晶片裡面的矽晶是二氧化矽麼(矽光晶片中的奇特材料)
2023-09-13 08:43:44
二氧化矽(SiO2)是一種奇特的材料,在半導體晶片的製程中,可以作為電介質材料隔離金屬與金屬或電晶體與電晶體,也可以作為阻擋材料保護特定區域不被摻雜和離子注入,某些場景下也可作為刻蝕阻擋層來提高刻蝕反應的選擇性。
在光電領域,絕緣體上矽(Silicon on insulator,SOI)中的BOX(buried oxide)層可以很好地吸收遮斷SWIR(short wave infrared),可以用作高信噪比的紅外傳感器襯底材料,在矽光晶片中也有非常廣闊的應用場景。在今天的晶圓級封裝領域,一定厚度的SiO2也能與Si,SiO2以及SiN等材料形成良好的界面,提供強大的機械支撐性能。
SiO2還具有很好的聲學性能,同樣是基於SOI的材料兼顧了性能與成本屬性,相比砷化鎵(GaAs)和藍寶石上矽(Silicon on Saphire,SOS)更勝一籌,逐漸贏得了市場,在射頻晶片和物聯網中得到了廣泛應用。
二氧化矽納米顆粒是應用廣泛的無機納米材料,由於性能優異所以成為了產量最大的工程化納米材料之一。隨著表面改性研究的深入,使得二氧化矽的使用不再局限於傳統材料、化工等領域,其在催化、光催化及生物醫藥等新領域的應用也存在良好的前景。
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