集成電路裝備研發（單一研發轉入批量生產）

2023-04-16 05:27:22 3

湖南日報全媒體記者 王銘俊 通訊員 張星 嚴婧 馮冠華

（2月10日，中國電子科技集團公司第四十八研究所廠房內，技術人員調試著集成電路裝備。）

2月10日上午，中國電子科技集團公司第四十八研究所（以下簡稱「四十八所」）半導體裝備批量製造廠房內，20餘臺立式和臥式高溫爐管裝備顯示器上，各種參數不停地跳動著。

這些高溫爐管裝備是製作集成電路的關鍵裝備之一。

「集成電路有多重要？如果把晶片比作一本書，那么半導體就是製作這些書的原材料，而集成電路便是書上的文字和圖案。」

製作集成電路，也就像「給晶片刻下不同的文字、繪上不同的圖案」。四十八所高級工程師鞏小亮告訴記者，由四十八所研製的裝備，現已服務於製作集成電路過程中超過半數的工序。

「我們正由傳統的單一科研模式轉型為科研和生產並重的新型研發模式。」走進明亮潔淨的廠房，四十八所所長王平自豪地指向並排林立的批量裝備，「以往做科研攻關，我們只需要研發出1臺或者2臺這樣的設備。進入量產階段後，我們不僅開發設備，而且摸索出成熟工藝交付用戶，今年就將出貨100臺以上。」

「嘀嘀嘀……」一臺臥式擴散爐自檢系統發出蜂鳴提示。臥式爐管設備課題組組長黃志海通過設備自檢顯示屏上的彈幕提示，迅速找到工藝模擬異常部位，隨之按照彈出的故障排查操作提示進行操作。不到一分鐘，設備便恢復正常運作。類似設計，可以簡單便捷地幫助用戶現場排查並解決故障。

科研與生產相互反哺。「我們近600名工作人員，每天都在精進著各種細小的技術，努力鍛造新裝備、新產品。」王平介紹，在半導體裝備批量製造廠房內進行組裝和反覆調試後，打上了湖南印記的高溫爐管、磁控濺射沉積設備等集成電路關鍵裝備，將運往國內的主要晶片製造企業。

1964年，四十八所在長沙成立。風雨近60載，已發展成為國家第三代半導體技術創新中心（湖南）的牽頭單位。「發展第三代半導體，我們與世界領先國家處於並跑的狀態。」王平說，四十八所正通過建設國產核心裝備技術研發與中試平臺，形成完善的裝備研發及產業化創新體系，讓科學變技術、技術變產品、產品變產業。

[責編:李傳新]

[來源:湖南日報]