具有精確定位微致動器的磁頭折片組合的特性測試方法

2024-02-21 03:52:15

專利名稱：具有精確定位微致動器的磁頭折片組合的特性測試方法
技術領域：
本發明涉及一種測試具有精確定位微致動器的磁頭折片組合(HGA, head gimbal assembly)的特性的方法，其中所述微致動器用於精確定位磁碟驅動單元 中的滑塊，更具體地，本發明涉及一種測試所迷^f敬致動器的位移特性的方法。
背景技術：
一種常見類型的信息存儲單元為磁碟驅動單元。所述磁碟驅動單元使用磁 性媒介存儲數據，並使用一位於所述磁性媒介上方的可移動讀/寫頭來選擇性地 從所述磁性介媒上讀取或向磁性媒介寫入數據。
消費者總是希望這類磁碟驅動系統單元的存儲容量不斷增加，同時希望其 讀寫速度更快更精確。因此磁碟驅動單元製造商一直致力於開發具有較高存儲 容量的磁碟系統，比如通過減少磁碟上的磁軌寬度或磁軌間距的方式增加》茲道 的密度，進而間接增加磁碟的存儲容量。然而，隨著磁軌密度的增加，對讀寫 頭的位置控制精度也必須相應的提高，以便在高密度磁碟中實現更快更精確的 讀寫操作。隨著磁軌密度的增加，使用傳統技術來實現更快更精確地將讀寫頭 定位於磁碟上期望的磁軌上變得越來越困難。因此，磁碟驅動單元製造商一直 尋找提高對讀寫頭位置控制的方式，以便利用不斷增加的磁軌密度所帶來的益 處。
一種被磁碟驅動單元製造商有效利用的方法是採用音圈馬達(VCM， voice-coil motor)來提高讀寫頭在高密度磁碟上位置控制的精度。參見圖la, — 種使用音圈馬達的傳統磁碟驅動單元典型地具有一個驅動臂104、 一個連接到並 安裝在所述驅動臂104上的磁頭折片組合106、懸置在所述磁頭折片組合106上 的磁碟101以及旋轉所述磁碟101的主軸馬達102。所述音圈馬達以附圖標記
105表示並連接到所述驅動臂104上，以控制所述驅動臂104的運動，進而控制 所述磁頭折片組合106上的滑塊103定位在所述磁碟101的表面的磁軌上，最 終使得所述滑塊103內的讀寫頭能從所述磁碟101上讀取數據或者把數據寫到 所述^f茲盤101上。音圏馬達105如此地執行調整讀寫頭的位置。然而，由於所 述音圈馬達105的大慣性，其具有有限的帶寬，因此所述音圈馬達105對所述 讀寫頭相對於所述磁軌的位置控制達不到足夠的精度，因此所述滑塊103不能 得到快速精確的位置控制，這相應地影響了所述讀寫頭在所述^f茲盤101上的讀 寫性能。
為了解決上述問題， 一個附加致動器機制，例如壓電(PZT， piezoelectric) 微致動器，被引進到所述磁碟驅動單元中以改善滑塊的移位，因此所述磁碟驅 動單元形成了雙階致動器(DSA, dual stage actuator)。參考圖2a和2b,所述磁 盤驅動單元使用壓電微致動器205作為附加致動器。所述壓電微致動器205安 裝在所述磁碟驅動單元的磁頭折片組合106中。詳細地，所述磁頭折片組合106 具有一個懸臂件207以懸置所述滑塊103。所述壓電微致動器205安裝在所述懸 臂件207的舌片上，並且局部包含所述滑塊103。若干電連接球215 (金球焊接 或者錫球焊接，GBB or SBB， gold ball bonding or solder ball bonding)把所述壓 電微致動器205電性連接到相應懸臂線纜225上。若干電連接球213把所述滑 塊103電性連接到相應懸臂線纜223上。所述懸臂線纜223、 225與控制系統(圖 未示)電性連接。所述控制系統控制所述滑塊103和所述壓電微致動器205。
