分351(請參看圖17)，其位於第二隔離間隙312b中，在中間襯底5的上表面和下表面上沿著X軸方向形成切割線；以及第二斷裂部分353，其安裝在第二切割部分351前面，且通過加熱和冷卻中間襯底5而沿著X軸方向上的切割線切割中間襯底5,以形成多個單位襯底8。第二切割部分351包含第二上切割部分355，其提供在第二隔離間隙312b中，在相應的帶式傳送器312d-312g上方，且在中間襯底5的上面板(未圖示)中在X軸方向上形成上切割線；以及第二下切割部分358，其提供在第二隔離間隙312b中，在相應的帶式傳送器312d-312g下方，且在中間襯底5的下面板(未圖示)上在X軸方向上形成下切割線。首先，第二上切割部分355包含第二上橫杆356，其固定在垂直於工作線的長度方向的方向上；以及多個第二上切割器357，其耦合到第二上橫杆356—側。雖然位於第二上切割部分355附近的相應帶式傳送器312d-312g可在Y軸方向上移動，但第二上橫杆356固定在相應位置處，且只有耦合到第二上橫杆356的第二上切割器357在X軸方向上移動。進一步在第二上橫杆356的另一側提供觀察X軸方向上的上切割線的第二上部線觀察部分(未圖示)。可通過基於由第二上部線觀察部分觀察到的圖像的控制來確定第二上切割器357在第二上橫杆356上的位置。第二上切割器357包含第二上固持器357a,其耦合到第二上橫杆356;以及第二上切具357b，其在中間襯底5的上面板上在X軸方向上形成上切26割線，所述中間襯底5通過由相應帶式傳送器312d-312g支撐而移動。第二上固持器357a耦合成能夠在第二上橫杆356上相對移動。接下來，第二下切割部分358包含第二下橫杆359,其在垂直於工作線的長度方向的方向上固定；以及多個第二下切割器360,其耦合到第二下橫杆359—側。雖然位於第二下切割部分358附近的相應帶式傳送器312d-312g可在Y軸方向上移動，但第二下;f黃杆359固定在相應位置處，且只有耦合到第二下橫杆359的第二下切割器360在X軸方向上移動。進一步在第二下橫杆359的另一側提供觀察X軸方向上的下切割線的第二下部線觀察部分(未圖示)。可通過基於由第二下部線觀察部分觀察到的圖像的控制來確定第二下切割器360在第二下橫杆359上的位置。第二下切割器360包含第二下固持器360a,其耦合到第二下橫杆359;以及第二下切具360b，其在中間襯底5的下面板上在X軸方向上形成下切割線，所述中間襯底5通過相應的帶式傳送器312d-312g支撐而移動。第二下固持器360a耦合成能夠在第二下橫杆359上相對移動。當基於第二切割部分351的操作而如圖14所示在中間襯底5的上面板和下面板上形成X軸方向的上切割線和下切割線時，所述工作是在相應的帶式傳送器312d-312g在X軸方向上相對於固定在第二上橫杆356和第二下橫杆359上的第二上切割器357和第二下切割器360移動時執行的。第二上橫杆356和第二下橫杆359通過第二連接部分365彼此連接。需要一可沿著切割線切割中間襯底5以形成多個單位襯底8的單位。在本實施例中，第二斷裂部分353充當所述單位。第二斷裂部分353可定位在第二切割部分351後面。然而，在本實施例中，第二斷裂部分353位於第二切割部分351前面。由於第二斷裂部分353的操作與上述第一斷裂部分323的操作相同，所以此處將不再對其進行詳細描述。因此，可基於如圖17中所示而執行的第二切割部分351與第二斷裂部分353之間的相互作用，而將行進到第二切割模塊350的中間襯底5切割成單位襯底8。也就是說，在本實施例中，從單個單位的中間襯底5中產生總共四個單位襯底8。在此過程中，會產生偽襯底3c和3d以及端部偽部分，其會下落並排出到排出部分370b，如下文所述。在第一切割模塊320中從大面積原始襯底1中切掉偽襯底3a和3b以及端部偽部分，且在第二切割模塊35Q中從中間襯底5中切掉偽襯底3c和3d以及端部偽部分，這些偽襯底和端部偽部分由於自身重量或單獨的移除單位而下落。提供排出部分370a和370b以使得偽襯底3a-3d以及端部偽部分可在一個位置排出而不會散落。在本實施例中，分別在第一切割模塊320和第二切割模塊350下方提供排出部分370a和370b，以排出在相應位置處下落的偽襯底3a-3d和端部偽部分。為了防止偽襯底3a-3d和端部偽部M落，排出部分370a和370b具有漏鬥形狀，使得入口較大，且其容積朝末端部分逐漸減小。為效率起見，排出部分370a和370b提供為能夠靠近第一切割模塊320和第二切割模塊350和從二者處縮回。可通過圓柱體或馬達與滾珠螺杆的組合而容易地實施此種結構。由於被切掉的偽襯底3a-3d和端部偽部分全部具有恆定長度和尺寸，所以為了通過斷裂成小塊而重複^f吏用，可在排出部分370a和370b中進一步提供碾碎部分372a和372b,其用於碾碎偽襯底3a-3d和端部偽部分。在第六帶式傳送器310f和第七帶式傳送器310g後面提供橫向傳送器384,所述橫向傳送器384與第六帶式傳送器310f和第七帶式傳送器310g形成相同的線。在橫向傳送器384周圍提供分配器380。分配器380將已完全切割的單位襯底8逐個分配到橫向傳送器384。也就是說，最終製造的單位村底8在後處理中是個別逐個管理的，分配器380將放置在第六帶式傳送器310f和第七帶式傳送器310g上的單位襯底8傳遞到橫向傳送器384。分配器380包含一對第二軌道部分381,其在橫向傳送器384兩側以一定長度布置；以及分配頭382，其能夠沿著第二軌道部分381移動，且耦合到第二軌道部分381，能夠相對於第二軌道部分381相對旋轉，並吸附已完成切割工作的單位襯底8。如果在沖艮據本實施例的切割系統中提供單個單位的橫向傳送器384，則只要提供分配器380的一個單位的分配頭382便已足夠。然而，在本實施例中，由於為了提供生產率而提供了兩個單位的橫向傳送器384，所以提供兩個單位的分配頭382。可根據設計改變這些數目。由於大面積原始襯底1是在作為TFT的上面板la面朝上而作為CF的下面板lb面朝下的初始狀態下切割成三個單位的中間襯底5，且接著形成為單位襯底8的，所以最終放置在橫向傳送器384上的單位襯底8布置成使得作為CF的上面板8a面朝下而作為TFT的下面板8b面朝上。然而，為了進行工藝管理，圖1所示的最終製造出的單位襯底8的作為CF的上面板8a面朝上，且作為TFT的下面板8b面朝下。為此目的，進一步在橫向傳送器384的後面提供反轉器385,其反轉單位襯底8的上側和下側。反轉器385包含反轉軸386和一對反轉傳送器387,所述反轉傳送器387能夠圍繞反轉軸386反轉並吸附單位襯底8的上表面和下表面，使得單位襯底8可插入其中。