Intel：沒有EUV我們也能製造7nm晶片

2025-02-22 08:29:24

    泡泡網CPU頻道9月17日 今年的舊金山IDF會議上，Intel談論最多的是Broadwell和Skylake處理器，這兩代都是14nm工藝的，再往後就是10nm以及7nm工藝了，這兩種工藝還在研究、探索中，他們需要更高級的製造設備，EUV（極紫外光光刻設備）就是關鍵之一，不過EUV現在還不成熟，Intel表示就算沒有EUV設備，他們也懂得如何用10nm、7nm工藝製造未來的晶片。

    Intel理事Mark Bohr在回答工藝相關的問題時表示，他的日常工作之一就是研究在沒有EUV光刻的情況下如何製造7nm晶片。對於EUV光刻這種核心設備，樂觀的看法也是10年內也不一定能升級，Intel在10nm節點不會使用EUV工藝，7nm節點也不一定會，不過這時候還是有點希望的。

    Bohr表示他對EUV工藝很感興趣，它可以幫助廠商提高產能，而且可能簡化工藝，不幸的是EUV工藝還沒有準備好，生產能力及可靠性都沒有達標。

    至於如何在沒有EUV工藝的情況下製造10nm及7nm晶片，Intel就沒有透露太多了，不過在14nm工藝上，Intel已經使用了三重曝光（triple patterning）工藝了。■