基板移送裝置及基板移送方法與流程

2024-04-10 11:19:05

本發明涉及基板移送裝置及基板移送方法，尤其涉及一種將基板浮起移送的基板移送裝置及利用該基板移送裝置的基板移送方法。

背景技術：

通常，平板顯示(Flat Panel Display：FPD)裝置由面積相對大的基板製成。製造這種平板顯示裝置的工序期間，所述基板在腔體等製造裝備之間頻繁發生移送。尤其，在製造所述平板顯示裝置的工序中向所述基板上塗布光致抗蝕劑溶液的塗布工序期間，以浮起所述基板的狀態移送所述基板。

以浮起所述基板的狀態移送所述基板的裝置通常包括浮起所述基板的浮起工作檯、配置在所述浮起工作檯的兩側部的導軌、把持所述基板的兩側部且沿所述導軌移動的基板把持部等。

根據現有的基板移送裝置，基板把持部在移送所述基板時同時整體把持所述基板的兩側部。例如，所述基板把持部具有在所述基板移送期間能夠整體覆蓋所述基板的兩側部的長度，同時分別把持所述基板的兩側部。

但所述基板把持部同時整體把持所述基板的兩側部的情況下，所述基板把持部致使所述基板整體彎曲。尤其，在向所述基板上塗布光致抗蝕劑溶液的塗布工序期間，當所述基板把持部致使所述基板整體彎曲的情況下，所述基板的上部有可能與噴射所述光致抗蝕劑溶液的噴嘴發生碰撞導致所述基板受損。並且，由於所述光致抗蝕劑溶液無法均勻地塗布到所述基板上，因此可能會引起所述顯示裝置不良。

技術實現要素：

技術問題

本發明的一個目的在於提供一種包括能夠防止所述基板在基板浮起移送期間發生彎曲的基板把持部件的基板移送裝置。

本發明的另一目的在於提供一種能夠防止所述基板在利用所述基板移送裝置移送所述基板期間發生彎曲的基板移送方法。

技術方案

為達成上述目的，根據本發明實施例的基板移送裝置可包括：基板浮起工作檯，其向基板的底面上噴射氣體浮起所述基板；導軌，其配置在所述基板浮起工作檯的兩側部；基板把持部件，其把持所述基板的第一側部及第二側部且沿所述導軌移動，並且所述基板把持部件具有將所述基板的第一側部及第二側部分為兩個以上部分把持的多個基板把持部分；真空提供部件，其向所述基板把持部件提供真空；以及，控制部，其使所述基板把持部件的基板把持部分以預定的時間間隔把持所述基板的第一側部及第二側部的部分。

根據實施例，所述基板把持部件能夠以真空吸附所述基板的底面的方式把持所述基板。

根據實施例，所述基板把持部件的基板把持部分可以彼此相對，相同個數的基板把持部分可以分別配置在相鄰所述基板的第一側部及第二側部的位置。

根據實施例，所述基板把持部件的基板把持部分沿所述基板的移送方向依次把持所述基板的第一側部的部分，所述基板把持部件的基板把持部分沿所述基板的移送方向依次把持所述基板的第二側部的部分。

為達成本發明的另一目的，根據利用包括通過噴射氣體浮起基板的基板浮起工作檯、配置於所述基板浮起工作檯的兩側部的導軌及把持所述基板的第一側部及第二側部且沿所述導軌移動的基板把持部件的基板移送裝置的移送方法，所述基板把持部件具有能夠將所述基板的第一側部及第二側部分別分為兩個以上部分把持的多個基板把持部分，所述多個基板把持部分可以以預定的時間間隔把持所述基板的第一側部及第二側部的部分。

根據實施例，根據以預定時間間隔把持所述基板的第一側部及第二側部的部分的過程，向所述基板的移送方向依次把持所述基板的第一側部的部分後，向所述基板的移送方向依次把持所述基板的第二側部的部分的步驟。

技術效果

根據本發明的實施例，基板把持部件可具有能夠將基板的第一側部及第二側部分為兩個以上部分把持的多個基板把持部分，所述基板把持部分能夠 以預定時間間隔把持所述基板的第一側部及第二側部的部分。因此能夠防止所述基板在所述基板浮起移送期間發生彎曲。利用實施例所示的裝置及方法製造顯示裝置的情況下，能夠提高製造所述顯示裝置的工序的穩定性，並且能夠提高所述顯示裝置的可靠性。