因此，當放置在橫向傳送器384上的第二單位襯底8插入反轉傳送器387之間且接著反轉傳送器387圍繞反轉軸386反轉180°時，單位襯底8的上側和下側容易地改變。也就是說，按照需要，將單位28襯底8布置成作為CF的上面板8a面朝上而作為TFT的下面板8b面朝下。在反轉器385後面提供排出傳送器390，其將上側和下側已使用反轉器385反轉並裝栽在上面的單位襯底8排出以供後處理。排出傳送器390與橫向傳送器384以相同數目在相同軸線上提供。下文將參看圖14、圖15和圖18簡單描述使用以上述方式配置的襯底切割系統將大面積原始村底1切割成三個單位的中間襯底5且接著切割成總共十二個單位的單位襯底8的方法。首先，當將大面積原始襯底1輸入到第一帶式傳送器310a(S311)時，通過第一帶式傳送器310a的移動將大面積原始村底1傳遞到第二帶式傳送器310b和第三帶式傳送器310c。接著，通過位於第二和第三帶式傳送器310b和310c之間的隔離間隙312a中的第一切割;f莫塊320與第二和第三帶式傳送器310b和310c之間的相互作用，在大面積原始襯底1的上面板la和下面板lb上形成X軸方向上的上切割線和下切割哉以用於切割(S312)。也就是說，可基於執行如圖16中所示的操作的第一切割部分321與第一斷裂部分323之間的相互作用，而將行進到第一切割模塊320的大面積原始襯底1切割成三個單位的中間襯底5。在此過程中，會產生偽襯底3a和3b以及端部偽部分，其會下落並排出到排出部分3Ma。接下來，將放置在第三帶式傳送器310c上的三個單位的中間襯底5中的每一者通過傳遞部分3"4爪取並旋轉90。以傳遞到第四帶式傳送器310d和第五帶式傳送器310e(S313)。傳遞到第四帶式傳送器HOd和第五帶式傳送器310e的中間襯底5的長度方向是Y軸方向。當中間襯底5被傳遞到第四帶式傳送器310d和第五帶式傳送器310e並沿著第四帶式傳送器310d和第五帶式傳送器310e行進到第二切割模塊350時，通過第二切割模塊350與相應的帶式傳送器310d-310g之間的相互作用而在中間襯底5的上面板和下面板上形成X軸方向上的上切割線和下切割線以用於切割(S314)。也就是說，可基於執行如圖17中所示的操作的第二切割部分351與第二斷裂部分353之間的相互作用，而將行進到第二切割模塊350的中間襯底5切割成多個單位襯底8。在此過程中，會產生偽襯底3c和3d以及端部偽部分，其會下落並排出到排出部分370b。接下來，將通過第二切割模塊350切割並放置在第六帶式傳送器310f和第七帶式傳送器310g上的每一單位襯底8傳遞到橫向傳送器384。接著，將放置在橫向傳送器384上的單位襯底8插入反轉傳送器387之間，且反轉傳送器387圍繞反轉軸386旋轉180。，使得每一單位襯底8的上表面和下表面的位置改變(S315)。在上表面和下表面已經過反轉器385反轉的最終單位襯底8裝載於排出傳送器390上的狀態下，將其排出以供後處理(S316)。根據本實施例，可防止單位襯底8中將安裝IC驅動器的襯墊部分P受到損壞。此外，由於可使對大面積原始村底1的切割工作以在線形式進行，所以使得生產時間可減少，且可進一步提高生產率。圖19是根據本發明第四實施例的襯底切割設備的透視圖。圖20是圖19的襯底切割設備的平面圖。圖21說明第一切割模塊區域的操作。圖22說明第二切割模塊區域的操作。圖23是用於解釋根據本發明第四實施例的襯底切割方法的流程圖。參看圖19到圖23,主要參看圖19和圖20，根據本實施例的襯底切割設備包含多個帶式傳送器410a-410g，其形成彼此交叉的第一和第二工作線，且其中執行對大面積原始襯底1的切割工作；第一切割模塊420，其提供在第一工作線處，並將大面積原始襯底1切割成三個單位的中間襯底5;傳遞部分440，其將中間襯底5傳遞到第二工作線；以及第二切割模塊450，其提供在第二工作線處，並將中間襯底5切割成多個單位襯底8。此外，村底切割設備進一步包含排出部分470a和470b，其位於第一切割模塊420和第二切割模塊450下方；以及分配器480、橫向傳送器484、反轉器485及排出傳送器490，其均提供在第二切割模塊450後面。在上述結構中，執行以下一系列工作將輸入到第一工作線的圖3的大面積原始襯底1通過第一切割模塊420切削成圖3的中間襯底5，通過第二切割模塊450切割成圖1的單位襯底8，以及排出到排出傳送器490。因此，由於可建立大面積原始襯底1的在線工藝，所以可減少生產時間且可進一步提高生產率。確切地說，根據本實施例的襯底切割系統，在防止單位襯底8中將安裝IC驅動器的圖1的襯墊部分P受到損壞的同時，可將大面積原始村底1切割成數個到數十個單位襯底8。首先描述圖3的大面積原始襯底1和中間襯底5、圖1的單位襯底8以及切割方向或帶式傳送器410a-410g的移動方向。圖3的大面積原始襯底1是用來形成圖1的單位襯底8的母體。在本實施例中，圖3的大面積原始襯底1中的12個陰影部分逐個指示圖1的單位襯底8。此外，如上所述，將尚未切割成圖3中的單位村底8的狀態下的在Y軸方向上排列的一組四個單位的單位襯底8稱為中間襯底5。參看圖3,單位襯底8的總數是十二個，中間襯底5的數目是三個，且未標上陰影的其他部分指示排出到排出部分470a和470b的偽襯底3a-3d。為參考起見，進一步存在與偽襯底3a-3d—起切掉的端部偽部分，此處為便於解釋而省略其附圖標記。大面積原始襯底1與單位襯底8—樣包含由兩片玻璃形成的上面板la和下面板lb。最終放置在排出傳送器490上的單位襯底8布置成4吏得作為CF的上面板8a面朝上而作為TFT的下面板8b面朝下，如圖1所示，且接著被排出以供後處理。然而，在切割工藝之前，在將大面積原始襯底1反轉成與單位村底8相反的狀態下，將其輸入到形成第一和第二工作線的帶式傳送器410a-410g。也就是說，大面積原始襯底1在作為TFT的上面板la面朝上而作為CF的下面板lb面朝下的狀態下輸入以進行一系列切割工作。此外，將中間襯底5與大面積原始襯底1一樣布置。在本實施例中，圖3的大面積原始襯底1通過切割系統切割成三個單位的中間襯底5，並再次切割成十二個單位的單位襯底8。此處，關於切割方向或帶式傳送器410a-410g的移動方向，第一到第三帶式傳送器410a-410c的排列方向為第一線Y軸方向，且垂直於Y軸方向的方向為第一線X軸方向。第四帶式傳送器410d和第六帶式傳送器410f以及第五帶式傳送器410e和第七帶式傳送器410g排列的方向是第二線Y軸方向，且垂直於Y軸方向的方向為第二線X軸方向。下面將依次描述根據本實施例的襯底切割設備的結構。首先，帶式傳送器410a-410g形成對大面積原始襯底1進行切割工作的第一和第二工作線。由於大面積原始襯底1、中間襯底5以及單位襯底8可在不受損壞的情況下傳遞，所以帶式傳送器410a-410g優於平臺。