參見圖2c和2d，所述壓電微致動器205包括一個U形框架297。所述U形 框架297包括兩個邊臂205a、 205b。所述邊臂205a具有壓電元件235a;所述邊 臂205b具有壓電元件235b。所述滑塊在其連接點206處通過環氧膠212與所述 壓電微致動器205的兩個邊臂205a、 205b機械連接。所述U形框架297的底部 連接到所述懸臂件207的舌片上。所述滑塊103和所述框架297相互組成一個 矩形鏤空結構。所述滑塊103和所述邊臂205a、 205沒有直接連接到所述懸臂 件207的舌片上，因此使得所述滑塊103和所述邊臂205a、 205b能相對於所述 懸臂件207的舌片自由移動。參考圖2e,當正弦電壓通過懸臂線纜223、 225施 加到壓電微致動器205上時，所述壓電元件235a、 235b將會擴張或者收縮，引起所述邊臂205a、 205b向相同的側面方向彎曲。這就是說，當正弦電壓輸入到 所述壓電元件205a、 235b上時，在第一個半周期內所述邊臂205a將會朝向所述 外側300a彎曲；而在第二個半周期內所述邊臂205b將會朝向外側300b彎曲。 結果初始矩形鏤空結構變成近似於平行四邊形，使所述滑塊103發生側向平移， 通過這種方式成功地調整滑塊的位置。因此，所述壓電微致動器205使較小的 記錄磁軌寬度以及較高的磁軌密度(TPI值，"tracks-per-inch" value,每英寸所 含的磁軌數量)可行，並因此創造了提高表面記錄密度的可能性。
為了測試所述雙階制動器的位移特性以確定所述雙階制動器是否具有調整 能力，現有技術提供了一種交流(AC， Alternative Current)測試方法。所述交流 測試方法通過讀寫測試4義(R/W tester, Read/Write tester) -使用磁頭在磁碟上讀 寫信息。參考圖3a，當正弦電壓施加到所述微致動器時執行寫操作，這時一個 非環形磁軌將被記錄到所述磁碟101上。所述讀寫測試儀能沿著磁碟轉動方向 在磁碟101的石茲道之每個偏離軌道方向上進行讀出信息的掃描。所述讀出信息 或者輸出amp(Xm,yn)是二維的，其中xm表示某一偏離；茲道位置，y。表示某一磁 盤旋轉位置。參考圖3b，在一個給定的磁碟旋轉位置yn位於偏離磁軌位置Xm 處的讀出信息amp(Xm,yt)是最大的。圖3c展示了三個響應曲線501，、 502，、 503，， 分別表示在給定磁碟旋轉位置501、 502、 503處的輸出幅度。通過標制磁碟旋
轉位置yi, y2, y3…yn上讀出信息最大處的偏離磁軌位置，並連接這些標制點，
可以得到磁碟上的位移曲線150。所述曲線150表明了磁信息的中心線。從圖 3c中可以看出，所述曲線150是三個響應曲線501，、 502，、 503，的最大輸出幅 度點505、 506、 507的標製圖。所述位移曲線150對應於寫操作中的致動器的 位移。因此，致動器響應輸入的交流電壓的響應特性被測定。
然而，所述測試方法引起了很多問題。參考圖3b，如果所述交流電壓的幅 度非常小，例如小於5伏特，確定點505、 506、 507的位置是非常困難的，由 此所述位移數值難以判斷，所以所述測試方法存在測量精度問題。並且，參考 圖3d,當交流電壓的幅度很小時，找尋最大幅度位置508、 509非常困難，因此 妨礙標制位移曲線，從而不能測試出所述雙階驅動器的位移特性，這也是現有 方法的第二個不利因素。也就是說，所述現有方法在位移測量方面具有局限性,
特別是在低工作電壓的情況下這種缺陷尤為突出。第三，由於需要讀寫測試儀 測試二維的讀出信息，所以現有技術是十分複雜的，這就不可避免地並且很不 利地延長了測試時間並因此使得測試耗費非常高。
因此，有必要提供一種磁頭折片組合的改進的特性測試方法來克服上述缺陷。

發明內容
本發明的目的是提供一種測試磁頭折片組合特性的方法，所述方法能在低 工作電壓條件下精確測試所述磁頭折片組合的微致動器的位移特性，同時所述 方法流程筒單且用時較短。