附圖說明

圖1為簡要顯示根據本發明實施例的基板移送裝置的平面圖。

具體實施方式

以下說明根據本發明實施例的基板移送裝置及基板移送方法。本發明可進行多種變形，可具有多種形態，以下對實施例進行具體說明。但其目的並非使本發明限定於特定的公開形態，因此應理解為包括屬於本發明的思想及技術範圍的所有變更、等同物及替代物。在說明各附圖方面，對類似的構成要素添加類似的附圖標記。第一、第二等術語可用於說明多種構成要素，但上述構成要素不受所述術語限制。使用所述術語的目的在於區分一個構成要素與其他構成要素。本申請中使用的術語只是用於說明特定實施例，目的並非對本發明進行限定。若記載內容中無另行定義，則單數的表現形式應理解為還包括複數的表現形式。本申請中的術語「包括」或「具有」等術語用於說明存在說明書中記載的特徵、數字、步驟、工作、構成要素、構件或其組合，而並非預先排除一個或一個以上的其他特徵、數字、步驟、動作、構成要素、構件或其組合的存在或附加可能性。

若無另行定義，本說明書中使用的包括技術術語或科學術語在內的所有術語均表示與本發明所屬技術領域的普通技術人員的一般理解相同的含義。通常使用的詞典定義過的術語應解釋為與相關技術的文章脈絡相一致的含義，本申請中無明確定義的前提下不得解釋為理想或過度形式性的含義。

圖1為簡要顯示根據本發明實施例的基板移送裝置的構成圖。

參照圖1，根據實施例的基板移送裝置100可用於移送用於平板顯示裝置的面積相對大的基板11。所述基板移送裝置100可以向執行製造所述平板顯示裝置的工序中的預定工序的腔體(未示出)內及從所述腔體浮起所述基板11進行移送。例如，在執行向所述基板11上塗布光致抗蝕劑溶液的塗布 工序的情況下，所述基板移送裝置100可以浮起移送所述基板11。

根據實施例，所述基板移送裝置100可包括基板浮起工作檯13、導軌15、基板把持部件17、真空提供部件19、控制部21等。

所述基板浮起工作檯13可通過噴射氣體浮起所述基板11。所述基板浮起工作檯13可連接於氣體供應部件(未示出)。所述基板浮起工作檯13可包括向所述基板11上噴射所述氣體的多個噴射孔14。根據實施例，所述基板11可裝載於所述基板浮起工作檯13上，所述基板浮起工作檯13可通過所述噴射孔14向所述基板11的底面上噴射所述氣體。因此，所述基板11能夠從所述基板浮起工作檯13浮起。例如，所述氣體可包括氮氣、氬氣等惰性氣體。

根據實施例，所述基板移送裝置100用於執行所述塗布工序的塗布裝置的情況下，所述基板浮起工作檯13可包括三個區域。例如，所述基板浮起工作檯13可包括裝載所述基板11的裝載區域、向所述基板11上塗布光致抗蝕劑溶液的塗布區域、卸載所述基板11的卸載區域。這種情況下，所述基板浮起工作檯13的所述裝載區域及所述卸載區域可具有用於向所述基板11的底面上噴射所述氣體的所述噴射孔14。並且，為了精確控制所述基板11的移送，所述基板浮起工作檯13的所述塗布區域可具有能夠吸入從所述噴射孔14噴射到所述基板11的底面上的所述氣體的結構。例如，所述基板浮起工作檯13的所述塗布區域可具有能夠吸入從所述噴射孔14噴射的所述氣體的多個吸入孔。因此，通過所述裝載區域及所述卸載區域的噴射孔14向所述基板11的底面上噴射所述氣體的同時通過所述塗布區域的所述吸入孔吸入所述氣體，能夠精確控制所述基板11在所述基板浮起工作檯13上部的移送。

所述導軌15可分別配置在所述基板浮起工作檯13的兩側部。所述導軌15實際上可以彼此相對。根據實施例，所述基板11通過所述基板浮起工作檯13浮起後，所述基板11可以沿所述導軌11引導到執行預定工序(例如，所述塗布工序)的所述腔體內。