使用線性運動來精確地控制帶式傳送器410a-410g的移動。如上所述，帶式傳送器410a-410g具有相對於交叉區域彼此交叉的第一工作線和第二工作線。形成第一工作線的第一到第三帶式傳送器410a-410c涉及將大面積原始村底1切割成中間襯底5。形成第二工作線的第四到第七帶式傳送器410d-410g涉及將中間襯底5切割成單位襯底8。具體地說，第一帶式傳送器410a是起初裝載大面積原始襯底1的部分，且第二帶式傳送器410b和第三帶式傳送器"0c是用於通過第一切割模塊420將大面積原始襯底1切割成中間襯底5的部分。第四帶式傳送器410d和第五帶式傳送器410e是在上面布置和傳遞每一中間襯底5的部分。第六帶式傳送器410f和第七帶式傳送器410g是用以通過第四和第五帶式傳送器410d和410e與第二切割模塊450之間的相互作用而將中間襯底5切割成單位襯底8的部分。在第一到第七帶式傳送器410a-410g之間形成預定的隔離間隙。隔離間隙是用於在相應位置處執行切割工作，或者促進襯底l、5和8移動。在本實施例中，如圖19所示形成多個隔離間隙。第二帶式傳送器410b與第三帶式傳送器410c之間的定位第一切割模塊420的隔離間隙稱為第一隔離間隙412a,且第四帶式傳送器410d與第五帶式傳送器410e之間的以及第六帶式傳送器410f與第七帶式傳送器410g之間的定位第二切割模塊45031的隔離間隙稱為第二隔離間隙412b。在本實施例中，形成第一工作線的第一到第三帶式傳送器410a-410c在相應位置處停止或者在第一線Y軸上驅動。形成第二工作線的第四到第七帶式傳送器410d-410g在相應位置處停止或者在第二線Y軸上驅動。第一切割模塊420具有將大面積原始襯底1切割成中間襯底5的結構並且安裝在第一隔離間隙412a中。第一切割模塊420包含第一切割部分421(請參看圖21)，其位於第一隔離間隙412a中，在大面積原始襯底1的上表面和下表面上沿著第一線X軸方向形成切割線；以及第一斷裂部分423，其安裝在第一切割部分421前面且通過加熱和冷卻大面積原始襯底1而沿著第一線X軸方向上的切割線將大面積原始襯底1切割成中間襯底5。第一切割部分421包含第一上切割部分425,其提供在第一隔離間隙412a中，在第二帶式傳送器412b與第三帶式傳送器412c上方，且在大面積原始襯底1的上面板la中在第一線X軸方向上形成上切割線；以及第一下切割部分428，其提供在第一隔離間隙412a中，在第二帶式傳送器412b與第三帶式傳送器412c下方，且在大面積原始襯底1的下面板lb中在X軸方向上形成下切割線。首先，第一上切割部分425包含第一上橫杆426,其在第一線X軸方向上固定；以及多個第一上切割器427，其耦合到第一上橫杆426—側。雖然位於第一上切割部分425附近的第二帶式傳送器410b和第三帶式傳送器410c可在第一線Y軸方向上移動，但第一上橫杆426固定在相應位置處，且只有耦合到第一上橫杆426的第一上切割器427在X軸方向上移動。進一步在第一上橫杆426另一側提供第一上部線觀察部分(未圖示)，其觀察第一線X軸方向上的上切割線。可通過基於由第一上部線觀察部分觀察到的圖像的控制來確定第一上切割器427在第一上橫杆426上的位置。第一上切割器427包含第一上固持器427a，其耦合到第一上橫杆"6;以及第一上切具427b，其在大面積原始襯底1的上面板la上在第一線X軸方向上形成上切割線，所述大面積原始襯底1通過由第二帶式傳送器410b和第三帶式傳送器410c支撐而移動。第一上固持器427a耦合成能夠在第一上橫杆426上相對移動。接下來，第一下切割部分428包含第一下橫杆429，其位於第一上橫杆426下方，且固定在第一線X軸方向中；以及多個第一下切割器430，其耦合到第一下橫杆429—側。雖然位於第一下切割部分428附近的第二帶式傳送器410b和第三帶式傳送器410c可在第一線X軸方向上移動，但第一下橫杆429固定在相應位置處，且只有耦合到第一下橫杆429的第一下切割器430在X軸方向上移動。進一步在第一下橫杆429的另一側提供觀察第一線X軸方向上的下切32割線的第一下部線觀察部分(未圖示)。可通過基於由第一下部線觀察部分觀察到的圖像的控制來確定第一下切割器430在第一下橫杆429上的位置。第一下切割器430包含第一下固持器430a,其耦合到第一下橫杆429;以及第一下切具430b，其在大面積原始襯底1的下面板lb上在第一線X軸方向上形成下切割線，所述大面積原始襯底1通過由第二帶式傳送器410b和第三帶式傳送器410c支撐而移動。第一下固持器430a耦合成能夠在第一下橫杆429上相對移動。當基於第一切割部分421的操作而如圖3所示在大面積原始襯底1的上面板la和下面板lb上形成第一線X軸方向上的上切割線和下切割線時，所述工作是在第二帶式傳送器410b和第三帶式傳送器410c相對於固定在第一上橫杆426和第一下橫杆429上的第一上切割器427和第一下切割器430移動時執行的。第一上橫杆426和第一下橫杆429通過第一連接部分435彼此連接。需要一可沿著切割線切割大面積原始襯底1以形成三個單位的中間襯底5的單位。在本實施例中，第一斷裂部分423充當所述單位。第一斷裂部分423可定位於第一切割部分421後面。然而，在本實施例中，第一斷裂部分423位於第一切割部分421前面。第一斷裂部分423通過以下方式切割大面積原始襯底1:在將由第一切割部分421在上面板la和下面板lb上形成第一線X軸方向上的上切割線和下切割線的位置處加熱大面積原始襯底1，並且一旦沿著相應的切割線形成切割線便注入冷空氣。為參考起見，為了沿著切割線切割大面積原始襯底1，以向切割線區域施加壓力或者加熱形成切割線的部分且接著迅速冷卻所述部分的方法，使用易碎材料的熱應力來切割大面積原始襯底1。因此，需要一用於向大面積原始襯底1施加壓力或者加熱和冷卻所述大面積原始襯底1的單位。在本實施例中，第一斷裂部分423充當所述單位。雖然在本實施例中，第一斷裂部分423以加熱和冷卻大面積原始襯底1的方法，使用易碎材料的熱應力來切割大面積原始襯底1,但可使用施加壓力的方法。在此情況下，可安裝壓縮空氣注入部分來代替第一斷裂部分423。因此，可基於如圖21中所示而執行的第一切割部分421與第一斷裂部分423之間的相互作用，而將行進到第一切割才莫塊420的大面積原始襯底1切割成三個單位的中間襯底5。在此過程中，會產生偽襯底3a和3b以及端部偽部分，其會下落並排出到排出部分470a，如下文所述。通過第一切割模塊420切割的三個單位的中間襯底5位於第三帶式傳送器410c上，並且逐個傳遞到第三帶式傳送器後面的第四帶式傳送器410d和第五帶式傳送器410e。因此，在本實施例中，傳遞部分440將位於第三帶式傳送器"0c上的三個單位的中間襯底5逐個傳遞到第四帶式傳送器。