為了實現上述目的，本發明提供了一種測試磁頭折片組合特性的方法。所 述磁頭折片組合包括磁頭和用於精確地把所述磁頭關於磁性媒介定位的微致動
器。所述測試磁頭折片組合特性的方法包括如下步驟(l)寫初始磁軌信息到 所述磁性媒介上，讀出所述初始磁軌信息，測量讀出的初始磁軌信息的初始磁 道平均振幅分布(TAA， track average amplitude),以及根據所述初始磁軌平均振 幅分布計算磁軌中心值OFFSET 1; ( 2)判斷將被施加到所述微致動器的工作直 流(DC， direct current)電壓是否高於一閥值，如果不是，執行步驟(3)-(6)，如果 是，轉到步驟(7); (3)把所述磁頭朝偏離磁軌方向移動一預定距離D; (4) 施加所述工作直流電壓到所述微致動器以驅動所述微致動器在正方向位移，同 時寫第一磁軌信息到所述磁性媒介上，讀出所述第一磁軌信息，測量讀出的第 一磁軌信息的第一磁軌平均振幅分布，以及根據所述第 一磁軌平均振幅分布計 算磁軌中心值OFFSET 2; ( 5 )施加所述工作直流電壓到所述微致動器以驅動所 述微致動器在負方向位移，同時寫第二磁軌信息到所述磁性媒介上，讀出所述 第二磁軌信息，測量讀出的第二磁軌信息的第二磁軌平均振幅分布，以及根據 所述第二磁軌平均振幅分布計算磁軌中心值OFFSET3; (6 )根據公式((OFFSET 2-OFFSET l-D)+(D-(OFFSET3-OFFSET l)))/2計算所述微致動器的位移；(7)施 加所述工作直流電壓到所述微致動器以驅動所述微致動器在正方向位移，同時
寫第一磁軌信息到所述磁性媒介上，讀出所述第一磁軌信息，測量讀出的第一 磁軌信息的第 一磁軌平均振幅分布，以及根據所迷第 一磁軌平均振幅分布計算
石茲道中心值OFFSET 2，； (8)施加所述工作直流電壓到所述《效致動器以驅動所 述微致動器在負方向位移，同時寫第二磁軌信息到所述磁性媒介上，讀取所述 第二磁軌信息，測量讀出的第二磁軌信息的第二磁軌平均振幅分布，以及根據 所述第二磁軌平均振幅分布計算磁軌中心值OFFSET3，； (9)根據公式(OFFSET 2'+OFFSET 3，)/2計算所述微致動器的位移。 較佳地，所述閥值等於5伏特。
可選地，所述磁軌平均振幅分布是用動態特性測試儀(DP tester, Dynamic Performance tester)或者讀寫測試儀(R/W tester, read/write tester)測量得到的。
作為本發明的一個實施例，所述預定距離D ^fc沒置成與所述工作直流電壓 成反比
與現有方法相比，本發明除了能在高工作電壓條件下獲得所述磁頭折片組 合的微致動器的位移特性之外，當低工作電壓施加到所述微致動器時，本發明 能通過把磁頭朝偏離vf茲道方向移動一個預定距離D來測量所述微致動器的位 移。因此，本方法可以容易地並清楚地找出各個磁軌中心值，並因此提供精確 的測量。另外，不論工作電壓的幅度大小，本發明的位移特性測試方法只需要 計算三個數據，即低工作電壓下的磁軌中心值OFFSET 1、 OFFSET 2、 OFFSET 3,或高工作電壓下的磁軌中心值OFFSET 1、 OFFSET2'、 OFFSET3'。因此， 本發明方法的流程更簡單。並且，由於本發明的方法能容易找出各個軌道中心 值，因此找尋操作時間降低，所以本方法的測試時間大大縮短，尤其是把簡單 的三個數據計算流程考慮在內時。
通過以下的描述並結合附圖，本發明將變得更加清晰，這些附圖用於解釋 本發明的實施例。


圖1展示了現有技術中典型的磁碟驅動單元的結構，其中音圈馬達用於對 讀寫頭進行位置控制。
圖2a詳細展示了圖1所述磁碟驅動單元的典型的磁頭折片組合，其中壓電 微致動器用於對讀寫頭進行精確位置控制。