所述基板把持部件17可以沿所述導軌15移動。例如，所述基板把持部件17可把持所述基板11的兩側部。所述基板移送裝置100中，所述基板浮起工作檯13浮起所述基板11後，所述基板把持部件17在把持所述基板11的狀態下沿所述導軌15移動，從而能夠將所述基板11移送到目標位置，例 如移送到所述腔體。

根據實施例，所述基板把持部件17可以具有能夠分別將所述基板11的兩側部分為兩個以上部分把持的結構。例如，所述基板把持部件17可以將所述基板11的第一側部分為兩個以上部分把持，並且可以將所述基板11的第二側部分為兩個以上部分把持。此處，所述基板11的第一側部實際上可以與所述基板11的第二側部相對。

根據實施例，所述基板把持部件17可包括將所述基板11的第一側部及第二側部分為多個部分把持的多個基板把持部分。例如，相鄰所述基板11的第一側部的所述基板把持部分的個數和相鄰所述基板11的第二側部的所述基板把持部分的個數實際上可以相同。但可以根據所述基板11的形狀、尺寸、構成物質等增加或減少與所述基板11的第一側部及/或第二側部相鄰的所述基板把持部件17的基板把持部分的個數。並且，相鄰所述基板11的第一側部的所述基板把持部分的個數與相鄰所述基板11的第二側部的所述基板把持部分的個數可以互異。

根據實施例，所述基板移送裝置100的所述基板把持部件17如圖1所示，可包括相鄰所述基板11的第一側部的四個基板把持部分17a、17b、17c、17d及相鄰所述基板11的第二側部的四個基板把持部分17e、17f、17g、17h。因此，可以通過所述基板把持部件17的基板把持部分17a、17b、17c、17d將所述基板11的第一側部分為四個部分把持，可以通過所述基板把持部件17的基板把持部分17e、17f、17g、17h將所述基板11的第二側部分為四個部分把持。這種情況下，相鄰所述基板11的第一側部的所述基板把持部件17的基板把持部分17a、17b、17c、17d可分別與相鄰所述基板11的第二側部的所述基板把持部件17的基板把持部分17e、17f、17g、17h相對。所述基板把持部件17的基板把持部分17a、17b、17c、17d、17e、17f、17g、17h之間的間隔實際上可以相同。但也可以根據所述基板11的形狀、尺寸、構成物質等變更所述基板把持部分17a、17b、17c、17d、17e、17f、17g、17h之間的間隔。並且，所述基板把持部分17a、17b、17c、17d、17e、17f、17g、17h可根據顯示裝置的工序需要具有多種形狀。

再次參照圖1，所述真空提供部件19在所述基板把持部件17把持所述基板11時可分別向所述基板把持部件17的基板把持部分17a、17b、17c、1 7d、17e、17f、17g、17h提供真空，以使所述基板把持部件17能夠通過真空吸附把持所述基板11。例如，所述基板把持部件17的基板把持部分17a、17b、17c、17d、17e、17f、17g、17h分別從所述真空提供部件19得到真空後，各所述基板把持部分17a、17b、17c、17d、17e、17f、17g、17h與所述基板11的底面之間形成真空，所述基板把持部分17a、17b、17c、17d、17e、17f、17g、17h能夠穩定地把持所述基板11。

根據實施例的基板移送裝置100，能夠從所述真空提供部件19向所述基板把持部件17與所述基板11的底面之間提供所述真空，所述基板11通過真空吸附被所述基板把持部件17吸附，所述多個基板把持部分17a、17b、17c、17d、17e、17f、17g、17h能夠分別把持所述基板11的第一側部及第二側部的多個部分。

根據實施例，為了能夠分別向所述基板把持部件17的基板把持部分17a、17b、17c、17d、17e、17f、17g、17h提供真空，多個真空提供部件19可分別連接在所述基板把持部件17的基板把持部分17a、17b、17c、17d、17e、17f、17g、17h。如圖1所示，相鄰所述基板11的第一側部的位置配置四個所述基板把持部分17a、17b、17c、17d，相鄰所述基板11的第二側部的位置配置四個所述基板把持部分17e、17f、17g、17h的情況下，相鄰所述基板11的第一側部的四個所述基板把持部分17a、17b、17c、17d可分別連接四個真空提供部件19。並且，相鄰所述基板11的第二側部的四個所述基板把持部分17e、17f、17g、17h可分別連接四個真空提供部件19。