傳遞部分44Q包含一對第一軌道部分441，其布置在形成穿過交叉區域的第一工作線的帶式傳送器410a-410c兩側；可移動杆443，其兩個端部耦合到每一第一軌道部分441且能夠沿著第一軌道部分441移動；以及抓取頭445，其耦合到可移動杆443,其能夠在可移動杆443的長度方向上移動，並逐個抓取中間襯底5以傳遞到第四帶式傳送器410d和第五帶式傳送器410e。抓取頭445沿著可移動杆443線性移動，並且逐個抓取第三帶式傳送器410c上的三個單位的中間襯底5，以將中間村底5移動到第四帶式傳送器410d和第五帶式傳送器410e。因此，由傳遞部分440從第三帶式傳送器410c傳遞到第四帶式傳送器410d和第五帶式傳送器410e的中間襯底5執行線性運動。當中間襯底5執行線性運動並被傳遞到相應位置時，由於無需提供用以旋轉中間襯底5的機構，所以設備的結構得以簡化，且可最大程度地防止產生傳遞中間襯底5期間可能會產生的誤差。第二切割模塊450具有用以將中間襯底5切割成單位襯底8的結構，且安裝在位於第二工作線側的第二隔離間隙412b中。第二切割模塊450的結構與第一切割模塊420的結構實質上相同，以下將進行描述。第二切割模塊45Q包含第二切割部分451(請參看圖22)，其位於第二隔離間隙412b中，在中間襯底5的上表面和下表面上沿著第二線X軸方向形成切割線；以及第二斷裂部分453，其安裝在第二切割部分451前面，且通過加熱和冷卻中間襯底5而沿著第二線X軸方向上的切割線切割中間襯底5，以形成多個單位村底8。第二切割部分451包含第二上切割部分455，其提供在第二隔離間隙412b中，在相應的帶式傳送器412d-412g上方，且在中間襯底5的上面板(未圖示)中在第二線X軸方向上形成上切割線；以及第二下切割部分458，其提供在第二隔離間隙412b中，在相應的帶式傳送器412d-412g下方，且在中間襯底5的下面板(未圖示)中在第二線X軸方向上形成下切割線。首先，第二上切割部分455包含第二上橫杆456，其固定第一線X軸方向上；以及多個第二上切割器457，其耦合到第二上橫杆456—側。雖然位於第二上切割部分455附近的相應帶式傳送器412d-412g可在第二線Y軸方向上移動，但第二上橫杆456固定在相應位置處，且只有耦合到第二上橫杆456的第二上切割器457移動。進一步在第二上橫杆456的另一側提供觀察第二線X軸方向上的上切割線的第二上部線觀察部分(未圖示)。可通過基於由第二上部線觀察部分觀察到的圖像的控制來確定第二上切割器457在第二上橫杆456上的位置。第二上切割器457包含:第二上固持器457a，其耦合到第二上橫杆456;34以及第二上切具457b，其在中間襯底5的上面板上在第二線X軸方向上形成上切割線，所述中間襯底5通過由相應帶式傳送器412d-412g支撐而移動。第二上固持器457a耦合成能夠在第二上橫杆456上相對移動。接下來，第二下切割部分458包含第二下橫杆459，其定位在第二上橫杆429下方，並且固定在第二線X軸方向上；以及多個第二下切割器460，其耦合到第二下橫杆459—側。雖然位於第二下切割部分458附近的相應帶式傳送器412d-412g可在第二線Y軸方向上移動，但第二下橫杆459固定在相應位置處，且只有耦合到第二下橫杆459的第二下切割器460在X軸方向上移動。進一步在第二下橫杆459的另一側提供觀察第二線X軸方向上的下切割線的第二下部線觀察部分(未圖示)。可通過基於由第二下部線觀察部分觀察到的圖像的控制來確定第二下切割器460在第二下橫杆459上的位置。第二下切割器460包含第二下固持器460a，其耦合到第二下橫杆459;以及第二下切具460b,其在中間襯底5的下面板上在第二線X軸方向上形成下切割線，所述中間村底5通過相應的帶式傳送器412d-412g支撐而移動。第二下固持器460a耦合成能夠在第二下橫杆459上相對移動。當基於第二切割部分451的操作而如圖3所示在中間襯底5的上面板和下面板上形成第二線X軸方向上的上切割線和下切割線時，所述工作是在相應的帶式傳送器412d-412g相對於固定在第二上橫杆456和第二下橫杆459上的第二上切割器457和第二下切割器460移動時執行的。第二上橫杆456和第二下橫杆459通過第二連接部分465彼此連接。需要一可沿著切割線切割中間襯底5以形成多個單位襯底8的單位。在本實施例中，第二斷裂部分453充當所述單位。第二斷裂部分453可定位於第二切割部分451後面。然而，在本實施例中，第二斷裂部分453位於第二切割部分451前面。由於第二斷裂部分453的操作與上述第一斷裂部分423的操作相同，所以此處將不再對其進行詳細描述。因此，可基於如圖22中所示而執行的第二切割部分451與第二斷裂部分453之間的相互作用，而將行進到第二切割模塊450的中間襯底5切割成單位襯底8。也就是說，在本實施例中，從單個單位的中間襯底5中產生總共四個單位襯底8。在此過程中，會產生偽襯底3c和3d以及端部偽部分，其會下落並排出到排出部分470b，如下文所述。在第一切割模塊420中從大面積原始襯底1中切掉偽襯底3a和3b以及端部偽部分，且在第二切割模塊450中從中間襯底5中切掉偽襯底3c和3d以及端部偽部分，這些偽襯底和端部偽部分由於自身重量或單獨的移除單位而下落。提供排出部分470a和470b以使得偽襯底3a-3d以及端部偽部分可在一個位置排出而不會散落。35在本實施例中，分別在第一切割模塊420和第二切割模塊450下方提供排出部分470a和470b,以排出在相應位置處下落的偽襯底3a-3d和端部偽部分。為了防止偽襯底3a-3d和端部偽部分散落，排出部分470a和470b具有漏鬥形狀，使得入口較大，且其容積朝末端部分逐漸減小。為效率起見，排出部分470a和470b提供為能夠靠近第一切割模塊420和第二切割模塊450和從二者處縮回。可通過圓柱體或馬達與滾珠螺杆的組合而容易地實施此種結構。由於被切掉的偽襯底3a-3d和端部偽部分全部具有恆定長度和尺寸，所以為了通過斷裂成小塊而重複使用，可在排出部分470a和470b中進一步提供碾碎部分472a和472b,其用於碾碎偽襯底3a-3d和端部偽部分。在第六帶式傳送器410f和第七帶式傳送器410g後面提供橫向傳送器484，所述橫向傳送器484與第六帶式傳送器410f和第七帶式傳送器410g形成相同的線。在橫向傳送器484周圍提供分配器480。分配器480將已完全切割的單位襯底8逐個分配到橫向傳送器484。也就是說，最終製造的單位襯底8在後處理中是個別逐個管理的，分配器480將放置在第六帶式傳送器410f和第七帶式傳送器"Og上的單位襯底8傳遞到橫向傳送器484。