圖2b展示了圖2a所述磁頭折片組合的詳細結構，特別展示了壓電微致動 器相對於磁頭折片組合中的磁頭和懸臂件的位置。圖2c是圖2b所示壓電微致動器的立體圖。圖2d展示了圖2b中把所述滑塊安裝到所述壓電微致動器上的詳細流程。 圖2e示意性地展示了壓電微致動器的位置控制原理。
圖3a是一個示意圖，說明了使用傳統交流測試方法，通過施加交流電壓來 驅動壓電微致動器，從而對磁碟執行寫操作。
圖3b是一個示意圖，說明了在某一位置沿著磁碟旋轉方向或者磁軌方向之 讀出信息的幅度或者輸出幅度最大處的偏離磁軌位置。圖3c是一個示意圖，示意性地展示圖3a所示交流測試方法，並詳細說明了 為什麼寫到所述磁碟上的磁軌的中心線能夠通過對讀出信息幅度或者輸出的最 大位置處的偏離磁軌位置進行標制並連接所述標制位置而得到。
圖3d對圖3a所示交流測試方法在確定位移的難度上進行了詳細說明。圖4展示了用於本發明磁頭折片組合特性測試的具有磁折片組合的磁碟驅 動器的整體結構。圖5為本發明/f茲頭折片組合特性測試方法測試圖4所示石茲頭折片組合的一 個實施例的流程圖。圖6a展示了圖5所示實施例中通過磁軌分布測量所獲得的低壓初始磁軌平 均振幅分布、第一低壓^f茲道平均振幅分布以及第二低壓^f茲道平均振幅分布。圖6b展示了圖5所示實施例中通過磁軌分布測量所獲得的高壓初始磁軌平 均振幅分布、第一高壓磁軌平均振幅分布以及第二高壓》茲道平均振幅分布。圖7是圖5所示實施例使用動態特性測試儀測量的直流位移與使用傳統激 光都卜勒振動測量方法測試的直流位移二者之間相關性的圖表。
具體實施例方式
現在參考附圖描述本發明的實施例，附圖中類似的元件標號代表類似的元 件。如上所述，本發明提供了一種測試磁頭折片組合特性的方法。所述磁頭折 片組合包括磁頭和用於精確地把所述磁頭關於磁性媒介定位的微致動器。本發 明方法的關鍵是分別在不驅動微致動器、施加工作直流電壓在正方向上驅動微 致動器以及施加工作直流電壓在負方向上驅動微致動器的條件下獲得三個磁軌 中心值，最後對所述三個磁軌中心值進行計算，最終以一種簡單的方式獲得所 述微致動器的位移特性。而且，本方法能在低工作電壓條件下測試所述磁頭折 片組合的特性，這是通過把磁頭朝偏離磁軌方向移動一個預定距離來實現的， 這種操作有助於確定所述三個磁軌中心值，進而確保本方法具有精確的測量功
能。另外，本方法由於流程簡單而能減少測量時間。
圖4展示了用於本發明磁頭折片組合特性測試的具有磁折片組合的磁碟驅 動器的整體結構。所述磁碟驅動器包括具有滑塊卯3的磁頭折片組合906、連接 所述磁頭折片組合906的驅動臂904、控制所述驅動臂904的音圏馬達905、磁 盤901以及旋轉所述磁碟901的主軸馬達902。上述部件相互組裝在一起。撓性 線纜907把所述磁頭折片組合906電性地連接到印刷電路4反組合(PCBA,printed circuit broad assembly,圖未示)。所述音圈馬達卯5用於控制所述驅動臂904的 運動，從而定位整個石茲頭折片組合906,進而粗略地控制所述滑塊903在所述^茲 盤901表面從一個磁軌移動到另一個磁軌。另外，所述磁頭折片組合906還釆 用一個把所述滑塊903精確定位於所述磁碟卯l的上表面的磁軌的微致動器(見 圖5)。所述微致動器能通過逆向壓電作用(reverse piezoelectric effect)來擴張 和/或收縮，從而使所述滑塊903產生位移。所述滑塊903的位移使得磁頭沿著 弧度擺動從而橫跨所述磁碟901上的記錄磁軌。
圖5為本發明磁頭折片組合特性測試方法測試圖4所示磁頭折片組合906 的一個實施例的流程圖。下面將詳細說明圖5所示位移特性測試方法。
首先，對測試儀的磁碟的磁軌表面做信息擦除，然後把所述待測量的磁頭
折片組合(圖4所示)裝載在所述》茲盤上(步驟Sll )。可以理解，所述》茲頭折 片組合的裝置方式是使嵌入在所述磁頭折片組合的滑塊中的磁頭的空氣承載面 (ABS, air bearing surface)面對f茲盤的上表面。
