GF宣布將在15nm製程節點啟用新技術！
2023-07-07 06:29:36
泡泡網主板頻道7月16日 在最近召開的SemiCon West產業會議上， Global Foundries 公司宣布他們將在15nm製程節點開始啟用EUV極紫外光刻技術製造半導體晶片。 Global Foundries 公司負責製程技術研發的高級副總裁Greg Bartlett還表示，公司將在紐約Fab8工廠建成後馬上開始在這家工厂部署EUV光刻設備，按之前 Global Foundries公布的計劃，這個時間點大概是在2012年下半年，與之巧合的是，光刻設備廠商ASML公司也將於這個時間點開始上市EUV光刻設備。
由於IBM/AMD/Global Foundries一直鼎立支持EUV光刻技術，他們過去也曾經試用過ASML的Alpha EUV光刻試驗機，因此將來他們應用起EUV技術來應該不會遇上太大的困難。另外 Bartlett還表示Global Foundries公司將於2015年正式啟用EUV光刻設備進行批量生產。考慮到Global Foundries的計劃顯示今年底明年初他們將推出32/28n