分配器480包含一對第二軌道部分481，其在橫向傳送器484兩側沿著第二工作線布置；以及分配頭482,其能夠沿著第二軌道部分481移動，且耦合到第二軌道部分481，能夠相對於第二軌道部分481相對旋轉，並吸附已完成切割工作的單位襯底8。如果在根據本實施例的切割系統中提供單個單位的橫向傳送器484，則只要提供分配器480的一個單位的分配頭482便已足夠。然而，在本實施例中，由於為了提高生產率而提供了兩個單位的橫向傳送器484,所以提供兩個單位的分配頭482。可根據設計改變這些數目。由於大面積原始襯底1是在作為TFT的上面板la面朝上而作為CF的下面板lb面朝下的初始狀態下切割成三個單位的中間襯底5且接著形成為單位襯底8的，所以最終放置在橫向傳送器484上的單位襯底8布置成使得作為CF的上面板8a面朝下且作為TFT的下面板8b面朝上。然而，為了進行工藝管理，圖1所示的最終製造出的單位襯底8的作為CF的上面板8a面朝上，而作為TFT的下面板8b面朝下。為此目的，進一步在橫向傳送器484的後面提供反轉器485，其反轉單位襯底8的上側和下側。反轉器485包含反轉軸486和一對反轉傳送器487，所述反轉傳送器487能夠圍繞反轉軸486反轉並吸附單位襯底8的上表面和下表面，使得單位襯底8可插入其中。因此，當放置在橫向傳送器484上的第二單位襯底8插入反轉傳送器487之間且接著反轉傳送器487圍繞反轉軸486反轉180°時，單位襯底8的上側和下側容易地改變。也就是說，按照需要，將單位襯底8布置成作為CF的上面板8a面朝上而作為TFT的下面板8b面朝下。在反轉器485後面提供排出傳送器490,其將上側和下側已使用反轉器485反轉並裝載在上面的單位襯底8排出以供後處理。排出傳送器490與橫向傳送器484以相同數目且在相同軸線上提供。下文將參看圖19、圖20和圖23簡單描述使用以上述方式配置的襯底切割系統將大面積原始村底1切割成三個單位的中間襯底5且接著切割成總共十二個單位的單位襯底8的方法。首先，當將大面積原始襯底1輸入到第一帶式傳送器410a(S411)時，通過第一帶式傳送器410a的移動將大面積原始襯底1傳遞到第二帶式傳送器410b和第三帶式傳送器410c。接著，通過位於第二帶式傳送器"0b和第三帶式傳送器41Oc之間的隔離間隙412a中的第一切割模塊420，在大面積原始襯底1的上面板la和下面板lb上形成第一線X軸方向上的上切割線和下切割線以用於切割(S412)。也就是說，可基於執行如圖21中所示的操作的第一切割部分421與第一斷裂部分423之間的相互作用，而將行進到第一切割模塊420的大面積原始襯底1切割成三個單位的中間村底5。在此過程中，會產生偽襯底3a和3b以及端部偽部分，其會下落並排出到排出部分470a。接下來，將放置在第三帶式傳送器"0c上的三個單位的中間村底5中的每一者通過傳遞部分440抓取並傳遞到第四帶式傳送器"0d和第五帶式傳送器410e(S413)。傳遞到第四帶式傳送器410d和第五帶式傳送器410e的中間襯底5的長度方向是第二線Y軸方向。當中間襯底5被傳遞到第四帶式傳送器410d和第五帶式傳送器410e並沿著第四帶式傳送器410d和第五帶式傳送器"0e行進到第二切割模塊450時，通過第二切割模塊450的操作在中間襯底5的上面板和下面板上形成第二線X軸方向上的上切割線和下切割線以用於切割(S414)。也就是說，可基於執行如圖17中所示的搡作的第二切割部分451與第二斷裂部分453之間的相互作用，而將行進到第二切割模塊450的中間村底5切割成多個單位襯底8。在此過程中，會產生偽襯底4c和4d以及端部偽部分，其會下落並排出到排出部分470b。接下來，將通過第二切割模塊450切割並放置在第六帶式傳送器410f和第七帶式傳送器410g上的每一單位襯底8傳遞到橫向傳送器化4。接著，將放置在橫向傳送器484上的單位襯底8插入反轉傳送器487之間，且反轉傳送器487圍繞反轉軸486旋轉180°,使得每一單位襯底8的上表面和下表面的位置改變(S415)。可將上表面和下表面的位置已經過反轉器485反轉的最終單位襯底8在裝載於排出傳送器490的狀態下排出以供後處理(S416)。因此，由於可防止單位襯底8中將安裝IC驅動器的襯墊部分P受到損壞，可為大面積原始襯底1建立在線工藝，所以生產時間可減少，且可進一步提高生產率。圖24說明根據本發明第五實施例的襯底切割系統的結構。圖25說明圖24的襯底切割設備的側面。參看圖24和圖25,襯底切割系統500包含切割頭510，其切割襯底1以在襯底1上形成切割線；線性馬達520，其抬高切割頭510;切割頭傳遞部分530，其在X軸方向上傳遞切割頭510;襯底傳遞部分540，其在Y軸方向上傳遞襯底l;測量部分550，其測量切割頭510的切割壓力；以及控制器560，其以電方式和機械方式控制上述部件。切割頭510在襯底1的表面上形成切割線，且包含抬高導向器(elevationguide)511,其耦合到棒(rod)511a，並導向切割頭510上下移動；尖端固持器支撐件512,其耦合到抬高導向器511,其能夠相對旋轉；尖端固持器513，其連接到尖端固持器支撐件512，並限制切具輪尖端(cutterwheeltip)514，所述切具輪尖端514以可旋轉方式耦合到尖端固持器513，並在襯底l表面上形成切割線；以及託架515,其從抬高導向器511的一側突出，並使用以下將描述的測力計(loadcell)551測量切割壓力。抬高導向器511在由線性馬達520抬高時導向切割頭510上下移動，下文將描述線性馬達520。因此，可使用通常使用的線性導向器來實施抬高導向器511。尖端固持器支撐件512支撐其下方的尖端固持器513，且耦合到抬高導向器511的下部分，所述支撐件能夠相對旋轉。因此，當在襯底l的表面上在X軸方向上形成切割線時，切具輪尖端514的刀片指向X軸方向。當在襯底1的表面上在Y軸方向上形成切割線時，切具輪尖端514的刀片旋轉90°以指向Y軸方向。切具輪尖端514通過直接接觸襯底1的表面而形成切割線，且以可旋轉方式耦合到尖端固持器513。也就是說，當切具輪尖端514在與村底1的表面相接觸地旋轉時，通過移動切割頭510而在襯底1的表面上形成切割線。切具輪尖端514直接接觸襯底1的表面，使得襯底1的接觸表面發生塑性變形。當超過塑性變形的臨界點時，在切具輪尖端514的刀片按壓的方向或在襯底1的厚度方向上形成裂縫。然而，當按壓襯底1的切具輪尖端514的刀片的力過度時，裂縫會達到飽和，從而在不合需要的方向上形成，而不是在襯底1的厚度方向上形成。也就是說，由於裂縫是在襯底1中向內形成而不是在襯底1的厚度方向上形成，所以半導體晶片或平板顯示裝置的平板的性能和可靠性會退化。相反，當按壓襯底1的切具輪尖端514的刀片的力過小時，裂縫形成得不夠充分，使得在斷裂工藝中未進行適當地切割，從而使切割性能和襯底1的質量退化。