接著，使用磁頭寫初始磁軌信息到所述磁碟上(步驟S12)。此寫操作是磁 頭在沒有驅動磁頭折片組合的微致動器產生位移的情況下進行的。然後，使用 所述/f茲頭的讀傳感器讀出所述初始石茲道信息，並測量讀出的初始》茲道信息的初 始磁軌平均振幅分布(步驟S13)。再然後，根據所述初始磁軌平均振幅分布計 算磁軌中心值OFFSET 1 (步驟S14 )。所述初始磁軌平均振幅分布和所述磁軌中 心值OFFSET 1展示在圖6a和6b中。
隨後，判斷將被施加到所述微致動器的工作直流電壓是否高於閥值(步驟 S15)。如果不是，即所述工作直流電壓不高於所述閥值時，流程轉到步驟S16。 較佳地，所述閥值等於5伏特。
在步驟S16中，把所述磁頭朝磁碟的偏離磁軌方向移動一個預定距離D。 在本實施例中，所述預定距離D被設置成與所述工作直流電壓值成反比。
然後，施加工作直流電壓以驅動所述微致動器在正方向上位移，同時使用 所述磁頭寫第一低壓磁軌信息到所述磁碟上(步驟S17)。接著，使用所述讀傳 感器讀出所述第 一低壓-茲道信息，並測量讀出的第 一低壓磁軌信息的第 一低壓 磁軌平均振幅分布(步驟S18)。隨後，根據所述第一低壓磁軌平均振幅分布計算 ^磁軌中心值OFFSET 2 (步驟S19)。所述第一低壓;茲道平均振幅分布和所述i茲道 中心值OFFSET 2都展示在圖6a中。
下一步，施加工作直流電壓以驅動所述微致動器在負方向上位移，同時使 用所述磁頭寫第二低壓磁軌信息到所述磁碟上(步驟S20)。接著，使用所述讀 傳感器讀出所述第二低壓磁軌信息，並測量讀出的第二低壓磁軌信息的第二低 壓磁軌平均振幅分布(步驟S21)。隨後，根據所述第二低壓^ 茲道平均振幅分布計 算磁軌中心值OFFSET 3(步驟S22)。所述第二低壓磁軌平均振幅分布和所述磁 道中心值OFFSET 3都展示在圖6a中。
隨後，根據公式((OFFSET 2-OFFSET l-D)+(D-(OFFSET 3-OFFSET 1)))/2計 算所述微致動器的位移(步驟S23)。這樣所述方法成功得到低工作電壓條件下磁 頭折片組合的微致動器的位移特性。
如上所述，如果所述步驟S15的判斷表明所述工作直流電壓高於所述閥值， 流程將會轉到步驟S24。
在步驟S24中，施加工作直流電壓以驅動所述^:致動器在正方向上位移， 同時使用所述磁頭寫第一高壓磁軌信息到所述磁碟上。接著，使用所述讀傳感 器讀出所述第 一 高壓磁軌信息，並測量讀出的第 一 高壓磁軌信息的第 一 高壓磁 道平均振幅分布(步驟S25)。隨後，根據所述第一高壓磁軌平均振幅分布計算磁 道中心值OFFSET 2，(步驟S26)。所述第一高壓磁軌平均振幅分布和所述磁軌中 心值OFFSET 2'都展示在圖6b中。
下一步，施加工作直流電壓以驅動所述微致動器在負方向上位移，同時使 用所述磁頭寫第二高壓磁軌信息到所述磁碟上(步驟S27)。接著，使用所述讀 傳感器讀出所述第二高壓^f茲道信息，並測量讀出的第二高壓> 茲道信息的第二高 壓磁軌平均振幅分布(步驟S28)。隨後，根據所述第二高壓磁軌平均振幅分布計 算磁軌中心值OFFSET 3'(步驟S29)。所述第二高壓磁軌平均振幅分布和所述磁 道中心值OFFSET 3'都展示在圖6b中。
隨後，根據公式(OFFSET 2'+OFFSET 3，)/2計算所述微致動器的位移(步驟 S30)。這樣所述方法成功得到高工作電壓條件下磁頭折片組合的微致動器的位 移特性。
較佳地，所述,茲道平均振幅分布是使用旋轉測試儀(spindle tester)測量得 到的。詳細地，所述旋轉測試儀可為讀寫測試儀或者動態特性測試儀。所述讀 寫測試儀或者動態特性測試儀都具有磁軌分布測量功能。通過沿著磁碟的偏離 磁軌方向逐漸改變所述磁頭折片組合在所述旋轉測試儀上的位置，所述旋轉測 試儀測量偏離磁軌方向上不同位置處的磁軌平均振幅分布。
