氣體檢驗純度的方法化學(氣體純度及其表示法)
2023-05-25 07:38:26 1
#六氟化硫#
由於氣體分為簡單氣體、多組分氣體、混合氣體和有機化合物氣體,構成氣體的物質(或元素)可稱為氣體組分。因此,氣體純度的含義可以理解為除氣體成分外還包含許多其他物質。例如,氮的純度是指除N組分外,O2、H2、Ar、CO2、H2O、金屬和灰塵顆粒等雜質的量;氨的純度是指除NH3外,O2、N2、CO2、H2O和灰塵顆粒等雜質的量;另一個例子是氮氣和氦氣的混合物,它指的是N2和He組分旁邊的雜質量,如O2、CO2、H2O塵埃顆粒。
參考氣體純度的方法有很多,如普通清潔氣體、高純度氣體、電子清潔氣體、超純氣體等。隨著超大集成電路(VLSI)和超大規模集成電路(ULSI)的發展,出現了VLSI和ULSI級的純氣體。這些公式並不十分準確,但它們只給出了氣體純度的粗略描述,而不是氣體純度的大小。有兩種主要方法可以準確地表示氣體的純度。即:
1.以百分比表示,如99%、99.5%、99.9%、99.999%、99.9999%、99.999%、99.999 9%、99.99 9%、99.99.999%等。
2.使用「N」顯示,如3N、5N、4.8N、5.5N、6N、7N等。數字N對應於(1)中的數字「9」,小數點後的數字表示小於「9」的數字。例如,4N(99.99%)6N(99.9999%)7N(99.999%)4.8N(99.998%)5.5N(99.99.95%)等。
根據氣體純度的不同,氣體純度一般分為四級,即普通氣體、純氣體、高純度氣體和超高純度氣體。下表顯示了氣體純度和設備生產工藝的應用。
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