因此，在下文描述的襯底切割方法S500中通過控制切具輪尖端514的壓力使其恆定為預設的參考壓力，即使襯底1的厚度不均勻時也如此，使切割線深度均勻，使得可在襯底1的厚度方向上精確地形成切割線。在切割頭510—側提供託架515，且託架515隨著切割頭510上下移動。確切地說，託架515直接接觸稍後描述的測力計551，使得測力計551可測量切割頭510的下降壓力。因此，如圖25所示，託架515優選從切割頭510中突出，並且布置在測力計551上方。此外，由於因此將按壓測力計551的託架515的壓力確定為切割頭510的切割壓力，所以必須將託架515通過剛體連接到切割頭510,並且託架515優選由具有較小彈性變形的材料形成。在圖24和圖25中將託架515說明為提供在抬高導向器511前面。然而，耦合位置並不限於此，且任何位置均是可能的，只要託架515與切割頭510—體地抬高且切割頭510的切割壓力^皮傳遞到測力計551即可。線性馬達520在垂直方向(即Z軸方向)上抬高切割頭510。也就是i兌，考慮到是在清潔室中製造需要高清潔度和精確度的高技術器材，所以作為用於在垂直方向(即Z軸方向)上抬高切割頭510的組件，優選使用線性馬達特別是線性音圈馬達(voicecoilmotor,VCM)。VCM是一種電力產生設備(powergeneratingapparatus),其使用電磁力使馬達以線性方式移動，所述電磁力是通過由磁鐵產生的磁力與音圈中流動的電流之間的相互作用而產生的。當使用VCM時，會顯著降低產生噪音和灰塵的可能性，響應速度變快，控制變得容易，且簡化了機械結構。確切地說，當抬高切割頭510的線性馬達520是由VCM形成時，僅僅通過對在VCM中流動的電流進行控制，便可容易並精確地控制切割頭510的切割壓力。此外，由於響應較快，所以可精確地形成切割線的厚度。切割頭傳遞部分530在X軸方向上傳遞切割頭510，並且可由驅動單位形成，所述驅動單位例如為在X軸方向上產生電力的線性馬達。切割頭傳遞部分530與襯底傳遞部分540(下文將描述)一起由控制器560恰當控制。因此，可在村底1的表面上形成X軸方向上的切割線和與X軸方向上的切割線交叉的Y軸方向上的切割線。襯底傳遞部分540在Y軸方向上傳遞襯底1，且可由通過與襯底1接觸39地旋轉而傳遞襯底1的傳遞滾筒540形成。在圖24中，將傳遞滾筒說明為只在提供襯底1下方。然而，傳遞滾筒540可提供在襯底1的上方以及下方，以經過按壓而4皮此接觸且旋轉，來傳遞襯底l。然而，本發明並不限於此，且襯底傳遞部分540可由通常使用的帶式傳送器形成。此外，襯底傳遞部分540可進一步包含襯底抓取單位(未圖示)，用於抓取襯底1，以防止襯底1在傳遞襯底1或在襯底1中形成切割線的期間受到纏繞或搖動。襯底抓取單位由夾鉗(clamp)形成，所述夾鉗夾緊村底1或插入襯底1與傳遞滾筒540之間並使用真空來抓取襯底1的真空吸附板。然而，本方面並不限於此。測量部分550測量由線性馬達520向下按壓的切割頭510的切割壓力，並將測量出的切割壓力傳遞給控制器560。因此，測量部分550包含測力計551，其布置在切割頭510的託架515的下降3各徑上以接觸託架515，並測量切割頭510的切割壓力；以及支撐件552，其布置在託架551的下降路徑上，並支撐測力計551。測量部分550優選安裝成與襯底1的切割路徑隔開預定距離。也就是說，在開始對襯底1進行切割工作以前，先將切割頭510傳遞到測量部分550,並測量和調整切割頭510的切割壓力。接著，將切割頭510傳遞到襯底1的切割路徑以開始切割工作。當將測量部分550安裝成與襯底1的切割路徑隔開預定距離時，襯底傳遞部分540的結構並不複雜，且測量部分550不會干擾切割頭510的切割工作。測力計551接觸託架515,並測量切割頭510的切割壓力，並且將測量出的值傳遞給控制器560。測力計551是通過以下方式製造的重量測量裝置將應變儀(straingauge)附接到金屬彈性體上，並根據彈性信號的負載而輸出彈性體的變形率。因此，隨著切割頭510下降，附接到切割頭510的託架515按壓布置在下降路徑上的測力計551。接著，將測力計551的彈性體的變形率作為電信號而檢測，並將電信號通過轉換器以模擬信號的形式傳遞給控制器560。由於控制器560包含根據檢測到電信號的切割壓力的預先計算值的資料庫，所以可通過從測力計551傳遞的電信號快速並精確地獲知切割頭510的切割壓力。控制器560控制上述部件的機械和電操作，並且可為數位訊號處理器(digitalsignalprocessor,DSP)、孩i處理器、孩t控制器或包含所有所述部件的計算機。或者，控制器560可為執行下文描述的襯底切割方法S500的軟體，或者記錄固件的記錄媒體。此外，可將控制器560理解為廣泛的概念，包含將從測力計551傳輸的電信號轉換成數位訊號的模擬-數字(analog-to-digital,AD)轉換器，或者將數位訊號轉換成應用於VCM的電信號的數字-模擬(digital-to-analog,DA)轉換器。將通過描述根據本發明另一實施例的襯底切割系統500的襯底切割方法S500，來提供關於控制器560的詳細描述。圖26說明圖24的襯底切割系統的切割操作，其中切割頭在測力計上方移動。圖27說明圖24的襯底切割系統的切割操作，其中託架按壓測力計。圖28說明圖24的襯底切割系統的切割4喿作，其中切割頭切割襯底。圖29說明圖24的襯底切割系統所切割的襯底。圖30是依序繪示圖24的襯底切割系統的襯底切割方法的流程圖。參看圖26到圖30,切割頭傳遞部分530在(+X)軸方向上傳遞切割頭510,使得託架515到達測力計551的上部。當託架515到達測力計551的上部時，向VCM520施加電流(S510)。當向VCM520施加電流時，切割頭510因為由》茲鐵與音圈的相互作用而產生的電磁力下降。當切割頭510下降時，從切割頭510向前突出的託架515接觸測力計551,使得切割頭510的切割壓力傳遞到測力計551。當託架515向測力計551施加壓力時，測力計551測量切割頭510的切割壓力(S520)。也就是說，測力計551的彈性體因託架515的壓力而變形，且將變形率作為電信號而檢測並傳遞到控制器560。控制器560從根據電信號提前準備的資料庫中搜索出對應於由測力計551檢測到的電信號的切割壓力值，並將搜索到的切割壓力與預設的參考壓力進行比較(S530)。當控制器560將切割頭510的切割壓力與預設的參考壓力進行比較並發現切割壓力小於參考壓力(N)時，將大於初始電流的電流施加到VCM520(S540)。通過接收大於初始電流的電流的VCM520提高切割頭510的切割壓力。測力計551通過託架515再次檢測提高的切割壓力(S520)。