所述控制部21可以控制所述真空提供部件19使得所述基板把持部件17的基板把持部分17a、17b、17c、17d、17e、17f、17g、17h能夠分別以預定的時間間隔把持所述基板11的第一側部及第二側部。例如，所述控制部21可以控制所述真空提供部件19使得所述多個基板把持部分17a、17b、17c、17d、17e、17f、17g、17h把持所述基板11的第一側部及第二側部的部分時，能夠以預定的時間間隔依次把持。

根據實施例，所述控制部21可以控制所述基板把持部件17對所述基板11的把持使得所述基板把持部分17a、17b、17e、17d能夠沿所述基板11的移送方向依次把持所述基板11的第一側部的部分，使得所述基板把持部分17e、17f、17g、17h能夠沿所述基板的移送方向依次把持所述基板11的第二 側部的部分。例如如圖1所示，所述控制部21可以控制使得按照附圖標記17a所示基板把持部分、附圖標記17b所示基板把持部分、附圖標記17c所示基板把持部分、附圖標記17d所示基板把持部分、附圖標記17e所示基板把持部分、附圖標記17f所示基板把持部分、附圖標記17g所示基板把持部分及附圖標記17h所示基板把持部分的順序依次把持所述基板11的第一側部及第二側部的部分。

雖然圖1按照附圖標記17a所示基板把持部分、附圖標記17b所示基板把持部分、附圖標記17c所示基板把持部分、附圖標記17d所示基板把持部分、附圖標記17e所示基板把持部分、附圖標記17f所示基板把持部分、附圖標記17g所示基板把持部分及附圖標記17h所示基板把持部分的順序把持所述基板11的第一側部及第二側部的部分，但所述基板把持部件17的基板把持部分17a、17b、17c、17d、17e、17f、17g、17h把持所述基板11的第一側部及第二側部的部分的順序不受此限制。基板把持部分17a、17b、17c、17d、17e、17f、17g、17h把持所述基板11的第一側部及第二側部的部分的順序可根據需要變更。

如上所述，根據實施例的基板移送裝置100，可以具有能夠使所述基板把持部件17將所述基板11的第一側部及第二側部分為兩個以上部分把持的多個基板把持部分17a、17b、17c、17d、17e、17f、17g、17h，所述基板把持部分17a、17b、17c、17d、17e、17f、17g、17h能夠以預定的時間間隔把持所述基板11的第一側部及第二側部的部分。因此，能夠防止所述基板把持部件17為了浮起移送所述基板11而把持所述基板11時所述基板11發生彎曲。

根據利用上述基板移送裝置100移送所述基板11的方法，所述基板浮起工作檯13能夠浮起所述基板11，所述基板把持部件17具有能夠將所述基板11的第一側部及第二側部分為兩個以上部分依次把持的結構，因此能夠在防止所述基板11彎曲的同時浮起所述基板11移送到預定的位置。例如，可以在所述基板把持部分17a、17b、17c、17d沿所述基板11的移送方向依次把持所述基板11的第一側部的部分後，所述基板把持部分17e、17f、17g、17h沿所述基板11的移送方向依次把持所述基板11的第二側部的部分。因此，能夠有效防止所述板把持部件17把持所述基板11時所述基板11發生彎曲。

根據本發明的實施例，能夠在防止基板發生彎曲的同時浮起所述基板移送到目標位置。例如，將上述基板移送裝置及基板移送方法適用到向所述基板上塗布光致抗蝕劑溶液的塗布工序的情況下，所述基板把持部件把持所述基板時防止所述基板發生彎曲，從而能夠防止所述基板的上部與供應所述光致抗蝕劑溶液的噴嘴發生碰撞，能夠提高塗布到所述基板上的所述光致抗蝕劑溶液的厚度均勻度。因此，根據實施例的基板移送裝置及基板移送方法能夠提高平板顯示裝置等顯示裝置的製造工序穩定性，提高所述顯示裝置的可靠性。

以上對本發明的實施例進行了說明，但本領域普通技術人員應理解可以在不脫離本發明的範圍及思想的範圍內對本發明進行多種修改及變更。