圖7是圖5所示實施例使用動態特性測試儀測量的直流位移與使用傳統激 光都卜勒振動(LDV， laser Doppler vibration)測量方法測試的直流位移二者之間
相關性的圖表。如圖7所示，所述相關性是線性的，這表明動態特性測試儀測 量與雷射都卜勒振動測量之間具有良好的相關性。因此可以理解，具有微致動 器的磁頭折片組合正確的響應位移可通過本實施例的方法測量得到。
以上結合最佳實施例對本發明進行了描述，但本發明並不局限於以上揭示 的實施例，而應當涵蓋各種根據本發明的本質進行的修改、等效組合。
權利要求
1.一種測試磁頭折片組合特性的方法，所述磁頭折片組合包括磁頭和用於精確地把所述磁頭關於磁性媒介定位的微致動器，其特徵在於，所述方法包括如下步驟(1)寫初始磁軌信息到所述磁性媒介上，讀出所述初始磁軌信息，測量讀出的初始磁軌信息的初始磁軌平均振幅分布，以及根據所述初始磁軌平均振幅分布計算磁軌中心值OFFSET 1；(2)判斷將被施加到所述微致動器的工作直流電壓是否高於一閥值，如果不是，執行步驟(3)-(6)，如果是，轉到步驟(7)；(3)把所述磁頭朝偏離磁軌方向移動一預定距離D；(4)施加所述工作直流電壓到所述微致動器以驅動所述微致動器在正方向位移，同時寫第一磁軌信息到所述磁性媒介上，讀出所述第一磁軌信息，測量讀出的第一磁軌信息的第一磁軌平均振幅分布，以及根據所述第一磁軌平均振幅分布計算磁軌中心值OFFSET 2；(5)施加所述工作直流電壓到所述微致動器以驅動所述微致動器在負方向位移，同時寫第二磁軌信息到所述磁性媒介上，讀出所述第二磁軌信息，測量讀出的第二磁軌信息的第二磁軌平均振幅分布，以及根據所述第二磁軌平均振幅分布計算磁軌中心值OFFSET 3；(6)根據公式((OFFSET 2-OFFSET 1-D)+(D-(OFFSET 3-OFFSET 1)))/2計算所述微致動器的位移；(7)施加所述工作直流電壓到所述微致動器以驅動所述微致動器在正方向位移，同時寫第一磁軌信息到所述磁性媒介上，讀出所述第一磁軌信息，測量讀出的第一磁軌信息的第一磁軌平均振幅分布，以及根據所述第一磁軌平均振幅分布計算磁軌中心值OFFSET 2』；(8)施加所述工作直流電壓到所述微致動器以驅動所述微致動器在負方向位移，同時寫第二磁軌信息到所述磁性媒介上，讀取所述第二磁軌信息，測量讀出的第二磁軌信息的第二磁軌平均振幅分布，以及根據所述第二磁軌平均振幅分布計算磁軌中心值OFFSET 3』；(9)根據公式(OFFSET 2』+OFFSET 3』)/2計算所述微致動器的位移。
2. 如權利要求1所述的方法，其特徵在於所述閥值等於5伏特。
3. 如權利要求1所述的方法，其特徵在於所述磁軌平均振幅分布是用動 態特性測試儀或者讀寫測試儀測量得到的。
4. 如權利要求1所述的方法，其特徵在於所述預定距離D^皮設置成與所 述工作直流電壓成反比。
全文摘要
本發明公開了一種測試磁頭折片組合特性的方法。所述磁頭折片組合包括磁頭和用於精確地把所述磁頭關於磁性媒介定位的微致動器。本發明的關鍵是分別在不驅動微致動器、使用工作直流電壓在正方向上驅動微致動器以及使用工作直流電壓在負方向上驅動微致動器的條件下獲得三個磁軌中心值，最後對所述三個磁軌中心值進行計算，最終獲得所述微致動器的位移特性。本發明能在低工作電壓條件下通過把所述磁頭朝偏離磁軌方向移動一個預定距離來測試所述磁頭折片組合的特性，這種操作有助於確定所述三個磁軌中心值，進而確保本發明具有精確的測試功能。
文檔編號G11B5/596GK101339772SQ20071012871
公開日2009年1月7日 申請日期2007年7月3日 優先權日2007年7月3日
發明者姚明高 申請人:新科實業有限公司