控制部分560將切割頭510的重新測量的切割壓力與參考壓力進行比較(S530)。重複上述步驟直到切割壓力與參考壓力(Y)相同為止。當控制器560將切割頭510的切割壓力與預設的參考壓力進行比較並發現切割壓力大於參考壓力(N)時，將小於初始電流的電流施加到VCM520(S540)。重複上述步驟，直到切割壓力與參考壓力(Y)相同為止。當控制器560將切割頭510的切割壓力與預設參考壓力進行比較並發現切割壓力與參考壓力(Y)相同時，控制器560將電流作為最終施加電流而存儲(S550),並在切割工藝中向VCM520施加所述施加電流。在通過上述步驟發現將施加到VCM520的電流之後，開始進行關於襯底1的切割工藝。首先，在襯底1上在X軸方向上形成切割的步驟中，切割頭傳遞部分530將切割頭510在(-X)軸方向上從測量部分550傳遞到襯底1的切割開始點la(請參看圖29)的上部(S560)。同時，襯底傳遞部分540在(-Y)軸方向上傳遞襯底1，使得襯底1的切割開始點la位於41切割頭510下方。當切割頭510位於襯底1的切割開始點la處時，向VCM520施加控制器560存儲的施加電流(S570)。當向VCM520施加電流時，切割頭510下降，且切具輪尖端514接觸村底1的表面。隨著切割頭510通過切割頭傳遞部分530而在(-X)軸方向上移動，切割村底1的表面(S580)。一般而言，在此情況下，切割頭510將相同的切割線反覆切割若干次，以便精確地形成所要深度的切割線。X軸和Y軸在其才喿作中內插。當在X軸方向上在襯底1上形成切割線時，襯底傳遞部分540將襯底1在(+Y)軸方向上傳遞預定距離。接著，切割頭510在襯底1的X軸上形成新的切割線。當通過依次重複上述步驟而在村底1上在X軸方向中形成多個切割線時，形成與X軸方向的切割線交叉的Y軸方向上的切割線。也就是說，切割頭傳遞部分530在X軸方向上傳遞切割頭510，使其定位於襯底1的新的切割開始點lb上方(S560)。同時，襯底傳遞部分540在(-Y)軸方向上傳遞襯底1,使得襯底1的切割開始點lb位於切割頭510下方。在此情況下，尖端固持器支撐件512相對於抬高導向器511旋轉90。，使得切具輪尖端514的刀片指向平行於Y軸的方向。接著，向VCM520施加控制器560所存儲的施加電流(S570)。當向VCM520施加電流時，切割頭510下降，使得切具輪尖端514接觸襯底l的表面。因此，襯底傳遞部分540在(+Y)軸方向上傳遞襯底1，使得襯底1的表面被切割(S580)。X軸和Y軸在其操作中內插。當形成襯底1的Y軸上的切割線時，切割頭傳遞部分530在(-X)軸方向上傳遞預定距離。接著，當襯底傳遞部分540在(+Y)軸方向上傳遞切具輪尖端514所接觸的襯底1時，在襯底1的Y軸上形成新的切割線。當通過依次重複上述步驟而在襯底1的Y軸上形成多個切割線時，形成有切割線的襯底1進入斷裂步驟，並且沿著切割線斷裂成多個晶片或面板。根據本實施例，由於切割頭510的切割壓力精確地匹配預設的參考壓力，所以村底1上形成的切割線的深度增加，使得後續襯底斷裂步驟變得容易，且可改進襯底1的斷裂的性能和質量。此外，由於VCM520的線性扭矩被直接傳遞到切割頭510,所以對線性扭矩變化的響應非常快。此外，由於可通過控制施加到VCM520的施加電流來容易地控制切割頭的切割壓力，所以可在較大程度上改進襯底1的斷裂的性能。在上述實施例中，使用單個切割頭510在襯底1的上表面上形成切割線。然而，本發明並不限於此。下文將描述根據本發明另一實施例的襯底切割系統。圖31說明根據本發明第六實施例的襯底切割系統的結構。如圖31所示，本實施例與上述實施例的不同之處在於，切割頭510、切割頭傳遞部分530及測量部分550均是兩個兩個提供的，並且相對於襯底1面朝彼此。也就是說，提供為相對於襯底1面朝彼此的兩個切割頭510a和510b可在襯底1的上表面和下表面上形成切割線。在此情況下，與第五實施例中一樣，在襯底1的表面上開始切割之前，將上切割頭510a和下切割頭510b移動到與其相應提供的測力計551a和551b，且可測量上切割頭510a的下降壓力和下切割頭510b的上升壓力並通過控制器560將所述壓力控制成預設的參考壓力。使用兩個切割頭510a和510b在襯底1的上表面和下表面上形成切割線可用於通過組合兩片村底而形成的組合襯底，例如LCD村底。也就是說，對於組合襯底，當切割頭切割表面且相同的切割頭通過反轉所述組合襯底而切割另一表面時，工作過程時間會延長，且需要反轉組合村底的單獨設備(反轉設備)。然而，當使用兩個切割頭510a和510b在襯底l的上表面和下表面上執行切割工作時，工作過程時間減少，且無需單獨的反轉設備。在上述第三實施例中，將單個大面積原始襯底1切割成三個中間襯底5，且將每一中間襯底切割成四個單位襯底8M人而總共形成十二個單位襯底8。然而，本發明並不限於這些數目，因此可根據設計適當地調整通過切割大面積原始襯底獲得的中間襯底數目以及通過切割中間襯底獲得的單位襯底8的數目。在上述第三實施例中，第一切割模塊320在X軸方向上切割大面積原始襯底l。然而，第一切割;溪塊320在Y軸方向上切割大面積原始襯底1是可能的。在此情況下，傳遞部分340可將在X軸方向上切割的中間襯底傳遞到第四帶式傳送器310d和第五帶式傳送器310e，而無需在抓取經切割的中間襯底的狀態下旋轉。在上述第四實施例中，將單個大面積原始襯底1切割成三個中間村底5，且將每一中間襯底切割成四個單位襯底8,從而總共形成十二個單位襯底8。然而，本發明並不限於這些數目，因此可根據設計適當地調整通過切割大面積原始襯底獲得的中間襯底數目以及通過切割中間村底獲得的單位襯底8的數目。在上述第四實施例中，第一切割模塊420在X軸方向上切割大面積原始襯底l。然而，第一切割模塊420在Y軸方向上切割大面積原始襯底1是可能的。在此情況下，傳遞部分440可通過在抓取中間襯底的狀態下旋轉，而將中間襯底傳遞到第四帶式傳送器410d和第五帶式傳送器410e。雖然已參考本發明的優選實施例特定地展示和描述了本發明，但所屬領域的技術人員將了解，可在不偏離所附權利要求書所界定的本發明的精神和範圍的情況下在其中作出各種形式和細節上的改變。如上所述，根據本發明，可防止因系統高度增加而導致尺寸增加，且可更加有效地切割襯底。此外，村底的切割工作以在線形式進行，因此可減少生產時間且可進一步改進生產率。此外，根據本發明，可防止襯底中將安裝IC驅動器的襯墊部分受到損壞。此外，襯底的切割工作以在線形式進行，因此可減少生產時間且可進一步政進生產率。此外，根據本發明，切割頭可用預設的恆定切割壓力來切割襯底，使得對扭矩變化的響應優於常規技術，其控制較容易，且可改進襯底切割的執行。權利要求1、一種襯底切割系統，其特徵在於其包括多個傳送器，其形成工作線，在所述工作線中對通過組合上面板和下面板而形成的原始襯底進行切割工作，且通過與至少一個區域隔開而形成預定的隔離間隙；切割模塊，其安裝在所述隔離間隙中，且在所述原始襯底的所述上表面和下表面上形成預定切割線，且通過沿著所述切割線切割所述原始襯底來形成多個第一單位襯底；以及偽切割模塊，其沿著所述工作線布置在所述切割模塊的後面，且切割並移除每一所述第一單位襯底中剩下的偽部分。2、根據權利要求1所述的襯底切割系統，其特徵在於其中所述傳送器是帶式傳送器且所述切割模塊包括上切割模塊，其提供在所述隔離間隙中在所述帶式傳送器的上方，且在所述原始襯底的所述上面板上形成上切割線；以及下切割模塊，其提供在所述隔離間隙中在所述帶式傳送器的下方，且在所述原始襯底的所述下面板上形成下切割線。3、根據權利要求2所述的襯底切割系統，其特徵在於其中所述上切割模塊包括上橫杆，其沿著垂直於所述工作線的長度方向的方向固定；以及至少一個上切割器，其耦合到所述上橫杆一側，在所述原始襯底的所述上面板上形成上切割線，所述原始襯底通過由所述帶式傳送器支撐而移動，且所述上切割器能夠在所述上橫杆上相對移動。4、根據權利要求3所述的襯底切割系統，其特徵在於其中所述下切割模塊包括下橫杆，其沿著垂直於所述工作線的長度方向的方向固定；以及至少一個下切割器，其耦合到所述下橫杆一側，在所述原始襯底的所述下面板上形成下切割線，所述原始襯底通過由所述帶式傳送器支撐而移動，且所述下切割器能夠在所述下橫杆上相對移動。5、根據權利要求4所述的襯底切割系統，其特徵在於其中所述上橫杆和下橫杆通過預定的連接部分而彼此連接，且通過所述上切割器和下切割器分別在所述原始襯底的所述上面板和下面板上形成的所述上切割線和下切割線形成相同的軸線。6、根據權利要求1所述的襯底切割系統，其特徵在於其進一步包括斷裂模塊，其包括一對第一軌道部分，其沿著所述工作線布置在所述工作線兩側；以及可移動的加熱/冷卻部分，其以可移動的方式耦合到所述第一軌道部分，且在沿著所述工作線移動的同時，通過加熱和冷卻位於所述第一軌道部分之間的所述原始襯底而沿著所述切割線切割所述原始襯底。7、根據權利要求6所述的襯底切割系統，其特徵在於其中由所述偽切割模塊切割和移除的所述偽部分是彩色濾光片(CF)偽玻璃，所述彩色濾光片(CF)偽玻璃從所述第一單位襯底的形成彩色濾光片(CF)的單位襯底一側移除以形成安裝預定的IC驅動器的襯墊部分，且從所述第一單位襯底的下側向上側對所述偽部分執行切割工作。8、根據權利要求7所述的襯底切割系統，其特徵在於其中所述偽切割模塊包括單元平臺，其從下方支撐所述第一單位襯底，其中作為彩色濾光片(CF)的上面板布置在下部，且作為薄膜電晶體(TFT)的下面板布置在上部；偽切割器，其從由所述單元平臺支撐的所述第一單位襯底的所述下部切割所述偽部分；以及支撐滾筒，其相對於所述第一單位村底布置在所述偽切割器的相反側，且支撐所述第一單位襯底。9、根據權利要求7所述的襯底切割系統，其特徵在於其進一步包括排出部分，所述排出部分提供在所述斷裂模塊和所述偽切割模塊中的每一者的下方，且能夠相對於所述斷裂模塊和所述偽切割模塊中的每一者靠近和縮回，並排出從所述原始襯底中切掉的偽村底和所述偽部分。10、根據權利要求8所述的襯底切割系統，其特徵在於其進一步包括分配器，所述分配器分配由所述斷裂模塊從所述原始襯底中形成的所述第一單位襯底，且能夠改變所述單元平臺上的所述第一單位村底的方向，其中所述分配器包括一對第二軌道部分，其沿著所述工作線布置在所述工作線兩側；可移動杆，其耦合到所述第二軌道部分，且能夠沿著所述工作線移動；以及至少一個分配頭，其能夠沿著所述可移動杆移動，所述分配頭耦合到所述可移動杆且能夠相對於所述可移動杆相對旋轉，且吸附完成切割工作的所述第一單位襯底。11、根據權利要求10所述的襯底切割系統，其特徵在於其進一步包括襯底傳遞部分，所述襯底傳遞部分沿著所述工作線提供在所述分配器後面，且將所述偽部分已經過切割的一第二單位襯底傳遞到一橫向傳送器。12、根據權利要求11所述的襯底切割系統，其特徵在於其進一步包括反轉器，所述反轉器將傳遞到所述橫向傳送器的所述第二單位襯底的上表面和下表面的位置反轉，其中所述反轉器包括反轉軸；以及一對反轉傳送器，其能夠圍繞所述反轉軸反轉，並吸附所述第二單位村底的所述上表面和下表面。13、根據權利要求12所述的襯底切割系統，其特徵在於其進一步包括排出傳送器，所述排出傳送器裝載並排出由所述反轉器完成反轉工作的所迷第二單位襯底。14、根據權利要求13所述的襯底切割系統，其特徵在於其中起初輸入到所述工作線的所述原始襯底的所述上面板和下面板分別為薄膜電晶體(TFT)以及彩色濾光片(CF),且在由所述排出傳送器排出時被反轉。15、一種用於切割襯底的方法，其特徵在於所述方法包括將原始襯底輸入到預定的工作線，所述原始襯底通過組合上面板和下面板而形成且經受切割工作；在輸入的所述原始襯底的所述上面板和下面板上在相同軸線上形成切割線；沿著所述切割線將所述原始襯底切割成多個第一單位襯底；以及切割每一所述第一單位襯底上剩餘的預定偽部分以形成第二單位襯底。16、根據權利要求15所述的方法，其特徵在於其中當在輸入的所述原始襯底的所述上面板和下面板上在相同軸線上形成切割線時，分別形成在所述原始村底的所述上面板和下面板上的上切割線和下切割線形成相同的軸線，當切割每一所述第一單位襯底上剩餘的預定偽部分以形成第二單位襯底時，/人所述第一單位襯底的下側向上側對所述偽部分執行切割工作；以及當切割每一所述第一單位襯底上剩餘的預定偽部分以形成第二單位襯底時，所述偽部分是彩色濾光片(CF)偽玻璃，所述彩色濾光片偽玻璃從所述第一單位襯底的一側移除以形成將安裝預定的ic驅動器的襯墊部分，其中所述方法進一步包括在切割每一所述第一單位襯底上剩餘的預定偽部分以形成第二單位襯底之後，反轉所述第二單位襯底的上表面和下表面的位置；以及排出所述上表面和下表面的位置被反轉的所述第二單位村底。全文摘要一種襯底切割系統包含多個傳送器，其形成工作線，在所述工作線中對通過組合上面板和下面板而形成的原始襯底進行切割工作，且通過與至少一個區域隔開而形成預定的隔離間隙；切割模塊，其安裝在所述隔離間隙中，且在所述原始襯底的所述上表面和下表面上形成預定切割線，且通過沿著所述切割線切割所述原始襯底來形成多個第一單位襯底；以及偽切割模塊，其沿著所述工作線布置在所述切割模塊的後面，且切割並移除每一所述第一單位襯底中剩下的偽部分。文檔編號H01L21/78GK101488474SQ20091000950公開日2009年7月22日申請日期2007年7月17日優先權日2006年7月18日發明者吳昌益,姜判錫,金學東,金星根,金賢虎,金龍雲申請人:Sfa工程股份有限公司